【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物Ａ載せる透明なテーブル１２と、テーブル１２の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Ａを、テーブル１２の下面から撮影する撮像部２２と、検査対象物Ａの画像を処理して、検査対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部１０３と、表面形状データにより表される検査対象物Ａにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル１２の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部１０２と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１０１と備える。 （もっと読む）

【課題】高多層プリント配線基板の配線パターンを検査する際に誤報告の少ないキャリブレーション位置を決定すると共に、その検査性を評価しベリファイ作業時間を予測することができる検査システムを提供する。
【解決手段】検査システムにおいて、検査対象のプリント配線基板を構成する各層のＣＡＤデータとその層構成情報を元に検査面より透視した輝度成分マップを生成する。そして検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する１つ以上の輝度評価領域を決定した後、検査装置にて領域を撮像、各輝度成分に対応する統計輝度値を求め輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求め検査を行う。 （もっと読む）

【課題】オリフィスから切り出されたゴブ形状を容易に解析できるようにし、ガラス製品の品質を向上させる。
【解決手段】オリフィスから切り出されて落下しているゴブを水平方向にスキャンするラインセンサカメラと、該ラインセンサカメラからのデータを処理する処理手段を有し、該処理手段は、ゴブ1個分の前記データにおいて所定の明るさ閾値ＢＢ1を超える素子数の合計が所定の素子数閾値ＥＢを超えたときに不良ゴブであると判定することで、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】位置合わせミスによる擬似欠陥の発生を抑制し、効率の良い検査を行うこと。
【解決手段】試料のパターンを測定して測定画像を生成する測定画像生成部と、測定画像と基準画像とを比較して差異が閾値を超えたら欠陥と判定する比較部とを備える、試料検査装置において、測定画像と基準画像の一定エリアのエリア画像を切り出し、エリア画像同士の位置ずれ量を測定し、エリア画像同士の位置ずれ量の信頼度を示す信頼度情報を求める位置ずれ測定部と、信頼度情報と位置ずれ量を利用してエリア画像同士の位置合わせを行う位置合わせ部と、を備える試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】溶接部の色相むらを精度よく判定することができるレーザ溶接部評価方法を提供する。
【解決手段】まず、レーザビームの照射でワークに形成された溶接部の画像データを取得する（Ｓ３１）。続いて、画像データをＲＧＢ分離して判定用ＲＧＢ値を算出する（Ｓ３２）。判定用ＲＧＢ値をグレースケール変換し、グレースケール値を算出する（Ｓ３３）。判定用ＲＧＢ値をグレースケール値で除算し、判定用除算値を算出する（Ｓ３４）。判定用除算値からマハラノビスの距離を算出する（Ｓ３５）。そして、このマハラノビスの距離が所定値よりも小さい場合、溶接部の色相むらが正常と判定する（Ｓ３６→Ｓ３７）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プロセス変動等に依らず、高いマッチング精度を安定して確保することが可能なテンプレートマッチング用テンプレート作成方法、及びテンプレート作成装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、予め記憶されたテンプレートと、顕微鏡によって取得された画像を比較することによって、所望の位置を特定するテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法、及び装置において、テンプレートマッチングによって、特定された個所の画像を複数取得し、当該複数画像を加算平均することによって、新たなテンプレートを作成するテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上に存在する多種多様なパターン上においても欠陥を高感度且つ高捕捉率で検出する欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置において、照明光学系をレーザ５によるコヒーレント照明とＬＥＤ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄによるインコヒーレント照明の２系統とし、検出系ではそれぞれの照明光に対応した光路に分岐し、それぞれの検出光路に空間変調素子５５ａ、５５ｂを配置し、それぞれ空間変調素子５５ａ、５５ｂにて感度を阻害する散乱光を遮光し、空間変調素子５５ａ、５５ｂを透過した散乱光をそれぞれの光路に配置したイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出し、これら、２つのイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出した画像を比較処理して、欠陥候補を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、銀行券用紙を含む有価証券等のシート類に光を照射し、反射画像や透過画像等の光学画像により当該シートの品質の検査を行う検査装置に関する。
【解決手段】多面版シートを周面へ巻き付けながら搬送する第１の検査胴と、第２の検査胴を有し、多面版シートの透過による画像入力又は反射による画像入力を行い、あらかじめ記録した多面版シートの基準画像とを比較し、良否判断を行う判定部を少なくとも有し、第１の検査胴及び第２の検査胴は、外周表面上に多面版シートの所定の列に対応する開口部と、開口部内に多面版シートに光を照射する透過光照射部を有し、画像入力部は、開口部に対向して配置された透過光検出部と検査胴の外周上に近接して配置され、開口部が対象とする多面版シートの列と異なる所定の列に光を照射する反射光照射部と反射光照射部に隣接し、多面版シートの反射光を検出する反射光検出部を有する品質検査装置である。 （もっと読む）

