【課題】検査対象の端部を正確に検出することができる撮影検査システムを提供する。
【解決手段】照射部１０が、検査対象の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する。照射側偏光部１１が、照射部１０と検査対象の存在位置との間に設けられ、検査対象に向かう照射部１０からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる。撮影側偏光部１２が、検査対象の表面と撮影部との間に設置され、特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる。画像処理部１３は、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する。また、照射側偏光部１１は、検査対象の裏面と検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射する。 （もっと読む）

【課題】噴射装置から噴射される流体の噴射方向を精度良く測定することができる噴霧測定方法及び噴霧測定装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、実空間上で噴口３２から燃料を噴射した際に面状光２０上に形成される噴霧断面画像４０を取得し、噴霧断面画像４０上で抽出した噴霧断面像４０ａに対応する重心算出領域Ｄを可変設定するとともに、可変設定された重心算出領域Ｄ内の各画素の輝度を重みとして当該重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇを算出し、重心算出領域Ｄの重心位置Ｐｇと中心位置Ｐｃとが設定誤差範囲内で一致するときノズル３１から重心位置Ｐｇに向かう方向を噴霧方向として特定する。これにより、インジェクタ３０から噴射される燃料の噴射方向を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】個人差が生じない定量的な検査結果を得ることのできる線材表面探傷装置を提供する。
【解決手段】線材表面１ａをカメラ２で撮像し、そのカメラ２で撮像した画像を画像処理装置３で画素数としてカウントし数値化する。数値化した画素数を線材１の長手方向位置に対応させてグラフ化して表示部に表示し、画素数が多く出た部位を傷が付いた部位と判断する。 （もっと読む）

【課題】 診断対象を変質させない非破壊検査で診断できて、現場で簡便に実施でき、かつ劣化度を高精度に定量的に評価できるようにする。
【解決手段】 原画像のデータを処理し、防水シートの劣化に伴って現れる要素として定められた画像の複数種類の特徴量抽出する。この抽出した各種類の特徴量を、重回帰分析によって解析し、防水シートの破断時の伸び率の保持率である残存品質を求める。画像処理では、クラック領域と非クラック領域とに２値化処理によって領域分割する。前記複数種類の特徴量として、クラックの大きさに係る特徴量である、クラック領域の占める面積比率、距離変換で得る平均幅を用い、さらに局所的最大値による特徴量、および隣接ピクセルを比較することによって得られる特徴量を用いる。 （もっと読む）

【課題】異物の付着した面が被検物の２面のうちのいずれの面であるかを検出することが可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、被検物に検査光を投光する投光部と、検査光が投光されることによって被検物から生じる散乱光の強度を検出する検出器を含む受光部と、制御部とを備える。検出器は、偏光方向が第１の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第１の散乱光の強度と、偏光方向が第２の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第２の散乱光の強度とを検出する。制御部は、検出器により検出された第１の散乱光の強度および第２の散乱光の強度の比が基準値より大きいか小さいかによって異物が付着した面が第１面および第２面のいずれであるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】多層に構成された部分を有する透明な成形物について、多層中の特定の層の有無や、層構成の異なる位置、または層のムラを安定的に精度よく検出可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２層に構成された部分を有する、透明な検査対象物１を検査する検査装置２０は、検査対象物１に照射する、第１の波長λ１の光と第１の波長λ１とは異なる第２の波長λ２の光を放射する面光源３１と；第１の波長λ１と第２の波長λ２の光が照射された検査対象物１を撮影する撮像装置４１と；第１の波長λ１と第２の波長λ２の光のそれぞれについて、撮像装置４１により撮影された画像データから各画素の濃度値を抽出し、画素毎に第１の波長λ１の光と第２の波長λ２の光について画素濃度の比を求める演算装置５１とを備える。さらに検査装置２０では、演算装置５１が前記画素濃度の比の変化量に基づいて、検査対象物１の良／不良を判断する。 （もっと読む）

【課題】照明の輝度変化および検査対象物の構造による輝度変化による誤検出を低減し、安定して異物を検出可能な異物検出装置および異物検出方法を提供すること。
【解決手段】異物検出装置は、検査対象を撮像した撮像画像に対して各画素の輝度を検出し、この輝度に基づいて全画素から対象画素を抽出する対象画素抽出手段６２１と、前記対象画素と前記対象画素の周辺に位置する複数の周辺画素との輝度差を検出する輝度差検出手段（フィルター処理手段６２２）と、前記輝度差に基づいて異物の有無を判定する異物判定手段６２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】連続的に移動する検査対象を静止させることなく、光沢を除去して、より精度の高い画像処理を行うことのできる画像処理方法および画像処理システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置は、所定位置に配置された撮像部を用いて、当該撮像部に対して一定の相対位置に配置された照明光源で当該撮像部の視野を照明した状態で、予め定められた方向に移動する検査対象を複数回撮像し、撮像部による一連の撮像により取得される複数の画像のうち２つの画像間で検査対象の少なくとも一部を示す領域を順次探索することで、検査対象を基準として、複数の画像を位置合わせし、当該位置合わせされた複数の画像から合成画像を生成する。 （もっと読む）

