【課題】検査感度を向上させることができるパターン検査装置を提供する。
【解決手段】第１の検出データと前記第１の遅延データとから解像限界以下のパターンのデータを抽出する第１の抽出部３３と、前記抽出された第１の検出データに係るデータの注目画素に対する周辺領域の出力レベルの平均値を演算し、前記抽出された第１の検出データに係るデータの出力レベルと前記平均値との差を演算する第１の出力変位演算部３４ａと、前記抽出された第１の遅延データに係るデータの注目画素に対する周辺領域の出力レベルの平均値を演算し、前記抽出された第１の遅延データに係るデータの出力レベルと前記平均値との差を演算する第２の出力変位演算部３４ｂと、前記第１及び第２の出力変位演算部による演算結果に基づいて、パターン欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 距離画像を用いて外観検査を行う際に、メモリ資源の効率的な活用と検出精度の低下を防ぐ。
【解決手段】 ３次元形状のワークを撮像するカメラ３０からワーク表面までの距離に応じて各画素の濃淡値が変化する距離画像を生成し、生成された距離画像からその距離画像に含まれるワーク固有の形状情報を削減するために、生成された距離画像の一部又は全部の画素について、それぞれ形状情報に基づく濃淡値との差分を求め、形状情報が削減された距離画像を用いて画像処理を実行し、ワークの良否を判定し、判定結果を示す判定信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】正確に、且つ効率的に劣化部分の抽出と劣化度評価を行うことができる鋼管内部腐食解析装置、及び解析方法を提供する。
【解決手段】鋼管内視鏡調査で得られた画像を解析することにより、該鋼管内の劣化部分の抽出及び劣化評価を行う鋼管内部腐食解析装置１００であって、様々な条件下で得られた画像から撮影条件の相違点を除去する前処理手段１０と、劣化部分を予備的に抽出する劣化部分予備抽出手段１１と、前処理手段１０により撮影条件を統一し、且つ劣化部分予備抽出手段１１により得られた方針に基づいて、画像に対して劣化度ごとの領域を抽出及び分類する劣化部分抽出分類手段１２と、実際にプロトタイプを作成して劣化領域の抽出結果の検証と評価を行う劣化領域検証評価手段１４と、劣化領域検証評価手段１４により検証評価された劣化領域を表示する表示処理手段１５と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【目的】信号振幅が低下したパターンが形成されたマスクを検査する場合であっても、検査で必要な十分なコントラストを得ることが可能な装置を提供することを目的とする。
【構成】実施形態によれば、パターン検査装置は、センサと、記憶装置と、階調変換部と、比較部と、を備えている。かかるセンサは、パターン形成された被検査マスクの光学画像を撮像する。記憶装置は、マスク種に応じて作成された複数の階調変換テーブルを記憶する。階調変換部は、前記記憶装置に記憶された複数の階調変換テーブルの中から前記被検査マスクの種類に対応する階調変換テーブルを選択し、選択された階調変換テーブルに沿って前記センサにより撮像された光学画像データの画素値を階調変換する。比較部は、階調変換された光学画像データの比較対象となる参照画像データを入力し、前記階調変換された光学画像データと前記参照画像データとを画素毎に比較する。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンのサイズエラーの検出を可能とするパターン検査装置を提供する。
【解決手段】設計データに基づきパターンが形成された試料を撮像する画像取得部１０と、設計データから展開画像を生成する展開画像生成部２２と、展開画像を参照画像生成モデルに入力して参照画像を生成する参照画像生成部２４であって、モデルパラメータを被検査画像と参照画像との間で画素の階調値の差が最小化されるよう最適化する参照画像生成部と、参照画像の基準パターンの測定値と、被検査画像の基準パターンの測定値から求められた基準パターンの変換差を用いて、参照画像と被検査画像のいずれか一方の被検査パターンの測定値を補正し、補正された参照画像の被検査パターンの測定値と、被検査画像の被検査パターンの測定値とを比較し欠陥の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】個々の需要家に設置する自動検針装置で計測する需要家の負荷（電力消費量）情報と、配電設備を撮影した画像情報を利用して、柱上変圧器など配電設備の劣化状態を診断する配電設備劣化診断装置を提供する。
【解決手段】各需要家に設置する自動検針装置で電力負荷データを計測し、計測した複数の需要家の負荷データから、前記需要家と同じ配電系統につながる柱上変圧器の負荷を演算する。同時に前記柱上変圧器の負荷データから過負荷となるデータを逐次抽出し、前記過負荷の積算値が所定の閾値を超えた場合に、撮像装置で柱上変圧器の外観を自動撮影する。撮影した画像データと前記負荷データを同期させ、画像データを用いて外観の錆を検出し、負荷データを用いて内部の絶縁性能を推定し、錆の検出結果もしくは絶縁性能推定結果のうち少なくとも一方を用いて、柱上変圧器の劣化診断を実施する。 （もっと読む）

