【課題】ウェーブレット係数や輝度情報などを用いて、空間分解能以下のひび割れ幅を精度よく、しかも高い確証のもとに推定し、もって実際のひび割れ幅を特定することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成する第一工程と、ひび割れ抽出画像を作成する第二工程と、該ひび割れ幅を目的変数とし、かつ、複数の説明変数から形成されるひび割れ幅の推定式を重回帰分析から規定し、該推定式に基づいてひび割れ幅を特定する第三工程と、からなるひび割れ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】物体表面画像の縁部分の領域において適正な画像処理済の施された画像を得ることのできる画像処理方法を提供するものである。
【解決手段】画素単位の濃淡値により構成され、物体表面画像を含む被処理画像を取得する画像取得ステップ（Ｓ１１）と、前記被処理画像において設定された前記物体表面画像の縁線を含み、該縁線に直交する方向に所定幅となる領域の画像を縁部画像として特定する縁部画像特定ステップ（Ｓ１３）と、前記縁部画像を前記所定幅に相当する幅の矩形画像に変換する変換ステップ（Ｓ１４）と、前記矩形画像に対して、その幅方向に直交する方向に並ぶ複数画素の濃淡値を順次処理する１次元画像処理を施す画像処理ステップ（Ｓ１５）と、前記１次元画像処理の施された前記矩形画像を元の領域の画像に逆変換して処理済縁部画像を生成する逆変換ステップ（Ｓ１６）とを有する構成となる。 （もっと読む）

【課題】被塗布面が目視不可能な箇所に配置されている被塗布材の被塗布面に塗布される塗布材の分布を非破壊検査によって測定することが可能な塗布分布測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】目視不可能な箇所に配置される車体２のフード３の内面４に塗布される加温ワックス７の塗布分布を測定する分布測定工程であって、加温ワックス７が内面４に塗布された直後に、目視可能なフード３の表面８を赤外線カメラ１１で撮像し、赤外線カメラ１１により得られた熱画像データ２０を、解析アルゴリズム２２を用いて処理することにより加温ワックス７の塗布分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】水に濡れた被検査体に含まれる異物を判別する精度を向上させること。
【解決手段】特定の単一波長且つ直線偏光のレーザー光を被検査体（Ｓ）に照射する照射光源系（７）と、前記被検査体（Ｓ）自身による前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向成分を含む反射・散乱光と、前記被検査体（Ｓ）表面の水による前記レーザー光と同じ偏光方向の反射光と、を含む反射・散乱光の中で、少なくとも前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分を含む反射・散乱光を受光する受光素子（ＰＤ１〜ＰＤｎ）を有する受光光学系（８）と、受光した反射・散乱光の前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分に基づいて、前記被検査体（Ｓ）が異物であるか否かを判別する異物混入判別手段（１１Ａ）と、を備えた異物混入判別装置（６）。 （もっと読む）

本発明は、基板（２）の透明な、または鏡のような表面を分析するための分析装置（１）に関し、前記装置は、測定されるべき基板表面に対向して位置決めされるラスタ（１０）と、測定される基板によって変形されるラスタの少なくとも１つの画像を取得するためのビデオカメラ（３）と、ラスタの照明システム（４）と、ビデオカメラ（３）へ接続される画像処理およびデジタル分析手段（５）とを備える。本発明によれば、ビデオカメラ（３）はマトリクスアレイカメラであり、ラスタ（１０）は、矩形形状を有しかつ基板の第１の方向に沿って、かつ基板の最小の広がりに沿って延びる第１のパターン（１０ａ）を有することにおいて二方向性である基板（１１）上に設けられ、第１のパターンは最小の広がりに対して横断方向に周期的であり、かつ第２のパターン（１０ｂ）は第１のパターンに垂直な第２の方向に、かつ基板の最大の広がりに沿って延びる。
（もっと読む）

【課題】画像処理を用いた回路パターンの欠陥検査では、画像の取り込みの際に、１画素以下の位置ズレによって２値化画像にした際に１画素分の誤差が生じるおそれがある。この誤差は、基準となる画像データを膨張・縮小させた標準データとの比較によって欠陥の有無を検出する際に検出誤差となるという課題があった。
【解決手段】被検査物の画像データと基準画像データの位置的な誤差をそれぞれの画像データの特定領域を用いて１画素以下のオーダーで測定するズレ測定部２０を備え、２値化する前の画像データをサブピクセルのオーダーで位置合せの修正を行う修正部を備えるパターン検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの色ムラ測定において、計測カメラのバックグラウンドノイズの影響を最小限に抑えることによって、正確な色ムラを検知し、算出し、インクジェット方式により製造されるカラーフィルタの場合は、色ムラを調整することによって、全ての画素が均一に着色され、色度が所望の値に調整されたカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】カメラの視野内に設定した縦横それぞれ複数のカメラ画素から成る領域を有効視野単位とし、被検査領域全体にわたって複数の有効視野単位に分割して順次撮像する撮像手段を有し、各有効視野単位のカメラ画素ごとの輝度測定値を色別に分類し、同一色のカメラ画素の集合から輝度測定セル領域を定め、該輝度測定セル領域内の平均輝度値を算出して、異なる輝度測定セル領域の同一色の平均輝度値との比較をする画像処理手段により、色ムラを検知し、平均輝度値から補正吐出量を求めて、色ムラを調整する。 （もっと読む）