【目的】粗密パターン各々に対して、高い信号強度を得ることが可能なパターン検査装置提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、パターン形成されたフォトマスク１０１を照明する照明光学系１７０と、照明によってフォトマスク１０１から得られる第１の光学画像を複数の第２の光学画像に光学的に分離するビームスプリッタ１３１と、分離された複数の第２の光学画像を用いて、少なくとも一部の信号強度が異なる複数の光学画像データを生成する複数のセンサ回路１０６，１３６と、複数の光学画像データの１つと比較するための基準画像データを生成する参照回路１１２と、画素毎に、数の光学画像データの１つと基準画像データとを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生じる光線経路の変化が異なる様々な種類の欠陥を一度に十分な精度で検出できる欠陥検査用画像処理装置等を実現する。
【解決手段】欠陥検査用画像処理装置（画像解析装置）６は、移動中の成形シートをエリアカメラ５で時間的に連続して撮影した画像データを処理するものであり、画像データ上の異なる複数の位置について、同一位置のラインデータを異なる画像データからそれぞれ抽出するデータ抽出部１１と、複数のラインデータを画像データ上の位置ごとに時系列に並べて複数のライン合成画像データを生成するデータ格納部１３と、複数のライン合成画像データに微分オペレータ演算を行って複数の強調画像データを生成する変化量算出部１５と、複数の強調画像データから成形シートの同一箇所を示すものを抽出する同一箇所判定抽出部１６と、抽出された強調画像データの輝度値を画素ごとに積算して欠陥検査用画像データを生成する積算部１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光が正反射する被検体の表面欠陥を検査する際に、光源が映り込んで発生する光の影響を抑制できる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】
第１照明光を発生させる第１光源と、第２照明光を発生させる第２光源と、被検体が照らされるように第１照明光及び第２照明光を反射するハーフミラーと、第１照明光が被検体から反射した第１反射光を受光して得られた第１画像、及び第２照明光が被検体から反射した第２反射光を受光して得られた第２画像を撮像する撮像部と、第１画像、及び第２画像を分離する画像分離部と、第１画像及び第２画像のそれぞれに対し、閾値以上の光強度を有する画素を特定する画素特定部と、第１画像において特定された前記画素を、第２画像の対応画素で補完し、第２画像において特定された画素を、第１画素の対応画素で補完する画素補完部と、を含む。 （もっと読む）

【目的】検査処理の運用をできるだけ妨げないでレーザ光源の保守を行う検査システムを提供する。
【構成】パターン検査システム１００は、レーザ光源装置１０３と、前記レーザ光を照明して、被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得装置１５０と、前記光学画像を入力し、前記光学画像を比較対象画像と比較する比較装置１４０と、前記レーザ光源装置と前記光学画像取得装置とを制御する制御装置１６０と、を備え、制御装置１６０は、定期的に前記レーザ光源装置からレーザ光源装置１０３の保守動作の必要性の程度を示す識別子と前回保守動作を行なってからの経過時間とを入力し、前記識別子と前記経過時間との少なくとも１つに基づいて保守動作実行コマンドを前記レーザ光源装置に出力し、前記レーザ光源装置１０３は、前記保守動作実行コマンドに基づいて、前記レーザ光源装置１０３の保守動作を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速の画像処理が可能で、エッジ付近の汚れや形状不良の影響を受けず、簡単な構成で、正確な表面検査を行うことができる、表面検査装置および方法を提供することを課題とする。
【解決手段】被検査面に光を照射する光源と、前記被検査面からの反射光を受光し撮像する、互いに視野がオーバラップするように前記被検査面の幅方向に配列された複数台のカメラと、該カメラからの撮像信号を１対１対応で処理する複数台の画像処理装置と、該画像処理装置からの疵情報を処理する計算機とを備え、前記被検査面に存在する表面疵を検出する表面検査装置であって、前記画像処理装置は、それぞれ独立に、かつ、同一の処理を行う、エッジ検出処理手段およびエッジ処理手段を備える。 （もっと読む）

