【課題】円筒体の検査において、目視検査により近い条件にて検査を行うことを可能とする外観検査装置を提供する。
【解決手段】円筒体外観検査装置において、回転部６は、円筒体被検査試料１を回転させる。照明部７は、円筒体被検査試料１の円筒面正常部をカメラ５により撮像した撮像画像に円筒体軸に平行となる縞模様が写るように配置される。カメラ５は、円筒体軸と光軸とが直角になるように配置され、縞模様を含む円筒面の領域を予め定められる周方向の分解能に応じた速度で撮像して画像データを出力する。画像処理装置は、カメラ５からの複数の画像データから複数の展開画像データを再構成する画素ラインの中で予め定められる画素ラインの画素を再構成して円筒面に対応する展開画像データを生成し、生成した展開画像データから円筒体被検査試料の円筒面の異常部を検出し検査する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ検査装置の色検査の精度を向上させる。
【解決手段】カラーフィルタ検査装置１のデータ処理部１００は、三原色に着色されたカラーフィルタ３の各画素３３の色度を求める色度算出部１０３と、色度算出部１０３により各画素毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した輝度情報を持つ色度画像データをＲＧＢ毎に区分して各々生成する画像データ生成部１０４と、画像データ生成部１０４によりＲＧＢ毎に生成された色度画像データを出力する画像データ出力部１０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】
検査対象画像を参照画像と比較してその差異から欠陥を検出する欠陥検査において，画像間の明るさの違いによる虚報の発生を防止するため，しきい値を大きく設定し，感度を落とすことを余儀なくされていた。
【解決手段】
検査対象画像と参照画像の差異が小さくなるように，散布図分解を行い比較する，或いは，比較対象の合わせ込みを行う。これにより，ウェハ内の膜厚の違いにより生じる画像間の違い等を許容でき，感度を落とさず虚報の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】木材の品質に影響を及ぼす木材表面の変色による欠陥部分を色分布を利用して正確に検出すること。
【解決手段】撮影手段８で木材９のカラー撮影を行い、画像処理手段１で前記撮影手段８により撮影されたカラー画像の色分布を求め、該求めた色分布を予め定めた正常な木材の色分布と比較し、該求めた色分布が前記正常な木材の色分布から所定値以上離れたものを異常色分布とし、該異常色分布が前記撮影手段により撮影された木材面上での領域で所定値より大きいものを木材の欠陥として検出する。 （もっと読む）

【課題】異物の濃度が読み取られているか否かの判定を、より適正に行うことのできる異物濃度の読み取り有無の判定方法等を実現する。
【解決手段】所定濃度で媒体上に印刷されたテストパターンから濃度を読み取り部によって読み取る際に、前記テストパターン上の異物の濃度も読み取られているか否かを判定する異物の濃度の読み取り有無判定方法であって、所定の基準値に対する濃度の読み取り値の偏差の大きさが、所定の濃度偏差用閾値を超える前記テストパターン上の部分を検出するステップと、検出された前記部分の大きさに基づいて、前記異物の濃度が読み取られているか否かの判定を行うステップと、を有することを特徴とする異物の濃度の読み取り有無判定方法。 （もっと読む）