【課題】欠陥群のパターン依存性を定量化する。
【解決手段】パターンが形成されたウェハに発生した欠陥を検出し、検出した欠陥の発生位置を出力する検査装置１が使用する欠陥位置を指し示すための座標系と、パターンの設計データにおいて使用される座標系と、の間の位置関係を複数設定する（ステップＳ３、Ｓ４）。そして、設定された位置関係の夫々を用いて検査装置１が出力した欠陥位置と設計データとを位置合わせし、設計データから欠陥位置が位置合わせされた部位の局所パターンを位置関係毎に抽出する（ステップＳ６）。そして、抽出した局所パターンを図形的特徴の一致度に基づいて分類し、分類パターン数を位置関係毎に算出する（ステップＳ７）。そして、算出した位置関係毎の分類パターン数を用いて欠陥群のパターン依存度を算出する（ステップＳ９）。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置を用いて、複雑な形状のワークに対しても、精度良く欠陥を検出することができる欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】視点Ｓ１から撮像した検査画像Ｇ１と、視点Ｓ２から撮像した検査画像Ｇ２と、視点Ｓ１から撮像した良品画像Ｌ１と、視点Ｓ２から撮像した良品画像Ｌ２と、を取得して、検査画像Ｇ１と良品画像Ｌ１の、輝度比Ｒ１を表した画像である第一のコントラスト画像Ｃ１と、検査画像Ｇ２と良品画像Ｌ２の輝度比Ｒ２を表した画像である第二のコントラスト画像Ｃ２と、を生成するとともに、各コントラスト画像Ｃ１・Ｃ２の輝度比の差分ΔＲを表した差分画像ΔＣを生成して、差分画像ΔＣにおいて、輝度比の差分ΔＲが閾値αを越えている各画素８ａ・８ａ・・・を検出するとともに、検出した各画素８ａ・８ａ・・・が連続する範囲の面積が、閾値βを越えている範囲を欠陥部として検出する。 （もっと読む）

【課題】正常製品群に基づいて作成された基準空間に基づいて決定された検査閾値と、被検査製品の画像のマハラノビス距離とを比較することでその被検査製品の画像の検査を行う画像検査方法、画像検査装置において、基準空間の質を高めること。
【解決手段】当初の基準空間を使用した検査の結果（Ｓ３１〜Ｓ３５）、不良と判定された被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、電子計算機は、その評価によって誤判定であると評価された不良判定画像である誤判定画像を記憶装置に記憶させる（Ｓ３７）。その記憶装置に記憶された誤判定画像の数量Ｎが、所定量Ｎ_０に達しか否かを判定する（Ｓ３８）。所定量Ｎ_０に達した場合は（Ｓ３８、Ｙｅｓ）、記憶装置から誤判定画像を読み出す（Ｓ３９）。読み出した誤判定画像を当初の基準画像の群に加えて、基準空間を再度作成する（Ｓ４０）。 （もっと読む）

【課題】めっき製造工程におけるめっき品質を傾向管理することによって、安定した検査を行うめっき検査装置を提供する。
【解決手段】板状金属製品に照明光を照射する照明手段と、板状金属製品を撮像して画像情報を得る撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給、排出する供給排出部と、めっき基準品の画像情報を処理して検査情報を得、検査情報と板状金属製品の画像情報を比較することによってめっき状態を判定して検査結果を得て、装置全体の動作制御を行う処理制御部と、板状金属製品の画像情報および検査結果と、めっき基準品の画像情報および検査情報とを記憶する記憶手段と、めっき基準品の画像情報を参照して、板状金属製品の検査結果および画像情報の傾向を比較するめっき状態管理手段と、を備えたことを特徴とするめっき検査装置。 （もっと読む）

【課題】光学画像のパターンと基準画像のパターンとの位置合わせを高い精度で行いつつ、且つ、高速で欠陥検出のできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】画像センサから試料の光学画像を取得する工程と、光学画像および判定の基準となる基準画像のいずれか一方について、そのＸ方向とＹ方向の移動量をそれぞれα（０≦α＜１）とβ（０≦β＜１）として、αおよびβと光学画像と基準画像の差分の２乗和との関係を表す方程式を求める工程と、この方程式から得られる差分の２乗和が最小となる（α，β）の組から、位置合わせに最適な移動量を求める工程とを有する。この方程式についてαおよびβの偏微分を解くことにより、位置合わせに最適な移動量を求めてもよい。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物の検査の実行には、多数の検査条件データの設定が必要である。しかし、オペレータが各項目に、検査条件データのパラメータを任意の数値によって設定する方法は作業負担が大きい。また、設定作業に個人差が現れるパラメータもある。
【解決手段】オペレータが必要最低限のパラメータを最初に設定すると、当該パラメータに基づいて検査装置が被検査対象物を自動的に評価し、評価結果から被検査対象物の検査に必要な検査条件データのパラメータを算出し、検査レシピを自動的にセットアップする。 （もっと読む）

