【課題】レーザ捕獲顕微解剖を行うためのフィルムを提供すること。
【解決手段】組織サンプルは、顕微鏡において可視化される。選択的に活性化された凸状表面が、好ましくはロッドの遠位端に、提供される。この選択的に活性化された凸状表面は、活性化された場合（典型的には、顕微鏡における光学光路を通るレーザを用いて）、接着特性を有する活性化された領域を提供する。摘出されるべき組織サンプルの少なくとも一部が、同定される。この同定された部分は、ロッドの端の選択的に活性化された凸状表面の一部と接触される。凸状表面が活性化された場合、選択的に活性化された凸状表面上の接着性輸送表面が提供され、これは、所望のサンプルのフットプリントにおける所望の細胞に接着する。その後、接着性輸送表面は、所望の細胞との接着を維持しつつ、組織サンプルの残りから切り離される。 （もっと読む）

【課題】帯電粒子ビーム操作のためにサンプルを配向させる方法および装置を提供する。
【解決手段】サンプルが、サンプルの主表面がプローブ・シャフトに対して垂直ではない角度にある状態で、プローブに付着され、プローブ・シャフトは、サンプルを再配向させるために回転される。一実施形態では、サンプル・ステージに対して４５度などのある角度に配向されたプローブは、平坦領域がプローブの軸に対して４５度で平行に配向された、すなわち、平坦領域がサンプル・ステージに平行であるプローブの先端を有する。プローブ先端の平坦領域は、サンプルに付着され、プローブが１８０度回転されるとき、サンプルの配向は、水平から垂直に９０度変化する。次いで、サンプルは、ＴＥＭ格子をサンプル・ステージ上で垂直配向ＴＥＭ格子に付着される。サンプル・ステージは、薄くするためにサンプルの背面をイオン・ビームに向けるように回転および傾斜される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスへの金属汚染の拡散を最小限度に抑制し歩留まりを向上させることができる荷電粒子線加工装置を提供する。
【解決手段】真空容器１０に接続され非金属イオン種のイオンビーム１１を試料３５に照射するイオンビームカラム１と、イオンビーム１１により試料３５から切り出されたマイクロサンプル４３を摘出するプローブ１６を有するマイクロサンプリングユニット３と、マイクロサンプル４３とプローブ１６とを接着するガスを流出させるガス銃２と、イオンビームカラム１が接続されたと同一の真空容器１１に接続され汚染計測用ビーム１３をイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡に照射する汚染計測用ビームカラム６Ａと、汚染計測用ビーム１３を照射した際にイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡から放出される特性Ｘ線を検出する検出器７とを備えたことを特徴とする荷電粒子線加工装置。 （もっと読む）

【課題】プローブの先端に発生させたポンプによる吸引力で容易に試料の採取が行うことができるマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】マイクロマニピュレータのプローブ７は、直径１０μｍ程度の注射針のような中空構造を有しており、先端１５には、軸に対して６０°の斜面をなして開口１６が設けられている。このように斜面とすることで、先端１５の面積が広がり、薄片試料２を安定に保持できるようにする。また、この開口１６の縁において、開口１６がなす楕円面の長軸を挟んだ線対称な位置にそれぞれ切り欠き１７が設けられ、吸引した空気を逃がすことが可能な構造になっている。これにより、吸引力が強くなり過ぎて吸着した薄片試料３を破壊するような事態を予防する。 （もっと読む）

【課題】窪みの中にある微小な試料を採取することができる試料摘出装置を提供する。
【解決手段】試料摘出装置は、プレートに形成されたノズル孔の中に詰まった微小異物を取り出すために用いられる。試料摘出装置は、プレートを載置固定する載置台と、プレートなどを観察する実体顕微鏡と、ノズル孔の中の微小異物を観察するマイクロスコープ３４と、マイクロスコープ３４の先端に取り付けられた微小異物を取り出す採取針３２と、マイクロスコープ３４が接続され採取針３２を移動させる第１マニピュレータとを有する。マイクロスコープ３４の先端に採取針３２が取り付けられていることにより、ノズル孔の中の微小異物を観察しながら取り出すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】微小な異物であっても充分に保持することが出来る試料ホルダを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、試料を保持するための凹部を設けた試料ホルダにおいて、静電気出力装置を備えたことを特徴とする試料ホルダであり、静電吸着により微小試料を充分に試料ホルダに保持することが出来る。このため、微小な異物であっても充分に保持し、試料採取場所から測定装置まで運ぶ速度を上げても、保持した試料を紛失することを防ぐことが出来る。このため、分析時間を短縮することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】稼働率が向上し、コスト低減が図れる試料作製装置を提供することを課題とする。
【解決手段】試料基板１が載置された真空室３と、試料基板１に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段７と、切り出された試料片を保持する試料ホルダ８３と、試料ホルダ８３が取り付けられ、試料ホルダ８３を移動させるマニピュレータ１３と、を有する試料作製装置において、試料ホルダ８３は、マニピュレータ１３と着脱可能であるように構成する。 （もっと読む）

