【課題】 部品の抽出結果が適切であるか否かを簡単かつ正確に把握できるようにする。
【解決手段】 濃度変化の方向を示す角度データ（エッジコード）について、４つの角度範囲にそれぞれ赤、緑、青、白の色彩を割り当てる。部品実装状態の検査のためにエッジコードによるモデル（マッチングモデル）を登録すると、所定の基準基板の画像から生成したエッジコード画像をこのマッチングモデルにより照合し、部品に対応する画像領域を抽出する。さらに、処理対象の画像上のエッジコードをそれぞれ割り当てられた色彩に置き換えたカラー画像を生成して表示するとともに、このカラー画像上にマッチングモデルにより抽出された画像領域を着色表示する。さらにこの表示の隣には、前記マッチングモデルの各エッジコードを色彩に置き換えた画像（表示用モデル）を表示する。 （もっと読む）

【課題】 プリプレグを正確に検査することができるプリプレグの検査方法を提供する。
【解決手段】 繊維基材に熱硬化性樹脂を含浸乾燥して得られるプリプレグ１のボイド２の存在を観測することにより、繊維基材に対する熱硬化性樹脂の含浸状態を検査するプリプレグの検査方法に関する。プリプレグ１に光３を照射してボイド２の像５をプリプレグ１の表面に現出する。検査対象のボイド２の像５の幅寸法の２／３以上の分解能を有するカメラ４でプリプレグ１の表面を撮像する。撮像により得られるプリプレグ１の表面の撮像データを二値化処理する。二値化処理により得られる二値画像に基づいてボイド２の像５の面積を算出する。プリプレグ１の所定面積に占めるボイド２の像５の面積比率を算出する。 （もっと読む）

【課題】 全ての欠陥種を検出できる最適の欠陥検査レシピを作成者の熟練度に依存することなく作成する方法を提供する。
【解決手段】 模擬正常パターンに対して高さ方向での変化と平面形状での変化とを有する模擬欠陥パターンＤＦ１〜ＤＦ３を備える模擬欠陥ウェーハ１を用いて暫定検査レシピを作成し、模擬欠陥ウェーハ１について欠陥検査を行ない、検出された欠陥データと、予め得られた模擬欠陥ウェーハ１の模擬欠陥データとを照合して欠陥検出感度を定量化し、所望の欠陥検出率が得られるまでレシピパラメータを変更して暫定検査レシピを作成する。 （もっと読む）

基板上に堆積された物質の画像を分析する方法であって、画像は複数の画素を含み、この方法は、画像内で興味の対象となる領域を規定するステップと、第１および第２の垂直な軸に、興味の対象となる領域を関連付けるステップとを含み、画像内の１組の画素は、第１の軸に沿って位置し、この方法はさらに、興味の対象となる領域内の画素を、第１の軸にアライメントされかつ第２の軸に沿って突出する一次元アレイに変換するステップと、一次元アレイに少なくとも１つのしきい値を適用するステップとを含み、しきい値は、予め定められた限度に少なくとも部分的に基づく。
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【課題】画像を用いた表面欠陥検出に際し、検査対象表面上の広い範囲に平坦に広がる大面積欠陥が補正によって画像からその一部または全体が除去されず、かつ検査対象内と外との境界部付近において補正された画像に跳ね返り現象が発生しないシェーディング補正方法を提供すること。
【解決手段】カメラからの画像から検査対象と検査対象外の境界を検出することで検査対象の画像領域を検出し、カメラからの画像にローパスフィルタを適用することでシェーディング成分をカメラからの画像と同じ大きさの画像として抽出した後、その画像の検査対象の画像領域部分について、各ラインの輝度変化を曲線によって、あるいは検査対象の画像領域部分全体の輝度変化を曲面によって近似し、その近似曲線あるいは近似曲面の値を輝度とする同じ大きさの画像に再構成し、カメラからの画像をその再構成した画像により除算又は減算することによりシェーディング補正する。 （もっと読む）

【課題】 受光素子の画素サイズと電極パターンの繰り返しピッチとの関係が整数倍でなく、位相ずれを有する場合でも、この位相ずれによる各画素データの信号品質の低下を抑制し、画素サイズに対して微小な異物を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】 パターンピッチが３００［μｍ］で画素サイズが１４［μｍ］の場合には、パターンのピッチを画素サイズで除することによって得られるパターン相当の画素数は約２１．４である。この画素数に第１の整数として５を乗じると、その値は１０７となるので、５個のパターンで疑似パターンを形成することによって、疑似パターンと画素との間の相対的な位置関係がほぼ同位相となる。差分データ作成手段３０はこの疑似パターンの隣接するもの同士の画素を用いて、差分データＶを作成する。しきい値作成手段５０は、差分データＶから欠陥検出時のしきい値Ｔを作成する。欠陥検出手段８０，９０は差分データＶとしきい値Ｔとを比較して欠陥の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 どの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを早く理解させることの支援となる画像処理装置を提供する。
【解決手段】 例えば搬送されている検査対象である容器をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。そして、欠陥有りと判定したときは、その欠陥のある検査対象の画像データ１００とその欠陥に関連する付属情報２００とを関連付けて複合データ３００としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、保存されている画像データ１００と付属情報２００とを読み出して同時的に表示し、表示された付属情報２００に基づいてどの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを直ちに認識できる。 （もっと読む）

【課題】 欠陥のある検査対象の画像情報の保存件数を増やせ、かつ再現性の良い画像処理装置を提供する。
【解決手段】 検査対象である複数の部品４０を載置したトレイ３０をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。欠陥有りと判定したときは、その欠陥有りとする一部分の部分的欠陥画像データ７０のみを切り出し、取り込み画像データ全領域１００での部分的欠陥画像データ７０の座標を示す付属情報８０を部分的欠陥画像データ７０に関連付けて複合データ９０としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、正常全画像データ２００を読み出し、それに付属情報８０の座標データに基づいて部分的欠陥画像データ７０を画像合成し、表示する。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）