【課題】一時的に発生する測定画像の偽像を排除できるパターン検査を行うこと。
【解決手段】試料のパターンを測定して測定画像を生成する測定画像生成部と、測定画像の隣接する画素の差分値を求める測定画像画素差算出部と、測定画像と基準画像とを比較する比較部と、を備え、測定画像の隣接する画素の差分値が所定値を超える場合、該画素を含む領域のパターンの測定を再度行う、試料検査装置、又は、試料のパターンを測定して測定画像を生成する測定画像生成部と、測定画像と基準画像の差画像を求め、差画像の隣接する画素の差分値を求める差画像画素差算出部と、測定画像と基準画像とを比較する比較部と、を備え、差画像の隣接する画素の差分値が所定値を超えた場合、該画素を含む領域のパターンの測定を再度行う、試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】計測流路に流すガスを整流する整流板の検査に関し、整流板の歪みを非接触で検査でき、検査の容易化とともにその検査精度を高めることにある。
【解決手段】計測流路（６）に流すガス（Ｇ）を整流する整流板（１６）を備える超音波ガスメーター部品（整流ユニット４）の検査方法及びその装置であって、整流板（１６）に照射光（３０、レーザー光５８）を当て、又は、整流板にテストパターン（４０）を投影し、整流板から得られる反射光（３２、レーザー反射光６０）やテストパターン写像（４２、基準パターン写像４４）を取得し、これら反射光（３２、レーザー反射光６０）やテストパターン写像に現れる歪み情報を用いて整流板（１６）の良否判定を行う。整流板（１６）の歪みを非接触で検査でき、検査の容易化とともにその検査精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 デバイスの製造中に、リソグラフィ技術、およびレンズの開口数が高い瞳面で角度分解スペクトルの測定を使用して、オーバレイおよび格子形状パラメータを測定する方法を提供すること。
【解決手段】 レンズの開口数が高い瞳面にて、放射線が基板で反射した結果としての角度分解スペクトルを測定することによって、基板の特性を求める装置および方法である。特性は、角度および波長に依存し、ＴＭおよびＴＥ偏光の強度、およびその相対的位相差を含む。 （もっと読む）

【目的】検査対象試料の被検査パターン画像を適切に検査するために、検査基準パターンの画像を適切に補正した補正画像を生成する装置及びその方法を提供する。
【構成】パターン検査用の補正パターン画像生成装置であって、アシストパターン画像と、被検査パターン画像とを合成してアシストパターン付き被検査パターン画像を生成する第１のパターン合成部と、アシストパターンシフト処理部と、シフトさせたアシストパターン画像と検査基準パターン画像とを合成してアシストパターン付き検査基準パターン画像を生成する第２のパターン合成部と、アシストパターン付き被検査パターン画像と、アシストパターン付き検査基準パターン画像を用いて位置シフトモデルを生成するモデル生成部と、検査基準パターン画像の補正を行う補正パターン画像演算部とを備えたことを特徴とする補正パターン画像生成装置。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の崩れを精度よく検出可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ステージ２０を用いて設定した複数の設定角度において、照明系３０が繰り返しパターンを有するウェハ１０の表面に直線偏光を照射するとともに、受光系４０がウェハ１０からの正反射光のうち直線偏光と振動方向が略直角な偏光成分を検出し、画像処理部５０は、複数の前記設定角度毎に検出された偏光成分の光量と設定角度との相関から、パターン形状の崩れを検出するようになっている。 （もっと読む）

【課題】ウェハにおける大規模な欠陥を容易に検出可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、ウェハ１０の表面に照明光を照射する照明光学系２０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面を撮像する撮像光学系３０と、撮像光学系３０により撮像されたウェハ１０の画像に対し解像度を下げる画像処理を行うとともに、ウェハ１０における欠陥の有無を検査する画像処理部４１と、画像処理部４１により解像度を下げたウェハ１０の画像を表示する画像表示装置４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークの外周検査を、カメラの使用数を最小限にして行なえるようにして検査装置のコストを抑えること、及び、カメラをワークの側方に配置する要求に応えて回転テーブルを用いた搬送装置との組み合わせも可能にすることを課題としている。
【解決手段】ワーク２０を送り込む検査部Ｂと、その検査部Ｂにワークを側方から見るように配置されるカメラ１１_−１，１１_−２と、各カメラに付属させるプリズム１２_−１〜１２_−３を備えさせ、２台のカメラで、ワーク２０を直視した画像とプリズムを介した画像（複数方向からの画像）を撮像し、得られた画像を画像処理装置に送って処理し、処理後のデータに基づいてワーク外周の良否を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 印刷物製造時に、印刷や箔等を重ねる際のわずかな位置ずれを用いて簡易的な情報を付与することで、あらたな設備を増設することなく検査、品質管理及び真偽判別が確実にできる印刷物、該印刷物の品質管理方法及び真偽判別方法を提供する。
【解決手段】 基材上の一方の面に設けられた箔押し領域に所定の図柄が形成され、形成された所定の図柄上に重ねて又は基材の他方の面に、箔押し領域の位置と同じ位置になるように、金属蒸着部の一部が透明又は穴が空いた非蒸着部となっている箔が貼付され、所定の図柄と、箔の金属蒸着部の一部が透明又は穴が空いた非蒸着部となっている部分が同じ位置に配置されていることを特徴とする印刷物である。 （もっと読む）

