ムラ検査方法、ムラ検査装置およびプログラム
【課題】筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得する。
【解決手段】ムラ検査装置では、２値画像取得部６２にて多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像が取得され、筋領域特定部６３により複数の２値画像のそれぞれにおいて扁平度が所定値以上となる閉領域である筋領域が特定される。領域グループ取得部６４では、閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、筋ムラを示す領域グループが求められ、筋ムラ強度取得部６５にて各領域グループに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲が筋ムラ強度として取得される。これにより、ムラ検査装置では、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することができる。
【解決手段】ムラ検査装置では、２値画像取得部６２にて多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像が取得され、筋領域特定部６３により複数の２値画像のそれぞれにおいて扁平度が所定値以上となる閉領域である筋領域が特定される。領域グループ取得部６４では、閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、筋ムラを示す領域グループが求められ、筋ムラ強度取得部６５にて各領域グループに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲が筋ムラ強度として取得される。これにより、ムラ検査装置では、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物上の筋ムラを検査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、表示装置用のガラス基板等（以下、単に「基板」という。）の主面上に所定のパターンを形成する際には、当該主面上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成することが行われる。レジスト膜の形成の際に、例えば、レジスト液が塗布される直前の基板上に微小な不要物が存在すると、レジスト液を吐出するスリットに不要物が引っ掛かってレジスト膜上に筋ムラが発生することがある。近年では、基板上のこのような筋ムラを検査することが行われている。
【０００３】
例えば、特許文献１では、検査対象となる画像中の各画素を順次注目画素としつつ、当該注目画素を中心とする所定の大きさの領域において、値が閾値以上の複数の画素と、当該注目画素を通過する角度基準線との間の距離の総和を、傾きが異なる複数の角度基準線のそれぞれに対して算出し、これらの総和の最小値に基づく値を当該注目画素の値とすることにより、筋ムラの存在位置を示す画像を取得する手法が開示されている。
【０００４】
なお、特許文献２では、シャドウマスクを示す画像において、所定方向の各位置において、この方向に垂直に並ぶ画素の値を積算して積算データを取得し、積算データの各値を積算データを平滑化した平滑化データの対応する値にて除算することにより得られる規格化データに基づいてシャドウマスクの筋ムラの良否の判定（すなわち、欠陥か否かの判定）を行う技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−３４５２９０号公報
【特許文献２】特開平９−６８５０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、基板上の筋ムラの解析や、基板の切断の単位となる領域毎の筋ムラの良否の判定等のために、基板上の筋ムラの存在位置を精度よく検出しつつ基板品質への筋ムラの影響の程度（以下、「筋ムラの強度」という。）を個別に取得することが要求されつつある。しかしながら、特許文献１の手法にて筋ムラを精度よく検出するには、多数の角度基準線を用いて膨大な量の演算を行う必要があり、さらに筋ムラの評価値を求める場合には、複雑な演算を再度行う必要がある。したがって、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得する新規な手法が必要となる。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、対象物上の筋ムラを検査するムラ検査方法であって、ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程とを備える。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のムラ検査方法であって、ｅ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれのおよその筋ムラ強度を特定可能としつつ、前記少なくとも１つの領域グループの存在位置を表示部に表示する工程をさらに備える。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のムラ検査方法であって、ｆ）前記少なくとも１つの領域グループのうち所定の筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを表示部に表示する工程をさらに備える。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のムラ検査方法であって、前記ｆ）工程が、前記筋ムラ強度の範囲を変更して前記少なくとも１つの領域グループのうち変更後の前記筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを前記表示部に再表示する工程を備える。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記ｂ）工程において、筋領域が当該領域を代表する筋領域線分にて特定され、前記ｃ）工程および前記ｄ）工程において、筋領域線分が、対応する筋領域として扱われる。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記ｂ）工程において、前記複数の２値画像のそれぞれにおいて閉領域のモーメントを算出して長手方向を決定した上で、前記閉領域が筋領域か否かが特定される。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記ｂ）工程において、長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、互いに近接する複数の筋領域が、１つの筋領域へと更新される。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記対象物が複数の部位に切断される予定の基板であり、前記ｄ）工程において、前記複数の部位のそれぞれに対応する領域における筋ムラ強度の合計が取得される。
【００１５】
請求項９に記載の発明は、対象物上の筋ムラを検査するムラ検査装置であって、対象物を撮像して多階調の元画像を取得する撮像部と、前記元画像または前記元画像から導かれる画像である対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する２値画像取得部と、前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する筋領域特定部と、閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める領域グループ取得部と、前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する筋ムラ強度取得部とを備える。
【００１６】
請求項１０に記載の発明は、対象物上の筋ムラをコンピュータに検査させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程とを実行させる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することができる。
【００１８】
また、請求項２の発明では、筋ムラが存在する領域または位置を筋ムラ強度と共に確認することができ、請求項３の発明では、必要な筋ムラのみを効率よく把握することができる。
【００１９】
また、請求項４の発明では、実際の筋ムラと筋ムラ強度との関係をより的確に把握することができ、請求項５の発明では、筋ムラ強度を容易に取得することができる。
【００２０】
また、請求項６の発明では、筋領域を精度よく特定することができ、請求項７の発明では、後続の処理を効率よく行うことができ、請求項８の発明では、基板の複数の部位のそれぞれにおける筋ムラの程度を数値化して取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の一の実施の形態に係るムラ検査装置１の構成を示す図である。ムラ検査装置１は、液晶表示装置等の表示装置に用いられるガラスの基板９において、一方の主面９１上にレジスト液を塗布することにより形成されたパターン形成用のレジストの膜９２の画像を取得し、この画像に基づいて基板９の膜９２上の筋ムラを検査する装置である。なお、本実施の形態における基板上には複数の表示装置用のパネルのパターンが形成される（または、形成される予定となっている。）。
【００２２】
ここで、基板９上のムラとは局所的な明暗変動により特定される一定面積以上の領域（ただし、通常、領域の境界は不明瞭である。）であり、筋ムラとはその領域の長手方向における長さαと長手方向に垂直な方向における幅βとの比（α／β）が所定値以上となるものとして定義する。もちろん、実質的にこの条件が満たされるのであれば、筋ムラの定義は適宜変更されてよく、他の条件が追加されてもよい。
【００２３】
図１に示すように、ムラ検査装置１は、膜９２が形成された主面９１（以下、「上面９１」という。）を上側（図１中の（＋Ｚ）側）に向けて基板９を保持するステージ２、ステージ２に保持された基板９上の膜９２に所定の入射角にて光を照射する光照射部３、光照射部３から照射されて基板９の上面９１上の膜９２にて反射された光を受光する受光ユニット４、ステージ２を光照射部３および受光ユニット４に対して相対的に移動する移動機構２１、並びに、ムラ検査装置１の制御部としての役割を果たすコンピュータ５を備える。
【００２４】
ステージ２の（＋Ｚ）側の表面は、好ましくは黒色艶消しとされる。移動機構２１は、モータ２１１にボールねじ（図示省略）が接続された構成とされ、モータ２１１が回転することにより、ステージ２がガイド２１２に沿って基板９の上面９１に沿う図１中のＸ方向に移動する。
【００２５】
光照射部３は、白色光（すなわち、可視領域の全ての波長の光を含む光）を出射する光源であるハロゲンランプ３１、ステージ２の移動方向に垂直な図１中のＹ方向に伸びる円柱状の石英ロッド３２、および、Ｙ方向に伸びるシリンドリカルレンズ３３を備える。光照射部３では、ハロゲンランプ３１が石英ロッド３２の（＋Ｙ）側の端部に取り付けられており、ハロゲンランプ３１から石英ロッド３２に入射した光は、Ｙ方向に伸びる線状光（すなわち、光束断面がＹ方向に長い線状となる光）に変換されて石英ロッド３２の側面から出射され、シリンドリカルレンズ３３を介して基板９の上面９１へと導かれる。換言すれば、石英ロッド３２およびシリンドリカルレンズ３３は、ハロゲンランプ３１からの光をステージ２の移動方向に垂直な線状光に変換して基板９の上面９１へと導く光学系となっている。
【００２６】
図１では、光照射部３から基板９に至る光路を一点鎖線にて示している（基板９から受光ユニット４に至る光路についても同様）。光照射部３から出射された光の一部は、基板９の上面９１上の膜９２の（＋Ｚ）側の上面にて反射される。膜９２は光照射部３からの光に対して光透過性を有しており、光照射部３からの光のうち膜９２の上面にて反射しなかった光は、膜９２を透過して基板９の上面９１（すなわち、膜９２の下面）にて反射される。ムラ検査装置１では、基板９における膜９２の上面にて反射された光と基板９の上面９１にて反射された光との干渉光が受光ユニット４に入射し、フィルタ４３およびレンズ４２を介して所定の波長の干渉光が撮像部４１へと導かれる。
【００２７】
撮像部４１には複数の受光素子（例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device））をＹ方向に直線状に配列して有するラインセンサが設けられ、基板９からの干渉光がラインセンサにて受光され、干渉光の強度分布（すなわち、各受光素子からの出力値のＹ方向における分布）が取得される。実際には、基板９のＸ方向への移動に伴って撮像部４１のラインセンサにて干渉光の強度分布が繰り返し取得されることにより基板９上の膜９２の２次元画像が取得される。
