【課題】短い検査時間で被検査物の外観の状態を検査することが可能な外観検査装置およびその画像処理方法を提供する。
【解決手段】ボトルＢの被検査面にあるラベルの状態を検査するラベル検査装置１において、ボトルＢを自転させる検査テーブル５１２と、この検査テーブルを公転させるインデックステーブル５１１と、ボトルＢの１周分以上を順次撮像してそれぞれを走査画像として出力するラインカメラ５２と、ラインカメラ５２により走査画像を１周分より多く結合した画像を元画像とし、この元画像から１周分を切り出した切出画像を被検査面画像とし、被検査面画像に含まれる検査対象画像が分断されているか否かを判定し、検査対象画像が分断されていると判定されると、被検査面画像を前記被検査面の基準位置に対応する位置から２分割し、２分割した被検査面画像のそれぞれの位置を入れ替えて結合して検査画像とする画像処理部を有する制御部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの外観上の欠陥の内、複数色の着色画素に跨がった欠陥を検査の段階で特定するカラーフィルタの外観検査方法を提供する。
【解決手段】予め、着色画素２２などの良品検査画素の濃度範囲を設定し、被検査体カラーフィルタを撮像した際に、各色の着色画素などを判定する各々の検出検査画素の数を設定し、次に、欠陥Ｄ３を構成する検査画素の位置情報から、欠陥の周囲に輪郭部Ｒ３を設定し、輪郭検査画素の各濃度を求め、前記濃度範囲と対比して濃度範囲毎に集計し、次に、輪郭検査画素の数が検出検査画素の数以上であれば、各々の着色画素にあると判定し、次に、輪郭部が２以上の着色画素にれば複数色の着色画素に跨がった欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】外観検査において感度を高く設定すると虚報も多く検出してしまうため、高感度で検査することができないという問題があった。そのため、全体の欠陥捕捉率を高く維持しながら虚報を抑制することにより実質感度を向上する技術が必要であった。
【解決手段】
検出欠陥の画像をもとに画像特徴量を算出し、検出欠陥の位置座標をもとに座標特徴量を算出し、画像特徴量と座標特徴量のいずれかに対するしきい値処理からなる決定木に従って虚報判定を行う構成とする
【効果】上記画像特徴量と座標特徴量を利用し、決定木に従って虚報判定を行うことにより、実欠陥と虚報の識別を精度よく行うことができるため、虚報を抑制しつつ高感度に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】外周面に布部材を螺旋状に巻付けた状態で加硫されて成る長尺物の外観検査を正確に行うことのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】ホースＨを長手方向に移動させながら、照射線Ｌを所定時間おきに撮像することから、ホースＨの輪郭が長手方向に亘って連続的且つ正確に撮像される。また、各撮像データからホースＨの各幅方向位置に応じた照射線Ｌの高さ方向の位置データをそれぞれ抽出し、ホースＨの外周面形状に応じて各幅方向位置ごとに設けられた基準データによって減算処理することから、高さ方向の位置データからホースＨの外周面の円弧形状がキャンセルされる。また、減算処理された各撮像データの高さ方向の位置データを所定の色調基準に基づき撮像順に並べて検査用画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】外周面に螺旋状の凹部または凸部を有する長尺物をその軸方向に移動させながら長尺物の外周面を撮像する際に、撮像位置における長尺物の上下方向及び水平方向の位置を安定させることのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】各ガイド部材３１，４１は互いに周方向に間隔をおいて配置されてホースＨの外周面に当接し、各ガイド部材３１，４１の当接面３１ｂ，４１ｂは螺旋状の凹部ＳＰ（または凸部）のピッチＰの２倍よりもホース軸方向に長く形成されるとともに、ホースＨの外周面との摩擦係数が０．