【課題】半導体基板内に存在する欠陥を、容易に、効率よく、かつ、高感度に検出する。
【解決手段】側面の一部に切欠を有する中空の保持部１２に、搬送部によって半導体基板１１が配置された搬送板に連接させたアーム部を下降させて、アーム部が保持部１２の切欠を通過して、保持部１２に半導体基板１１を裏側から保持させる。そして、照射部１３によって、半導体基板１１の裏面に光１３ａが照射され、検出部１７によって、半導体基板１１の裏面から発せられる光１３ｂが検出され、測定部によって光１３ｂの強度が測定される。 （もっと読む）

少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）

【課題】木材表面の彩度分布を利用して、見逃しやすい小さな変色であっても、感度よく検出することができるようにすること。
【解決手段】撮影手段８で木材毎のカラー撮影を行い、画像処理手段１で前記撮影手段８により撮影されたカラー画像の彩度分布を木材毎に求め、該求めた彩度分布の累積度数分布を予め定めた正常な木材の累積度数分布と比較し、該求めた彩度分布の累積度数分布が前記正常な木材の累積度数分布から所定値以上離れた分布を示す該木材を、選別すべき木材とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、汎用性のない特殊な装置を用いることなくメタリック塗膜の色ムラを目視評価と極めて相関の高い定量値として得ることができるメタリック塗膜の色ムラ評価方法を提供することにある。
【解決手段】本発明のメタリック塗膜の色ムラ評価方法は、メタリック塗膜上において、複数の測定点を選択する第１ステップと、その測定点の各々において、光を入射しその受光を測定することにより測色または反射強度測定を実施する第２ステップと、該第２ステップで得られた測色または反射強度測定のデータを処理する第３ステップとを含み、該第２ステップは、各測定点に対して入射光軸と受光光軸とを含む測定面が２以上存在するように、２以上の光軸の光を異なったタイミングで入射することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】テレセントリック光学系を用いた検査光学系において、うねりや微妙な凹凸や異物、傷のような欠陥と同時に、色むら欠陥も同時に感度良く検出できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】白色点光源からの照射光を検査対象物に導き、検査対象物表面から戻って来た反射光を集束するための光学素子と、光学素子の後像空間焦平面位置に配設される開口絞りと、開口絞りを通過した反射光の像を検出する像検出手段と、を備えた検査装置において、開口絞りは、透過波長帯域の異なる複数のカラーフィルターを同心円状に配置した構成であり、像検出手段は、複数のカラーフィルターを透過した光を分離した状態で受光し、像検出手段によって得られた単独の画像及び組み合わせた画像から欠陥を検出する欠陥検出手段を有する。 （もっと読む）

本発明は、広帯域光源と選別デバイスとを備えるシステムに関し、より詳細にはレーザ式選別デバイスに関する。本発明の目的は、選別プロセスに対して全ての波長を提供する光源を有する選別デバイスを備えるシステムを提供することにある。このことは、全ファイバ・スーパコンティニューム光源を使用することにより解決される。
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【課題】視角によって色相が変化する色相変化領域を有する被識別物を識別するにあたって、被識別物の姿勢が変化しても精度のよい識別ができるようにする。
【解決手段】印刷物識別装置は、色相変化領域１１に光を照射する照明部１２と、照明部１２によって照射された光の色相変化領域１１からの正反射領域を含む位置に配置されて色相変化領域１１からの反射光を２つ以上の波長領域に分けるプリズム１４と、プリズム１４によって分光された光を受光する複数の受光部１３と、受光部１３の出力に基づいて被識別物を識別する識別処理部１７とを有する。識別処理部１７は、基準被識別物の姿勢変化に対して基準配光分布を記録した記録部と、配光分布と基準配光分布の比較により被識別物１の姿勢変化に対し識別基準を補正する補正手段と、補正手段によって補正された識別基準と配光分布とに基づいて被識別物を識別する識別手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部にある微小な欠陥を、高スループットで検出することが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】上ベベル用照明光源３ａから放出されたは、上ベベル用干渉フィルタ４ａで所定波長域の光とされ、上ベベル用集光レンズ５ａにより、ウェハ１の上ベベルの被照明領域を、幅ｄのスリット光でテレセントリックに照明する。上ベベルの被照明領域からの乱反射光は、上ベベル用干渉フィルタ４ａと同じ波長特性を有する上ベベル用干渉フィルタ６ａを透過し、上ベベル用集光レンズ７ａで集光されてＳＰＤ等の上ベベル用受光装置８ａで受光される。上ベベルの被照明領域からの正反射光は、受光光学系に入射せず、バックグラウンドノイズとならない。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、受光した散乱光の中から非弾性散乱光を取除くことによってＳ／Ｎ比が向上し、安定的に異物や欠陥の検出することにある。また本発明は、非弾性散乱光を選択することで、弾性散乱光で検出した欠陥や被検査面の組成分析、若しくは被検査物表面上の欠陥や、被検査物内部の組成を解明できる検査方法と検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面検査方法は、光学的に被検査物の表面内からの弾性散乱光と非弾性散乱光とを別々に、或いは同時に検出し、被検査物の欠陥の有無及び欠陥の特徴を検出し、検出された欠陥の被検査物の表面上の位置を検出し、検出された欠陥をその特徴に応じて分類し、欠陥の位置と、欠陥の特徴又は欠陥の分類結果とに基づいて、欠陥の非弾性散乱光検出による分析を行うものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、特定の光学的性質を有する透明物体、特に光度検出システムにおいて使用される測定キュベット等の透明物体を同定する、又は透明物体の真偽を試験する方法を提供することである。
【解決手段】 吸収スペクトルを利用して透明物体を同定する、又は透明物体の真偽を試験する方法において、同定される物体は、少なくとも一つのそして好ましくは少なくとも二つの光吸収物質（着色剤）を含有する材料から成る。 （もっと読む）

