【解決手段】対象の検査方法およびシステムは、対象表面上の望まれないパーティクルを検出するための分光技術の使用を含む。この技術は、望まれないパーティクルと検査対象とが異なる材料により形成されることによる、検査対象と比較したときの望まれないパーティクルの異なる応答に基づく。対象の表面からの二次光子放出の時間分解分光法および／またはエネルギ分解分光法を使用することにより、ラマンおよび光ルミネッセンススペクトルを得ることができる。検査対象は例えばリソグラフィプロセスで使用されるパターニングデバイス、例えばレチクルであってもよい。その場合、例えば金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在が検出されうる。この方法および装置は高感度であり、例えばＥＵＶレチクルのパターン形成された側の小さなパーティクル（１００ｎｍ弱、特に５０ｎｍ弱）を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する。
【解決手段】被検査面（１０）上に放射線を照射する工程と、面（１０）上に照射され、面（１０）で反射した放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、記録画像の位置分解評価および画像を特徴付ける少なくとも１つの値（Ｋ）の決定を行う工程と、を含む肌理のある面（１０）の光学的検査のための方法であって、面を特徴付けるパラメータ（Ｇ）は、特徴値（Ｋ）を使用しながらおよび面の（既知または決定された）少なくとも１つのさらなる特性（Ｅ）を使用しながらに決定されることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】
検査時間を増大させることなく、微細凹凸パターンが形成された、ハードディスク用のパターンドメディアなどの試料よりの欠陥種類の特定を容易に行うようにする。
【解決手段】
微細凹凸パターンの欠陥検査において、スキャッタロメトリー法にて検査対象物の特徴を検出する際に、検査対象物の検出対象領域の分光波形を検出し、検出対象領域が検査対象物のパターン種類によって決まるどの領域区分に属するかの領域判定を行い、領域判定の結果により、判定された領域区分に対応する、欠陥種類毎に異なる特徴量の演算式と判定指標値を選択し、選択した特徴量の演算式にしたがって、前記分光波形データに対し、特徴量演算を行い、算出した特徴量の値と、前記選択した判定指標値とを比較して欠陥種類毎の判定処理を行う。 （もっと読む）

【課題】測定光による検査対象物の損傷等を抑制しながら高い精度で異状検査を行う。
【解決手段】異状検査装置１では、ベルトコンベア２が動くことにより、製造ラインに沿った載置面２ｂ上に載置された検査対象物３が製造ラインに沿って輸送される。検査対象物３が進行方向２ａに進むと同時に、検出ユニット２０の視野領域Ｌ１上に載置された検査対象物３に対してＳＣ（スーパーコンティニューム）光源１１から出射された近赤外光Ｌ１を照射部１２から照射し、検査対象物３からの拡散反射光Ｌ２を分光器２２で分光し受光部２３において検出し、分析部３０において分析を行うことにより、検査対象物３の異状検査が行われる。 （もっと読む）

【課題】体積型ホログラム層の再生光の影響を受けることなく、体積型ホログラム積層体の欠陥を精度良く安定して検出することが可能な体積型ホログラム積層体の検査方法を提供する。
【解決手段】まず照明装置４１により、体積型ホログラム層１１を有する体積型ホログラム積層体１０に対して体積型ホログラム層１１の特定波長と異なる波長の検査光Ｌ１を照射する。次に、カメラ（受光装置）４２は、体積型ホログラム積層体１０からの反射光Ｌ２を受光する。その後、検出装置５０は、反射光Ｌ２による画像を画像処理することにより、体積型ホログラム積層体１０の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上に存在する多種多様なパターン上においても欠陥を高感度且つ高捕捉率で検出する欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置において、照明光学系をレーザ５によるコヒーレント照明とＬＥＤ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄによるインコヒーレント照明の２系統とし、検出系ではそれぞれの照明光に対応した光路に分岐し、それぞれの検出光路に空間変調素子５５ａ、５５ｂを配置し、それぞれ空間変調素子５５ａ、５５ｂにて感度を阻害する散乱光を遮光し、空間変調素子５５ａ、５５ｂを透過した散乱光をそれぞれの光路に配置したイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出し、これら、２つのイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出した画像を比較処理して、欠陥候補を判定する。 （もっと読む）

