【課題】 光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法を提供する。
【解決手段】 液晶ライトバルブによる表示画像に存在するスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）と、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）にて検出されたスジ状欠陥同士で連続性を有するかを判定する連続性判定工程（ＳＴ２００）と、連続性判定工程（ＳＴ２００）にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて液晶ライトバルブ１１２のランク判定を行うランク判定工程（ＳＴ３００）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基準基板画像と検体基板画像を比較して異同箇所を検出する差分画像処理アルゴリズムで比較画像処理する基板検査装置は、教示プログラム作成が不要である上に最高速検査を実現できるというメリットがあるが、良品を不良と誤検出する「過検出」虚報の多発という課題があった。
【解決手段】複数基板画像の同一画素出力値を加算平均して平均化基準画像を作成し、この平均化基準画像を基準画像として用いられるようにしたので、正常範囲内変異による「過検出」虚報の発生を最少化した最高速の検査が実現する。 （もっと読む）

【課題】 半田印刷工程と並行して半田材の劣化度を短時間で判断する半田材劣化度判断装置を提供する。
【解決手段】 半田材１の表面に検査光を照射する照明部２０と、半田材１の表面を撮像する撮像部３０と、撮像部３０によって撮像された撮像画像に基づいて半田材１の劣化度を判断する劣化度判断部４２とを備える。上記の構成では、照明部２０が半田材１の表面に検査光を照射し、撮像部３０が半田材１の表面を撮像する。そして、上記撮像画像に基づいて、劣化度判断部４２が半田材１の劣化度を判断する。そのため、短時間で簡単に半田材の劣化度を判断することができる。 （もっと読む）