【課題】連続的に多数の積層コンデンサの内部不良を検査することができる、検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】制御部は、赤外光が照射された積層コンデンサからの反射光を取得するステップ（Ｓ１００）と、分析対象データを平均化処理するステップ（Ｓ５００）と、最大波長側から小さい波長の反射率の極大値をカウントするステップ（Ｓ６００）と、反射率が極大値である波長を特定するステップ（Ｓ７００）と、反射率の極大値の差が最大の波長を特定するステップ（Ｓ１０００）と、特定された極大値に関するデータに基づいて不良品であるか否かを判定するステップ（Ｓ１２００）とを含む、プログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】赤外線サーモグラフィを使用して改善された欠陥検出及び解析を提供する。
【解決手段】信号発生器（３３０）からのテストベクタにより、テスト対象デバイス（３０５）の各部分を加熱して欠陥を識別する際に有用な熱特性を生成する。テストベクタは、欠陥とそれを取り囲む部分との間の熱コントラストを高めるように調節されるので、赤外線（ＩＲ）撮像装置（３１５）は改善されたサーモグラフ画像を取得することができる。ＡＣ及びＤＣテストベクタを組み合わせることにより、電力伝送を最大化して加熱を加速する。改善された画像に数学的変換を適用することにより、欠陥検出及び解析をさらに加速する。欠陥アーチファクトを解析して該当する欠陥の位置を正確に特定する欠陥位置特定アルゴリズムを採用する。 （もっと読む）

【課題】光学補償フィルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送される検査対象フィルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、検査対象フィルム７に光を照射する。検査対象フィルム７からの透過光を受光する受光器１６は、検査対象フィルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフィルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が与えられ、基準線Ｌｎを回転中心として液晶層の遅相軸Ｌｍを基準に回転角度θ２だけ回転してある。撮影レンズ１６ａと、検査対象フィルム７との間に凸レンズ２１を配してあり、撮影レンズ１６ａとともにテレセントリック光学系を構成する。 （もっと読む）