【課題】印刷されたドットパターン画像における欠陥検出を可能にすること。
【解決手段】本発明のいくつかの用途は印刷回路（ＰＣＢ）基板の検査用システムの各種
実施形態における使用にある。生成された歪みマップは再構築されたドットパターン画像
、シミュレートされた基準ビットマップ、および再構築されたドットパターン画像と基準
ビットマップとの差を表すエラーマップに基づいている。さらに歪みマップのピクセルは
比較の結果発見された異常の位置および種類を特定するために色分けされる。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成により、所定の受光角度でしか輝度変化を得ることができないような微小凹凸疵、色調変化疵をリアルタイム検出し、帯状体がロールに巻き付いた形状であっても帯状体のエッジを適切かつ正確に認識できる疵検査装置を提供する。
【解決手段】ロール２に巻き付いた形状で移動する帯状体１の表面に帯状光Ｌ１を照射した帯状体面上の２次元照射領域ＬＡを、帯状光の入射と対向設置して撮像する２次元撮像装置２０を備え、該２次元撮像装置は、帯状体の照射領域からの反射光の中で所定の２つ以上の異なる受光角度βで特定される反射光のみの画像信号を、帯状体の搬送速度に同期させて同時に部分読み出した画素列から得られる画像信号を帯状体の長手方向に合成する画像処理装置３２と、画像列からエッジ位置を算出するエッジ算出装置３１を備えることで、発生する疵に合わせて複数の受光角度で精度よくリアルタイム疵検出する。 （もっと読む）

【課題】複数のカラー光源を利用して、鏡面状の検査面を有する検査対象物の欠陥を確実に検出できるようにする。
【解決手段】 検査面２の法線方向に光軸を一致させてカラーラインＴＶカメラ３を配置し、検査面２を横切るカラーラインＴＶカメラ３のライン状視野に対して平行でかつカラーラインＴＶカメラ３の光軸から離れた位置に赤緑青３色の棒状のライン光源４，５，６を配置し、検査面２とカラーラインＴＶカメラ３との間にハーフミラー７を配置し、緑色ライン光源５をその光がハーフミラー７を介してカラーラインＴＶカメラ３の光軸と同軸に検査面２に照射されるように配置し、緑色ライン光源５を挟んで赤色ライン光源４および青色ライン光源６を平行に並べて配置し、ハーフミラー７を介して赤色ライン光源４および青色ライン光源６の光が緑色ライン光源５の光路を挟んで検査面２に対し斜め方向から照射されるようにした。 （もっと読む）