【００２８】
コンピュータ５は、図２に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ５１、基本プログラムを記憶するＲＯＭ５２および各種情報を記憶するＲＡＭ５３をバスラインに接続した一般的なコンピュータシステムの構成となっている。バスラインにはさらに、情報記憶を行う固定ディスク５４、各種情報の表示を行う表示部であるディスプレイ５５、操作者からの入力を受け付けるキーボード５６ａおよびマウス５６ｂ（以下、「入力部５６」と総称する。）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体８から情報の読み取りを行う読取装置５７、並びに、ムラ検査装置１の他の構成要素に接続される通信部５８が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００２９】
コンピュータ５には、事前に読取装置５７を介して記録媒体８からプログラム５４１が読み出され、固定ディスク５４に記憶される。そして、プログラム５４１がＲＡＭ５３にコピーされるとともにＣＰＵ５１がＲＡＭ５３内のプログラムに従って演算処理を実行することにより（すなわち、コンピュータがプログラムを実行することにより）、コンピュータ５が基板９上の筋ムラを検査する演算部としての動作を行う。
【００３０】
図３は、ＣＰＵ５１がプログラム５４１に従って動作することにより、ＣＰＵ５１、ＲＯＭ５２、ＲＡＭ５３、固定ディスク５４等が実現する機能構成を示すブロック図である。図３において演算部６内の対象画像生成部６１、２値画像取得部６２、筋領域特定部６３、領域グループ取得部６４、筋ムラ強度取得部６５および表示制御部６６がＣＰＵ５１等により実現される機能を示す。なお、これらの機能は専用の電気的回路により実現されてもよく、部分的に専用の電気的回路が用いられてもよい。
【００３１】
次に、ムラ検査装置１による筋ムラの検査の流れについて説明する。図４は、ムラ検査装置１が基板９の膜９２上の筋ムラを検査する処理の流れを示す図である。基板９上の筋ムラが検査される際には、まず、図１中に実線にて示す検査開始位置に位置するステージ２上に基板９が保持された後、ステージ２の（＋Ｘ）方向への移動が開始される。続いて、光照射部３から出射されて基板９の上面９１に対して所定の入射角にて入射する線状光が、上面９１上の直線状の照射領域（以下、「線状照射領域」という。）に照射され、線状照射領域が基板９に対して相対的に移動する。光照射部３からの光は基板９の上面９１にて反射し、干渉光が撮像部４１へと導かれてラインセンサにて受光され、基板９上の線状照射領域における干渉光の強度分布が取得される。ラインセンサの各受光素子からの出力は、所定の変換式に基づいて例えば８ｂｉｔ（もちろん、８ｂｉｔ以外であってもよい。）の値（画素値）に変換されつつコンピュータ５へと送られる。
【００３２】
ムラ検査装置１では、ステージ２が（＋Ｘ）方向に移動している間、撮像部４１における干渉光の強度分布の取得、および、画素値のコンピュータ５への出力がステージ２の移動に同期して繰り返される。そして、ステージ２が検査終了位置まで移動すると、移動機構２１によるステージ２の移動が停止され、照明光の照射も停止される。以上のようにして、撮像部４１では基板９上の膜９２の全体を撮像して多階調の２次元画像（後述する処理が施される前の画像であり、以下、「元画像」という。）が取得され、コンピュータ５の演算部６に入力される（ステップＳ１１）。
【００３３】
続いて、演算部６の対象画像生成部６１では、元画像が圧縮されて第１画像が生成される。ここで、元画像において座標（Ｘ，Ｙ）に位置する画素の画素値をＦＸＹと表すと、元画像をｓａ画素×ｓａ画素の範囲を単位として圧縮して生成された第１画像において、座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ａｘｙは、数１により求められる。
【００３４】
【数１】
【００３５】
本実施の形態ではｓａが４（画素）であるため、数１の演算により第１画像のＳ／Ｎ比は元画像の４倍に向上する。第１画像（圧縮後の元画像）が生成されると、第１画像に対するローパスフィルタ処理が行われ、第１画像から高周波ノイズの影響が抑制されて平滑化された第２画像が生成される。ローパスフィルタ処理の演算範囲を決定するウィンドウは、１辺の長さが（２ｓ１＋１）画素の正方形であり、第２画像において座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ｌｘｙは、注目画素近傍の各画素の第１画像における画素値Ａ（数１参照）を用いて、数２により求められる。
【００３６】
【数２】
【００３７】
その後、第２画像に対してハイパスフィルタ処理が行われ、第２画像から後述のコントラスト強調処理の妨げとなる低周波の濃度変動が除去された第３画像が生成される。ここで、座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ｈ１ｘｙは、注目画素近傍の各画素の第２画像における画素値Ｌ（数２参照）を用いて、数３にて求められる。
【００３８】
【数３】
【００３９】
数３は、ハイパスフィルタ処理の演算範囲を決定するウィンドウとして、注目画素を中心とする各辺の長さが（２ｓ２＋１）画素の正方形のウィンドウが用いられる場合を示している。以上のように、対象画像生成部６１では、元画像を圧縮した第１画像に対して、ローパスフィルタ処理を施した後に、ハイパスフィルタ処理を施すことにより、所定の空間周波数帯域のバンドパスフィルタ処理が行われる（ステップＳ１２）。
【００４０】
対象画像生成部６１では、さらに、第３画像に対してコントラスト強調処理が行われて強調画像が生成される（ステップＳ１３）。強調画像において座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ｅｘｙは、第３画像における注目画素の画素値Ｈ１ｘｙ、コントラスト係数ｒｃ、および、背景値ｂを用いて、数４にて求められる。本実施の形態では、ｒｃは０．０１，０．０２，０．０５または０．１とされ、ｂは１２７とされる。
【００４１】
【数４】
【００４２】
ここで、基板９の上面９１には、それぞれが表示装置のパネル上の表示領域に対応する複数の矩形領域（以下、「矩形表示領域」という。）が隙間を空けて縦横に整列して設定されており、基板９は複数の矩形表示領域に従って複数の部位（パネル）に切断される（すなわち、多面取りされる）予定のものである。対象画像生成部６１では、強調画像において基板９上の矩形表示領域外の部分に対応する領域（以下、「背景領域」という。）に背景値ｂを付与することにより、図５に示すように、背景領域７１９（図５中にて平行斜線を付して示す。）が実質的にマスクされた新たな画像（後述するように、演算部６における以下の処理の対象とされる画像であり、以下、「対象画像」という。）７１が生成される（ステップＳ１４）。なお、図５では多階調の対象画像７１を簡略化して示しており、実際には、図５中の矩形表示領域７１１と背景領域７１９との境界は必ずしも明確ではない。また、対象画像７１の平均濃度（すなわち、画素値の平均値）は約１２７となっている。
【００４３】
対象画像生成部６１にて対象画像７１が生成されると、２値画像取得部６２では、背景値１２７よりも小さい値１０３〜１２２のそれぞれを閾値として対象画像が２値化される。具体的には、対象画像の各画素の値と各閾値（以下、「下閾値」という。）とが比較され、値が下閾値以下の画素に「１」を付与し、下閾値よりも大きい画素に「０」を付与することにより、下閾値１０３〜１２２にそれぞれ対応する２０個の２値画像が取得される。
【００４４】
図６．Ａないし図６．Ｃは２値画像を示す図であり、図６．Ａは下閾値を１１７とした場合の２値画像を示し、図６．Ｂは下閾値を１１２とした場合の２値画像を示し、図６．Ｃは下閾値を１０３とした場合の２値画像を示している。背景値よりも小さい値を下閾値として２値画像を取得する上記処理では、図６．Ａないし図６．Ｃに示すように、下閾値が小さくなる（背景値１２７から離れる）に従って２値画像における値１の画素（図６．Ａないし図６．Ｃ中の白い画素）の数が少なくなる。
【００４５】
続いて、２値画像取得部６２では、背景値１２７よりも大きい値１３２〜１５１のそれぞれを閾値（以下、「上閾値」という。）とし、対象画像において値が上閾値以上の画素に「１」を付与し、上閾値よりも小さい画素に「０」を付与することにより、値１３２〜１５１にそれぞれ対応する２０個の２値画像が取得される。背景値よりも大きい値を上閾値として２値画像を取得する上記処理では、上閾値が大きくなる（背景値１２７から離れる）に従って２値画像における値１の画素数が少なくなる。
【００４６】
以上のように、２値画像取得部６２では対象画像７１を複数の閾値にて２値化することにより、複数の閾値にそれぞれ対応する複数の（本実施の形態では、４０個の）２値画像が取得される（ステップＳ１５）。なお、下閾値および上閾値のいずれを用いる場合であっても、取得される２値画像中の背景領域に対応する領域は値が０となる。
【００４７】
複数の２値画像が取得されると、筋領域特定部６３では、各２値画像においてラベリングにより互いに連続する値１の画素の集合（以下、「閉領域」という。）が特定され、所定の面積（画素数）以下となる閉領域が処理対象から除外され、２値画像から削除される。続いて、各閉領域のモーメントを算出することにより慣性主軸の方向（角度）が求められ、この閉領域に対して慣性主軸の方向に沿う外接矩形が求められる。なお、通常、慣性主軸の方向は閉領域の長手方向となる。以下の説明では、慣性主軸は長手方向に沿うものを指すものとする。
【００４８】
図７は、２値画像中の複数の閉領域７２１ａ，７２１ｂ，７２１ｃを示す図である。図７では、各閉領域７２１ａ〜７２１ｃの外接矩形を符号７２２ａ〜７２２ｃを付して細線にて示している。筋領域特定部６３では、さらに、各閉領域７２１ａ〜７２１ｃの外接矩形７２２ａ〜７２２ｃにおいて慣性主軸の方向に関する長さＬ１と、慣性主軸に垂直な方向に関する幅Ｗ１との比（Ｌ１／Ｗ１）が所定値（例えば、２）と比較され、比が所定値以上となる閉領域７２１ａ，７２１ｂのみが筋領域（以下、閉領域７２１ａ，７２１ｂと同符号を付す。）とされ、他の閉領域７２１ｃは２値画像から削除される。
【００４９】
このように、筋領域特定部６３では、複数の２値画像のそれぞれにおいて閉領域のモーメントを算出することにより、長手方向における長さと長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域が特定される（ステップＳ１６）。なお、２値画像における閉領域は、下閾値または上閾値が背景値に近づくと大きくなるため、ある下閾値または上閾値の２値画像で筋領域として検出されても、背景値に近い下閾値または上閾値の２値画像では同じ位置に縦横比の小さい閉領域が現れることがあり、筋領域が検出されるとは限らない。また、筋領域７２１ａ，７２１ｂのそれぞれでは、重心７２３ａ，７２３ｂを通って慣性主軸の方向に伸びるとともに両端点が外接矩形７２２ａ，７２２ｂの辺上に設定される線分（図７中にて一点鎖線にて示す。）が当該筋領域７２１ａ，７２１ｂを代表する筋領域線分７２４ａ，７２４ｂとして特定される。
【００５０】
続いて、筋領域特定部６３では、各２値画像において基板９上の複数の矩形表示領域７１１（図５参照）に対応する複数の領域（以下、同様に「矩形表示領域」と呼ぶ。）のうちの一の矩形表示領域（以下、「注目矩形表示領域」という。）に注目して、注目矩形表示領域内に含まれる複数の筋領域線分のうちの任意の１つの筋領域線分が特定筋領域線分として特定される。そして、特定筋領域線分と注目矩形表示領域内の他の筋領域線分のそれぞれとの間において、これらの筋領域線分の連結の可否の判定が行われる。
【００５１】
図８は筋領域線分の連結の可否の判定を説明するための図であり、図８では図７中の筋領域線分７２４ａ，７２４ｂを相互の傾きの違いを強調して図示している。筋領域線分７２４ａを特定筋領域線分として、筋領域線分７２４ｂとの間において連結の可否の判定を行う場合には、まず、特定筋領域線分７２４ａが代表する筋領域７２１ａの重心７２３ａ（筋領域線分の中点であってもよい。以下同様。）と筋領域線分７２４ｂが代表する筋領域７２１ｂの重心７２３ｂとを結ぶ直線（図８中にて符号Ｒ１を付す破線にて示す。）が求められる。続いて、特定筋領域線分７２４ａの端点７２５ａ，７２６ａと直線Ｒ１との間の距離Ｄ１，Ｄ２、および、筋領域線分７２４ｂの端点７２５ｂ，７２６ｂと直線Ｒ１との間の距離Ｄ３，Ｄ４（すなわち、端点７２５ａ，７２６ａ，７２５ｂ，７２６ｂから直線Ｒ１に下ろした垂線の長さ）の全てが所定の第１閾値以下であるか否かが確認される。
【００５２】
