【課題】 比較的単純な情報処理によってシート状物の全面を漏れなく欠陥検査しながらシート状物の有害な異物や欠陥と、付着異物とを確度高く弁別するシート状物の検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 透明体シート状物のフィード方向上流側に設置した第１検査装置と、該検査装置の下流側の位置に付着異物除去装置を具備し、更に該付着異物除去装置の下流側に第２検査装置を具備し、第１検査装置と第２検査装置との異物欠陥の検出データを比較照合することにより、有害な異物や欠陥と、シート状物表面に付着した異物とを弁別する異物欠陥の検査システム。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物における欠陥の形状や各検査対象物に形成されたそれぞれ異なる研磨筋等によらず、検査対象物の欠陥を確実に検出すること。
【解決手段】 本発明に係る外観検査方法は、検査対象物２２を撮像して撮像画像Ｐ１を取得する工程と、軸Ｘ，Ｙ方向における検査対象物画像Ｐ１ａの平均輝度分布を算出する工程と、マスタ画像Ｐ２を平均輝度分布に基づいて生成する工程と、撮像画像Ｐ１とマスタ画像Ｐ２とから第１補正画像Ｐ３を生成する工程と、ソーベルフィルタにより第１補正画像Ｐ３における各画素の輝度値の変化量を算出してソーベル処理画像Ｐ４を生成する工程と、ソーベル処理画像Ｐ４と第１補正画像Ｐ３とから第２補正画像Ｐ５を生成する工程と、第２補正画像Ｐ５を２値化して連結領域を特定し、その連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 磨耗しやすいローラの表面を適正に撮像する。
【解決手段】 ローラ３の表面に光を照射する光源７と、ローラ表面からの反射光を受光してローラ表面の画像を撮像するカメラ８とを具備した撮像装置において、ローラ表面の磨耗による変位を検出する変位検出センサ１８と、変位検出センサからの変位データに基づいてカメラ位置の補正量を演算し出力する制御部２０と、制御部からの出力によりカメラ位置を補正する位置補正機構とを具備する。シートの製造等に伴いローラの表面が磨耗しても、位置補正機構でカメラの位置を調整することができ、従ってカメラは十分な光量によってローラ表面の明確な画像を撮像することができ、例えば製造するシートの良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来プリント基板毎に特別注文により、設計されていた検査装置を用いていたのに対し、画像取り込み装置とデジタル画像処理ソフトウェアを用いて、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）を搭載するクリームはんだ印刷の未はんだを容易に検査できる方法の提供がプリント基板製造現場から求められている。
【解決手段】
デジタルカメラでクリームはんだの印刷状態範囲全体を撮影し、はんだすべき部位を残して他の場所をマスクし、かつ、所定面積以上の部位を選定して残すデジタル処理の後、２値化処理により得られるクリームはんだ印刷画像上のピクセル数から未はんだ部分の有無の判定を行う検査方法及びかかる方法を使用可能とする検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】微細回路パターン上における異物と凹凸とを識別し、異物のみを検出することのできる微細回路検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係わる微細回路検査方法は、検査対象となる微細回路を撮像する撮像ステップと、この撮像ステップで撮像された前記微細回路の微分画像に検査領域を設定してラスター走査を行い、所定値以上の微分値を有する画素を欠陥候補点として選定する欠陥候補点選定ステップと、前記欠陥候補点を基準にして所定幅の検査用画素列を設定する画素列設定ステップと、前記欠陥候補点に対して微分値の変化する方向を表す微分方向値を設定する微分方向値設定ステップと、前記検査用画素列内に前記欠陥候補点の微分方向値と同一の微分方向値が存在しない場合は前記欠陥候補点を異物と判定する異物判定ステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ラビングスジ欠陥を高精度に検出できる表示パネルの検査方法および検査装置の提供。
【解決手段】 表示パネルの検査装置は、スジ欠陥強調手段３００と、前記スジ欠陥強調手段３００において強調された画像に基づいて、スジ欠陥とラビジングスジ欠陥とを分別する欠陥分別手段４００と、前記欠陥分別手段４００においてラビングスジ欠陥と分別された欠陥を評価するラビングスジ欠陥評価手段５００とを備える。欠陥分別手段４００は、スジ欠陥強調手段３００で強調された各スジ欠陥が、ほぼ直線状の欠陥であり、かつ、スジ欠陥の形成方向がそのパネルに対してラビング処理された方向にほぼ一致する場合にはラビングスジ欠陥と判別し、それ以外の場合にはスジ欠陥と判別する。このため、欠陥幅や長さ、間隔などが変動していても、それらの影響を受けることなくラビングスジ欠陥を確実に判別できる。 （もっと読む）