【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥を検出することができる欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像工程により被検査物を撮像し、エッジ検出工程により得られた画像データに基づいてエッジを検出し、追跡方向設定工程により、検出されたエッジに対して、始点および終点を設定し、エッジに沿って始点から終点に向かうエッジ追跡方向を設定する。この後、角度変化算出工程により、エッジ上の各画素位置における角度変化量を算出し、総和算出工程により、始点から所定画素位置までの角度変化量の総和を、各画素位置に対して算出する。そして、欠陥検出工程により、被検査物に対して算出される前記角度変化量の総和と、所定の基準パターンに対して算出される角度変化量の総和とを比較して、欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】自動車ボディの外板面が許容範囲内で変化しても、正確に表面欠陥を検査することのできる自動車ボディ表面欠陥検査方法、及び自動車ボディ表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】照明手段５と、カメラ７と、カメラ７の映像データを記憶する映像データ記憶手段である検査制御装置２と、照明手段５とカメラ７を移動するカメラ移動手段である検査フレーム制御装置１０と有し、映像データをフーリエ変換して、不要周波数成分をカットするカット処理工程（Ｓ３２）と、カット処理されたデータを３次元処理して意匠近似面データを作成する意匠近似面データ作成工程（Ｓ３３、Ｓ３４）と、カット処理されたデータと意匠近似面データとの差分を算出する差分処理工程（Ｓ３５）と、差分処理されたデータに基づいて、自動車ボディの表面欠陥を判断する表面欠陥判断工程（Ｓ３６、Ｓ３７、Ｓ３８）と、を有する。 （もっと読む）

【目的】結像光学系における空気揺らぎを抑制し、検査精度を向上させるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供する。
【構成】被検査試料に形成されたパターンを検査するパターン検査装置であって、ダウンフロー機構を有するチャンバと、チャンバ内に設けられる光源と、チャンバ内に設けられ、光源から射出される検査光を被検査試料に照射する照明光学系と、チャンバ内に設けられ、防風カバーで覆われ、被検査試料に照射された検査光を光学像として結像させる結像光学系と、チャンバ内に設けられ、光学像を取得する検出センサを備え、結像光学系内に、光学部品を移動するために、静止時電流を動作時電流より低減可能なステッピングモータを有することを特徴とするパターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】高精度な試料の回転合わせや画像の位置合わせができ、高感度な検査を実現する高感度なパターン欠陥検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】ウェハの回転合わせや画像の位置合わせにロバスト画像照合を用いることによって、高精度な位置合わせを行い高感度に欠陥を検出する。例えば、試料を載置して少なくとも一方向に移動可能な走査手段と、前記試料の回転方向を合わせる手段と、前記試料上を照明する照明手段と、該照明手段で照明された前記試料の光学像を形成する結像手段と、該結像手段で結像された光学像を検出して信号に変換する検出器を有する検出手段と、該検出手段で検出した信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段で検出した結果を表示する結果表示手段とを備え、前記回転方向を合わせる手段はロバスト画像照合を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】検査時間の増大を抑制しつつ、検査精度を向上させるパターン検査装置を提供する。
【構成】被検査試料のパターン面に形成されたパターンを検査するパターン検査装置であって、光源と、パターン面のフーリエ変換面に設けられ光源から射出された光線を異なる形状および方向を有する第１および第２の照明光に分割する機能を備える光学素子を有し、第１および第２の照明光によりパターン面の第１および第２のパターン領域をそれぞれ異なる照明条件で照明する照明光学系と、第１および第２のパターン領域を照明した第１および第２の照明光を透過する対物レンズと、第１および第２の検出センサと、対物レンズを透過した第１および第２の照明光をそれぞれ第１および第２の検出センサに結像する第１および第２の結像光学系とを備えることを特徴とするパターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】印刷物検査装置の機種差および個体差によらずに印刷物検査装置の性能を定量的に評価することができる印刷物検査装置の性能評価シートを提供すること。
【解決手段】本発明に係る印刷物検査装置の性能評価シート３１は、印刷物の欠陥を検査する印刷物検査装置２０の性能の評価又は校正を定量的に行うために片面又は両面に絵柄又は文字が印刷にされた印刷物検査装置の性能評価シートである。本発明に係る印刷物検査装置の性能評価シート３１は、性能評価の基準となる絵柄又は文字が印刷された第１の基準領域５１１を有する基準部５１と、基準部５１１に対応するように配置され、前記第１の基準領域を同じ絵柄又は文字が印刷された第２の基準領域５２１と擬似的な欠陥を施された欠陥印刷領域５２２とを有する異常部５２と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】画像形成システムで発生する頁順序の狂いを正確に検出して復旧処理を実施できる装置の提供。
【解決手段】頁情報を入手する一方、後処理装置の搬送路に読取センサを設けて搬送される用紙上の頁番号を読取り、入手した頁情報により、前記センサで読み取った用紙の頁番号を監視し、頁順序の狂いが発見された場合は、これに対応して復旧できるようにする。 （もっと読む）