距離Ｄ１〜Ｄ４のいずれかが第１閾値よりも大きい場合には筋領域線分の連結が却下される。距離Ｄ１〜Ｄ４の全てが第１閾値以下である場合には、特定筋領域線分７２４ａが伸びる方向（特定筋領域線分７２４ａが示す筋領域７２１ａの長手方向であり、以下、同様に「長手方向」と呼ぶ。）と筋領域線分７２４ｂの長手方向とがほぼ同一であるとされ（図７参照）、続いて、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの間において最も近接する端点７２６ａ，７２５ｂ間の距離Ｄ５、並びに、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの長さの和が求められる。
【００５３】
距離Ｄ５と当該長さの和との比が所定の第２閾値よりも大きい場合には筋領域線分の連結が却下される。当該比が所定の第２閾値以下である場合には、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとが互いに近接しているとされ、さらに、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの間において最も離れた端点７２５ａ，７２６ｂ間の距離Ｄ６と、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの長さの和との比が求められる。そして、当該比が所定の第３閾値以上である場合には、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとが同一の長手方向に配列されているとされて連結が許可され、第３閾値未満である場合には、筋領域線分の連結が却下される。
【００５４】
続いて、連結が許可された特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとが連結される。具体的には、特定筋領域線分７２４ａをその中点にて分断した２つの分断線分、および、筋領域線分７２４ｂをその中点にて分断した２つの分断線分の集合のモーメントを算出することにより、４つの分断線分の集合に対する慣性主軸の方向が求められ、慣性主軸の方向に伸びるとともに４つの分断線分の集合の重心を通る直線（すなわち、慣性主軸）が、図９中にて符号Ｒ２を付す破線（ただし、破線の一部が太くされている。）にて示すように求められる。そして、特定筋領域線分７２４ａおよび筋領域線分７２４ｂの各端点７２５ａ，７２６ａ，７２５ｂ，７２６ｂから直線Ｒ２に下ろした垂線と直線Ｒ２との交点が求められ、４つの交点のうち互いに最も離れた交点７２７ａ，７２７ｂを端点とする線分が、新たな筋領域線分（図９中にて破線にて示す直線Ｒ２のうち太い破線の部分）として取得され、２つの筋領域線分７２４ａ，７２４ｂが１つの筋領域線分に更新される。
【００５５】
実際には、特定筋領域線分７２４ａとの連結が許可される全ての筋領域線分が決定された上で、特定筋領域線分７２４ａとこれらの筋領域線分との連結が同時に行われる。すなわち、特定筋領域線分７２４ａおよび連結が許可された複数の筋領域線分のそれぞれをその中点にて分断することにより複数の分断線分が取得され、これらの分断線分の集合に対する慣性主軸を求め、特定筋領域線分７２４ａおよび連結が許可された複数の筋領域線分の端点から慣性主軸に下ろした垂線と慣性主軸との複数の交点のうち互いに最も離れた２つの交点を端点とする線分が、新たな筋領域線分として求められ、特定筋領域線分７２４ａおよび連結が許可された複数の筋領域線分が１つの筋領域線分へと更新される。
【００５６】
特定筋領域線分７２４ａに対する他の筋領域線分との連結の可否の判定および連結が行われると、注目矩形表示領域内における特定筋領域線分７２４ａから更新された筋領域線分（連結が行われない場合には、特定筋領域線分７２４ａ）以外の一の筋領域線分を特定筋領域線分として特定し、他の筋領域線分との連結の可否の判定および連結が行われる。実際には、複数の２値画像のそれぞれにおいて、各矩形表示領域を注目矩形表示領域として上記処理が行われることにより、長手方向が同一であり、長手方向に配列され、かつ、互いに近接する同一矩形表示領域内の複数の筋領域線分が１つの筋領域線分へと更新とされる（ステップＳ１７）。
【００５７】
続いて、領域グループ取得部６４では、２値化の際における閾値が隣接する（本実施の形態では、閾値が連続する）２つの２値画像において、一方の２値画像における各筋領域線分と、この筋領域線分が含まれる矩形表示領域に対応する他方の２値画像中の矩形表示領域内の筋領域線分のそれぞれとのグループ化の可否が判定される。
【００５８】
図１０は、２値化の際における閾値が隣接する２つの２値画像にそれぞれ含まれる筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅを重ねて示す図である。２つの筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅのグループ化の可否の判定の際には、まず、一方の筋領域線分７２４ｄを延長した直線Ｒ３（ただし、筋領域線分７２４ｄから延長した部分を破線にて示している。）が設定され、他方の筋領域線分７２４ｅの両端点７２５ｅ，７２６ｅのそれぞれと直線Ｒ３との距離Ｄ７，Ｄ８が求められる。距離Ｄ７，Ｄ８の双方が所定の閾値以下である場合には、各筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅに対して、互いに直交する画素の配列方向（図１０中のｘ方向およびｙ方向）に平行な辺を有する外接矩形７２７ｄ，７２７ｅが求められ、これらの外接矩形７２７ｄ，７２７ｅが少なくとも一部において互いに重なる場合には、筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅのグループ化が許可され、同一のグループに含められる。その一方で、一方の筋領域線分を延長した直線と他方の筋領域線分の両端点との間の距離が閾値よりも長い場合や、２つの筋領域線分の外接矩形が互いに重ならない場合には、これらの筋領域線分はグループ化されない。
【００５９】
このようにして、各２値画像と閾値が隣接する他の２値画像との間において互いに重なるとみなされる筋領域線分を同一のグループに含めるグループ化が行われ、グループ化されない筋領域線分は削除される。これにより、それぞれが筋ムラを示す複数のグループが求められる（ステップＳ１８）。領域グループ取得部６４における上記処理は、閾値が隣接する２値画像において所定の扁平度となる閉領域である筋領域の位置が互いに重なる場合に、これらの筋領域をグループとして特定することと等価であるため、以下の説明では、グループ化された筋領域線分の集合を領域グループと呼ぶ。
【００６０】
なお、本実施の形態では、２値画像の生成の際に、上閾値および下閾値を用いて値が背景値から離れた閉領域が特定されるが、上閾値を用いて導かれた２値画像と下閾値を用いて導かれた２値画像との間では、画像中の筋領域の種別が異なるものとされ、筋領域線分のグループ化は行われない。もちろん、領域グループ取得部６４における筋領域線分のグループ化は他の手法により行われてもよい。
【００６１】
また、領域グループ取得部６４では、必要に応じて領域グループに含まれる複数の筋領域線分のうち最長のもの（以下、「代表筋領域線分」という。）が特定され、代表筋領域線分を除く全ての筋領域線分が代表筋領域線分上に重ね合わせられる。具体的には、図１０に示す筋領域線分７２４ｄが代表筋領域線分として特定されたものとすると、代表筋領域線分７２４ｄと同じ領域グループに含まれる他の筋領域線分７２４ｅのそれぞれは、各端点７２５ｄ，７２６ｄから代表筋領域線分７２４ｄに下ろした垂線との交点７２８ｅ，７２９ｅを端点とする線分に更新される。
【００６２】
図１１は、領域グループ７３を説明するための図である。図１１では上閾値を用いて導かれた複数の２値画像７２を抽象的に示している。図１１中の複数の２値画像７２では上方に位置するものほど対応する閾値が大きくなっており、筋領域線分７３１，７３２，７３３ａ，７３３ｂの長さは対応する閾値が背景値から離れるに従って短くなっている。なお、図１１中の筋領域線分７３３ａ，７３３ｂのように同じ２値画像に含まれるとともに同一の領域グループに属するものは、必要に応じて連結されてもよい。
【００６３】
複数の２値画像においてそれぞれが筋ムラを示す複数の領域グループが求められると、筋ムラ強度取得部６５では、各領域グループに関して、筋領域線分が存在する２値画像に対応する２値化の際の閾値の範囲が筋ムラ強度として取得される（ステップＳ１９）。例えば、図１１の場合では、筋領域線分が３個の２値画像７２に存在するため、筋領域線分７３１，７３２，７３３ａ，７３３ｂを含む領域グループ７３の筋ムラ強度は３とされる。そして、各領域グループの筋ムラ強度、および、当該領域グループの代表筋領域線分の長さ（以下、「筋ムラ長さ」という。）を後述する強度閾値および所定の長さ閾値とそれぞれ比較することにより、当該領域グループが示す筋ムラが許容されるか否かの判定（すなわち、欠陥か否かの判定）が行われる（ステップＳ２０）。なお、筋ムラの許否の判定の際には、筋ムラ長さに代えて、例えば、領域グループの代表筋領域線分に対応する筋領域の面積を用いて、当該面積が所定の面積閾値と比較されてもよい。
【００６４】
以上に説明したように、図１のムラ検査装置１では、基板９から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像が取得され、複数の２値画像のそれぞれにおいて扁平度が所定値以上となる閉領域である筋領域が特定される。そして、複数の２値画像において、ほぼ同位置に存在するとともに同方向に伸びる筋領域の集合が筋ムラを示す領域グループとして求められ、各領域グループに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲が筋ムラ強度として取得される。これにより、ムラ検査装置１では、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することができる。
【００６５】
筋領域特定部６３では、２値画像において各閉領域のモーメントを算出して長手方向を決定した上でこの閉領域が筋領域か否かを特定することにより、閉領域が伸びる方向（閉領域の角度）に依存することなく、筋領域を精度よく特定することができる。また、長手方向が同一であり、長手方向に配列され、かつ、互いに近接する同一矩形表示領域内の複数の筋領域線分が１つの筋領域線分へと更新とされることにより、同一の筋ムラに由来する（すなわち、同一の領域グループに含まれる）可能性が高い複数の筋領域線分を１つの筋領域線分として扱うことができ、後続の領域グループ取得部６４および筋ムラ強度取得部６５における処理を効率よく行うことができる。
【００６６】
図４の処理では、基板９上の筋ムラの許否の判定が筋ムラ強度に関する強度閾値を用いて行われるが、実際には、上記処理の前に、操作者により強度閾値が決定されて演算部６にて準備される。以下、強度閾値の決定の際におけるムラ検査装置１の処理について図１２を参照しつつ説明する。
【００６７】
操作者により強度閾値が決定される際には、図４の処理と同様にして領域グループが求められた後（ステップＳ１８）、表示制御部６６にて、各領域グループに属する筋領域線分のそれぞれが対象画像に重ねてディスプレイ５５に表示される（ステップＳ２１）。このとき、既述のように代表筋領域線分を除く全ての筋領域線分が代表筋領域線分上に重なるようにされており、表示制御部６６では代表筋領域線分上の各位置において互いに重なる筋領域線分の個数に合わせて色が変更される。したがって、ディスプレイ５５には部分的またはほぼ全体的に筋ムラ強度に応じた色となる線分が領域グループの存在位置を示すものとして表示されることとなり、各領域グループのおよその筋ムラ強度が特定可能となる。これにより、操作者が筋ムラが存在する対象画像中の位置を筋ムラ強度と共に確認することができ、基板９上の筋ムラの許否の判定に利用される強度閾値を容易に決定することが可能となる。決定された筋ムラ強度は操作者により入力部５６を介して入力され、演算部６にて受け付けられる（ステップＳ２２）。そして、入力された筋ムラ強度を用いつつ多数の基板に対する筋ムラの検査が上述した図４の処理に沿って行われる。なお、各領域グループのおよその筋ムラ強度が特定可能であるならば、領域グループの存在位置を示す線分の表示態様はいかなるものであってもよく、例えば当該線分の幅が変更されてもよい。
【００６８】
図１２に示す処理では、筋領域特定部６３および領域グループ取得部６４における処理が完了することにより、領域グループに属する各筋領域線分と閾値とが対応付けられており、表示制御部６６により筋ムラ強度が特定可能に筋領域線分が表示されるため、実質的には、筋領域特定部６３および領域グループ取得部６４における処理が筋ムラ強度を取得する処理を含んでいる。
【００６９】
