【課題】基板検査装置をコンパクト化すること、好ましくは作業性の良いもにすること。
【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板Ｐを保持し移動させる基板保持機構、基板Ｐを撮像する撮像機構、画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ６３および検査結果を表示する液晶表示パネル４等を共通のベースフレーム１０に組み込み、これらをケーシングＣａにより外側から覆った一体構成を有する。また、基板Ｐの出し入れ口６と基板Ｐの検査部（撮像ユニット５０による基板Ｐの撮像位置）とが前後方向に並び、かつ検査部が出し入れ口６よりも上方に配置される。そして、被検査面が上向きになるように基板Ｐをテーブル３０により保持した状態で、当該テーブル３０を斜め方向に移動させるように基板保持機構が構成されている。 （もっと読む）

【課題】検査時と欠陥除去時との間で印刷物の形態が変化した場合であっても、作業負担を増大させることなく検査結果に基づいて欠陥箇所の探索を行うことを可能とする印刷物検査システム等を提供する。
【解決手段】印刷物検査システム１は、検査装置２及び欠陥除去装置２０及び制御部３０を備える。検査装置２は、印刷物１０の側端部に所定間隔でマーク１３をマーキングする。検査装置２は、印刷物１０を撮像して検査画像を取得し、検査画像に基づいて欠陥を検出し、検査結果として欠陥検出位置を保持する。欠陥除去装置２０は、欠陥検出位置とマーク１３が示す位置とが一致する位置で印刷物１０の走行を停止させ、欠陥を含む除去領域の切断及び貼り合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】低いコストで基板の識別コードの認識精度を向上できるようにする。
【解決手段】検査対象の基板の搬入時に、その基板の識別コードがエンコードされた２次元コードを読み取る処理に失敗したとき、その読取に使用された画像を表示パネルに表示する。また同じ画面上に、２次元コードの再読取処理の方法について、３つの選択肢を表示して、ユーザーの選択を受け付ける。選択肢のうち「画像修正」が選択された場合は、表示された画像を修正する操作を受け付け、修正後の画像を用いて検査装置内で再度の読取処理を実行する。一方、「画像を読み取り」または「実物を読み取り」が選択された場合には、装置に接続された２次元コードリーダからのコード入力を受け付け、入力されたコードを基板の識別データとして認識する。 （もっと読む）

【課題】複数の基板検査装置を少ないスペースにコンパクトに配置できるようにする。
【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板Ｐを保持し移動させる基板保持機構、基板Ｐを撮像する撮像機構、画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ６３および検査結果を表示する液晶表示パネル４等を共通のベースフレーム１０に組み込み、これらをケーシングＣａにより外側から覆った一体構成を有する。また、検査装置１に対して作業者が立つ側を装置前側としたときに、検査装置１のうち前側部分２Ｂの幅が装置後側から前側に向かって先細りに構成されている。 （もっと読む）

【課題】同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止する。
【解決手段】基板Ｐを検査する検査ユニット５０と、この検査ユニット５０に手動で基板Ｐを供給可能な基板供給ユニット２４と、上記基板Ｐの検査結果を含んだ所定の情報を表示する液晶モニタ４とを備えた基板の検査装置１において、上記基板Ｐに付与される識別情報を認識するカメラ５２と、このカメラ５２を通じて取得された識別情報に基づいて上記基板Ｐの検査履歴を確認するとともに、その基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、上記液晶モニタ４にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作の実行を禁止するように制御するコントロールユニット６０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】装置をコンパクト化し、複数の装置を使用する場合にもより少ないスペースに設置できるようにする。
【解決手段】基板検査装置１は、プリント基板Ｐを保持し移動させる基板保持機構、基板Ｐを撮像する撮像機構、画像データに基づいて良否判定を行うコントローラ６３および検査結果を表示する液晶表示パネル４等を共通のベースフレーム１０に組み込み、これらをケーシングＣａにより外側から覆った一体構成を有する。また、基板Ｐの出し入れ口６と基板Ｐの検査部（撮像ユニット５０による基板Ｐの撮像位置）とが前後方向に並び、かつこれら出し入れ口６と検査位置との略中間部分に液晶表示パネル４が装置前側に指向する状態で配置されている。 （もっと読む）

