【課題】簡易な構成で的確に表面の欠陥を検査する表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体Ｗの加工された被検査面Ｗｆに拡散光を照射する面状の照明装置２と、照明装置２から照射された光のうち被検査面Ｗｆの平坦面で正反射した光を受光しない位置に設置された被検査面Ｗｆを撮影するカメラ３と、カメラ３により撮影された画像を取得する画像取得部と、画像に基づいて被検査体の欠陥の有無を判定する欠陥判定部を備えた。 （もっと読む）

【課題】シリンダブロックのスプール孔検査を自動化するに当って、ランド部のうち、方向切換弁としての性能に関係のない部位に凹部が存在している場合に、それを欠陥として認識するのを防止することにより、良否の判定精度が向上する。
【解決手段】検査用プローブ２０を用いて、シリンダブロック１のスプール孔２の表面検査を行うに当たって、ランド部１０と鋳溝部１１との間に設けられるリセス加工部１２の位置を基準位置とし、この基準位置から各ランド部１０までの実測距離とに基づいて、ランド部１０に検査領域ＲＤを設定して、欠陥箇所が検査領域ＲＤ以外の非検査領域ＮＤにある場合には、良品と判定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の位置決めの装置を用いずに，また多量のテンプレートを用いたマッチング処理を行わずに，精度の高い外観検査を実現する。
【解決手段】外観検査制御装置１０において，テンプレート情報記憶部１１には，正規化用リファレンス画像と，検査用リファレンス画像とがあらかじめ登録されている。検査対象画像正規化部１５は，第１段階で，低解像度の検査対象画像と，低解像度の正規化用リファレンス画像とのマッチング結果に基づいて，検査対象画像を正規化する。検査対象画像正規化部１５は，第２段階で，第１段階で正規化された検査対象画像と，本来の解像度の正規化用リファレンス画像とのマッチング結果に基づいて，第１段階で正規化された検査対象画像をさらに正規化する。検査部１６は，２段階に正規化された検査対象画像に対して，検査用リファレンス画像を用いた検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プリンタ基板からの反射光を取り込んだ画像データを用いて正確な良否判定を行うことができ、良否判定の基準となる基準データの作成を短時間で行うことができるはんだ付け外観検査装置およびはんだ付け外観検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 投影データ作成部１２は、パット４と接続端子２１とのはんだ付け部の画像データをパット４の幅方向に投影処理した検査対象投影データを作成し、演算部１４は、検査対象投影データと基準投影データ記憶部１３に記憶されている基準投影データとを比較し、判定部１５は、検査対象投影データと基準投影データとの比較結果に基づいてはんだ付け状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】被検査画像の良否を精度よく、かつ効率的に検査することができる画像検査方法及び画像検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査画像を分割した被検査分割画像ごとのマハラノビス距離が基準空間の第二の基準値よりも大きい場合には（Ｓ４６：ＹＥＳ）被検査画像を不良と判定し（Ｓ５４）、第一の基準値よりも小さければ（Ｓ４７：ＮＯ）被検査画像を良と判定する（Ｓ５３）。信号空間のマハラノビス距離が、第二の基準値よりも小さいが第一の基準値よりも大きい場合には（Ｓ４７：ＹＥＳ）、その検査分割画像を暫定不良と判定し、その検査分割画像を更に分割して、再度信号空間を作成して、再度良否判定を行う（Ｓ４９〜Ｓ５２）。そして、新たに暫定不良を判定された場合には、良又は不良と確定できるまで、Ｓ４８〜Ｓ５２の処理を繰り返し実行する。 （もっと読む）

【課題】ジェットエンジンにおける観察中のブレードの位置の把握が容易になる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像とテンプレート画像とを比較する。さらに、ＣＰＵ３４ｃは、ブレード画像の中から、画像比較の結果に基づいて一部のブレード画像を選択する。モニタ２２は、選択されたブレード画像を表示すると共に、当該ブレード画像に対応するブレードの位置を示す情報を表示する。 （もっと読む）

【課題】判定サイズの再設定作業を行うこと無く、判定サイズの設定を自動的に行うことが可能な欠陥検査装置における判定条件設定方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】フラットパネル表示装置に用いられるカラーフィルタの欠陥を検出するための判定条件設定方法であって、カラーフィルタ基板に設けられた判定サイズ調整パターンを撮像部で撮像し、撮像された判定サイズ調整パターンを二値化し、判定サイズ調整パターンの実サイズと、二値化された調整パターンの撮像部のピクセル数との間の散布図による近似直線より、判定サイズの設定を行うことを特徴とする判定条件設定方法。 （もっと読む）