【課題】被写体を撮像して得られる計測画像に対して予め設定されたモデル画像に基づくマッチング処理を行なう画像処理装置に対して、最適なモデル画像をより迅速かつ容易に取得できるモデル画像取得支援装置、モデル画像取得支援方法およびモデル画像取得支援プログラムを提供する。
【解決手段】モデルとなり得る被写体を撮像することで得られた参照画像からモデル画像の候補となる複数のモデル画像候補が抽出される。抽出された複数のモデル画像に従うマッチング処理を、上述の視覚センサが実際に取得した計測画像に対して実行することで、それぞれの試行結果を得る。それぞれのモデル画像に従うマッチング処理の試行結果をそれぞれ評価することで、評価結果が生成される。このような評価結果に基づいて、最適なモデル画像が決定される。 （もっと読む）

【課題】画像処理を行わずに検査を行うことができ、検査速度を向上することのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】撮像データ幅方向の複数の所定位置ごとに照射線Ｌの高さ方向位置データを求めることにより成る照射線位置データ群を各撮像データごとに作成し、各高さ方向位置データについて、撮像順に連続する所定範囲（例えば高さ方向位置データが１６個となる範囲）の高さ方向位置データの分布幅を、撮像データ幅方向の前記所定位置ごと、且つ、前記所定範囲を撮像順に変化させながら順次求め、求められた前記各分布幅のうち複数の分布幅が所定の基準値を超えた場合に、基準値を超える各分布幅を求めた前記所定範囲が撮像データ幅方向に所定個数以上並んでいるか否かを判定することから、ホースＨの外周面に幅方向に延びる凹状の傷Ｋや凸状部が形成されていることを検出可能である。 （もっと読む）

【課題】印刷物に金属光沢があっても印刷物の状態を適切に確認し得る印刷物品質検査装置を提供することを目的にする。
【解決手段】印刷物１に対してライン状の照射光を照射する照明手段３と、照明手段３の照射光により印刷物１で反射された反射光を検出して印刷物１の画像情報を取り込む撮影手段４と、照明手段３からの照射光が印刷物１の金属光沢Ｍにより全反射した場合に反射光を反射させる反射板５と、反射板５からの反射光を反射光を印刷物１へ照射し且つ印刷物１からの反射光を撮影手段４へ透過するビームスプリッタ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象とする欠陥に対して検出するに十分な感度を持つよう光学系を自動調整できるようにしたディスク表面検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、欠陥形状とその形状を高感度に検出可能な光学系の配置との関係をデータベース化しておき、さらに光学系の配置を自動で調整できる機能を有する。データベース化の手法としては光学シミュレーションを用いた手法や、任意形状を有するサンプルを用いた実験的手法を適用する。入力した欠陥形状に対してデータベースに基づき、最適な光学系の配置になるよう自動的にピンホール位置、ビームサイズの調整が行われる。 （もっと読む）

【課題】確実に偽造を防止できるラベルシート及びラベルシートの真贋判定システムを提供する。
【解決手段】可視光とは異なる波長の光の照射により目視可能となる蛍光繊維６２Ａが含まれた粘着ラベル６０Ａを備えてなるラベルシート６０に可視光とは異なる波長の光を照射して電子的な第１の画像情報を取得する第１の画像情報取得装置４０と、第１の画像情報取得装置４０によって取得した第１の画像情報のうち、粘着ラベル６０Ａに対応する領域の基準画像情報を予め記憶するハードディスク装置１２と、真贋を判定すべき粘着ラベル６０Ａに可視光とは異なる波長の光を照射して電子的な第２の画像情報を取得する第２の画像情報取得装置１４０と、第２の画像情報を、ハードディスク装置１２に記録された基準画像情報と比較して両者が一致するか否かを判定するＣＰＵ１１１と、を備えたラベルシート６０の真贋判定システム。 （もっと読む）