【課題】効率的に被検査物をＸ線検査する。
【解決手段】テープ２２を光学的に検査し、光学的な検査で欠陥があると判断された場合に、欠陥が金属の異物の付着であるか否かの確認（ベリファイ）のためにＸ線撮影を行う。光学的な検査、及びＸ線による検査を自動で行うことで、検査員を必要とせず、欠陥が金属異物の付着であるか否かを判断でき、効率的にテープ２２の検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を並行して検査することが可能で、しかもより作業性に優れた基板の検査システムを提供する。
【解決手段】基板Ｐを検査する複数の検査機１，１’・・と、この複数の検査機１，１’・・に対して共通に設けられた目視判定機（兼検査機）１とを備えた基板の検査システム１０において、上記目視判定機１は、上記複数の検査機１，１’・・によりそれぞれ不良品と判定された基板Ｐの画像を集中的に表示する表示手段（４）と、この表示手段（４）に表示された画像に基づいて基板Ｐの目視判定を行う作業者がその判定結果を入力するための入力手段（４）とを有する。そして、上記検査機１，１’・・は、上記目視判定機１での判定結果を読み出してその結果に応じた所定の動作を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で効率よく基板の外観検査を行う。
【解決手段】カメラ５２により撮像された基板Ｐの撮像画像を、記憶部６１に記憶された基準画像データと比較して基板の良否を判定する処理をコントロールユニット６０に実行させ、ここで基板Ｐが不良品と判定されたときに、液晶モニタ４に基板Ｐの画像を表示して作業者に基板Ｐを目視判定させ、この目視判定において基板Ｐが良品と判定された場合に、その良品と判定された基板Ｐの撮像画像を上記基準画像データとして記憶部６１に追加記憶させる。 （もっと読む）

【課題】粒子などのフィラーが存在するフィルムの中から、迅速かつ高精度な欠陥検査を可能にし、該欠陥検査の情報を記録若しくは添付したフィルム状製品を提供することにある。
【解決手段】光学的特性が異なる粒子などのフィラーが存在するフィルム状検査対象に対して、斜方照明と落射照明の２系統の検出光学系を備え、照明光の照射角および照明光の波長を選択することで、撮像される画像から欠陥とフィルム中に存在するフィラーの濃淡度の相違を検出し、これに基づいて欠陥を弁別し、さらに欠陥種、大きさ、欠陥の検出座標を検査結果として記録若しくは添付することで、フィルム状製品の品質管理を改善して付加価値を高める。 （もっと読む）

【課題】 シーツのような大面積布片では、汚れや破れ等の欠陥部を捜し出すのが非常に面倒であるが、従来の欠陥布片検出装置には、大面積布片に欠陥部位置の指標となるマーキングを付設し得るものはなかった。
【解決手段】 監視カメラ３で展張布片Ｓの欠陥部Ａを検出するようにした欠陥布片検出装置において、監視カメラ３によるライン監視位置Ｎより搬送方向下手側の所定位置に、搬送されてくる展張布片Ｓの側縁部Ｓａ付近にマーキングできるマーカー４を設置しているとともに、コントローラ９からの信号で展張布片Ｓの欠陥部存在ラインＬがマーカー４によるマーキング位置まで移動するタイミングに合わせてマーカー４を作動させて欠陥部存在ラインＬの布片側縁部Ｓａ付近にマーキングし得るように構成している。 （もっと読む）

【課題】検査者の目視による外観検査を効率的に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査制御装置７の制御部は、基板１上の、光照射部４により光が照射されている位置を検出し、ステージ２上の座標とマップ上の座標の所定の対応関係に基づいて、レーザ光のスポットの位置に対応したマップ上のセルを識別する。続いて、制御部は、セルの良否判定の結果の情報をセルの位置と関連付けて、検査結果の情報として記憶部に格納する。 （もっと読む）

【課題】基板検査を行う際に、欠陥の位置を確実に特定できるようにする。
【解決手段】基板検査装置１は、照明装置３から照明光をガラス基板Ｗに照射して観察者が目視で欠陥の有無を検査するように構成されており、ガラス基板Ｗの観察面に画像を投影可能なプロジェクタ１５が取り付けられている。プロジェクタ１５は、制御装置１２に接続されており、制御装置１２は、欠陥の位置を示すポインタを作成し、プロジェクタ１５から投影させる。また、ポインタの種類や大きさは、操作部２６によって選択できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】目的とする欠陥を高感度に抽出できる半導体欠陥検査システムおよび欠陥検査方法を提供する
【解決手段】欠陥検査装置１において取得された画像と、設計データあるいはレチクル検査から取得されるレイアウトデータとを重ね合わせた画像を画像処理手段２１が生成する。ユーザは、当該重ね合わせ画像に基づいて、欠陥検査領域および検出感度を検査条件設定装置にて指定する。欠陥検査装置１は当該検査条件に基づいて欠陥検査を行う。従来のように数種類のパターンを含む欠陥検査領域を指定するのではなく、パターンそのもの毎に合わせて検出感度を変化させることができるため、擬似欠陥の検出量を低減できるとともに目的とする欠陥に対する検出感度を高くできる。 （もっと読む）