【課題】 診断対象を変質させない非破壊検査で診断できて、現場で簡便に実施でき、かつ劣化度を高精度に定量的に評価できるようにする。
【解決手段】 原画像のデータを処理し、防水シートの劣化に伴って現れる要素として定められた画像の複数種類の特徴量抽出する。この抽出した各種類の特徴量を、重回帰分析によって解析し、防水シートの破断時の伸び率の保持率である残存品質を求める。画像処理では、クラック領域と非クラック領域とに２値化処理によって領域分割する。前記複数種類の特徴量として、クラックの大きさに係る特徴量である、クラック領域の占める面積比率、距離変換で得る平均幅を用い、さらに局所的最大値による特徴量、および隣接ピクセルを比較することによって得られる特徴量を用いる。 （もっと読む）

【課題】計測した光学検出器の光電子増倍係数を基に計算した補正印加電圧を用いて光学検出器を駆動して補正値を検査することにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】表面検査装置において、個々の光学検出器８ａ〜８ｃの光電子増倍係数を計測し、計測した光電子増倍係数を基に制御部１１が補正印加電圧を計算する。表面検査装置に組み込まれた検出器８ａ〜８ｃのそれぞれについて、計算した補正印加電圧を用いて光学検出器８ａ〜８ｃを駆動して補正値を検査する。これにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第１の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第２の特徴とする （もっと読む）

印刷画像における不良を検出するための自動検査方法は、ラスタ画像を処理し、そのラスタ画像を印刷プロセスに送り、ラスタ画像に対応する印刷画像を媒体上に印刷し、印刷画像よりも低い解像度で少なくとも媒体移動方向において、印刷画像の少なくとも一部からターゲット画像をキャプチャし、ラスタ画像の少なくとも一部を基準画像に変換し、基準画像をターゲット画像と比較することを含む。 （もっと読む）

【課題】円盤形状の被検査物品の欠損を高精度に検出する。
【解決手段】撮像手段３０は、円盤形状の被検査物品の上面、及び反射手段２０を通して得られる６方向の側面を撮像する。下側エッジ検出手段８１は、撮像手段３０により撮像された、被検査物品の映像から、輝度差に基づいて被検査物品の下側エッジを検出し、実測エッジ形状として出力する。傾き角度・方向算出手段８２は、実測エッジ形状から、被検査物品の姿勢を算出する。理論エッジ形状算出手段８３は、被検査物品の姿勢、被検査物品の半径、被検査物品の側面を見る角度から、各方向に投影されるべき理論エッジ形状を算出する。欠損検出手段８４は、理論エッジ形状と実測エッジ形状とを比較することにより、その差分から円盤状の被検査物品の欠損を検出する。 （もっと読む）

【課題】色制御システムと欠陥検出システムの各機能の調整を図った印刷機用制御システムを提供する。
【解決手段】色制御サブシステムおよび欠陥検出サブシステムを統合し、かくして前記色制御システムおよび前記欠陥検出サブシステムが印刷機から得たデータを共有するようにされている印刷機用制御システム。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、光の照射された錠剤からの反射光を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備えている。画像処理装置２４は、画像信号から得た画像データに基づき、錠剤に相当する錠剤領域を特定し、当該錠剤領域の各画素の濃度勾配方向を算出し、当該濃度勾配方向が予め設定された予定勾配方向か否かを判定することにより、錠剤の外観検査を行う。 （もっと読む）

【解決課題】検査物品の内容液中に混在し得る異物を、容器外部に付着した汚れ、ゴミ、塵埃、傷等と区別して、より的確に検出できるとともに、歩留りや生産性の良好な異物検査装置および異物検査方法を提供する。
【解決手段】検査物品６０を自転させたのちに自転停止させて、検査ユニット１０ａ、１０ｂ…で、検査物品６０の内容液中に混在し得る異物を検出する異物検査装置１であって、検査ユニット１０ａ、１０ｂ…が、撮像部２１と、多数の処理画像を形成する処理画像形成手段２５と、任意に選ばれる複数の処理画像を論理和演算により合成して、合成マスター画像を形成する合成マスター画像形成手段２６と、検出用画像抽出手段２７と、合成マスター画像と複数の検出用画像とをそれぞれ比較することにより、内容液中の異物の有無を判定する判定手段２９と、を備えて構成される。 （もっと読む）