【課題】安定して正確に表示装置の表示不良を検査することができる表示不良検査装置及びそれを用いた表示不良検査方法を提供する。
【解決手段】表示不良検査装置１０は、検査対象の表示面２１の所定エリアの画像をマトリクス状の多数の画素に分割してそれぞれの画素データを検知するＣＣＤカメラ３０（画素データ検知部）と、ＣＣＤカメラ３０で検知した所定の画素の画素データと、所定の画素から少なくとも一つの画素を隔てて設けられた画素の画素データと、の差分を演算するＣＰＵ５１（差分演算部）と、ＣＰＵ５１で演算された画素データの差分が所定条件を満たすか否かを判定するＣＰＵ５１（差分判定部）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】特徴部分を人の視認する感覚に一致するように抽出することができる画像による外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物を撮影して得られたカラー画像について（Ｓ１）、色空間内で背景部分と特徴部分とを通る色分離軸を設定するとともに、色分離軸に各画素を投影したときの色分離軸上の位置を画素値に持つシングルチャンネル画像を生成する（Ｓ２）。次に、シングルチャンネル画像において、隣接する画素間の画素値の差が規定値以下になる画素からなる連結領域を生成する（Ｓ３）。その後、特徴部分の候補となる連結領域の内外の画素値の分布を用いて連結領域を統合することにより特徴判定領域を生成する（Ｓ４〜Ｓ６）。この特徴判定領域から得られる特徴量について分類することにより特徴部分を複数の肌トラブルの項目に種別に分類する（Ｓ７〜Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】ＣＲＴやＰＤＰなどのディスプレイデバイスの表示領域全体における輝度値を高精度、高速に測定し、画質検査を効率よく行う。
【解決手段】ディスプレイデバイスに所定の画像を表示させた後、撮像手段を用いて前記ディスプレイデバイスを撮像することにより前記撮像手段の各画素において画像データを得るステップと、輝度計を用いて前記ディスプレイデバイスの所定領域の輝度を測定して輝度測定値を得るステップと、前記画像データを用いて得られる前記所定領域での輝度値と前記輝度測定値とに差があるとき、その差を無くすように前記撮像手段の各画素の前記画像データを補正して補正画像データを得るステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】溶融金属湯への汚染物の混入を即時検出して、対処することで、欠陥のない金属製品を提供できるようにすること。
【解決手段】高温金属溶融物内の汚染物を検出して、特徴付けるための装置であって、この装置は、金属熔融湯への汚染物の混入を即時検出するために、炉床又はモールド内の溶融金属湯を視覚的にモニタするための手段を含む。さらに、本発明によれば、溶融金属湯内の汚染物のサイズ及び位置を特徴付けることができる。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応する各画素同士の画素値の差分を検出して、この差分が検出閾値を超えるとき画素部分を欠陥として検出する画像欠陥検査装置及び方法において、比較する２画像に明度差がある場合の疑似欠陥の発生を低減する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、本発明では対比される２画像の差画像とこれら２画像のうちの少なくとも一方との間の相関値を算出する相関値算出手段（２０）を備えて構成し、この相関値の増加に応じて欠陥の検出を抑制する。 （もっと読む）

【課題】
軸を有した農産物における軸周囲の障害を特定することができ、選別のばらつきを抑制することができる農産物の検査装置を提供する。
【解決手段】
軸Ｊを有した農産物Ｎを撮像手段３にて撮像し、得られた画像に基づき当該農産物Ｎの軸Ｊ周囲に発生した亀裂から成るつる割れを検出し得る外観検査手段と、農産物Ｎに光を照射し、透過した透過光に基づき当該農産物Ｎの軸Ｊ側内部に生じた空洞から成る陥没を検出し得る内部検査手段と、外観検査手段及び内部検査手段により得られた検出結果に基づき、農産物Ｎがつる割れ、陥没、又はつる割れ且つ陥没を生じているか否かを判定する陥没・つる割れ判定部７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の安定性を向上させる。
【解決手段】第一の閾値と、それより低い第二の閾値を用いる。ダイ比較の場合には、閾値処理部５２ａ，５２ｂにおいて、検査チップの画像と左右のチップの画像との差画像をそれぞれ第二の閾値で閾値判定し、検査チップの欠陥候補を求める。さらに、閾値処理部５１ａ、５１ｂにおいて、検査チップの画像と左右のチップの画像との差画像をそれぞれ第一の閾値で閾値判定し、先の第二の閾値による処理で欠陥候補となったもののうち、少なくとも左右どちらかのチップとの差画像で第一の閾値以上の信号がでているものを欠陥として検出する。セル比較の場合にも、差画像を、まず第二の閾値で処理して欠陥候補を求め、さらに、差画像を第一の閾値でも処理し、先の第二の閾値による処理で欠陥候補となったもののうち、２つのピークのうち少なくとも一方で第一の閾値以上の信号がでているものを欠陥として検出する。 （もっと読む）