１２以下の低摩擦係数材料から形成されているので、各ガイド部材３１，４１が螺旋状の凹部ＳＰ（または凸部）を乗り越える際にホースＨが上下方向及び水平方向に移動することがなく、ホースＨは各ガイド部材３１，４１上を円滑に移動する。即ち、撮像位置におけるホースＨの上下方向及び水平方向の位置を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】複数層に形成された検査対象物の各形成状態を検査する場合において、品質上問題の生じる可能性の低い領域や検査不可能な領域について、虚報の出やすい領域を除外したり、あるいは閾値を緩くしたり、判定アルゴリズムを変更したりすることで虚報を抑えられるようにする。
【解決手段】配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４を形成したプリント基板２を検査する場合、配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４の設計データで囲まれた領域を膨張処理し、これによって生成された配線パターン２１やパッド２２の設計データに対する膨張領域と、レジスト２３の設計データに対する膨張領域とを重ね合わせる。そして、その重ね合わさった重複領域４３を他の内側領域４１や外側境界領域４２における検査方法と異なる判定アルゴリズムで検査する。あるいは、その重複領域４３については、検査を行わないようにする。 （もっと読む）

【課題】樹脂製キャップの外観自動検査に好適な画像を得るための照明撮像装置を提供する。
【解決手段】樹脂製のキャップ１を撮像し画像処理により検査する場合の照明撮像装置であって、回転するキャップ１の側方から照明をする面状の第１投光部１１と、第１投光部１１の反対側からキャップの側面を撮像するＣＣＤカメラ３と、ＣＣＤカメラ３側の斜上方からキャップ１の内面に照明をするスポット状の第２投光部１２とからなる。 （もっと読む）

【課題】認識すべき文字の一部が見えないような、想定される形態と異なる形態の文字についても、正確に認識できる文字認識装置、外観検査装置及び文字認識方法を提供する。
【解決手段】文字認識装置１は、少なくとも一つの文字列が表記された被検査物を撮影した検査画像を取得する画像取得手段２と、検査画像と文字パターン記憶手段３３から読み出された複数の文字パターンとの一致度を求めて、複数の文字パターンのうちの最も一致する文字パターンが表す文字を認識し、且つその認識された文字の検査画像中の位置を取得する文字認識手段３４と、認識された複数の文字の相対的な位置関係に基づいて文字列情報を取得する文字列情報取得手段３６と、文字列情報が被検査物上に表記される可能性のある文字列である場合、文字列情報は正しいと判定し、表記されるはずのない文字列である場合、文字列情報は誤りであると判定する判定手段３７を有する。 （もっと読む）

【課題】自動式光学検査（AOI）の為の改良されたシステムおよび方法、更に、２次元センサを採用する改良された画像化技術および装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２次元の光センサアレイ４０が一体に形成され、それぞれの画像が検査すべき対象物の一部分を表す複数の画像２４０〜２４８を提供する集積回路と、複数の画像をデジタル形式で加え合わせ、検査すべき対象物の合成画像を提供する合成画像生成器２５２と、合成画像を受信し欠陥報告を提供するよう動作する欠陥分析器２３４と、を備える検査システム。 （もっと読む）

本発明の方法は、走査データを生成するために、試験対象デバイス（１７０）の抜去後に試験ソケット（１２０）を走査するステップを有する。前記走査データが基準データと比較される。前記比較に基づいて前記試験ソケット（１２０）内にピン（２１０）の少なくとも一部が存在することが検出される。試験システム（１００）は、試験ソケット（１２０）、走査装置（１４０）および制御ユニット（１５０）を有する。前記試験ソケット（１２０）は、試験対象デバイス（１７０）を受容するように動作可能である。前記走査装置（１４０）は、走査データを生成するために、試験対象デバイス（１７０）の抜去後に、前記試験ソケット（１２０）を走査するように動作可能である。前記制御ユニット（１５０）は、前記走査データを基準データと比較し、前記比較に基づいて前記試験ソケット（１２０）内にピン（２１０）の少なくとも一部が存在することを検出するように動作可能である。