【課題】目視による検査を行う場合においても、短時間で検査を行うことのでき、しかも、目視によって正確に検査することのできる目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】自動検査装置２によって検査されたプリント基板４を目視で検査する目視検査装置３において、自動検査装置２で撮影された不良箇所の画像とその不良箇所を示すデータを読み出してディスプレイ３４に表示させる。そして、自動検査装置２で撮影された画像によって目視判断できない場合には、HOMEキーを受け付けて、別途新たに第二カメラ３２を用いてプリント基板４の画像を撮影する。そして、その際、基準となるプリント基板４の画像を第三の表示領域３４３に表示させるとともに、リストで選択された不良箇所にマーキングＭを施して表示する。そして、この第三の表示領域３４３に表示された画像に基づいて最終的な目視判断を行う。 （もっと読む）

【課題】測定時間が増えたり、検査装置が大型化・高コスト化したりすることなく配線パターンの良否を適正に検出できるようにする。
【解決手段】ＴＡＢテープＴの裏面側に鏡面仕上げのドラム３２を配設して表面側から照明光を照射すれば、光透過性絶縁フィルム６０部分では透過した光がドラム３２で反射され間接透過光となって光透過性絶縁フィルム６０を透過して表面側に戻ることから、反射法が主となり、透過法が従となるように、ＴＡＢテープＴの裏面側にドラム３２を配設して表面側から照明光を照射し表面側で検査箇所Ｄの配線パターン像を撮像することで、反射法による利点を活かした配線パターン６１の良否判定を可能にし、かつ、反射法では検出困難な光透過性絶縁フィルム６０上での短絡系の欠陥は間接透過光を利用することで光透過性絶縁フィルム６０よりも暗い暗欠陥として同時に検出できるようにした。 （もっと読む）

複合アイテムの製造中に基体に与えられるコース材料は視覚アセンブリを含んだシステムにより検査される。視覚アセンブリは面照明光源、照射線発生器、センサ、および画像プロセッサを含んでいる。面照明光源はコース材料の領域を照射する。照射線発生器はその領域を横切って照射線を発生する。センサは領域の画像を捕捉する。画像プロセッサは画像を解析する。画像プロセッサは付勢されている面照明光源に応答してコース材料上の塵埃を識別するように構成され、画像プロセッサは付勢される照射線発生器に応答して配置の異常を識別するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、炭素繊維布帛の欠点を簡便、かつ、高精度で、信頼性高く検査できる炭素繊維布帛の検査装置および検査方法を提案すること。
【解決手段】
本発明の炭素繊維布帛の検査装置は、炭素繊維布帛を移動させる送出装置と巻取装置と、それらの間に設置する、少なくとも次の（ａ）〜（ｈ）の手段を備えることを特徴とする炭素繊維布帛の布帛欠点の位置および種類を検出する検査装置である。
（ａ）照明手段
（ｂ）画像取得手段
（ｃ）遮光手段
（ｄ）撮像した取得画像を数値化した布帛情報に処理する画像処理手段
（ｅ）炭素繊維布帛形態を数値化した布帛情報を予め基準情報として登録しておく記憶手段
（ｆ）布帛情報と基準情報とを比較して、布帛欠点の在否、および、欠点の位置ならびに種類を判別する判別手段
（ｇ）出力手段
（ｈ）炭素繊維布帛の移動量または前記画像取得手段の移動量を検出する移動量検出手段 （もっと読む）

【課題】ウエハやマスク、レチクルなどの回路パターンの欠陥、すなわち、線状、穴状などの形状の細り、欠け、形成不良、異物等を検査する回路パターンの検査装置の画面機能を改良して、使い勝手をよくし、検査システム全体として早期の欠陥の発見とその原因究明、早期対策による半導体装置の製造歩留り向上を実現できる回路パターンの検査装置、検査システム、および検査方法を提供する。
【解決手段】回路パターンの検査装置を、別の装置から送信された画像信号を表示する構成とする。また、回路パターンの検査システムは、マップに欠陥を表示するモニタを備えた電子線外観検査装置とこの欠陥の画像を記憶した外部外観検査装置とを備え、モニタにマップと欠陥の画像とを同時に表示する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 プロジェクション処理（信号ノイズの低減）を行う場合でも、画像から選択した直線部の傾きやコントラストの不均一に影響されず、正確に重ね合わせずれ量を求める。
【解決手段】 基板１１の異なる層に形成された第１マークと第２マークの画像を取り込む手段２６と、第１マークの第１直線部から生成した第１信号波形と、第２マークの第２直線部から生成した第２信号波形とを用いて、第１マークと第２マークとの重ね合わせずれ量を求める手段２７とを備える。そして、少なくとも一方の信号波形を生成する際に、直線部の異なる複数の箇所で、それぞれ、該直線部を測定方向に横切ったときの明暗変化を抽出し、該明暗変化のコントラストを互いに揃えた後、該明暗変化を測定方向と垂直な方向に積算する。 （もっと読む）