次に、表示制御部６６による表示制御の他の例について図１３を参照しつつ説明する。本処理例では、各領域グループの筋ムラ強度が取得されると（図４：ステップＳ１９）、複数の領域グループのうち操作者により予め設定される筋ムラ強度の範囲（以下、「設定強度範囲」という。）に属する領域グループの存在位置を示す線分のみが対象画像に重ねてディスプレイ５５に表示される（ステップＳ３１）。これにより、必要な筋ムラのみが特定可能とされ、当該筋ムラを効率よく把握することが可能となる。
【００７０】
また、操作者が筋ムラ強度の他の範囲に含まれる領域グループを確認する場合には（ステップＳ３２）、入力部５６を介して操作者により設定強度範囲の変更の入力が行われる。当該入力が演算部６にて受け付けられると（ステップＳ３３）、表示制御部６６では設定強度範囲が変更され、複数の領域グループのうち変更後の設定強度範囲に属する領域グループの存在位置を示す線分のみが対象画像に重ねてディスプレイ５５に再表示される（ステップＳ３４）。操作者による設定強度範囲の変更および領域グループの存在位置を示す線分の再表示は必要に応じて繰り返される（ステップＳ３５，Ｓ３３，Ｓ３４）。これにより、操作者が実際の筋ムラと筋ムラ強度との関係をより的確に把握することが可能となり、その結果、筋ムラの許否の判定に利用される強度閾値をより適切に決定することが可能となる。なお、上記と同様にして、領域グループが示す筋ムラの長さ（すなわち、代表筋領域線分の長さ）や、領域グループの代表筋領域線分に対応する筋領域の面積、あるいは、領域グループに含まれる筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲の代表値（例えば、平均値）等、筋ムラ強度以外の値に基づいて領域グループの存在位置を示す線分がディスプレイ５５に表示されてもよい。
【００７１】
また、ムラ検査装置１の筋ムラ強度取得部６５では、対象画像中の各矩形表示領域内の筋ムラの筋ムラ強度の合計が取得されてもよい。例えば、領域グループ取得部６４にて筋ムラを示す各領域グループが求められた後（図４：ステップＳ１８）、筋ムラ強度取得部６５により各領域グループに含まれる筋領域線分の長さの和が当該領域グループの筋ムラ強度として取得され、基板９の複数のパネル（となる部位）のそれぞれに対応する対象画像中の矩形表示領域内に含まれる筋ムラの筋ムラ強度の合計がさらに取得される（ステップＳ１９）。これにより、基板９の複数のパネルのそれぞれにおける筋ムラの程度を数値化して取得することができ、その結果、各パネルの許否の判定を容易に行うことができる。
【００７２】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００７３】
図１のムラ検査装置１では、筋領域特定部６３において筋領域が筋領域線分として特定されることなく筋ムラ検査が行われてもよい。この場合、筋領域特定部６３では、長手方向が同一であり、長手方向に配列され、かつ、互いに近接する複数の筋領域が１つの筋領域へと更新され、領域グループ取得部６４では、閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化によりそれぞれが筋ムラを示す領域グループが求められ、筋ムラ強度取得部６５では、各領域グループに関して筋領域が存在する２値画像に対応する閾値、または、筋領域の長手方向の長さもしくは面積の和が筋ムラ強度として取得される。また、表示制御部６６では、例えば、領域グループに含まれる複数の筋領域のうち長手方向の長さが最長となる代表筋領域のエッジを示す線が対象画像に重ねて表示され、筋ムラが存在する領域が確認可能とされる。ただし、筋ムラの検出および筋ムラ強度の取得を容易に行うという観点では、筋領域特定部６３において筋領域が当該領域を代表する筋領域線分にて特定され、領域グループ取得部６４および筋ムラ強度取得部６５において、筋領域線分が、対応する筋領域として扱われて処理の簡素化が図られることが好ましい。
【００７４】
領域グループ取得部６４では、１つの領域グループのみが求められる場合もあり、この場合も筋ムラ強度取得部６５および表示制御部６６における処理は上記と同様である。すなわち、ムラ検査装置１では、領域グループ取得部６４にて少なくとも１つの領域グループが求められる場合に、筋ムラ強度取得部６５にて少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して筋ムラ強度が取得され、表示制御部６６により少なくとも１つの領域グループの存在位置または少なくとも１つの領域グループのうちの特定のものの存在位置が対象画像に重ねて表示される。
【００７５】
対象画像の２値化の際における複数の閾値は必ずしも連続する値である必要はなく、また、上閾値および下閾値の双方が用いられる必要もない。２値画像取得部６２にて生成される２値画像の個数は２以上であるならば任意の個数とされてよいが、演算部６における演算量を低減しつつ、筋ムラの検出および筋ムラ強度の取得を一定の精度にて実現するという観点では、５以上の閾値を用いて５以上の２値画像が取得されることが好ましい。
【００７６】
ところで、撮像部４１では基板９からの干渉光を受光することにより元画像が取得されるが、干渉光の強度は膜厚に対して周期的に変化するため、検査対象の基板上の膜の厚さが変更されると、元画像の平均濃度（画素値の平均値）も変化してしまう。したがって、上記実施の形態では、対象画像生成部６１において数１〜数４を参照して説明した上記処理により画像の平均濃度がほぼ一定となる対象画像が準備され、２値画像取得部６２における対象画像の２値化の際に一定の閾値を用いることが可能とされる。しかしながら、撮像部４１が基板９を撮像する際に干渉光を用いない場合や、２値画像取得部６２における２値化の閾値を元画像の平均濃度に合わせて変更する場合等には、撮像部４１にて取得される元画像がそのまま対象画像とされ、元画像から複数の２値画像が取得されてもよい。すなわち、２値画像取得部６２における２値化の対象とされる対象画像は、元画像または元画像から導かれる画像であればよい。
【００７７】
また、筋領域特定部６３では、２値画像中の各閉領域に対して必ずしもモーメントが求められる必要はなく、閉領域に対して予め定められた複数の方向に沿ってそれぞれ伸びる複数の外接矩形が求められ、これらの外接矩形のうち面積が最小となるものの長手方向の長さと長手方向に垂直な方向の幅との比が所定値と比較されて、当該閉領域が筋領域であるか否かが判定されてもよい。ただし、ある位置から様々な角度にて放射状に伸びる複数の筋領域（例えば、スピンコート方式の塗布装置を用いて基板上にレジストの膜を形成する際に、処理の直前の基板上に不要物が存在することによりこの不要物を起点として放射状に形成される筋ムラに起因するもの）等、筋領域を精度よく特定するには、演算量を低減するために、閉領域のモーメントを算出することにより筋領域が特定されることが好ましい。
【００７８】
ムラ検査装置１において検査対象とされる基板は必ずしもレジスト膜等の薄膜が形成されたものでなくてもよい。また、ムラ検査装置１は、表示装置に用いられるガラス基板や半導体基板等、複数の部位に切断される予定の基板上の筋ムラの検査に特に適しているが、基板以外の対象物上の筋ムラの検査に利用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】ムラ検査装置の構成を示す図である。
【図２】コンピュータの構成を示す図である。
【図３】コンピュータが実現する機能構成を示すブロック図である。
【図４】ムラ検査装置が基板上の筋ムラを検査する処理の流れを示す図である。
【図５】対象画像を示す図である。
【図６．Ａ】２値画像を示す図である。
【図６．Ｂ】２値画像を示す図である。
【図６．Ｃ】２値画像を示す図である。
【図７】閉領域を示す図である。
【図８】筋領域線分の連結の可否の判定を説明するための図である。
【図９】筋領域線分の連結を説明するための図である。
【図１０】２つの２値画像中の筋領域線分を重ねて示す図である。
【図１１】領域グループを説明するための図である。
【図１２】ムラ検査装置における他の処理の流れを示す図である。
【図１３】ムラ検査装置におけるさらに他の処理の流れを示す図である。
【符号の説明】
【００８０】
１ ムラ検査装置
５ コンピュータ
９ 基板
４１ 撮像部
５５ ディスプレイ
６２ ２値画像取得部
６３ 筋領域特定部
６４ 領域グループ取得部
６５ 筋ムラ強度取得部
７１ 対象画像
７２ ２値画像
７３ 領域グループ
５４１ プログラム
７２１ａ，７２１ｂ 筋領域
７２４ａ，７２４ｂ，７２４ｄ，７２４ｅ，７３１，７３２，７３３ａ，７３３ｂ 筋領域線分
Ｓ１５〜Ｓ１９，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ３４ ステップ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物上の筋ムラを検査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、表示装置用のガラス基板等（以下、単に「基板」という。）の主面上に所定のパターンを形成する際には、当該主面上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成することが行われる。レジスト膜の形成の際に、例えば、レジスト液が塗布される直前の基板上に微小な不要物が存在すると、レジスト液を吐出するスリットに不要物が引っ掛かってレジスト膜上に筋ムラが発生することがある。近年では、基板上のこのような筋ムラを検査することが行われている。
【０００３】
例えば、特許文献１では、検査対象となる画像中の各画素を順次注目画素としつつ、当該注目画素を中心とする所定の大きさの領域において、値が閾値以上の複数の画素と、当該注目画素を通過する角度基準線との間の距離の総和を、傾きが異なる複数の角度基準線のそれぞれに対して算出し、これらの総和の最小値に基づく値を当該注目画素の値とすることにより、筋ムラの存在位置を示す画像を取得する手法が開示されている。
【０００４】
なお、特許文献２では、シャドウマスクを示す画像において、所定方向の各位置において、この方向に垂直に並ぶ画素の値を積算して積算データを取得し、積算データの各値を積算データを平滑化した平滑化データの対応する値にて除算することにより得られる規格化データに基づいてシャドウマスクの筋ムラの良否の判定（すなわち、欠陥か否かの判定）を行う技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−３４５２９０号公報
【特許文献２】特開平９−６８５０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、基板上の筋ムラの解析や、基板の切断の単位となる領域毎の筋ムラの良否の判定等のために、基板上の筋ムラの存在位置を精度よく検出しつつ基板品質への筋ムラの影響の程度（以下、「筋ムラの強度」という。）を個別に取得することが要求されつつある。しかしながら、特許文献１の手法にて筋ムラを精度よく検出するには、多数の角度基準線を用いて膨大な量の演算を行う必要があり、さらに筋ムラの評価値を求める場合には、複雑な演算を再度行う必要がある。したがって、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得する新規な手法が必要となる。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、対象物上の筋ムラを検査するムラ検査方法であって、ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程とを備える。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のムラ検査方法であって、ｅ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれのおよその筋ムラ強度を特定可能としつつ、前記少なくとも１つの領域グループの存在位置を表示部に表示する工程をさらに備える。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のムラ検査方法であって、ｆ）前記少なくとも１つの領域グループのうち所定の筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを表示部に表示する工程をさらに備える。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のムラ検査方法であって、前記ｆ）工程が、前記筋ムラ強度の範囲を変更して前記少なくとも１つの領域グループのうち変更後の前記筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを前記表示部に再表示する工程を備える。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記ｂ）工程において、筋領域が当該領域を代表する筋領域線分にて特定され、前記ｃ）工程および前記ｄ）工程において、筋領域線分が、対応する筋領域として扱われる。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記ｂ）工程において、前記複数の２値画像のそれぞれにおいて閉領域のモーメントを算出して長手方向を決定した上で、前記閉領域が筋領域か否かが特定される。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記ｂ）工程において、長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、互いに近接する複数の筋領域が、１つの筋領域へと更新される。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載のムラ検査方法であって、前記対象物が複数の部位に切断される予定の基板であり、前記ｄ）工程において、前記複数の部位のそれぞれに対応する領域における筋ムラ強度の合計が取得される。