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【課題】たとえば生産ライン中において、連続的に搬送されるシートに付着した（微）粒子を的確に検出できるにする。
【解決手段】連続して搬送されるシート１表面部分に対し、搬送方向と実質的に直交する形態で光線を照射する照射手段と、前記シート１表面に対向した位置に設けられ、少なくともシート幅全体を、シャッターを開放状態で撮像しアナログ画像を得る撮像手段１０と、前記撮像手段１０からの単位時間ごとアナログ画像を得て、各単位時間ごとの画像フレーム内における、所定の前記搬送方向と直交する解析ラインに中において、輝度レベルが閾値を超えるものを粒子からの散乱によるものであるとして判定する判定手段２１とを有し、前記シート１表面に付着した微粒子の検出を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】自動式光学検査（AOI）の為の改良されたシステムおよび方法、更に、２次元センサを採用する改良された画像化技術および装置を提供する。
【解決手段】非連続の照明を提供する光源と、検査すべき対象物の複数の少なくとも部分的に重なり合う二次元画像フレームを、あるフレーム速度で取得するように動作する二次元の光センサアレイと、前記二次元画像フレームを受信し、検査すべき前記対象物の表現を生成するために重なり合った部分を結合するように、前記表現の検査に基づいて検査すべき前記対象物上の欠陥の報告を提供するよう動作する欠陥分析器と、を備える検査システムであって、前記非連続の照明と、前記フレーム速度とが、概ね同期している、検査システム。 （もっと読む）

【課題】外観検査方法及び外観検査装置において、検査対象物の周縁部分が曲面である場合でも、周縁部分を含めて精度の良い欠陥検出を可能とする。
【解決手段】曲面部を含んだ検査対象画像Ｐ０を得て（Ｓ１０１）、これから微分画像Ｐ１を得る（Ｓ１０２）。この微分画像Ｐ１上の各画素から所定の微分値以上となる端部画素を抽出した２値化画像Ｐ２を得る（Ｓ１０３）。各端部画素により連結される領域を端部領域とし（Ｓ１０４）、端部領域において、検査対象物の端側の画素からなる第１の境界線と、対象物の内側の画素からなる第２の境界線を決定する（Ｓ１０５）。各境界線に基づき、端部側の第１の検査領域Ａ１と、内部側の第２の検査領域Ａ２とを決定する（Ｓ１０６）。これら各検査領域Ａ１、Ａ２とにおいてそれぞれ異なる検査条件で欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】連続的にピッチが変化する繰り返しパターンを持つ電極に対して、従来方法でも検出できていた欠陥はもとより、従来方法では見逃していたあらゆる形態の欠陥についても、安定して確実に検出することができる電極検査方法を提供する。
【解決手段】連続的にピッチが変化する繰り返しパターンを持つ電極に対して、ピッチを規定する情報をピッチテーブルメモリに記憶し、ピッチテーブルメモリからピッチ情報を読み出し、そのピッチ情報を基に撮像画像における電極の繰り返しピッチだけ離れた画素の濃度をＦＩＦＯメモリに記憶し、ＦＩＦＯメモリから読み出された画素濃度をサブピクセル処理し、さらに繰り返しピッチの小数部分に対応する画素濃度を求めるサブピクセル処理をし、それらのサブピクセル処理により得られた画素濃度を基にして繰り返しピッチ離れた画素を比較処理し、その比較結果から欠陥部を抽出する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットカラーフィルタのインク吐出ヘッドノズルのインク吐出量調整用データを高速に取得することと、生産時、検査装置にて常時ムラ状態を監視すること。