ディスプレイを光学検査するための方法および装置が、各原色に関してサブピクセル精度を使用して、回転の角度を考慮に入れる。方法は、Ｒ×Ｓ個のセンサを使用してディスプレイのイメージをキャプチャすること、ピクセルにマップされるセンサ座標のセットを算出すること、ディスプレイ上のピクセルとＲ×Ｓ個のセンサの間における複数の位置合わせ不良の角度を算出すること、複数のｘ倍率変更比を算出すること、対応する複数の位置合わせ不良の角度、および対応する複数のｘ倍率変更比とｙ倍率変更比に応答して、Ｒ×Ｓ個のセンサに関連する複数の重み付け係数を算出すること、Ｒ×Ｓ個のセンサに関して複数の輝度値を算出すること、重み付け係数および輝度値に応答して、複数の合計輝度値を算出すること、第１の輝度値と第２の輝度値を含む倍率変更されたイメージを形成すること、および倍率変更されたイメージを検査して、ディスプレイ上の潜在的な不良を識別することを含む。
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【課題】液晶表示パネルにおいて、バックライトや投影ランプの輝度バラツキ等の外的影響を排除し、点欠陥、線欠陥を確実に検出可能とする。
【解決手段】液晶表示パネル駆動装置２により液晶表示パネル１に検査用の液晶表示を行う。液晶表示パネル１の下方からは、バックライト６により光を照射し、液晶表示パネル１の検査用の液晶表示をＣＣＤカメラ５で撮像する。画像処理装置３は、撮像された液晶表示画像の縦横の各検査ライン毎に輝度波形を求め、各輝度波形から各一次導関数波形を求め、各一次導関数波形に対し閾値によりピークとその位置を検出し、ピークの位置に基づいてピークが検査ラインの直交方向に連続する数をカウントし、このカウント値が線欠陥閾値を超えている線欠陥を検出する。ここで、線欠陥が検出されない場合には、カウント値が線欠陥閾値より低い点欠陥閾値を超えている点欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】専用の騒音センサ及び振動センサを用いることなく、画像処理分析技術を用いて回転機械の故障診断を行う。
【解決手段】回転機械１の表面には評価用図形が表示されており、回転機械１から離れた位置に固定されているカメラ付き携帯電話機等の通信装置２が評価用図形の画像データを取得する。得られた画像データは、ＰＣ等からなるデータ処理分析装置３に伝送され、該装置３は、受け取った現在画像データから得られる現在画像パターンの面積と、予め記憶された回転機械の正常稼働状態での評価図形の基準画像データから得られる基準画像パターンの面積とを対比し、面積の差が所定値以上になったときに、回転機械１が故障であると判定する。回転機械１上にカメラ付き通信装置２を配置し、回転機械１から離れた壁面等に評価用図形を表示しても良い。評価用図形は、円形の内部に十字形を表した図形等の単純図形を採用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】光学部材の異物判定を高精度に行う、さらには画素欠陥がある撮像素子を使用した場合にも良好な異物検出を実現する自動検査装置を提供すること。
【解決手段】自動検査装置は、光学部材の検査画像を撮像する撮像素子と、検査画像の輝度分布を調整する前処理部と、前処理部から出力された検査画像と、異物候補を判定するための判定用閾値とを比較することにより、異物候補を選出する異物候補検出部と、を有し、前処理部は、検査画像の各画素を輝度毎に集計して作成された検査画像のヒストグラムの階調幅を最大階調幅まで拡張するヒストグラム拡張処理部と、ヒストグラム拡張処理部によって階調幅が拡張された検査画像を縮小し、検査画像において縮小画像の画素に対応する位置にある特定画素および該特定画素に近接する複数の画素の各輝度平均を、縮小画像における各画素の輝度に設定する画像平滑縮小処理部と、を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】設置面積が少なくて済み、投射レンズとスクリーン間から反射鏡を省け、しかも点欠陥等を自動検出可能な電気光学装置の検査装置及びその検査方法を提供すること。
【解決手段】電気光学パネル１００に表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、水平に置かれた電気光学パネル１００に検査光を鉛直方向に透過させて投影面１７に投射する検査光学系５を備えたものである。さらに、撮影カメラ６を備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 イメージセンサの感度補正データが、校正ミラー片に付着した異物によって変化することを防止する。
【解決手段】 異物付着検出部１７は、メモリ１８と比較処理部１９とからなる。メモリ１８は実装されたばかりの異物の付着していない校正用ミラー片３をイメージセンサ１１によりスキャンしたときのセンサ出力を保存する。イメージセンサ１１の同期信号は、ステージコントローラ２１が移動ステージ１を制御するために使用するエンコーダ信号に基づいて、同期信号発生器２０において作成される。メモリ１８にデータを保存する処理は、校正用ミラー片３を交換した直後に一度だけ行えばよい。比較処理部１９は、補正データを取得するときに校正用ミラー片３をスキャンして得られたセンサ出力と、上記の処理により校正用ミラー片３を交換した直後にメモリ１８に保存されたセンサ出力との比較を行い、校正用ミラー片３に異物が付着したか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート等の構造物表面に染みや汚れが付着していても、構造物表面に生じているひび割れを明瞭に把握する。
【解決手段】本発明に係る構造物表面のひび割れ検出方法は、コンクリート構造物の表面を撮像した原画像データに対し、ウェーブレット変換を用いて低周波成分を除去する処理を行うことにより、空間変化率が小さい構造物表面の染みや汚れを除去した二値化画像データを作成するとともに、かかる二値化画像データを用いて原画像データを広義の意味で線形補間する、すなわち、ひび割れに該当する画素を隣接する画素の平均輝度値で置換することによって背景画像データを作成し、かかる背景画像データで原画像を除算することにより、染みや汚れあるいは光ムラを確実に除去しながら、ひび割れだけを明瞭に抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】透過照明で撮像された画像のみを用いることで低コスト、省スペースに撮像系を構成し、従来よりも高精度で気泡を判別して容器内の液体の液面を検出可能とする。
【解決手段】撮像画像から濃淡画像を得るとともに濃淡画像の画素毎の濃度値を微分することで液面に対応するエッジを検出する。そして、このエッジの連続性が変化する部分の有無を判断し、連続性が変化する部分が無いときは当該エッジを液面として検出する。一方、連続性が変化する部分が有るときは当該部分に含まれる画素の濃度平均値に基づいて気泡の存否を識別し、気泡が存在しなければ前記エッジを液面として検出し、気泡が存在すれば該気泡における鉛直下側の前記エッジを液面として検出する。 （もっと読む）

【課題】 ビジュアル検査工程を自動化するための表示パネル用検査装置及びその検査方法が開示される。
【解決手段】 ローディング部は、複数のステージのうち、第１位置のステージ上に表示パネルを装着して、表示パネルの固有番号を認識する。第１画像撮像部は、第２位置に移動されたステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第１画像データを獲得する。第２画像撮像部は、第３位置に移動されたステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第２画像データを獲得する。システム制御部は、第１画像データに基づいて、表示パネルの有効不良を検出し、第２画像データに基づいて、表示パネルの外観不良を検出する。アンローディング部は、第４位置に移動されたステージ上の表示パネルをステージから取り出す。これによって、人力節減、原価節減、及び製品の信頼性向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】騒音を発生することがなく、紙粉等のゴミを撒き散らすことがなく、吹き掛ける空気を発生するめコンプレッサーを必要としない未封緘封書検出システムとそのシステムに適合する封書を提供する。
【解決手段】
波長帯域が可視光とは異なる光を受光することにより可視光を発光する発光物質を含有する糊を封緘のための糊付に用いる封書に対し、前記発光物質を発光させる可視光とは異なる波長帯域の光を照射する光照射手段と、前記封書の糊付部位から放射される可視光を検出し検出信号を出力する光検出手段と、前記検出信号に基づいて前記封書における状態が未封緘であるか否かの判定を行う封緘判定手段とを有するようにした未封緘封書検出システムと上記の封書。 （もっと読む）