【００１５】
請求項９に記載の発明は、対象物上の筋ムラを検査するムラ検査装置であって、対象物を撮像して多階調の元画像を取得する撮像部と、前記元画像または前記元画像から導かれる画像である対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する２値画像取得部と、前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する筋領域特定部と、閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める領域グループ取得部と、前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する筋ムラ強度取得部とを備える。
【００１６】
請求項１０に記載の発明は、対象物上の筋ムラをコンピュータに検査させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程とを実行させる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することができる。
【００１８】
また、請求項２の発明では、筋ムラが存在する領域または位置を筋ムラ強度と共に確認することができ、請求項３の発明では、必要な筋ムラのみを効率よく把握することができる。
【００１９】
また、請求項４の発明では、実際の筋ムラと筋ムラ強度との関係をより的確に把握することができ、請求項５の発明では、筋ムラ強度を容易に取得することができる。
【００２０】
また、請求項６の発明では、筋領域を精度よく特定することができ、請求項７の発明では、後続の処理を効率よく行うことができ、請求項８の発明では、基板の複数の部位のそれぞれにおける筋ムラの程度を数値化して取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の一の実施の形態に係るムラ検査装置１の構成を示す図である。ムラ検査装置１は、液晶表示装置等の表示装置に用いられるガラスの基板９において、一方の主面９１上にレジスト液を塗布することにより形成されたパターン形成用のレジストの膜９２の画像を取得し、この画像に基づいて基板９の膜９２上の筋ムラを検査する装置である。なお、本実施の形態における基板上には複数の表示装置用のパネルのパターンが形成される（または、形成される予定となっている。）。
【００２２】
ここで、基板９上のムラとは局所的な明暗変動により特定される一定面積以上の領域（ただし、通常、領域の境界は不明瞭である。）であり、筋ムラとはその領域の長手方向における長さαと長手方向に垂直な方向における幅βとの比（α／β）が所定値以上となるものとして定義する。もちろん、実質的にこの条件が満たされるのであれば、筋ムラの定義は適宜変更されてよく、他の条件が追加されてもよい。
【００２３】
図１に示すように、ムラ検査装置１は、膜９２が形成された主面９１（以下、「上面９１」という。）を上側（図１中の（＋Ｚ）側）に向けて基板９を保持するステージ２、ステージ２に保持された基板９上の膜９２に所定の入射角にて光を照射する光照射部３、光照射部３から照射されて基板９の上面９１上の膜９２にて反射された光を受光する受光ユニット４、ステージ２を光照射部３および受光ユニット４に対して相対的に移動する移動機構２１、並びに、ムラ検査装置１の制御部としての役割を果たすコンピュータ５を備える。
【００２４】
ステージ２の（＋Ｚ）側の表面は、好ましくは黒色艶消しとされる。移動機構２１は、モータ２１１にボールねじ（図示省略）が接続された構成とされ、モータ２１１が回転することにより、ステージ２がガイド２１２に沿って基板９の上面９１に沿う図１中のＸ方向に移動する。
【００２５】
光照射部３は、白色光（すなわち、可視領域の全ての波長の光を含む光）を出射する光源であるハロゲンランプ３１、ステージ２の移動方向に垂直な図１中のＹ方向に伸びる円柱状の石英ロッド３２、および、Ｙ方向に伸びるシリンドリカルレンズ３３を備える。光照射部３では、ハロゲンランプ３１が石英ロッド３２の（＋Ｙ）側の端部に取り付けられており、ハロゲンランプ３１から石英ロッド３２に入射した光は、Ｙ方向に伸びる線状光（すなわち、光束断面がＹ方向に長い線状となる光）に変換されて石英ロッド３２の側面から出射され、シリンドリカルレンズ３３を介して基板９の上面９１へと導かれる。換言すれば、石英ロッド３２およびシリンドリカルレンズ３３は、ハロゲンランプ３１からの光をステージ２の移動方向に垂直な線状光に変換して基板９の上面９１へと導く光学系となっている。
【００２６】
図１では、光照射部３から基板９に至る光路を一点鎖線にて示している（基板９から受光ユニット４に至る光路についても同様）。光照射部３から出射された光の一部は、基板９の上面９１上の膜９２の（＋Ｚ）側の上面にて反射される。膜９２は光照射部３からの光に対して光透過性を有しており、光照射部３からの光のうち膜９２の上面にて反射しなかった光は、膜９２を透過して基板９の上面９１（すなわち、膜９２の下面）にて反射される。ムラ検査装置１では、基板９における膜９２の上面にて反射された光と基板９の上面９１にて反射された光との干渉光が受光ユニット４に入射し、フィルタ４３およびレンズ４２を介して所定の波長の干渉光が撮像部４１へと導かれる。
【００２７】
撮像部４１には複数の受光素子（例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device））をＹ方向に直線状に配列して有するラインセンサが設けられ、基板９からの干渉光がラインセンサにて受光され、干渉光の強度分布（すなわち、各受光素子からの出力値のＹ方向における分布）が取得される。実際には、基板９のＸ方向への移動に伴って撮像部４１のラインセンサにて干渉光の強度分布が繰り返し取得されることにより基板９上の膜９２の２次元画像が取得される。
【００２８】
コンピュータ５は、図２に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ５１、基本プログラムを記憶するＲＯＭ５２および各種情報を記憶するＲＡＭ５３をバスラインに接続した一般的なコンピュータシステムの構成となっている。バスラインにはさらに、情報記憶を行う固定ディスク５４、各種情報の表示を行う表示部であるディスプレイ５５、操作者からの入力を受け付けるキーボード５６ａおよびマウス５６ｂ（以下、「入力部５６」と総称する。）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体８から情報の読み取りを行う読取装置５７、並びに、ムラ検査装置１の他の構成要素に接続される通信部５８が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００２９】
コンピュータ５には、事前に読取装置５７を介して記録媒体８からプログラム５４１が読み出され、固定ディスク５４に記憶される。そして、プログラム５４１がＲＡＭ５３にコピーされるとともにＣＰＵ５１がＲＡＭ５３内のプログラムに従って演算処理を実行することにより（すなわち、コンピュータがプログラムを実行することにより）、コンピュータ５が基板９上の筋ムラを検査する演算部としての動作を行う。
【００３０】
図３は、ＣＰＵ５１がプログラム５４１に従って動作することにより、ＣＰＵ５１、ＲＯＭ５２、ＲＡＭ５３、固定ディスク５４等が実現する機能構成を示すブロック図である。図３において演算部６内の対象画像生成部６１、２値画像取得部６２、筋領域特定部６３、領域グループ取得部６４、筋ムラ強度取得部６５および表示制御部６６がＣＰＵ５１等により実現される機能を示す。なお、これらの機能は専用の電気的回路により実現されてもよく、部分的に専用の電気的回路が用いられてもよい。
【００３１】
次に、ムラ検査装置１による筋ムラの検査の流れについて説明する。図４は、ムラ検査装置１が基板９の膜９２上の筋ムラを検査する処理の流れを示す図である。基板９上の筋ムラが検査される際には、まず、図１中に実線にて示す検査開始位置に位置するステージ２上に基板９が保持された後、ステージ２の（＋Ｘ）方向への移動が開始される。続いて、光照射部３から出射されて基板９の上面９１に対して所定の入射角にて入射する線状光が、上面９１上の直線状の照射領域（以下、「線状照射領域」という。）に照射され、線状照射領域が基板９に対して相対的に移動する。光照射部３からの光は基板９の上面９１にて反射し、干渉光が撮像部４１へと導かれてラインセンサにて受光され、基板９上の線状照射領域における干渉光の強度分布が取得される。ラインセンサの各受光素子からの出力は、所定の変換式に基づいて例えば８ｂｉｔ（もちろん、８ｂｉｔ以外であってもよい。）の値（画素値）に変換されつつコンピュータ５へと送られる。
【００３２】
ムラ検査装置１では、ステージ２が（＋Ｘ）方向に移動している間、撮像部４１における干渉光の強度分布の取得、および、画素値のコンピュータ５への出力がステージ２の移動に同期して繰り返される。そして、ステージ２が検査終了位置まで移動すると、移動機構２１によるステージ２の移動が停止され、照明光の照射も停止される。以上のようにして、撮像部４１では基板９上の膜９２の全体を撮像して多階調の２次元画像（後述する処理が施される前の画像であり、以下、「元画像」という。）が取得され、コンピュータ５の演算部６に入力される（ステップＳ１１）。
【００３３】
続いて、演算部６の対象画像生成部６１では、元画像が圧縮されて第１画像が生成される。ここで、元画像において座標（Ｘ，Ｙ）に位置する画素の画素値をＦＸＹと表すと、元画像をｓａ画素×ｓａ画素の範囲を単位として圧縮して生成された第１画像において、座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ａｘｙは、数１により求められる。
【００３４】
【数１】
【００３５】
本実施の形態ではｓａが４（画素）であるため、数１の演算により第１画像のＳ／Ｎ比は元画像の４倍に向上する。第１画像（圧縮後の元画像）が生成されると、第１画像に対するローパスフィルタ処理が行われ、第１画像から高周波ノイズの影響が抑制されて平滑化された第２画像が生成される。ローパスフィルタ処理の演算範囲を決定するウィンドウは、１辺の長さが（２ｓ１＋１）画素の正方形であり、第２画像において座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ｌｘｙは、注目画素近傍の各画素の第１画像における画素値Ａ（数１参照）を用いて、数２により求められる。
【００３６】
【数２】
【００３７】
その後、第２画像に対してハイパスフィルタ処理が行われ、第２画像から後述のコントラスト強調処理の妨げとなる低周波の濃度変動が除去された第３画像が生成される。ここで、座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ｈ１ｘｙは、注目画素近傍の各画素の第２画像における画素値Ｌ（数２参照）を用いて、数３にて求められる。
【００３８】
【数３】
【００３９】
数３は、ハイパスフィルタ処理の演算範囲を決定するウィンドウとして、注目画素を中心とする各辺の長さが（２ｓ２＋１）画素の正方形のウィンドウが用いられる場合を示している。以上のように、対象画像生成部６１では、元画像を圧縮した第１画像に対して、ローパスフィルタ処理を施した後に、ハイパスフィルタ処理を施すことにより、所定の空間周波数帯域のバンドパスフィルタ処理が行われる（ステップＳ１２）。
【００４０】
対象画像生成部６１では、さらに、第３画像に対してコントラスト強調処理が行われて強調画像が生成される（ステップＳ１３）。強調画像において座標（ｘ，ｙ）に位置する注目画素の画素値Ｅｘｙは、第３画像における注目画素の画素値Ｈ１ｘｙ、コントラスト係数ｒｃ、および、背景値ｂを用いて、数４にて求められる。本実施の形態では、ｒｃは０．０１，０．０２，０．０５または０．１とされ、ｂは１２７とされる。