【課題】 より正確に印刷ずれかどうかを判定することが可能な蛍光体の印刷ずれ検査方法を提供する。
【解決手段】 平面表示器のガラス基板に塗布されている蛍光体の蛍光面を撮像したカメラからの入力画像から、蛍光体が塗布されている各領域を抽出して、蛍光体の色の選定を行ない、先に抽出された各領域内の画素を色度に変換し、色度のうち予め設定した領域内の色度を抽出し、抽出した色度から印刷ずれかどうかを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 印刷物や食品に含まれる印刷不良や夾雑物の検査において、特定の色の印刷不良や夾雑物の検出精度を向上させることができる欠陥検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 被検査面をカラー画像として撮像し、この被検査面画像とマスタ画像とを比較してその濃度レベル差が予め設定された第１許容値を超えた欠陥部分の欠陥画像データを作成し、被検査面画像の色空間を他の色空間に変換した第２被検査面画像データから、単又は複数の予め設定された範囲の色要素を抽出した抽出画像データを作成し、前記欠陥画像データと前記抽出画像データとが一致するか否かを判定した抽出欠陥画像データを作成し、当該抽出欠陥画像データの欠陥領域の大きさが予め設定された許容値以上であれば欠陥箇所として検出する。 （もっと読む）

【課題】
従来のパンタグラフのすり板検査では、検査に必要なカメラを架線上でかつレールの上方に配置し撮像していたが、この方法ではカメラ設置時や調整時に危険作業を伴うため手軽に行うことが難しかった。
【解決手段】
パンタグラフ２を映す凹面鏡１２と凹面鏡１２に映ったパンタグラフ２の像を映すカメラ１４を架線４やレール３ａ，３ｂから離れた位置に設置し、パンタグラフ２をカメラ１４で凹面鏡１２を介して撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】構造体の接合状態の良否を容易、迅速、且つ、高精度に判定することができる構造体の接合状態検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】金属板２の端面をＣＣＤカメラ１２によって撮像し、得られた階調画像データを二値化処理部２０によって二値化し、縮小・拡大処理部２４で縮小・拡大処理した後、領域抽出部２６において二値化画像の各領域を抽出する。次いで、領域数算出部２８において各領域の面積毎の領域数を算出し、接合状態判定部３２で所定の面積の領域数を基準値と比較することにより、金属板２の接合状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体が進行方向と垂直な幅方向に変位してしまう場合に周期性欠陥を低負荷の計算で検出でき,また,周期性欠陥及びその周期性をより正確に検出することが可能な周期性欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体を撮像して得た画像データにおいて検出された欠陥を，欠陥の特性で分類し，前記画像データ全体に分割配置された各周期性判定領域に含まれる周期性欠陥の候補をそれぞれ計数し，前記周期性欠陥の候補の個数が第１の閾値を上回る場合に，当該周期性判定領域について，隣接する前記周期性欠陥の候補同士のヒストグラムを作成し，前記ヒストグラムの前記横軸の所定範囲内にある各値に，対応する前記横軸の値を重みを付けて加算し，得た加工ヒストグラムにおいて，第２の閾値を上回る頻度が存在する場合に，周期性欠陥を含むと判定する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥検出の際に使用する撮像画像を用いて、従来の欠陥分類方法よりも高い精度で、検出された欠陥の分類を行うことが可能な外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置を、検査試料３の表面を撮像する撮像装置４と、その撮像画像から検査試料３の表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出部８と、欠陥検出部により検出された欠陥を第１の系の欠陥分類に従って分類分けする欠陥分類部９と、検査試料３について、欠陥分類部９により前記第１の系の欠陥分類に従って分類分けされた各類の欠陥数に基づき、所定の近似式に従って、第２の系の欠陥分類に従う各類の欠陥数を算出する欠陥数算出部１０を備えて構成し、上記所定の近似式を、所与の基準試料において検出された既知の欠陥について、欠陥分類部９による第１の系の欠陥分類に従う分類分けの結果と、所定の観察手段による第２の系の欠陥分類に従う分類分けの結果と、から導出する。 （もっと読む）

