【課題】塗布液の付与および基板の回転により形成された基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認する。
【解決手段】基板上の膜は、外部のスピンコータにおいて主面上にレジスト液を塗布するとともに基板を主面に垂直な回転軸を中心として回転することにより形成されており、ムラ検査装置では、基板の膜から得られる対象画像７１中において、基板の上面上にて回転軸を中心として設定される複数の遠心方向のそれぞれに対応する動径方向に並ぶ画素の値を積算することにより、複数の遠心方向に対応する複数の評価値が取得される。その結果、評価値を参照することにより、基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に沿って伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得する。
【解決手段】ムラ検査装置では、２値画像取得部６２にて多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像が取得され、筋領域特定部６３により複数の２値画像のそれぞれにおいて扁平度が所定値以上となる閉領域である筋領域が特定される。領域グループ取得部６４では、閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、筋ムラを示す領域グループが求められ、筋ムラ強度取得部６５にて各領域グループに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲が筋ムラ強度として取得される。これにより、ムラ検査装置では、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 表面に透明な保護膜が形成された半導体素子の外観検査方法を提供する。
【解決手段】 表面に透明な保護膜１５が形成された光半導体素子１０を撮像した画像データに基づいて、外周領域３１と電極領域３２とを除いて、光半導体素子１０の外観検査領域３３を設定するステップと、外観検査領域３３内の画素信号の平均値を求め、平均値と所定の第１基準値とを比較し、比較結果に応じて第１の欠陥を抽出するステップと、平均値に１より大きい所定の係数を乗じて第２基準値を求め、外観検査領３３域内の画素信号と第２基準値とを比較し、比較結果に応じて第２の欠陥を抽出するステップとを具備する。保護膜１５の膜厚不良部（第１の欠陥）、膜剥離部（第２の欠陥）を検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の微小な凹凸等を単独で欠陥として検出されるおそれを排除しつつ、その微小な凹凸等が密集している領域を欠陥又は欠陥に準じて検出する。
【解決手段】被検査物の表面を検査光で走査し、表面からの反射光の光量に応じた信号を出力する検出手段を備えた表面検査装置において、検出手段の出力信号に基づいて被検査物の表面の２次元画像を生成し（Ｓ１）、２次元画像に含まれる画素を被検査物の表面の欠陥に対応した階調の第１の画素群と欠陥に対応しない階調の第２の画素群とに区別し、第１の画素群を第２の画素群にて囲まれた範囲毎に欠陥候補部として抽出し（Ｓ３〜Ｓ５）、所定の大きさ以上の欠陥候補部を欠陥として識別し（Ｓ６）、２次元画像を所定の検査領域毎に検査し、該検査領域内における所定の大きさに満たない欠陥候補部の密集度が所定レベル以上の検査領域を欠陥領域として識別する（Ｓ７、Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】被検査物が曲面体であっても十分な明るさをもった撮影画像が確保でき、より信頼性の高い表面欠陥検査が可能となる表面欠陥検査装置を提供する
【解決手段】複数の発光素子３０を有する照明部３と、この照明部３による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラ４と、撮像カメラ４の出力信号を評価して被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段とを備えた表面欠陥検査装置。照明部３が、内側に所定形状の暗面を残すレイアウトパターンでかつその照射光軸Ｉｘが撮像カメラのカメラ光軸Ｃｘに対して平行となるように発光素子３０ａを配列している主照明部３Ａと、その照射光軸Ｉｘがカメラ光軸Ｃｘに対して交差するように発光素子３０ｂを配置している補助照明部３Ｂとからなる。 （もっと読む）

【課題】被測定材を破壊することなく、その表面の損傷度合を客観的に測定することができる損傷度合測定装置および損傷度合測定方法を提供すること。
【解決手段】建築用シーリング材１の表面の対象範囲Ｒにおける損傷度合を測定するための装置であって、対象範囲Ｒに生じたひび割れ２の深さの平均値（ａ）、幅の平均値（ｂ）および総面積値（Ｓ）を予め格納された式（１）に代入する結果、ひび割れ２により応力が解放された部分の体積（Ｖｅ）を算出することにより、建築用シーリング材１の表面の損傷度合を測定するものである。
式（１） Ｖｅ＝（πａ²／２）Ｓ／ｂ
この式（１）において、Ｖｅは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２により応力が解放された部分の体積、ａは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２の深さの平均値、ｂは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２の深さの平均値、Ｓは、対象範囲Ｒにおけるひび割れ２の総面積値である。 （もっと読む）