【解決手段】ラインカメラを用いた、インクジェットカラーフィルタのインク吐出ヘッドノズルのインク吐出量調整用データの高速取得方法および、インライン計測検査システムであって、インライン検査時にインクジェットカラーフィルタに対し、画素内の測定対象平均輝度データを算出し、条件出し時には、このデータを基に塗工装置にフィードバックをかけ、通常生産時には通常検査と併用し同輝度データをサンプリングすることで、塗工装置ヘッドノズルの状態を監視、ムラ異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】高密度実装基板上の実装部品の実装状態の良否の検査を、より正確かつ容易に行うことを可能にする。
【解決手段】撮像データを取得する撮像データ取得部１２と、取得した撮像データから、対象とする複数個の実装部品に関する画像データをそれぞれ抽出する解析領域抽出部１４と、抽出した各画像データから、上記複数個の実装部品のそれぞれについての、上記異なる色の光ごとの画素値ヒストグラムを作成するヒストグラム作成部１５と、作成した各分布データの、上記複数個の実装部品のそれぞれの間での差異に応じて、上記複数個の実装部品を、同じ検査パラメータを利用する実装部品ごとに区分するヒストグラム解析部１６およびバリエーション分割処理部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】大きさや形状が異なるむらが混在する場合においても、むらの検出を安定して自動的かつ効率的に行うことができる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】中心領域平均算出部１４は、対象画素に対応する中心領域における輝度（画像データにおける各画素の濃淡値）の平均値（中心領域平均輝度）を算出する。周辺領域１平均算出部１５１〜周辺領域Ｎ平均算出部１５Ｎは、同様に、この中心領域に対応する周辺領域１〜周辺領域Ｎにおける各画素の濃淡値の平均値（周辺領域Ｎ平均輝度）を算出する。次に、平均差分算出部１６は、中心領域平均輝度と周辺領域１平均輝度〜周辺領域Ｎ平均輝度との差分値（差分値１〜差分値Ｎ）を算出する。さらに、平均差分算出部１６は、差分値１〜差分値Ｎの中から代表値（代表差分値）を抽出する。この外観検査装置１においては、この代表差分値を用いてむらの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】カラーマッチングが不十分又は不可能であることによる検出エラーを、特に暗視野画像においても実質的に減少できる装置及び方法を提供すること。
【解決手段】第１及び第２の照明モード、特に明視野及び暗視野照明でウエハ６の表面の一領域８を照明するための１以上の落射光照明装置２、２’、照明された領域８の画像を検出するための１以上の検出装置４、各落射光照明モードでの最適化された強度及び色の数値を記憶するための装置を備える検査装置及びその検査方法である。 （もっと読む）

【課題】鏡面である対象面上の各位置における傾斜方向および傾斜角を容易かつ精度よく求める。
【解決手段】欠陥検出装置１では、点光源である光源部１１からの光束がビームスプリッタ１４１およびレンズ１４２を介して平行光として対象面９１に照射され、対象面９１からの反射光がピンホール板１５が位置する集光面に集光される。ピンホール板１５のピンホール１５１を透過した光は、レンズ１６を介して平行光とされてイメージセンサ１７へと導かれる。反射光は対象面９１の各位置の傾斜方向および傾斜角に応じた集光面上の位置に集光されるため、取得される画像では傾斜方向および傾斜角が同じ領域が明るくなる。したがって、ピンホール板１５をＸＹ移動機構２１により移動しつつイメージセンサ１７にて画像の取得を繰り返すことにより、対象面９１上の各位置の傾斜方向および傾斜角を求めることができる情報を容易かつ精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】パターンの形成位置や大きさにばらつきがあっても、そのばらつきが欠陥の検出精度に影響を及ぼさないようにする。
【解決手段】直線状の回路パターンが限定された方向に沿って形成されているワークを対象に、このワークの画像に局所領域を設定し、領域内のエッジ構成画素の濃度勾配方向について、ヒストグラムを作成する。さらに、このヒストグラムが限定された方向の回路パターンのヒストグラムに適合するか否かを解析することにより、局所領域内に欠陥が含まれるかどうかを判別する。 （もっと読む）