【００４１】
【数４】
【００４２】
ここで、基板９の上面９１には、それぞれが表示装置のパネル上の表示領域に対応する複数の矩形領域（以下、「矩形表示領域」という。）が隙間を空けて縦横に整列して設定されており、基板９は複数の矩形表示領域に従って複数の部位（パネル）に切断される（すなわち、多面取りされる）予定のものである。対象画像生成部６１では、強調画像において基板９上の矩形表示領域外の部分に対応する領域（以下、「背景領域」という。）に背景値ｂを付与することにより、図５に示すように、背景領域７１９（図５中にて平行斜線を付して示す。）が実質的にマスクされた新たな画像（後述するように、演算部６における以下の処理の対象とされる画像であり、以下、「対象画像」という。）７１が生成される（ステップＳ１４）。なお、図５では多階調の対象画像７１を簡略化して示しており、実際には、図５中の矩形表示領域７１１と背景領域７１９との境界は必ずしも明確ではない。また、対象画像７１の平均濃度（すなわち、画素値の平均値）は約１２７となっている。
【００４３】
対象画像生成部６１にて対象画像７１が生成されると、２値画像取得部６２では、背景値１２７よりも小さい値１０３〜１２２のそれぞれを閾値として対象画像が２値化される。具体的には、対象画像の各画素の値と各閾値（以下、「下閾値」という。）とが比較され、値が下閾値以下の画素に「１」を付与し、下閾値よりも大きい画素に「０」を付与することにより、下閾値１０３〜１２２にそれぞれ対応する２０個の２値画像が取得される。
【００４４】
図６．Ａないし図６．Ｃは２値画像を示す図であり、図６．Ａは下閾値を１１７とした場合の２値画像を示し、図６．Ｂは下閾値を１１２とした場合の２値画像を示し、図６．Ｃは下閾値を１０３とした場合の２値画像を示している。背景値よりも小さい値を下閾値として２値画像を取得する上記処理では、図６．Ａないし図６．Ｃに示すように、下閾値が小さくなる（背景値１２７から離れる）に従って２値画像における値１の画素（図６．Ａないし図６．Ｃ中の白い画素）の数が少なくなる。
【００４５】
続いて、２値画像取得部６２では、背景値１２７よりも大きい値１３２〜１５１のそれぞれを閾値（以下、「上閾値」という。）とし、対象画像において値が上閾値以上の画素に「１」を付与し、上閾値よりも小さい画素に「０」を付与することにより、値１３２〜１５１にそれぞれ対応する２０個の２値画像が取得される。背景値よりも大きい値を上閾値として２値画像を取得する上記処理では、上閾値が大きくなる（背景値１２７から離れる）に従って２値画像における値１の画素数が少なくなる。
【００４６】
以上のように、２値画像取得部６２では対象画像７１を複数の閾値にて２値化することにより、複数の閾値にそれぞれ対応する複数の（本実施の形態では、４０個の）２値画像が取得される（ステップＳ１５）。なお、下閾値および上閾値のいずれを用いる場合であっても、取得される２値画像中の背景領域に対応する領域は値が０となる。
【００４７】
複数の２値画像が取得されると、筋領域特定部６３では、各２値画像においてラベリングにより互いに連続する値１の画素の集合（以下、「閉領域」という。）が特定され、所定の面積（画素数）以下となる閉領域が処理対象から除外され、２値画像から削除される。続いて、各閉領域のモーメントを算出することにより慣性主軸の方向（角度）が求められ、この閉領域に対して慣性主軸の方向に沿う外接矩形が求められる。なお、通常、慣性主軸の方向は閉領域の長手方向となる。以下の説明では、慣性主軸は長手方向に沿うものを指すものとする。
【００４８】
図７は、２値画像中の複数の閉領域７２１ａ，７２１ｂ，７２１ｃを示す図である。図７では、各閉領域７２１ａ〜７２１ｃの外接矩形を符号７２２ａ〜７２２ｃを付して細線にて示している。筋領域特定部６３では、さらに、各閉領域７２１ａ〜７２１ｃの外接矩形７２２ａ〜７２２ｃにおいて慣性主軸の方向に関する長さＬ１と、慣性主軸に垂直な方向に関する幅Ｗ１との比（Ｌ１／Ｗ１）が所定値（例えば、２）と比較され、比が所定値以上となる閉領域７２１ａ，７２１ｂのみが筋領域（以下、閉領域７２１ａ，７２１ｂと同符号を付す。）とされ、他の閉領域７２１ｃは２値画像から削除される。
【００４９】
このように、筋領域特定部６３では、複数の２値画像のそれぞれにおいて閉領域のモーメントを算出することにより、長手方向における長さと長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域が特定される（ステップＳ１６）。なお、２値画像における閉領域は、下閾値または上閾値が背景値に近づくと大きくなるため、ある下閾値または上閾値の２値画像で筋領域として検出されても、背景値に近い下閾値または上閾値の２値画像では同じ位置に縦横比の小さい閉領域が現れることがあり、筋領域が検出されるとは限らない。また、筋領域７２１ａ，７２１ｂのそれぞれでは、重心７２３ａ，７２３ｂを通って慣性主軸の方向に伸びるとともに両端点が外接矩形７２２ａ，７２２ｂの辺上に設定される線分（図７中にて一点鎖線にて示す。）が当該筋領域７２１ａ，７２１ｂを代表する筋領域線分７２４ａ，７２４ｂとして特定される。
【００５０】
続いて、筋領域特定部６３では、各２値画像において基板９上の複数の矩形表示領域７１１（図５参照）に対応する複数の領域（以下、同様に「矩形表示領域」と呼ぶ。）のうちの一の矩形表示領域（以下、「注目矩形表示領域」という。）に注目して、注目矩形表示領域内に含まれる複数の筋領域線分のうちの任意の１つの筋領域線分が特定筋領域線分として特定される。そして、特定筋領域線分と注目矩形表示領域内の他の筋領域線分のそれぞれとの間において、これらの筋領域線分の連結の可否の判定が行われる。
【００５１】
図８は筋領域線分の連結の可否の判定を説明するための図であり、図８では図７中の筋領域線分７２４ａ，７２４ｂを相互の傾きの違いを強調して図示している。筋領域線分７２４ａを特定筋領域線分として、筋領域線分７２４ｂとの間において連結の可否の判定を行う場合には、まず、特定筋領域線分７２４ａが代表する筋領域７２１ａの重心７２３ａ（筋領域線分の中点であってもよい。以下同様。）と筋領域線分７２４ｂが代表する筋領域７２１ｂの重心７２３ｂとを結ぶ直線（図８中にて符号Ｒ１を付す破線にて示す。）が求められる。続いて、特定筋領域線分７２４ａの端点７２５ａ，７２６ａと直線Ｒ１との間の距離Ｄ１，Ｄ２、および、筋領域線分７２４ｂの端点７２５ｂ，７２６ｂと直線Ｒ１との間の距離Ｄ３，Ｄ４（すなわち、端点７２５ａ，７２６ａ，７２５ｂ，７２６ｂから直線Ｒ１に下ろした垂線の長さ）の全てが所定の第１閾値以下であるか否かが確認される。
【００５２】
距離Ｄ１〜Ｄ４のいずれかが第１閾値よりも大きい場合には筋領域線分の連結が却下される。距離Ｄ１〜Ｄ４の全てが第１閾値以下である場合には、特定筋領域線分７２４ａが伸びる方向（特定筋領域線分７２４ａが示す筋領域７２１ａの長手方向であり、以下、同様に「長手方向」と呼ぶ。）と筋領域線分７２４ｂの長手方向とがほぼ同一であるとされ（図７参照）、続いて、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの間において最も近接する端点７２６ａ，７２５ｂ間の距離Ｄ５、並びに、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの長さの和が求められる。
【００５３】
距離Ｄ５と当該長さの和との比が所定の第２閾値よりも大きい場合には筋領域線分の連結が却下される。当該比が所定の第２閾値以下である場合には、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとが互いに近接しているとされ、さらに、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの間において最も離れた端点７２５ａ，７２６ｂ間の距離Ｄ６と、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとの長さの和との比が求められる。そして、当該比が所定の第３閾値以上である場合には、特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとが同一の長手方向に配列されているとされて連結が許可され、第３閾値未満である場合には、筋領域線分の連結が却下される。
【００５４】
続いて、連結が許可された特定筋領域線分７２４ａと筋領域線分７２４ｂとが連結される。具体的には、特定筋領域線分７２４ａをその中点にて分断した２つの分断線分、および、筋領域線分７２４ｂをその中点にて分断した２つの分断線分の集合のモーメントを算出することにより、４つの分断線分の集合に対する慣性主軸の方向が求められ、慣性主軸の方向に伸びるとともに４つの分断線分の集合の重心を通る直線（すなわち、慣性主軸）が、図９中にて符号Ｒ２を付す破線（ただし、破線の一部が太くされている。）にて示すように求められる。そして、特定筋領域線分７２４ａおよび筋領域線分７２４ｂの各端点７２５ａ，７２６ａ，７２５ｂ，７２６ｂから直線Ｒ２に下ろした垂線と直線Ｒ２との交点が求められ、４つの交点のうち互いに最も離れた交点７２７ａ，７２７ｂを端点とする線分が、新たな筋領域線分（図９中にて破線にて示す直線Ｒ２のうち太い破線の部分）として取得され、２つの筋領域線分７２４ａ，７２４ｂが１つの筋領域線分に更新される。
【００５５】
実際には、特定筋領域線分７２４ａとの連結が許可される全ての筋領域線分が決定された上で、特定筋領域線分７２４ａとこれらの筋領域線分との連結が同時に行われる。すなわち、特定筋領域線分７２４ａおよび連結が許可された複数の筋領域線分のそれぞれをその中点にて分断することにより複数の分断線分が取得され、これらの分断線分の集合に対する慣性主軸を求め、特定筋領域線分７２４ａおよび連結が許可された複数の筋領域線分の端点から慣性主軸に下ろした垂線と慣性主軸との複数の交点のうち互いに最も離れた２つの交点を端点とする線分が、新たな筋領域線分として求められ、特定筋領域線分７２４ａおよび連結が許可された複数の筋領域線分が１つの筋領域線分へと更新される。
【００５６】
特定筋領域線分７２４ａに対する他の筋領域線分との連結の可否の判定および連結が行われると、注目矩形表示領域内における特定筋領域線分７２４ａから更新された筋領域線分（連結が行われない場合には、特定筋領域線分７２４ａ）以外の一の筋領域線分を特定筋領域線分として特定し、他の筋領域線分との連結の可否の判定および連結が行われる。実際には、複数の２値画像のそれぞれにおいて、各矩形表示領域を注目矩形表示領域として上記処理が行われることにより、長手方向が同一であり、長手方向に配列され、かつ、互いに近接する同一矩形表示領域内の複数の筋領域線分が１つの筋領域線分へと更新とされる（ステップＳ１７）。
【００５７】
続いて、領域グループ取得部６４では、２値化の際における閾値が隣接する（本実施の形態では、閾値が連続する）２つの２値画像において、一方の２値画像における各筋領域線分と、この筋領域線分が含まれる矩形表示領域に対応する他方の２値画像中の矩形表示領域内の筋領域線分のそれぞれとのグループ化の可否が判定される。
【００５８】
図１０は、２値化の際における閾値が隣接する２つの２値画像にそれぞれ含まれる筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅを重ねて示す図である。２つの筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅのグループ化の可否の判定の際には、まず、一方の筋領域線分７２４ｄを延長した直線Ｒ３（ただし、筋領域線分７２４ｄから延長した部分を破線にて示している。）が設定され、他方の筋領域線分７２４ｅの両端点７２５ｅ，７２６ｅのそれぞれと直線Ｒ３との距離Ｄ７，Ｄ８が求められる。距離Ｄ７，Ｄ８の双方が所定の閾値以下である場合には、各筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅに対して、互いに直交する画素の配列方向（図１０中のｘ方向およびｙ方向）に平行な辺を有する外接矩形７２７ｄ，７２７ｅが求められ、これらの外接矩形７２７ｄ，７２７ｅが少なくとも一部において互いに重なる場合には、筋領域線分７２４ｄ，７２４ｅのグループ化が許可され、同一のグループに含められる。その一方で、一方の筋領域線分を延長した直線と他方の筋領域線分の両端点との間の距離が閾値よりも長い場合や、２つの筋領域線分の外接矩形が互いに重ならない場合には、これらの筋領域線分はグループ化されない。
【００５９】
このようにして、各２値画像と閾値が隣接する他の２値画像との間において互いに重なるとみなされる筋領域線分を同一のグループに含めるグループ化が行われ、グループ化されない筋領域線分は削除される。これにより、それぞれが筋ムラを示す複数のグループが求められる（ステップＳ１８）。領域グループ取得部６４における上記処理は、閾値が隣接する２値画像において所定の扁平度となる閉領域である筋領域の位置が互いに重なる場合に、これらの筋領域をグループとして特定することと等価であるため、以下の説明では、グループ化された筋領域線分の集合を領域グループと呼ぶ。