【課題】機械加工が施されたワークの表面の傷の有無を検出し、かつ、その位置、大きさを推定できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】シリンダブロック５に切削加工されたボア３の内側表面３Ａを検査する表面検査装置９において、切削加工と直交する方向に所定長さ延びる１次元デジタル輝度画像を前記デジタル輝度画像から抽出し、１次元パワースペクトル処理部６３と、１次元パワースペクトルデータの周波数ｆに対応するピッチごとに信号強度を示すピッチデータに変換するツール目ピッチ変換部６４と、ピッチデータを並列に並べて評価用画像を生成する評価用画像生成部５５と、前記評価用画像に基づいて傷の有無を検出する評価部５７とを有し、前記１次元パワースペクトル処理部は、１次元方向の長さＬを可変しながら１次元パワースペクトルデータを算出し、前記ツール目ピッチ変換部は、複数のピッチデータを合成して１つのピッチデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】篩の編み目、コンクリート、地質、アスファルトの表面状態の品質を分析・評価することができる品質検査方法および品質検査装置に関する。
【解決手段】編み目または表面に微細開孔を有する被測定部材４４が予め決められた大きさのものであるか否かをパーソナルコンピュータ４１に予め記憶されたデータと比較することによって品質を判断することができる。デジタルカメラ４２は被測定部材４４を撮影し、微細開孔の大きさ、分布等により品質を分析することができる。デジタルカメラ４２は、被測定部材４４をデジタルカメラによって撮影し、画像データとしてパーソナルコンピュータ４１に読み込み込まれる。パーソナルコンピュータ４１はデジタルカメラ４２によって予め読み込まれている基準スケールの画像データに被測定部材４４の画像データを重ね１ピクセル毎に比較される。 （もっと読む）

【課題】 可視画像だけではとらえることの難しいひび割れなどの欠陥を検査する装置を提供する。
【解決手段】 可視画像撮像部２と赤外画像撮像部１０は、ともに同一の対象領域を撮像する。赤外画像欠陥部位特定手段１２は、当該赤外画像のいずれか１枚に基づいて、画像の濃度差によってパターン解析を行い、欠陥部位を特定する。赤外画画像検索領域設定手段１４は、赤外画像において、前記欠陥部位を含む検索領域を設定する。可視画像検索領域設定手段４は、赤外画像に設定された検索領域に対応させて、一連の可視画像に検索領域を設定する。可視画像高解像度処理手段５は、上記一連の可視画像に設定された検索領域について、高解像度化を行う。可視画像欠陥部位特定手段６は、高解像度化された一連の可視画像の検索領域に基づいて、画像の濃度差によってパターン解析を行い、欠陥部位を特定する。可視画像欠陥寸法特定手段８は、一連の可視画像の検索領域に基づいて、前記欠陥部位の寸法を特定する。 （もっと読む）

【課題】冷延鋼板や鍍金鋼板に比べて表面粗度が大きい酸洗鋼板表面上の、０．１ｍｍ以下の微小なスケール残りを過剰検出なく検査できる、酸洗鋼板のスケール残り検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】鋼板表面と平行に配置したリング拡散照明と、該リング拡散照明の中央部の開口を通して鋼板表面を撮影する、空間分解能が０．０３ｍｍ以上０．１ｍｍ以下であるカメラと、撮影された画像内で所定のしきい値を下回る画素の領域をスケール残りと判定する信号処理装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】エッジを抽出することなくスルーホールの位置ずれを正確に検査できるようにする。
【解決手段】パッド８１のスルーホール８４の形成状態を検査する場合、事前に、パッド８１の座標位置やパッドＲＧＢ情報、除外ＲＧＢ情報を設定しておく。そして、プリント基板８から取得された表面画像を元に、先の座標位置やパッドＲＧＢ情報、除外ＲＧＢ情報を用いて検査領域９の画像を抽出する。次に、この抽出された検査領域９の画像を二値化し、その二値化マップに基づいてパッド８１以外の領域についてラベリング処理を実行する。そして、検査領域９の境界部分９１に接するラベリング領域９２を除去し、その除去後のラベリング領域９２の個数をカウントしてその個数が「１」であれば「位置ずれなし」、個数が「０」であれば「位置ずれあり」と判定する。 （もっと読む）

【課題】精度よく色ムラを測定する色ムラ測定方法、および色ムラ測定装置を提供する。
【解決手段】色ムラ測定方法は、プロジェクタ２の表示領域に測位用画像を表示させる測位用画像表示工程と、測位用画像を撮像装置３により撮像させる測位用画像撮像工程と、測位用撮像画像データに基づいて測定点の座標位置を設定する測定座標設定工程と、プロジェクタ２の表示領域に色ムラ測定用画像を表示させる色ムラ測定用画像表示工程と、色ムラ測定用画像の明るさに対する撮像装置３のホワイトバランスを設定する撮像設定工程と、色ムラ測定用画像表示工程により表示される色ムラ測定用画像を撮像する色ムラ測定用画像撮像工程と、色ムラ測定用撮像画像データ内の測定座標の色度を測定する色度測定工程と、測定された色度に基づいて、色ムラを測定する色ムラ測定工程と、を具備した。 （もっと読む）