【課題】 たばこ加工産業の被覆紙テープの光学的検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、たばこ加工産業の被覆紙テープ２１、５０の光学的検査方法であって、被覆紙テープの内側または外側が難燃材料を有するゾーン５１、６１、６１（「ＬＩＰ」ゾーン）を備え、被覆紙テープ２１、５０の上のまたはその中のＬＩＰゾーン５１、６１、６１’の存在および／または別の特性が点検される方法に関する。本発明による方法は、被覆紙テープ２１、５０の光学的検査が、被覆紙テープ２１、５０で被覆されたたばこ加工産業のたばこ連続体２８で、または被覆紙テープ２１、５０で被覆されたたばこ加工産業の棒状物品３２、５６で行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された膜厚が巨視的に見てなだらかに傾斜している場合でも、光の波長帯に依存せず、検出感度の良いムラ検査装置、およびムラ検査方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 基板９の上面に形成された膜９２に対して異なる波長帯の光を照射し、それぞれの波長帯の光により膜９２の膜厚の変動を示すムラ画像を取得する。ムラ画像からムラを含む領域を選択し、それぞれの領域を合成することにより、基板全面において膜厚ムラが高感度に検出されたムラ画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料に付着した異物の存否のみならず、異物の種類をも簡易に識別できる異物の識別方法を提供する。
【解決手段】既知の物質に異なる励起波長の紫外線を照射し、各励起波長における試料からの蛍光強度と波長を分析して、蛍光強度がピークとなるときの励起波長を基準励起波長とし、蛍光強度がピークとなった蛍光波長を基準蛍光波長とするとき、次の過程を含む。（Ａ）試料に前記基準励起波長の紫外線を照射して、試料からの蛍光波長を分析する過程。（Ｂ）その試料からの蛍光波長が前記基準蛍光波長と合致すれば、試料に前記既知の物質が異物として存在すると判定し、合致しなければ試料に既知の物質がないと判定する過程。 （もっと読む）

【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

【課題】属人的な知識や経験に頼らなくても良好な検査精度を容易に実現することができる被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、被検査体１０００を撮像する撮像部と、被検査体画像１００４の各画素に複数の属性を対応づけて一般化画素１０１２を生成する画像統合部と、一般化画素１０１２に基づいて代表画素１０２１を設定する代表画素設定部と、複数の属性を次元とする空間１０１６における一般化画素１０１２と代表画素１０２１との距離に応じて決定された輝度を有する画素からなる新たな検査画像１０２８を作成する輝度演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
分光検出手法を用いて検査対象表面に一様に形成された繰り返しパターンの形状を検出するには、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いことが有利である。しかし、短い波長領域すなわち紫外領域を含む広い波長範囲で分光検出可能な光学系を比較的簡単な構成で実現することは容易ではない。
【解決手段】
パターン欠陥を検査する装置を、ハーフミラーとして空間的に部分的なミラーを用い、また検査対象へ光の照射および検査対象からの反射光の検出の角度及び方向を制限するための開口絞りを反射型対物レンズ内に設置することにより、深紫外から近赤外までの波長帯域で検出可能な分光検出光学系を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】被検査体表面の欠陥部を迅速且つ簡単に高精度で検出する表面検査装置及び表面状態検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、波長域が互いに異なる複数の光源１２、１３、１４を有する照射部２と、照射部２の複数の光源１２、１３、１４から照射されて検査面Ｗａで反射した反射光を波長域別に分光して撮像する撮像部３とを有し、照射部２は、複数の光源１２、１３、１４が検査面Ｗａに面して順番に隣接して並ぶ構成を有することを特徴としている。これにより、反射光を撮像可能な角度範囲を拡大し、検査面Ｗａに対する照射部２または撮像部３の相対角度の許容誤差範囲を広げて、欠陥部の検出能力を向上させる。 （もっと読む）

【課題】パターンの形状を高精度で測定可能な検査方法を提供する。
【解決手段】この検査方法は、ホール径が既知の基準パターンを有する基準ウェハの表面に、三原色の波長を含む照明光を照射するステップ（ステップＳ１０２）と、照明光が照射された基準パターンからの光を受光するとともに、当該光を受光した光学系の瞳面の像を検出するステップ（ステップＳ１０３）と、前のステップで検出した瞳面の像における三原色のうち二色（ＲおよびＧ）に関する輝度情報および、基準パターンのホール径のデータから、二色（ＲおよびＧ）に関する輝度情報と基準パターンのホール径との相関を示す近似曲面の式を求めるステップ（ステップＳ１０６）と、求めた近似曲面の式を用いて検査対象ウェハの検査を行うステップ（ステップＳ１０７〜Ｓ１１０）とを有している。 （もっと読む）