【課題】位置合わせミスによる擬似欠陥の発生を抑制し、効率の良い検査を行うこと。
【解決手段】試料のパターンを測定して測定画像を生成する測定画像生成部と、測定画像と基準画像とを比較して差異が閾値を超えたら欠陥と判定する比較部とを備える、試料検査装置において、測定画像と基準画像の一定エリアのエリア画像を切り出し、エリア画像同士の位置ずれ量を測定し、エリア画像同士の位置ずれ量の信頼度を示す信頼度情報を求める位置ずれ測定部と、信頼度情報と位置ずれ量を利用してエリア画像同士の位置合わせを行う位置合わせ部と、を備える試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】凹凸を備えた３次元形状の被検査体を正確に検査できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る外観検査装置１０は、３次元形状の被検査体としてのワーク２０を画像化する１次元画像化部１１と、被検査体２０から出射した光を入射し、入射した光を収束させるように出射する第１レンズ１２と、第１レンズ１２と１次元画像化部１１との間に配置され、第１レンズ１２からの光を結像する第２レンズ１４と、を備えており、被検査体２０から出て第１レンズ１２に入射する光束の主光線が、第１レンズ１２の光軸に対して平行であり、１次元画像化部１１は、被検査体２０からの上記主光線を含む出射光を、第１レンズ１２及び第２レンズ１４を介して入射して画像化する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、広視野を暗視野照明を使って低解像度で検査し、その形状の合否判定が難しい小さな異物に関しては、狭視野を明視野光源を使って高解像度に再検査を実行することで、デバイスのセンサー表面や保護ガラス面の異物を高速に検出することができるデバイス外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となるデバイス１００のガラス面／センサー面を暗照明及び明照明で照明して所定の倍率で撮像した基準画像を作成し、基準画像と検査対象となるデバイス１００を同一の条件で撮像した検査画像から差分画像を作成し、差分画像の予め設定されたマスク範囲にある異物の位置及び面積を含む異物一覧情報を保存し、予め設定された閾値等により異物の判定を行う。保存された異物一覧情報に基づいて、所定の第一の撮像条件で撮像し、異物の面積が予め設定された閾値等に合えば、異物の位置で第一の撮像条件とは異なる第二の撮像条件で撮像し、新たに作成した差分画像を検査して異物に関する情報を更新する。 （もっと読む）