【課題】印刷物の欠陥検出を高精度で行うことが可能な検査装置等を提供する。
【解決手段】検査対象（印刷物等）に、複数の絵柄が配置されている。検査装置１は検査対象画像を小領域に分割し、１つの小領域画像を指定し、当該小領域画像と相関の高い類似小領域画像を抽出する。検査装置１は小領域画像と類似小領域画像を更に分割し、分割した領域についてサブピクセル単位で相関係数の高い領域画像を再抽出する。相関係数の高い分割小領域画像の補正量の平均値を用いて、相関係数の低い分割小領域画像の位置補正を行う。検査装置１は補正後の分割小領域画像について、基準となる領域との差異から、欠陥（汚れ、欠け）を抽出する。本検査装置１は、絵柄を有する検査対象の欠陥を、高精度で検査することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の分布形状及び位置を特定可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】 基板上のペーストを画像として撮影し、第１の画像データを得る工程（Ｓ１１）、基板の重心位置を算出する工程（Ｓ１２）、ノイズ除去（Ｓ１３）、第１の画像データを２値化する工程（Ｓ１４）、２値化された第２の画像データの塊の面積、最大及び最小のフィレ径、及び重心を算出する工程（Ｓ１５）、面積最大の塊を抽出（Ｓ１６）、この塊が第１の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１７）、この塊のフィレ径比が第２の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１８）、最大の塊の重心位置を算出する工程（Ｓ１９）、最大の塊の重心位置と基板の重心位置との距離が第３の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ２０）、及び最大の塊の重心位置を後続の工程に送出する工程（Ｓ２１）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 より正確に印刷ずれかどうかを判定することが可能な蛍光体の印刷ずれ検査方法を提供する。
【解決手段】 平面表示器のガラス基板に塗布されている蛍光体の蛍光面を撮像したカメラからの入力画像から、蛍光体が塗布されている各領域を抽出して、蛍光体の色の選定を行ない、先に抽出された各領域内の画素を色度に変換し、色度のうち予め設定した領域内の色度を抽出し、抽出した色度から印刷ずれかどうかを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

食品２０に混入した毛髪、虫等の異物を検出する異物検出装置１０において、前記食品２０を検出領域Ａに搬送する搬送コンベア１１と、前記検出領域Ａを挟んで少なくとも２方向から食品に対して照明光を照射する照明手段１４、１５と、検出領域Ａの一側から前記食品の表画像を撮像する撮像カメラ１２と、該撮像した表画像に対して２値化処理を含む画像処理を行い、異物を検出する画像処理手段１３と、を備え、前記画像処理手段１３が、前記撮像した表画像を２値化処理し、得られた２値画像のうち予め設定した黒色度の閾値を超える異常な１画素を検出した後に、該１画素に隣接する画素の異常の有無を検出し、異常画素が前記１画素を元に連続的に出現した場合に異物と判定する。このとき、異常画素が連続的な線状で出現した場合には毛髪等の繊維状異物と判定し、連続的な面積状に出現した場合には虫等の面積異物と判定する。
（もっと読む）

【課題】膜厚ムラを精度良く検出する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、基板９と受光部４との間に配置されて光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、ステージ２を移動する移動機構２１、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。ムラ検査装置１では、波長帯切替機構５により選択光学フィルタ５１ａが変更された場合、各光学フィルタ５１の光学特性による影響や選択波長帯の変更に伴うラインセンサ４１のＣＣＤ感度のばらつきの影響が、補正情報記憶部７６に予め記憶されている選択波長帯（選択された光学条件）に対応する補正情報に基づいて補正された後、膜厚ムラの検査が行われる。その結果、膜厚ムラをより精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 限られたタクトタイムにおいても正確に判定できるようにすること。
【解決手段】 欠陥検査装置は、供試体の表面を撮像して原画像を取得し（ステップＡ１）、原画像に基づいて注目画素とその周辺画素の輝度値の平均値を算出し、算出した平均値と前記注目画素の輝度値とを入れ替えたフィルタ処理画像を作成し（ステップＡ２）、前記原画像の画素の輝度値から対応する前記フィルタ処理画像の画素の輝度値を減算した差分処理画像を作成し（ステップＡ３）、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上の場合に当該画素の輝度値を１に入れ替えるとともに、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上でない場合に当該画素の輝度値を０に入れ替えた２値化処理画像を作成し（ステップＡ４）、前記２値化処理画像に対して欠陥の有無を判定する（ステップＡ５、Ａ６）。 （もっと読む）

【課題】
薄膜デバイスを対象とした自動欠陥分類機能を有する外観検査装置において、欠陥分類の条件だしを行うための欠陥種教示を短時間で実現する。
【解決手段】
本発明は、光学式あるいは電子式欠陥検出手段により取得される検査画像に基づいて、比較検査により欠陥を検出すると同時にその欠陥の特徴量を算出し、分類条件設定手段に予め設定した分類条件に従って欠陥分類を行う外観検査方法及び装置であって、前記分類条件設定手段は、予め欠陥検出手段より得られる多数の欠陥に亘る欠陥の特徴量を収集し、該収集された多数の欠陥に亘る欠陥特徴量分布に基づいて欠陥のサンプリングを行い、サンプリング欠陥のレビュー結果に基づいて欠陥分類条件を設定する構成とする。 （もっと読む）