【課題】撮像した画像を用いて被検査体における凸部について正面の形状とともに側面をも同時に観察し、検査工程に要する時間を短縮するとともに、簡易な構成により被検査体における凸部の高さを求められるようにする。
【解決手段】一方の面において断面が二等辺三角形で同形同大の山形形状部が複数反復して一方向に延在するように連接された形状とされ他方の面が平坦な面であり透明材料からなるマイクロプリズムシート（ＭＰＳ）を被検査体（Ｓ）に近接した位置に配置し、このマイクロプリズムシートを介して被検査体を撮像可能な位置に撮像装置１０を配置する。撮像装置で撮像された画像により被検査体における凸部の正面とともに凸部の側面が観察され、被検査体上の１点に対応する画像上の２点の間隔に比例する量として被検査体における凸部の高さが求められる。 （もっと読む）

【課題】ハードディスク用のパターンドメディアの検査において、パターン形状及びサーボパターンの位置ずれの欠陥を高速に検査する方式を提供する。
【解決手段】設計情報１を用いて検査領域２を指定し、スキャットロメトリー法によって測定するための領域分割３を行い、得られた検出データをパターン分類４し、周期領域５と非周期領域６に分類する。光センサによって分光特性を検出７し、特徴量を抽出８する。抽出された特徴量８と、特徴量マップデータベース１１に蓄えられた特徴量を領域毎に比較することによってパターンドメディアの状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】カメラ受光感度の機種差及び個体差等によらず、カラーで構成された印刷物を高精度に検査するのに好適な撮像方法を提供すると共に、リアルタイムに高い信頼性の下で検査を行なうことが可能な検査装置を提供するする。
【解決手段】印刷物表面に白色光を照射する第１の照明段階と、印刷物表面に少なくとも１種類以上の所定の波長域の光を照射する第２の照明段階と、印刷物裏面に白色光を照射する第３の照明段階と、印刷物を、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、印刷物表面を撮像する撮像段階と、撮像段階にて得られた印刷物の表面の画像データを用いて、印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階とを有する印刷物の検査方法および検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】装置構成を複雑化することなく、油等の影響を抑えて表面欠陥の検出精度を高くすることができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、入射側偏光部材１２と、被検査対象Ｓに光を照射する光源１１とを備えた投光手段１０と、受光側偏光部材２２と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光側偏光部材２２を通して受光する受光部２１とを備えた撮影手段２０とからなり、投光手段１０の入射側偏光部材１２は、光源１１から被測定対象Ｓに向けて放出される光の一部が、入射側偏光部材１２を透過せずに被測定対象Ｓの表面に直接照射されるように設けられている。液体の影響を低減した反射光を撮影手段２０が受光するので、被測定対象Ｓの表面欠陥の検出精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】 異物の検出能力を向上可能な異物検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係る異物検出装置１は、繊維状異物５が混在している可能性のある被検査物３が載置された搬送部１０上の被検査領域Ｓ１に対して各々の入射面が互いに直交するように第１検査光Ｌ１及び第２検査光Ｌ２を照射する照射部２０と、照射部２０による第１検査光Ｌ１及び第２検査光Ｌ２の照射に伴い、被検査領域Ｓ１から反射された反射光のスペクトルを測定するスペクトル測定部３０と、スペクトル測定部３０により測定された反射光のスペクトルを解析して繊維状異物５が混在しているか否かを判断する判定システム４１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 バンドパスフィルタを用いて制限した光を被検物の表面に当てて、その反射光により被検物の表面を安定的に観察する。
【解決手段】 被検物を照射する光源と、該光源の光から所定の波長成分を抽出するフィルタと、前記所定の波長の光で前記被検物を照明する照明光学系と、前記フィルタの前記抽出に用いる位置を前記照明光学系の光路中に保持した状態で、該光路に対して前記フィルタを連続して変位させる変位部と、前記照明された前記被検物の検査を行う検査光学系とを用いる。 （もっと読む）