【課題】異物の粒径を検査面の全領域に亙ってより正確に求める。
【解決手段】異物検査装置は、被検物の表面に光を投光する投光器と、前記投光器によって前記表面に投光された光の散乱光の強度を前記表面の２次元座標と関係付けて検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいて前記表面に存在する異物の粒径を決定する処理部とを備える。前記検出器により検出された散乱光の強度と異物の粒径との関係は前記表面の２次元座標に応じて異なっている。前記処理部は、前記検出器によって検出された異物の２次元座標に応じて、前記検出器により検出された散乱光の強度を異物の粒径に変換するための変換カーブを決定し、前記決定された変換カーブを用いて、前記検出器により検出された散乱光の強度を異物の粒径に変換する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの着色画素であるＲＧＢ画素の露光位置ずれを検査するカラーフィルタ基板検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ製造工程においてレッド、グリーン、ブルーの着色画素を露光、現像しパターンを形成する際に、露光の位置ずれによって起こる着色画素のずれを検査するカラーフィルタ基板検査装置であって、カラーフィルタ基板を搬送する搬送手段と、透過照明する照明手段と、照明されたカラーフィルタ基板を撮像する撮像手段と、着色画素の位置ずれのない基準画像と撮像した検査画像を用いて画像全体処理とプロジェクション比較処理と平均明度処理を行って着色画素の位置ずれを判定処理する画像比較処理手段と、撮像した撮像画像の近接した同一パターンを比較処理して外観検査する外観検査手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ基板検査装置。 （もっと読む）

【課題】修正すべきパターン箇所を容易に判別可能な情報を出力する機能を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】設計パターンデータの抽出は、欠陥一つ毎に、制御計算機１１０が欠陥座標を包含するＸ、Ｙそれぞれの所定範囲を算出し、次いで、第１の磁気ディスク装置１０９ａから読み出した設計パターンデータから、所定範囲内に原点が存在するクラスタまたはセルデータを抽出して出力ファイルを作成する。出力ファイルは、入力した設計パターンデータと同一フォーマット、または、汎用性の高いＯＡＳＩＳフォーマットデータに変換して第２の磁気ディスク装置１０９ｂに出力する。この欠陥の検出された箇所のみのパターンデータは、検査装置１００から外部装置に出力可能である。 （もっと読む）

【課題】設置面積を小さくすることができるとともに検査対象物を落下させて回収する場合であっても、すでに積層されている検査対象物に傷をつけないようにする。
【解決手段】プリント基板５を検査し、検査の終了したプリント基板５を落下させて回収する回収部４を備えた自動検査装置１において、平面状のプリント基板５を保持させた状態で第一の傾斜角度αで搬送させる搬送機構２と、検査部３で検査が終了したプリント基板５に対して、前記プリント基板５の保持状態を解除し、プリント基板５を傾斜させた状態で落下させる解除機構と、当該落下させたプリント基板５の下端部５１を当接させる当接部材４１と、当該下端部５１の当接したプリント基板５を第二の傾斜角度βで傾斜させて積層する積層部材４２を備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査に要する手間やコストを低減する上で有利な外観検査装置を提供する。
【解決手段】デジタルカメラ１８の撮像光学系の色収差が補正されたプリント配線基板４の色収差補正カラー画像データＤｃ２を生成する。この色収差補正カラー画像データＤｃ２と座標位置が一致するように生成した検査用データＤＢを色収差補正カラー画像データＤｃ２と照合してプリント配線基板４の外観検査を行う。プリント配線基板４の外観検査は、例えば、電子部品２の位置ずれの大きさを検出することで、あるいは、電子部品２の欠品を検出することでなされる。 （もっと読む）

【課題】欠陥判定処理を容易にすることができ、また、汎用性の高いシミュレータと連動して欠陥判定処理を行うことのできる検査装置を提供する。
【解決手段】制御計算機１１０の動作設定画面でリソグラフィ・シミュレータの情報を設定して検査装置１００の校正を行った後、フォトマスク１０１の全面を検査する。検査で欠陥とされた箇所の座標は、ＸＭＬファイルに変換される。検査モードがダイ−トゥ−データベースのときには、検査装置１００で参照データの生成に利用しているデータベースのパターンデータを制御計算機１１０で読み込み、汎用性の高いＯＡＳＩＳフォーマットデータに変換する。検査装置１００で撮像された光学画像はビットマップに変換される。これらのデータは、検査装置１００の校正に使用した画像のデータやシミュレーションの動作条件とともに、リソグラフィ・シミュレータに転送される。 （もっと読む）