【課題】より均一な照明を行うシステム及び方法が必要とされている。
【解決手段】複数の（２０２）光源（２０８）を使用する照明を開示する。１実施形態において、所望のコントラストレベルを生じる照明レベルを設定する（３０２）。計算を行い（３１０）、複数の選択された位置を設定された照明レベルで照明することになる複数の（２０２）光源（２０８）のそれぞれについて電流値を導出する。 （もっと読む）

【課題】 フラットパネルディスプレイに対応した正確な座標位置を出力する。
【解決手段】 フラットパネルディスプレイの既知画像をカメラで撮像してカメラ座標での濃度値を取得し（Ｓ１）、カメラ座標をＦＰＤ座標に変換する為の座標対応表を作成する（Ｓ２）。検査画面をカメラで撮像しカメラ座標での濃度値を取得し（Ｓ３）、座標対応表を用いてＦＰＤ座標に変換する。ＦＰＤ座標の各座標位置において、小数点以下の値が同じ値のものを集めて各値毎にサブピクセル座標を形成し、各サブピクセル座標別に、画像の濃度値の平均値を求め（Ｓ４）、その逆数をＦＰＤ座標の座標位置に乗算してＦＰＤ座標の座標位置が示す濃度値を変更する（Ｓ５）。このＦＰＤ座標で欠陥検査を行い、点欠陥として検出されたＦＰＤ座標位置を他の装置やモニタに出力する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルの検査を効率良く行うことができる液晶パネル検査方法を提供すること。
【解決手段】 液晶パネルにおける個々の液晶画素に所定の駆動信号を印加して、互いに明部および暗部が逆転した市松模様の第一および第二市松画像を表示し、ＣＣＤカメラによって撮像する。画像処理によって、第一および第二市松画像の明部撮像データから白画像を、第一および第二市松画像の暗部撮像データから黒画像を構成する。第一および第二市松画像の検査を通じて縮退欠陥（ショート、リークなど）を、白画像の検査を通じて黒点欠陥を、黒画像の検査を通じて輝点欠陥を検出する。従来は、第一および第二市松画像、白画像、黒画像の合計４パターンの画像を表示していたところ、本発明では、第一および第二市松画像の２パターンの画像を表示するだけでよいので、欠陥検査を効率良く行える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象からの反射光もしくは回折光が検査対象のパターン密度に応じて変化する光学条件においても検出視野内でのイメージセンサの感度を均一にする。
【解決手段】 検査対象からの反射光もしくは回折光成分の分布を変更可能な複数の光学条件を任意に選択可能で、かつ、一次元もしくは二次元の光電変換イメージセンサを有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくはイメージセンサを走査することにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する検査装置において、光学条件（照明光学系、検出光学系、走査方向等）毎に検査対象試料を撮像して取得したイメージセンサ検出視野内での光量分布とコントラストから、イメージセンサ出力補正データを生成し、イメージセンサ出力の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 プロジェクタによる投写画像を正確に取得可能なプロジェクタの検査装置、及びその検査方法を提供する。
【解決手段】 プロジェクタＰＪの検査装置８０は、制御装置８１と受光装置８２とを備えており、受光装置８２は、フォトダイオード等からなる複数の受光素子ＰＤがマトリクス状に配列された受光部８５を備えている。受光部８５は、投写光が照射される投写領域６５よりも大きな面積を有しており、受光素子ＰＤが、この受光部８５内で互いに密接するように配置されているため、受光部８５に投写される投写光のほとんどを漏れなく受光可能になっている。 （もっと読む）

【課題】
酸化膜などの透明膜が表層に形成された半導体デバイスの正常部において、ダイ間で画像の明るさが異なって検出された場合でも、欠陥を見逃すことなく、かつ誤検出を少なくして検査を行う。
【解決手段】
半導体デバイスの製造工程の途中で、所定の工程で処理された基板の異物の発生状態を検査し、検査して得た情報を用いて製造工程を監視しながら半導体デバイスを製造する方法において、基板の異物の発生状態を、基板を撮像し、撮像して得た画像信号について画像信号の明るさの順を求め、求めた明るさの順ごとに隣接する画像同士を比較して差を求めることにより基板上の異物を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシート等のシール不良等の外観不良を検査可能であり、かつ、検査精度の向上を図ることのできる外観検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２４は、照明装置２２、ＣＣＤカメラ２３及び画像処理装置２４を備えている。照明手段２２及びＣＣＤカメラ２３によって、容器フィルムに形成されたシール線が画像データとして得られる。画像処理装置２４においては、前記得られた画像データに対して、シール線によって形成された平行四辺形状の模様に対応して同一形状かつ同一角度の検査枠が設定されている。該検査枠では、相対向する辺上の輝度がほぼ同一となっており、当該相対向する辺同士の輝度を比較することで、シール線の形成が異常であるか否かが検出され、ひいては、外観不良が検出できる。 （もっと読む）