【００６０】
なお、本実施の形態では、２値画像の生成の際に、上閾値および下閾値を用いて値が背景値から離れた閉領域が特定されるが、上閾値を用いて導かれた２値画像と下閾値を用いて導かれた２値画像との間では、画像中の筋領域の種別が異なるものとされ、筋領域線分のグループ化は行われない。もちろん、領域グループ取得部６４における筋領域線分のグループ化は他の手法により行われてもよい。
【００６１】
また、領域グループ取得部６４では、必要に応じて領域グループに含まれる複数の筋領域線分のうち最長のもの（以下、「代表筋領域線分」という。）が特定され、代表筋領域線分を除く全ての筋領域線分が代表筋領域線分上に重ね合わせられる。具体的には、図１０に示す筋領域線分７２４ｄが代表筋領域線分として特定されたものとすると、代表筋領域線分７２４ｄと同じ領域グループに含まれる他の筋領域線分７２４ｅのそれぞれは、各端点７２５ｄ，７２６ｄから代表筋領域線分７２４ｄに下ろした垂線との交点７２８ｅ，７２９ｅを端点とする線分に更新される。
【００６２】
図１１は、領域グループ７３を説明するための図である。図１１では上閾値を用いて導かれた複数の２値画像７２を抽象的に示している。図１１中の複数の２値画像７２では上方に位置するものほど対応する閾値が大きくなっており、筋領域線分７３１，７３２，７３３ａ，７３３ｂの長さは対応する閾値が背景値から離れるに従って短くなっている。なお、図１１中の筋領域線分７３３ａ，７３３ｂのように同じ２値画像に含まれるとともに同一の領域グループに属するものは、必要に応じて連結されてもよい。
【００６３】
複数の２値画像においてそれぞれが筋ムラを示す複数の領域グループが求められると、筋ムラ強度取得部６５では、各領域グループに関して、筋領域線分が存在する２値画像に対応する２値化の際の閾値の範囲が筋ムラ強度として取得される（ステップＳ１９）。例えば、図１１の場合では、筋領域線分が３個の２値画像７２に存在するため、筋領域線分７３１，７３２，７３３ａ，７３３ｂを含む領域グループ７３の筋ムラ強度は３とされる。そして、各領域グループの筋ムラ強度、および、当該領域グループの代表筋領域線分の長さ（以下、「筋ムラ長さ」という。）を後述する強度閾値および所定の長さ閾値とそれぞれ比較することにより、当該領域グループが示す筋ムラが許容されるか否かの判定（すなわち、欠陥か否かの判定）が行われる（ステップＳ２０）。なお、筋ムラの許否の判定の際には、筋ムラ長さに代えて、例えば、領域グループの代表筋領域線分に対応する筋領域の面積を用いて、当該面積が所定の面積閾値と比較されてもよい。
【００６４】
以上に説明したように、図１のムラ検査装置１では、基板９から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像が取得され、複数の２値画像のそれぞれにおいて扁平度が所定値以上となる閉領域である筋領域が特定される。そして、複数の２値画像において、ほぼ同位置に存在するとともに同方向に伸びる筋領域の集合が筋ムラを示す領域グループとして求められ、各領域グループに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲が筋ムラ強度として取得される。これにより、ムラ検査装置１では、筋ムラを精度よく検出しつつ、筋ムラの強度を容易に取得することができる。
【００６５】
筋領域特定部６３では、２値画像において各閉領域のモーメントを算出して長手方向を決定した上でこの閉領域が筋領域か否かを特定することにより、閉領域が伸びる方向（閉領域の角度）に依存することなく、筋領域を精度よく特定することができる。また、長手方向が同一であり、長手方向に配列され、かつ、互いに近接する同一矩形表示領域内の複数の筋領域線分が１つの筋領域線分へと更新とされることにより、同一の筋ムラに由来する（すなわち、同一の領域グループに含まれる）可能性が高い複数の筋領域線分を１つの筋領域線分として扱うことができ、後続の領域グループ取得部６４および筋ムラ強度取得部６５における処理を効率よく行うことができる。
【００６６】
図４の処理では、基板９上の筋ムラの許否の判定が筋ムラ強度に関する強度閾値を用いて行われるが、実際には、上記処理の前に、操作者により強度閾値が決定されて演算部６にて準備される。以下、強度閾値の決定の際におけるムラ検査装置１の処理について図１２を参照しつつ説明する。
【００６７】
操作者により強度閾値が決定される際には、図４の処理と同様にして領域グループが求められた後（ステップＳ１８）、表示制御部６６にて、各領域グループに属する筋領域線分のそれぞれが対象画像に重ねてディスプレイ５５に表示される（ステップＳ２１）。このとき、既述のように代表筋領域線分を除く全ての筋領域線分が代表筋領域線分上に重なるようにされており、表示制御部６６では代表筋領域線分上の各位置において互いに重なる筋領域線分の個数に合わせて色が変更される。したがって、ディスプレイ５５には部分的またはほぼ全体的に筋ムラ強度に応じた色となる線分が領域グループの存在位置を示すものとして表示されることとなり、各領域グループのおよその筋ムラ強度が特定可能となる。これにより、操作者が筋ムラが存在する対象画像中の位置を筋ムラ強度と共に確認することができ、基板９上の筋ムラの許否の判定に利用される強度閾値を容易に決定することが可能となる。決定された筋ムラ強度は操作者により入力部５６を介して入力され、演算部６にて受け付けられる（ステップＳ２２）。そして、入力された筋ムラ強度を用いつつ多数の基板に対する筋ムラの検査が上述した図４の処理に沿って行われる。なお、各領域グループのおよその筋ムラ強度が特定可能であるならば、領域グループの存在位置を示す線分の表示態様はいかなるものであってもよく、例えば当該線分の幅が変更されてもよい。
【００６８】
図１２に示す処理では、筋領域特定部６３および領域グループ取得部６４における処理が完了することにより、領域グループに属する各筋領域線分と閾値とが対応付けられており、表示制御部６６により筋ムラ強度が特定可能に筋領域線分が表示されるため、実質的には、筋領域特定部６３および領域グループ取得部６４における処理が筋ムラ強度を取得する処理を含んでいる。
【００６９】
次に、表示制御部６６による表示制御の他の例について図１３を参照しつつ説明する。本処理例では、各領域グループの筋ムラ強度が取得されると（図４：ステップＳ１９）、複数の領域グループのうち操作者により予め設定される筋ムラ強度の範囲（以下、「設定強度範囲」という。）に属する領域グループの存在位置を示す線分のみが対象画像に重ねてディスプレイ５５に表示される（ステップＳ３１）。これにより、必要な筋ムラのみが特定可能とされ、当該筋ムラを効率よく把握することが可能となる。
【００７０】
また、操作者が筋ムラ強度の他の範囲に含まれる領域グループを確認する場合には（ステップＳ３２）、入力部５６を介して操作者により設定強度範囲の変更の入力が行われる。当該入力が演算部６にて受け付けられると（ステップＳ３３）、表示制御部６６では設定強度範囲が変更され、複数の領域グループのうち変更後の設定強度範囲に属する領域グループの存在位置を示す線分のみが対象画像に重ねてディスプレイ５５に再表示される（ステップＳ３４）。操作者による設定強度範囲の変更および領域グループの存在位置を示す線分の再表示は必要に応じて繰り返される（ステップＳ３５，Ｓ３３，Ｓ３４）。これにより、操作者が実際の筋ムラと筋ムラ強度との関係をより的確に把握することが可能となり、その結果、筋ムラの許否の判定に利用される強度閾値をより適切に決定することが可能となる。なお、上記と同様にして、領域グループが示す筋ムラの長さ（すなわち、代表筋領域線分の長さ）や、領域グループの代表筋領域線分に対応する筋領域の面積、あるいは、領域グループに含まれる筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲の代表値（例えば、平均値）等、筋ムラ強度以外の値に基づいて領域グループの存在位置を示す線分がディスプレイ５５に表示されてもよい。
【００７１】
また、ムラ検査装置１の筋ムラ強度取得部６５では、対象画像中の各矩形表示領域内の筋ムラの筋ムラ強度の合計が取得されてもよい。例えば、領域グループ取得部６４にて筋ムラを示す各領域グループが求められた後（図４：ステップＳ１８）、筋ムラ強度取得部６５により各領域グループに含まれる筋領域線分の長さの和が当該領域グループの筋ムラ強度として取得され、基板９の複数のパネル（となる部位）のそれぞれに対応する対象画像中の矩形表示領域内に含まれる筋ムラの筋ムラ強度の合計がさらに取得される（ステップＳ１９）。これにより、基板９の複数のパネルのそれぞれにおける筋ムラの程度を数値化して取得することができ、その結果、各パネルの許否の判定を容易に行うことができる。
【００７２】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００７３】
図１のムラ検査装置１では、筋領域特定部６３において筋領域が筋領域線分として特定されることなく筋ムラ検査が行われてもよい。この場合、筋領域特定部６３では、長手方向が同一であり、長手方向に配列され、かつ、互いに近接する複数の筋領域が１つの筋領域へと更新され、領域グループ取得部６４では、閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化によりそれぞれが筋ムラを示す領域グループが求められ、筋ムラ強度取得部６５では、各領域グループに関して筋領域が存在する２値画像に対応する閾値、または、筋領域の長手方向の長さもしくは面積の和が筋ムラ強度として取得される。また、表示制御部６６では、例えば、領域グループに含まれる複数の筋領域のうち長手方向の長さが最長となる代表筋領域のエッジを示す線が対象画像に重ねて表示され、筋ムラが存在する領域が確認可能とされる。ただし、筋ムラの検出および筋ムラ強度の取得を容易に行うという観点では、筋領域特定部６３において筋領域が当該領域を代表する筋領域線分にて特定され、領域グループ取得部６４および筋ムラ強度取得部６５において、筋領域線分が、対応する筋領域として扱われて処理の簡素化が図られることが好ましい。
【００７４】
領域グループ取得部６４では、１つの領域グループのみが求められる場合もあり、この場合も筋ムラ強度取得部６５および表示制御部６６における処理は上記と同様である。すなわち、ムラ検査装置１では、領域グループ取得部６４にて少なくとも１つの領域グループが求められる場合に、筋ムラ強度取得部６５にて少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して筋ムラ強度が取得され、表示制御部６６により少なくとも１つの領域グループの存在位置または少なくとも１つの領域グループのうちの特定のものの存在位置が対象画像に重ねて表示される。
【００７５】
対象画像の２値化の際における複数の閾値は必ずしも連続する値である必要はなく、また、上閾値および下閾値の双方が用いられる必要もない。２値画像取得部６２にて生成される２値画像の個数は２以上であるならば任意の個数とされてよいが、演算部６における演算量を低減しつつ、筋ムラの検出および筋ムラ強度の取得を一定の精度にて実現するという観点では、５以上の閾値を用いて５以上の２値画像が取得されることが好ましい。
【００７６】
ところで、撮像部４１では基板９からの干渉光を受光することにより元画像が取得されるが、干渉光の強度は膜厚に対して周期的に変化するため、検査対象の基板上の膜の厚さが変更されると、元画像の平均濃度（画素値の平均値）も変化してしまう。したがって、上記実施の形態では、対象画像生成部６１において数１〜数４を参照して説明した上記処理により画像の平均濃度がほぼ一定となる対象画像が準備され、２値画像取得部６２における対象画像の２値化の際に一定の閾値を用いることが可能とされる。しかしながら、撮像部４１が基板９を撮像する際に干渉光を用いない場合や、２値画像取得部６２における２値化の閾値を元画像の平均濃度に合わせて変更する場合等には、撮像部４１にて取得される元画像がそのまま対象画像とされ、元画像から複数の２値画像が取得されてもよい。すなわち、２値画像取得部６２における２値化の対象とされる対象画像は、元画像または元画像から導かれる画像であればよい。
【００７７】
また、筋領域特定部６３では、２値画像中の各閉領域に対して必ずしもモーメントが求められる必要はなく、閉領域に対して予め定められた複数の方向に沿ってそれぞれ伸びる複数の外接矩形が求められ、これらの外接矩形のうち面積が最小となるものの長手方向の長さと長手方向に垂直な方向の幅との比が所定値と比較されて、当該閉領域が筋領域であるか否かが判定されてもよい。ただし、ある位置から様々な角度にて放射状に伸びる複数の筋領域（例えば、スピンコート方式の塗布装置を用いて基板上にレジストの膜を形成する際に、処理の直前の基板上に不要物が存在することによりこの不要物を起点として放射状に形成される筋ムラに起因するもの）等、筋領域を精度よく特定するには、演算量を低減するために、閉領域のモーメントを算出することにより筋領域が特定されることが好ましい。