【課題】従来のレジストパターンの欠陥検査装置では検出不可能となるほど微細な欠陥の起因となる薬液中の異物の検出が可能な、薬液起因の欠陥検出方法を提供すること。
【解決手段】薬液起因の欠陥検出方法は、薬液をマスクの表面に塗布する工程（ステップＳ１０１）と、前記薬液が塗布された前記マスクに露光ビームを照射することによって、検査用基板の表面に形成されたレジスト膜に拡大投影露光を行う工程（ステップＳ１０２）と、拡大投影露光された前記レジスト膜に対して欠陥の検査を行う工程（ステップＳ１０３）と、前記検査結果が予め定められた基準を満たすかどうかを判定する工程（ステップＳ１０４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】従来、簡略化した低コストな構成でフィルタに残留した異物を検出することができないという課題があった。
【解決手段】流体を濾過フィルタの表面の画像情報を取得するスキャナ１と、スキャナ１から出力される画像情報を受け付ける画像情報受付部２と、画像情報受付部２が受け付けた画像情報から、フィルタの表面の異物に関する情報である異物情報を取得する異物情報取得部３と、異物情報取得部３が取得した異物情報を出力する出力部４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】画像表示デバイスに電圧を印加した際に画像内に生成し得る電圧要因欠陥等の表示欠陥を精度よく検出できる欠陥検出方法、および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出装置の制御装置６は、電圧要因欠陥の検出を可能とする状態で駆動するための検査用電圧値で画像表示デバイスを駆動して検査画像を表示させる検査画像表示制御部６１１と、電圧要因欠陥の検出を不可能とする状態で駆動するための背景用電圧値で画像表示デバイスを駆動して背景画像を表示させる背景画像表示制御部６１２と、検査画像を撮像させて検査画像データを取得する検査画像データ取得部６１３と、背景画像を撮像させて背景画像データを取得する背景画像データ取得部６１４と、検査画像データおよび背景画像データの差分画像データを生成するシェーディング補正部６１５と、差分画像データに基づいて表示欠陥を検出する欠陥検出部６１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】線状異物の付着部位等、検査対象の不良箇所を適切に判定して検査対象を検査可能な検査装置、及び、当該検査装置を具備するＰＴＰシートの製造装置を提供する。
【解決手段】異物の可能性が高い領域を相対的に高感度で特定するための閾値Ｌ１、及び、異物の可能性が高い領域を相対的に低感度で特定するための閾値Ｌ２のそれぞれで輝度データを二値化し、２つの二値化画像を生成する（Ｓ１０）。次に、塊処理を行い、一方の二値化画像（Ｌ１画像）から、Ｍ個の連結領域Ｌ１（０）〜Ｌ１（Ｍ−１）を特定する。また、他方の二値化画像（Ｌ２画像）から、Ｎ個の連結領域Ｌ２（０）〜Ｌ２（Ｎ−１）を特定する（Ｓ２０）。そして、連結領域Ｌ２（ｘ）を包含する連結領域Ｌ１（ｙ）を抽出し、連結領域Ｌ１（ｙ）の周囲長に基づいて、連結領域Ｌ１（ｙ）の異物判定を行う（Ｓ３０）。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に印刷されたシルクなどの印刷状態を正確に検査できるようにする。
【解決手段】プリント基板１００の表面に印刷されたシルクの印刷状態を検査するプリント基板検査装置１において、プリント基板１００の表面画像を撮像する撮像装置２と、当該撮像装置２によって撮像された画像から、シルクの輝度幅の画像を抽出する前処理部３と、基準となる検査領域１０および外側ブロック領域１１、内側ブロック領域１２を保持する記憶部５と、前記前処理部３によって抽出されたシルク画像と内側ブロック領域１２とをマッチング処理させた後、検査領域１０内において検査対象の画像から外側ブロック領域１１を刳り貫く刳り貫き処理部８と、当該刳り貫き処理部８によって生成された刳り貫き領域１３内の画像から印刷状態の良否を判定する判定部９とを備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】撮像画像から金属材料表面の腐食による劣化度を判定するにあたり、色見本や標準図、基準サンプルなどと比較することなく、評価対象部の色彩情報に基づき、金属材料表面の劣化度を判定できるようにした劣化度評価方法及び評価装置を提供する。
【解決手段】撮像手段により金属材料表面を撮像し、得られた像から非腐食面を抽出し、その面の数値化された色彩情報の数値範囲を算出する。次に、非腐食面の色彩情報の範囲と各面の色彩情報を比較し、非腐食面の色彩数値範囲外の面を腐食部として抽出する。撮像された金属表面積に対して、抽出された腐食部の面積比率を算出し、腐食部の面積比率を指標として、金属表面の劣化度を評価する。 （もっと読む）