【課題】光学画像の歪みを最小限にして、高い検査精度を実現可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００において、光源１からマスク２２に照射された光は、マスク２２を透過した後、レンズ４を介しミラー２５で反射してラインセンサ５に結像する。ステージ２の位置はレーザ側長システム７ａで測定され、拡大光学系２００の位置はレーザ側長システム７ｂで測定される。得られたステージ２の位置と拡大光学系２００の位置との差分に基づき、ミラー制御部２６によってミラー２５の角度が制御される。また、これらの差分に基づき、ステージ制御部１５によってステージ２の移動速度が制御される。 （もっと読む）

【課題】ブレードを撮像した画像におけるブレードの領域を検出することができる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像から、テンプレート画像に対して所定のフレーム数だけ離れた参照画像を抽出する。ＣＰＵ３４ｃは、テンプレート画像と参照画像との差分を抽出し、その差分に基づいてブレード領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で一律の安定した精度で測定することができる操作性に優れた分岐器検査装置を提供する。
【解決手段】軌道上を走行可能な台車２１と、台車２１の走行距離を測定する距離センサ２５と、測定対象物の形状を測定するレーザ式変位センサ２９と、レーザ式変位センサ２９を測定対象側レール１１の軌間測定点Ｐの鉛直線上に常に位置させるスライドガイド２７と、測定制御装置４０とを有する。測定制御装置４０は各測定位置情報、測定情報を記憶する基本データ記憶部、測定データ記憶部、入力部、表示部及び制御部を備える。制御部は台車２１の走行距離が測定位置情報に一致した時に測定情報、走行距離を表示部に表示させ、入力部からの入力によりレーザ式変位センサ２９を作動させて測定を行わせ、測定データを表示部に表示させると共に測定データ記憶部に格納する。 （もっと読む）

【課題】面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する。
【解決手段】被検査面（１０）上に放射線を照射する工程と、面（１０）上に照射され、面（１０）で反射した放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、記録画像の位置分解評価および画像を特徴付ける少なくとも１つの値（Ｋ）の決定を行う工程と、を含む肌理のある面（１０）の光学的検査のための方法であって、面を特徴付けるパラメータ（Ｇ）は、特徴値（Ｋ）を使用しながらおよび面の（既知または決定された）少なくとも１つのさらなる特性（Ｅ）を使用しながらに決定されることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面の表示方法について改良を行う。
【解決手段】対象物の表面を表示する方法として、対象物の表面の実測３Ｄデータ（７）が求められる。次に、対象物の表面の所期３Ｄデータ（５）が実測３Ｄデータ（７）を基にして修正される。そして、対象物の表面の所期３Ｄデータ（５）と修正された所期３Ｄデータ（５）が３Ｄ表示用データとして使われる。 （もっと読む）

【課題】 記録装置における画像劣化を好適に検出する。
【解決手段】 撮像部301は、所定の速度で移動する媒体205上に形成された画像を所定の露光パターンによって撮像する。補正パラメータ算出部304は、媒体205の移動速度および露光パターンから補正パラメータを算出する。画像補正部305は、撮像によって得た撮像画像を補正パラメータによって補正する。検出部307は、画像のデータと補正した撮像画像のデータから画像劣化を検出する。 （もっと読む）

【課題】欠陥が連続して多発しても検査処理性能の低下を抑え、検査装置自体が処理不能
な状態になることを防ぐ印刷物検査装置を提供する。
【解決手段】同一絵柄が繰り返し印刷された印刷物の印刷欠陥を検出する印刷物検査装置であって、撮像用トリガ信号を発生する信号発生手段と、撮像用トリガ信号を得て印刷物を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された被検査画像と被検査画像を撮像する以前に撮像された基準画像を比較して印刷欠陥を検出する画像処理手段と、連続して印刷欠陥が多発した場合には欠陥多発と判定する欠陥多発判定手段と、欠陥多発と判定された場合は検査処理を即時に中断する検査処理中断手段と、中断の後検査処理を再開するための検査再開手段と、を備えたことを特徴とする印刷物検査装置。 （もっと読む）