【課題】検査対象の搬送速度に変動が生じても、欠陥を確実に検出する。
【解決手段】搬送中のフイルムを受光器により撮像する。撮像により得られるフレーム画像６０にハフ変換を施し、直線６２を検出する。直線６２のうち、フレーム画像の中心Ｃ１に最も近い中心直線６２ａを特定する。中心直線６２ａと交差する直線の交点６７を求める。求めた交点６７の座標を用いて、Ｘ軸方向の隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＹ軸方向の隣接交点間距離Ｑ１〜Ｑ１５を求める。隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＱ１〜Ｑ１５に基づいて、比較ピッチＸｐ，Ｙｐを求める。フレーム画像６０上の指定画素とその指定画素から比較ピッチ分Ｘｐ，Ｙｐだけ離れた比較画素を特定する。指定画素及び比較画素の濃度値に基づき、指定画素について差分処理を行う。フレーム画像６０の画素の全てに対して差分処理を行うことにより、フレーム画像６０からメッシュ部６３が除去される。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の欠陥を高い精度で検出する。
【解決手段】表面欠陥検査装置は、被検査物１の微分干渉光学像を形成する微分干渉光学系と前記微分干渉光学像を撮像して微分干渉画像を得る撮像部とを有する微分干渉画像取得部２と、前記微分干渉画像を処理して、被検査物１の表面における欠陥を検出する処理部３と、を備える。処理部３は、前記微分干渉光学系のシア方向と前記撮像部における画素の１つの並び方向との間のずれに応じて、前記撮像部により得られた前記微分干渉画像又はこれに対して所定の前処理を行った画像を回転させる画像回転処理を行う画像回転処理手段を、有する。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンから特定パターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、を備えているパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像の光学画像を同時に取得する光学画像取得部と、特定パターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状から特定パターンを識別する特定パターン識別部と、特定パターンを特定検査実行領域に設定する特定検査実行領域設定部と、特定検査実行領域において、光学画像取得部で取得した光学画像のパターン検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】試料のパターンからアシストパターンを透過画像と反射画像を用いて識別すること。
【解決手段】パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、を備えているアシストパターン識別装置、及び、パターンを有する試料の透過画像と反射画像を同時に取得する光学画像取得部と、アシストパターンの識別条件により透過画像と反射画像のパターン形状からアシストパターンを識別するアシストパターン識別部と、アシストパターンをデセンス領域に設定するデセンス領域設定部と、デセンス領域において、パターンの比較検査を行う比較判定部と、を備えている試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】屋外の評価対象物や判定実施物から離れた地点から撮影した画像であって照明条件が一定に保たれていない画像であっても腐食度の判定を精度良く行うことを可能にする。
【解決手段】評価対象物の事例画像データ及び事例画像に対して色温度及び明るさ又はそれらの一方を変化させた加工事例画像データの画像特徴量を抽出すると共に特徴空間上に表現して腐食度の判別面を生成するステップ（Ｓ１）と、判定実施物の判定画像データ及び判定画像に対して色温度及び明るさ又はそれらの一方を変化させた加工判定画像データの画像特徴量を抽出して判別面を用いて判定画像の腐食度を判定するステップ（Ｓ２）とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】高い感度で高速に検査を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、ウェハＷの表面に照明光を照射する照明部１０と、照明光が照射されたウェハＷの表面からの光を検出する２次元撮像素子３３と、２次元撮像素子３３により検出された光情報を読み出して、当該光情報に基づきウェハＷの表面を検査するとともに、２次元撮像素子３３における検査に適する部分を求めるＣＰＵ４３とを備え、２次元撮像素子３３は、光情報を画素単位で部分的に読み出すことが可能なＣＭＯＳイメージセンサであり、ＣＰＵ４３は、２次元撮像素子３３における検査に適する部分の光情報のみを読み出して検査するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 処理を高速に行うことが可能な欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基準画像の画像データを１画素分ずつアドレス順に抽出する基準画像対象画素抽出部１３を備える。検査画像の画像データの中から、基準画像画素抽出部１３により抽出される画像データと対応するアドレスの画像データ、並びに、その周囲の画像データを抽出する検査画像対象画素群抽出部１４を備える。検査画像対象画素群抽出部１４により一度に抽出される各画像データと１対１で対応する画素比較部２１〜２９と、画素比較部２１〜２９と１対１で対応する二値化データメモリ群３１〜３９を備える。各二値化データメモリ群３１〜３９に記憶された二値化データを集計する二値値集計部８５と、二値値集計部８５による集計結果に応じて、二値化データメモリ群３１〜３９のうちの何れか１つを選択する選択部８６を備える。検査画像における欠陥を検出する良否判定部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】正常に塗布されたインクと連結して塗布されたインクとを液状体のまま識別することが可能な検査装置、突状体の検査方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板２の上面２ａに形成されたのカラーインク５の輪郭形状を検査する検査装置にかかわり、上面２ａと垂直な方向に対して斜めの方向から基板２に照射光５８を照射する照明装置２８と、上面２ａと略垂直な方向からカラーインク５を撮像する撮像装置２４と、撮像装置２４により撮像された画像を用いて、画像の明部と暗部の形状からカラーインク５の輪郭形状を識別する識別演算部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分の信号を漏れなく検出する。
【解決手段】欠陥検査対象のフィルムを受光器により撮像する。受光器で得られた撮像信号を微分処理する。微分処理が施された微分処理信号のうち、一定の画素範囲内で輝度値が最大となる極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａと輝度値が最小となる極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂとを検出する。基準信号５５の輝度値と極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１として求める。基準信号５５の輝度値と極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２として求める。第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１と第２差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２を加算して、加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求める。加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣが一定値以上である場合に、それら加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求めた画素範囲内の信号を、フィルムの欠陥部分の信号として特定する。 （もっと読む）

【課題】キズ等の欠陥が強調された欠陥抽出画像を生成することができる。
【解決手段】被検査物の欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、被検査物を撮像した対象画像からマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像により対象画像をマスクして、対象画像に撮像された被検査物の欠陥を抽出する抽出部とを備え、マスク画像生成部は、対象画像における、輝度がより高い部分を膨張させ、輝度がより低い部分を収縮させる高輝度強調部と、対象画像における、輝度がより高い部分を収縮させ、輝度がより低い部分を膨張させる低輝度強調部と、高輝度強調部および低輝度強調部が出力した画像の差分をとってマスク画像を生成する差分処理部と、を有する欠陥抽出装置が提供される。 （もっと読む）