【課題】 試料の外観検査に使用された画像間の相違を表す情報を欠陥情報の他に報告することにより、従来の外観検査ではユーザが知り得なかった試料間の相違を示すことが可能な外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置を、試料３の表面を撮像する撮像手段４と、この撮像手段により得られた画像から試料３の欠陥を検出する欠陥検出手段５〜８と、さらに、撮像手段により撮像された画像における画素値の分布状態を示す分布情報を算出する分布情報算出手段１０と、欠陥検出手段により検出された欠陥情報の出力の他に、分布情報を出力するための分布情報出力手段２０と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の表面の欠陥を検査する際に，輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥と輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥とを同時に検出することのできる計算負荷の低い欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体表面の画像データの各画素の輝度を正規化した後に正規化基準値を用いて重み付けするようにしたので輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥を消失させずに輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥を検出することが可能となる。また，被検査体表面の画像データの輝度を正規化及び重み付けした値を各画素に対する有害度として定めた後，各画素を中心とする所定サイズの領域内の有害度を積分した値を各画素に対する有害度積分値として定めて，この有害度積分値を二値化処理するようにしたので，単一欠陥としての検出が困難な分断された欠陥や，集合して存在する欠陥を１つの欠陥として低い計算負荷で検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 複数の検査装置で統一した判断でシミ欠陥を検出するための閾値を簡便に設定するシミ欠陥検出用閾値設定方法を提供する。
【解決手段】 モデル欠陥作成工程ＳＴ１００においてシミ欠陥を検出する基準となるモデル欠陥の画像を作成する。モデル欠陥再現情報記憶工程ＳＴ２００においてモデル欠陥作成工程ＳＴ１００にて作成されたモデル欠陥の画像を再現するためのモデル欠陥再現情報を記憶する。モデル欠陥表示工程において、モデル欠陥再現情報に基づいて検査装置の駆動手段にてモデル欠陥を再現させて表示させる。撮像工程において、再現されたモデル欠陥を検査装置の撮像手段によって撮像した撮像データを取得する。画像処理工程では、撮像データを画像処理手段で画像処理してシミ欠陥を検出するパラメータを算出する。閾値設定工程では、画像処理工程にて算出されたパラメータをシミ欠陥検出用閾値として設定する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスにおいて、色の違いによって検査対象物を判別する検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】カラー画像を撮像可能な撮像手段によって検査対象物のカラー画像を撮像し、ＲＧＢ色空間の色情報を取得する。ＲＧＢ色空間の色成分または他の色空間の色成分のグレースケール画像を作成し、パターン認識の手法によって検査対象物を検出する。あるいは作成したグレースケール画像から二値画像を作成し、二値画像に対してパターン認識を行い検査対象物を検出する。検出した検査対象物が占める画素の色データと、予め用意しておいた良品の検査対象物の色データとを比較し、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する。また、ネットワークを通じて他の製造工程にこの判定結果を反映させ、製品の品質を高いものにする。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間で、かつ低コストに検査できるようにする。
【解決手段】光照射手段（光ファイバ２８）とフレネルレンズ３０と撮像手段（エリアセンサーカメラ２４）とを有する光学系３１を用いて、基板２１上に形成された塗布膜２２の表面形状の検査を行うものであり、光照射手段から放射されてフレネルレンズ３０を通過させた光を塗布膜２２に照射し、そのときの反射光を撮像手段で撮像し、この撮像により得られた画像の階調分布を解析して前記検査を行う際に、前記画像から光学系３１の特性によって生じる階調変化を除去するための画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】適正な領域設定を迅速かつ容易に行うことのできる検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２１は、撮像装置２３、画像処理装置２４等を備えている。画像処理装置２４は、画像メモリ４１、ＰＴＰフィルムに対する撮像装置２３の各カメラ位置を取得するカメラ位置取得手段４２、ＰＴＰシートの寸法等の各種データを座標データに変換するデータ変換手段４３、ＰＴＰシートの寸法等の各種データを記憶するデータ記憶手段４４等を備えている。そして、外観検査装置２１は、ＰＴＰフィルム及び撮像装置２３の位置関係と、ＰＴＰシート及びポケット部の形状及び寸法とを基に、各種領域を少なくともフィルム幅方向に対し位置決めして設定する。 （もっと読む）

【課題】検査状況を把握可能な検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供し、もって、検査状況が適切でない場合に、迅速な対応を可能とする。
【解決手段】検査を実行し（Ｓ１００）、不良判定された場合（Ｓ１１０：ＹＥＳ）、不良発生日時及び不良項目からなる不良履歴に関連付けて、画像データ、シート位置追従量、及び、判定値を記憶する（Ｓ１３０〜Ｓ１５０）。そして、不良発生情報中の不良項目が作業者によって選択されると、通常時は検査対象の画像が表示される画面左側に、不良判定されたときのＰＴＰフィルムの画像を表示する。さらに、不良発生情報の表示欄の下方に、不良判定されたときのシート位置追従量を表示すると共に、判定に用いられれた判定値を表示する。 （もっと読む）

【課題】 貫通孔の長いハニカム構造体の貫通孔検査に適した貫通検査装置と、これを用いた貫通検査方法の提供を目的とする。
【解決手段】 透過用照明と、被検体であるハニカム構造体を固定する固定用台座と、ハニカム構造体の開口端面の分割画像を得るためのテレセントリックレンズを装着したエリアカメラと、このエリアカメラの向きを変更可能とする回転搬送ステージと、このエリアカメラを多軸方向に移動可能とする多軸搬送ステージと、取り込む分割画像が最適になるようにエリアカメラの位置を調整すると共に、得られた分割画像を組み戻してハニカム構造体の開口端面の画像を得、この画像を画像処理して貫通孔の適否を判断するためのコンピュータとで貫通孔検査装置を構成する。 （もっと読む）