【００７８】
ムラ検査装置１において検査対象とされる基板は必ずしもレジスト膜等の薄膜が形成されたものでなくてもよい。また、ムラ検査装置１は、表示装置に用いられるガラス基板や半導体基板等、複数の部位に切断される予定の基板上の筋ムラの検査に特に適しているが、基板以外の対象物上の筋ムラの検査に利用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】ムラ検査装置の構成を示す図である。
【図２】コンピュータの構成を示す図である。
【図３】コンピュータが実現する機能構成を示すブロック図である。
【図４】ムラ検査装置が基板上の筋ムラを検査する処理の流れを示す図である。
【図５】対象画像を示す図である。
【図６．Ａ】２値画像を示す図である。
【図６．Ｂ】２値画像を示す図である。
【図６．Ｃ】２値画像を示す図である。
【図７】閉領域を示す図である。
【図８】筋領域線分の連結の可否の判定を説明するための図である。
【図９】筋領域線分の連結を説明するための図である。
【図１０】２つの２値画像中の筋領域線分を重ねて示す図である。
【図１１】領域グループを説明するための図である。
【図１２】ムラ検査装置における他の処理の流れを示す図である。
【図１３】ムラ検査装置におけるさらに他の処理の流れを示す図である。
【符号の説明】
【００８０】
１ ムラ検査装置
５ コンピュータ
９ 基板
４１ 撮像部
５５ ディスプレイ
６２ ２値画像取得部
６３ 筋領域特定部
６４ 領域グループ取得部
６５ 筋ムラ強度取得部
７１ 対象画像
７２ ２値画像
７３ 領域グループ
５４１ プログラム
７２１ａ，７２１ｂ 筋領域
７２４ａ，７２４ｂ，７２４ｄ，７２４ｅ，７３１，７３２，７３３ａ，７３３ｂ 筋領域線分
Ｓ１５〜Ｓ１９，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ３４ ステップ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物上の筋ムラを検査するムラ検査方法であって、
ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、
ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、
ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、
ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程と、
を備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載のムラ検査方法であって、
ｅ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれのおよその筋ムラ強度を特定可能としつつ、前記少なくとも１つの領域グループの存在位置を表示部に表示する工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載のムラ検査方法であって、
ｆ）前記少なくとも１つの領域グループのうち所定の筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを表示部に表示する工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項４】
請求項３に記載のムラ検査方法であって、
前記ｆ）工程が、前記筋ムラ強度の範囲を変更して前記少なくとも１つの領域グループのうち変更後の前記筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを前記表示部に再表示する工程を備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記ｂ）工程において、筋領域が当該領域を代表する筋領域線分にて特定され、前記ｃ）工程および前記ｄ）工程において、筋領域線分が、対応する筋領域として扱われることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記ｂ）工程において、前記複数の２値画像のそれぞれにおいて閉領域のモーメントを算出して長手方向を決定した上で、前記閉領域が筋領域か否かが特定されることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記ｂ）工程において、長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、互いに近接する複数の筋領域が、１つの筋領域へと更新されることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記対象物が複数の部位に切断される予定の基板であり、
前記ｄ）工程において、前記複数の部位のそれぞれに対応する領域における筋ムラ強度の合計が取得されることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項９】
対象物上の筋ムラを検査するムラ検査装置であって、
対象物を撮像して多階調の元画像を取得する撮像部と、
前記元画像または前記元画像から導かれる画像である対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する２値画像取得部と、
前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する筋領域特定部と、
閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める領域グループ取得部と、
前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する筋ムラ強度取得部と、
を備えることを特徴とするムラ検査装置。
【請求項１０】
対象物上の筋ムラをコンピュータに検査させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、
ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、
ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、
ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１】
対象物上の筋ムラを検査するムラ検査方法であって、
ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、
ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、
ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、
ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程と、
を備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載のムラ検査方法であって、
ｅ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれのおよその筋ムラ強度を特定可能としつつ、前記少なくとも１つの領域グループの存在位置を表示部に表示する工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載のムラ検査方法であって、
ｆ）前記少なくとも１つの領域グループのうち所定の筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを表示部に表示する工程をさらに備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項４】
請求項３に記載のムラ検査方法であって、
前記ｆ）工程が、前記筋ムラ強度の範囲を変更して前記少なくとも１つの領域グループのうち変更後の前記筋ムラ強度の範囲に属するものの存在位置のみを前記表示部に再表示する工程を備えることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記ｂ）工程において、筋領域が当該領域を代表する筋領域線分にて特定され、前記ｃ）工程および前記ｄ）工程において、筋領域線分が、対応する筋領域として扱われることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記ｂ）工程において、前記複数の２値画像のそれぞれにおいて閉領域のモーメントを算出して長手方向を決定した上で、前記閉領域が筋領域か否かが特定されることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記ｂ）工程において、長手方向が同一であり、前記長手方向に配列され、かつ、互いに近接する複数の筋領域が、１つの筋領域へと更新されることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載のムラ検査方法であって、
前記対象物が複数の部位に切断される予定の基板であり、
前記ｄ）工程において、前記複数の部位のそれぞれに対応する領域における筋ムラ強度の合計が取得されることを特徴とするムラ検査方法。
【請求項９】
対象物上の筋ムラを検査するムラ検査装置であって、
対象物を撮像して多階調の元画像を取得する撮像部と、
前記元画像または前記元画像から導かれる画像である対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する２値画像取得部と、
前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する筋領域特定部と、
閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める領域グループ取得部と、
前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する筋ムラ強度取得部と、
を備えることを特徴とするムラ検査装置。
【請求項１０】
対象物上の筋ムラをコンピュータに検査させるプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）対象物から得られる多階調の対象画像を複数の閾値にて２値化することにより、前記複数の閾値にそれぞれ対応する複数の２値画像を取得する工程と、
ｂ）前記複数の２値画像のそれぞれにおいて、長手方向における長さと前記長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる筋領域を特定する工程と、
ｃ）閾値が隣接する２つの２値画像において互いに重なる筋領域を同一の領域グループに含めるグループ化により、それぞれが筋ムラを示す少なくとも１つの領域グループを求める工程と、
ｄ）前記少なくとも１つの領域グループのそれぞれに関して、筋領域が存在する２値画像に対応する閾値の範囲、または、筋領域の長さもしくは面積の和を、筋ムラ強度として取得する工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６．Ａ】
【図６．Ｂ】
【図６．Ｃ】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６．Ａ】
【図６．Ｂ】
【図６．Ｃ】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００７−３２２２５８（Ｐ２００７−３２２２５８Ａ）
【公開日】平成１９年１２月１３日（２００７．１２．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１５３１４８（Ｐ２００６−１５３１４８）
【出願日】平成１８年６月１日（２００６．６．１）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１２月１３日（２００７．１２．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月１日（２００６．６．１）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
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