【課題】２枚のガスバリア膜付フィルムを用い単純な構造で信頼性の高い評価サンプルを提供し合わせて評価サンプルの製造方法と評価サンプルを用いた評価方法を提供する。
【解決手段】ガスバリア膜付フィルムにおけるガスバリア膜のガスバリア性能について、ガスバリア膜表面に成膜したカルシウム膜の腐食状態から評価するカルシウム法を実施する際に使用される評価サンプルであって、ガスバリア膜9、13を内側にして対峙しかつ外周縁部が閉止された一対のガスバリア膜付フィルムにより構成され、ガスバリア膜付フィルムの内側中央部に隙間空間が形成されてこの空間内に不活性ガスが充填されていると共に、隙間空間内において対峙する上記ガスバリア膜の一方のガスバリア膜9表面に評価用のカルシウム膜10が成膜されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】撮像された複数の画像に基づいて各画素の輝度を相対的な変化として捉え、環境変化に強く、的確に検査対象の良否を判定可能な外観検査システムなどを提供すること。
【解決手段】外観検査システムＳは、被検査物を所定の軸を基準に間欠回転させる回転装置１００と、被検査物の外観を所定の軸方向から所定の回転角度毎に撮像する撮像カメラ装置２００と、撮像カメラ装置２００によって撮像された画像データに基づいて被検査物の外観を検査し、外観上における欠陥の有無を判定する検査装置３００と、から構成され、検査装置３００は、撮像カメラ装置２００から出力された各画像データ毎に、所与の画像データと当該所与の画像データの一つ前の回転角度にて撮像された画像データとに基づいて、被検査物の検査対象となる対象領域における画像間の差分の画像を示す差分画像を生成し、当該差分画像に基づいて外観上における欠陥の有無を判定するようになっている。 （もっと読む）

【課題】ペーストパターン上の不良部分を迅速、正確に検出することができるペーストパターン検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明のペーストパターンの検査方法は、ペースト塗布装置のステージに基板を載置する段階、ディスペンスヘッドで基板にペーストを塗布する段階、前記基板表面とディスペンスヘッドノズルとの高さを検知手段によりリアルタイムで計測する段階、前記検知手段により計測した基板表面の高さデータを格納する段階、前記計測したデータの中から予め設定した許容範囲を離れるデータを検出する段階、前記許容範囲を離れたデータを検査位置として認識する段階、前記ディスペンスヘッドを検査位置に移動する段階、及び、前記検査地点で不良を検査する段階、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの外形精度には関係なく、正確な検査領域を決定できる液晶パネル検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル１２を載置するステージ１８と、液晶パネルの裏面から光を当てる照明装置２０と、照明された液晶パネル１２を撮影するＣＣＤカメラ２２と、撮影した画像からブラックマトリックス３８の内周側を検出し、その検出位置から検出領域を決定し、その検出領域に基づいて液晶パネル１２の割れ、欠け等を検査する制御部２４とよりなる。 （もっと読む）

【課題】電子写真用クリーニングブレード等の板状体の内部および表面の欠陥検査を短時間で正確に行う。
【解決手段】１つの撮像装置２１に対して２つの投光装置２２、２３を設ける。これらは、一方の投光装置２３の光が、板状体１０を透過して撮像装置２１に入るよう配置し、他方の投光装置２２の光は板状体１０の表面によって反射させ、その反射光を撮像装置２１が撮像できるよう配置する。板状体１０の透過光および反射光による画像を同時に撮像することで、板状体１０の表面と内部の欠陥を短時間でくまなく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】フイルム表面の微細な凹凸によるシワを確実に検出する。
【解決手段】バックアップローラ３２にフイルム２１を巻き掛けて走行させる。バックアップローラ３２上のフイルム２１に、ドットパターン表示器３３によりドットパターンを表示する。ビデオカメラ３４により、フイルム２１上に写されたドットパターンを撮影する。このドットパターンの画像データに基づき、各ドットの長さを数値化する。各ドットの位置に対応させてドット長さ配列パターンを得る。ドット長さ配列パターンに基づき、シワ候補ブロック及びパターンを特定する。形状またはサイズが一定基準を超えているシワ候補パターンが位置するフイルム部分に、微細な凹凸によるシワがあると判定する。 （もっと読む）

【課題】
検査対象箇所の表面色をいくつかの構成色に分離し、それぞれの構成色の統計量及び構成色間の色の類似度を算出して、最適な検査データの設定を行うことのできる画像認識装置のデータ設定装置を提供する。
【解決手段】
認識用対象物の認識用画像を設定データに基づき画像認識する画像認識装置の設定データを設定するデータ設定装置において、認識対象物が撮像された認識用画像内の認識領域を指定する認識画像入力部と、認識領域内の画像に基づいて記認識対象物の構成色の位置を抽出し、当該構成色に関する色のバラツキを示す統計量を算出する構成色処理部と、統計量に基づいて認識対象物の抽出色範囲を決定する検査データ決定部とを具備し、構成色処理部は、構成色に含まれる各画素の色空間における各次元の値に基づいてバラツキを示す統計量を算出する構成色統計量算出部を具備して構成する。 （もっと読む）

【課題】 下地層の影響を受けずに最上層の欠陥を適切に検出可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体１０Ａから発生した光から、検査用の画像を取り込む取込手段１５,１７と、検査用画像から被検物体の各部の欠陥を異なる感度で検出する処理手段１７とを備える。 （もっと読む）