【課題】ムラ検査装置におけるラインセンサカメラの位置調整を容易に行う。
【解決手段】ムラ検査装置は、基板９ａが載置されるとともに移動可能なステージ２１、線状の照明領域に照明光を照射する光照射部３およびラインセンサカメラ４を備え、ラインセンサカメラ４の位置調整時には、基準撮像ライン８０ａの両側に、基準撮像ライン８０ａに向かって漸次幅が減少する暗部である複数の凸状領域を基準撮像ライン８０ａに平行に配列して有するチャート８が基板９ａ上に配置される。ラインセンサカメラ４による撮像ラインが基準撮像ライン８０ａに対して傾斜していたりずれている場合は、ラインセンサカメラ４の出力の輝度分布に幅の異なる、または、幅の広い低輝度部が現れる。これにより、ラインセンサカメラ４の傾きや前後位置のずれを容易に把握することができ、ラインセンサカメラ４の位置調整を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】はんだ検査に使用されるのと同様のカラーハイライト方式の光学系により生成されたカラー画像を用いて、部品電極の浮き不良を検査できるようにする。
【解決手段】カラー画像中で赤、緑、青の各色彩が分布するはんだ付け部位毎に設定された検査領域のうち、部品電極２０の浮き不良の検査が必要な領域を対象に、領域内のカラー画像を濃淡画像に変換し、変換後の画像からエッジを抽出することによって、浮き不良の有無を判別する。画像変換処理では、はんだ部分のカラー画像が濃度のばらつきが小さな濃淡画像に変換されるように設定された輝度変換係数α，β，γをそれぞれＲ，Ｇ，Ｂの各色パラメータに掛け合わせ、各乗算値の総和に基づきグレースケールを決定する。この結果、変換後の濃淡画像に対するエッジ抽出処理では、部品電極２０のエッジ５０は抽出されるが、はんだ部分の元の色彩領域間の境界でエッジが抽出されるのを回避できる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上の凹部内の欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】欠陥検査装置１では、第１照明部３により基板９の検査領域に偏光光が照射され、検査領域からの反射光が第１受光部４の第１分光器４３により受光されて反射光の反射特性を示す位相差スペクトル（すなわち、波長毎のｐ偏光成分とｓ偏光成分との位相差）が制御部７の検査部に送られる。制御部７では、検査対象である欠陥種類に対応して理論計算に基づいて決定された検査波長および閾値が予め記憶部に記憶されており、当該閾値と検査部により位相差スペクトルから求められた検査波長における位相差とに基づいて基板９の検査領域に形成された複数の凹部内の欠陥の集合が検出される。これにより、基板に光を照射して検査を行う通常の欠陥検査装置では検出が困難な基板９上の微小な凹部内の欠陥を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】監視対象物のスペクトル特性、光の偏光特性、時間変化特性に合わせて柔軟に監視画像の撮影条件を変えることで、通常のカラーカメラで観測するよりも識別能力を高めた状態監視、異常監視、異物監視、遠隔監視を行う。
【解決手段】本発明に係る構造物の監視装置１は、構造物である監視対象物３０を監視する装置である。構造物の監視装置１は、監視部２と、操作部３と、を備え、監視部２は、光源部４と、撮影部５と、監視部支持部材６と、を備え、操作部３は、撮影部コントロールユニット７と、システム制御用計算機８と、光源部ドライバ９と、表示装置１０と、入力装置１１と、を備え、光源部４は、光源４Ａを備え、撮影部５は、カメラ５Ａを備え、カメラ５Ａは、レンズ光学系５Ｂと、モノクロ撮像素子５Ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】構造から回折したビームの位相差および振幅を、複数の範囲の波長を有する既知の位相変調器の欠点がない状態で測定可能なスキャトロメータの楕円偏光法の機能を提供する。
【解決手段】本発明は、基板の特性を求めるために、基板から回折したら、別個に偏光した４つのビームを同時に測定することに関する。最大３つの偏光要素を介して、円または楕円偏光源を渡す。これは、光源を０、４５、９０および１３５°偏光する。位相変調器の代わりに、複数の偏光ビームスプリッタを使用するが、４つのビーム全部の強度を測定し、したがって組み合わせたビームの位相変調および振幅を測定して、基板の特徴を提供することができる。 （もっと読む）

本発明は、物品の種々の色および外観の画像をデジタル表示するためのシステムならびにその使用に関する。本発明は、特に、物品の色および外観にマッチングする一つ以上のマッチング処方を選択すべく画像を表示するためのシステムに関する。本発明はさらに、車両の対象コーティングの色および外観にマッチングする一つ以上のマッチング処方を選択すべく画像を表示するためのシステムに関する。
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【課題】照射された照射光をより有効に効率的に使用し、以って小形された被検体についても充分採用可能であって充填液中の異物を検出する。
【解決手段】被検体に向けられた照明光が透過するように設けた照明光屈折手段と、検査用のセンサを備え、照明光屈折手段を通過した検査用センサに向かう照明光路上の照明光の透過光による撮映および照明光屈折手段を通過した検査用センサから外れた照明光路上の照明光の反射光による撮映を行う撮像手段と、撮像手段による撮像画像に基づいて充填液中の異物を検出する検出手段と、を備える。 （もっと読む）