【課題】
従来、印刷物を検査するということは、被印刷物の媒体(紙・フィルム等)が温度・湿度の影響や、印刷時の転写圧力(印圧)によって図柄の寸法が変動する要素があり、更に搬送中の印刷物を撮像するには、一枚毎の枚葉紙では静電気や空気抵抗、重力によるバタツキが発生し、クリアな画像を得るためにバタツキを抑制するためのエアー吹き付けや、ブラシの設置を行う必要があった。
【解決手段】
本発明では、印刷機上にて瞬時に印刷物の全数の欠点を検出し、更に撮像画像の安定化として、印刷直前の版面の状態を検査することによって、印刷図柄が被印刷物に転写される前に欠点を検出することが出来、安定した画像を撮像することを提供する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、印刷機、プリンタ等で印刷された印刷物、パネル等の物品の欠陥を検査する被検査物の検査方法及びその検査装置に関するものである。
【解決手段】 入力手段により、被検査物の関心領域の関心領域画像データを入力し、基材除去検査画像作成手段によって、関心領域画像データにと、あらかじめ記憶手段に記憶された基材データを比較し、基材の画像データが除去された関心領域画像データを生成し、統計値演算手段によって、基材の画像データが除去された関心領域画像データのヒストグラムを求め、ヒストグラムから特徴数値を算出し、検査判定手段によって、得られた特徴数値と、あらかじめ記憶手段に記憶された判定データと比較して判定する被検査物の検査方法及びその検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 被検物の検査において、良品／不良品の選別の工数を低減すること。
【解決手段】 被検物からの反射光に基づいて、被検物を一括的に撮像する第１撮像部を備え、撮像部により第１の被検物画像を取得する第１取得部と、第１の被検物画像と、予め記憶された第１の参照画像とを比較する第１比較部と、第１比較部による比較結果に基づいて、第１の被検物画像中の欠陥候補領域を検出する検出部と、欠陥候補領域に相当する第２の被検物画像を取得する第２取得部と、第２の被検物画像と、予め記憶された第２の参照画像のうち、欠陥候補領域に相当する領域の第２の参照画像とを比較する第２比較部と、第２比較部による比較結果に基づいて、欠陥候補領域が欠陥領域であるか否かを判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】樹脂成型品に生じるウェルドラインを明瞭に検出することのできるウェルドラインの検査装置および検査方法を提供する。また、樹脂成型品を効率的かつ高品質に製造する製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂内部まで透過する光を出射可能な光源と、光源から被検査物に照射される光を偏光させる偏光子と、被検査物からの反射光のうち所定の偏光状態の光のみを通過させる検光子と、この検光子を介した被検査物の反射光を受けて撮像を行うとともに焦点位置を被検査物の内部まで移動可能にされた撮像部と、前記撮像部により得られた撮像データから被検査物にあるウェルドラインの分析を行う分析部とを備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】容器を正確に品質検査することができる容器検査方法及び容器検査装置を提供する。
【解決手段】容器検査装置は、容器を連続的に並進させて搬送する搬送手段と、外観に網目状の投影を形成する光源と、容器外観の網目状投影の画像を取得する撮像手段と、網目状画像から網目形状データを得る画像処理手段と、網目形状データによって、容器の良否を判定する判定手段と、判定手段からの出力に基づいて容器から不良品を排出する排出手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】表面形態を含む組織の如何なる箇所にある欠陥も高い検出率で検査できる透光性物品の欠陥検査装置及び該装置を用いる透光性物品の欠陥検査方法を提供しようとすることを目的とする。
【解決手段】照明のある環境下に、透光性物品の組織における欠陥を検査するための装置において、前記透光性物品を置くべき箇所の後方に、標準画像のついている標準画像ユニットが設置されており、それにより、前記透光性物品を通してみた画像の前記標準画像との差異から、該透光性物品の組織に欠陥がある箇所を探し出すことができることを特徴とする透光性物品の欠陥検査装置、及び該欠陥検査装置を利用できる欠陥検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】印刷物の検査データを管理すると共に、印刷物の検査状況に応じて良否判定基準を設定できる検査群データ管理システムを提供することを目的とする。
【解決手段】印刷物の被検査面画像とマスタ画像とを比較して誤差を検出し、
検出された誤差画像と当該誤差画像の誤差値とを対応させて誤差データと、複数の誤差データを含む検査群データとを構成し、検査群データを識別する検査群識別情報を当該検査群データに対応させて記録し、選択対象の検査群の検査群識別情報に一致する検査群データを、複数の検査群データの中から選択し、良判定として許容される良否基準を設定し、選択された検査群データの各誤差データと良否基準とに基づいて印刷物の良否を判定し、記録する。 （もっと読む）

【課題】読取装置の光学系の空間周波数特性以外にも記録媒体の種類やインクの特性に依存して空間周波数特性が変化しても検査精度を保つこと。
【解決手段】印刷基準データに基づいて記録部６により記録媒体１に記録を行い、この記録媒体１に記録された画像を画像取得部７により撮像して検査画像データを取得し、印刷基準データと検査画像データとを比較検査部２０により照合して記録不良を検査する場合、補正データ演算部１７により印刷基準データと検査画像データとに基づいて色調整係数とフィルタ係数とから成る補正データを取得し、色調整部１８及びフィルタ処理部１９により印刷基準データを色調整係数とフィルタ係数とに基づいて補正し、この補正された補正印刷基準データと検査画像データとを比較・照合する。 （もっと読む）

【課題】速度にムラのある搬送機構とラインカメラを用いて、周期パターンの欠陥を検出する。
【解決手段】赤、緑、青の蛍光体が塗布されているガラス基板に所定の波長の光源から光を照射する手段と、照射された光にてガラス基板に塗布された赤、緑、青の蛍光体が発光する光に応じた波長帯域の干渉フィルタを具備したラインセンサカメラにより蛍光体からの発光を取り込む手段と、ガラス基板を搬送する機構の搬送スピードに同期して上記ラインセンサカメラの露光時間を自動制御する手段と、搬送速度を変更しても一定の蛍光体発光を取り込んでデータをブロック化する手段と、検出したエッジ位置から差分処理する範囲及びピッチを自動変更する手段とを備えて、輝度ムラや位置ずれに応じた差分検出を行う。。 （もっと読む）