【課題】汚染物質を含む試料を安全、確実に採取して運搬することのできる試料採取車両を提供する。
【解決手段】作業者が搭乗する作業者室２と、車外の汚染空気を吸引・ろ過し、ろ過後の清浄空気を作業者室２内へ送気してその作業者室２内を与圧する空気浄化装置１７と、作業者室２に隣接配置され、採取された試料を保管する保管室３と、保管室３に隣接配置され、採取された試料を保管前に前処理する前処理室４とを備え、作業者室２と保管室３とを第１連通孔を介して連通するとともに、この第１連通孔に、作業者室２側から保管室３側への空気の流れのみを許容する第１差圧調整弁１３を設け、かつ保管室３と車外とを第２連通孔を介して連通するとともに、この第２連通孔に、保管室３側から車外への空気の流れのみを許容する第２差圧調整弁１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】作業者の負担を軽減でき、複数の包埋ブロックから必要枚数の薄切片標本を自動的に作製することができると共に、作製した薄切片標本を元となる包埋ブロックに完全に対応付けて、高精度な品質管理を行うこと。
【解決手段】包埋カセットＫを切断位置に搬送可能な第１の搬送手段３と、切断位置に搬送された後、包埋ブロックＢを所定の厚みで切断してシート状の薄切片Ｂ１を切り出す切断手段５と、切断位置に搬送された際に、個別データＤを読み取る読取手段４と、薄切片を伸展させる伸展手段６と、切断された薄切片を伸展手段に搬送する第２の搬送手段７と、伸展された薄切片を基板Ｇ上に転写させて薄切片標本Ｈを作製する転写手段８と、読み取られた個別データを記憶する記憶部９ａを有する制御手段９と、個別データを基板上に記録する記録手段１０とを備えている自動薄切片標本作製装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】作業者の負担を軽減でき、包埋ブロックの種類に応じた最適且つ高品質な薄切片標本を自動的に作製すること。
【解決手段】包埋カセットＫを切断位置に搬送可能な第１の搬送手段３と、切断位置に搬送された後、包埋ブロックＢを所定の厚みで切断してシート状の薄切片Ｂ１を切り出す切断手段５と、薄切片を伸展させる伸展手段６と、切断された薄切片を伸展手段６に搬送する第２の搬送手段７と、伸展された薄切片を基板Ｇ上に転写させて薄切片標本Ｈを作製する転写手段８と、各手段をそれぞれ制御すると共に薄切片標本を作製する際の作製条件が予め入力された条件テーブル９ｂを有する制御手段９とを備え、制御手段が、第１の搬送手段で搬送されてきた包埋カセットを、条件テーブルに入力された作製条件に照合した後、該包埋カセットに応じた作製条件で作製がされるように各手段を制御する自動薄切片標本作製装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、微細試料の確実・容易なピックアップ法に関する。
【解決手段】本発明は、デポジション用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射して形成されるビームアシスト堆積膜により微細試料とマニピュレータを保持し、エッチング用ガスを供給しながら荷電粒子ビームを照射してビームアシスト堆積膜を除去することにより微細試料とマニピュレータを分離することに関する。例えば、マニピュレータプローブと微細試料との接続を炭素を主な成分とするビームアシストデポジション膜で接続し、キャリアへの固定後にプローブと微細試料を分離する際、水を主成分とするアシストガスを用いたビームアシストエッチングにより、前記アシストデポジション膜を選択的にエッチングする、荷電粒子ビーム装置における微細試料のピックアップ方法である。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面
観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および
微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と
電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

本発明による装置は、ケースを配置するための水平な棚が設けられた少なくとも１つの容器と、前記容器に垂直平面における往復運動を行わせることができるフレキシブルな駆動装置とを含む。駆動装置は、モータ及び少なくとも１つのプーリが設けられた閉回路の形式で組み込まれている。前記装置は、水平なプッシャをも含み、このプッシャは、その作動端部に、ケースを掴んで容器の外側に配置された作業領域へ移動させかつ容器へ戻すための構成と、作業領域の上方の水平面において水平なプッシャの動作に対して垂直な方向に可動な標本ガラスグリッパとが設けられている。
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【課題】 大口径ウェハ用の探針移動機構ならびにサイドエントリ型試料ステージを試料作製装置、不良検査装置に適用することで、小型で従来と同等の操作性を有する試料作製装置、評価装置を提供する。
【解決手段】 探針ならびにサイドエントリ型試料ステージを、上記イオンビーム照射光学軸とウェハ面の交点を通る傾斜角を持って真空容器を大気開放することなく真空容器に出し入れ可能とする真空導入手段を配した探針移動機構およびサイドエントリ型試料ステージ微動機構用い、さらにサイドエントリ型試料ステージの試料ホルダの試料片設置部分をウェハ面と平行とする回転自由度を有したサイドエントリ型試料ステージを用いる。
【効果】
真空容器の容積が必要最小限の設置面積の小さい小型で使い勝手の優れた、大口径ウェハ用の試料作製装置、評価装置が実現できる。 （もっと読む）

【課題】 水質分析における金属類等を測定する際の金属類の抽出を目的とした水質分析における前処理工程を自動的に実施することができる水質分析前処理システムを提供することである。
【解決手段】 検体を入れる第１容器（１４）を載せる第１容器載置パレット（１２）と、検体に試薬を添加する試薬添加ユニット（２０）と、検体が入っている第１容器を加温する加温ユニット（３０）と、加温された検体が分注された第２容器（４４）を載せる第２容器載置パレット（４６）と、検体を計量する計量ユニット（５０）と、第１及び第２搬送手段（１６，４７）と、第１容器及び第２容器を把持し所要箇所に移動させる１又は複数のロボットハンド（Ａ１〜Ａ３）と、ロボットハンド、第１及び第２搬送手段、試薬添加ユニット、加温ユニット、及び計量ユニットの作動を制御する制御ユニット（６０）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】プローブ交換時における装置の停止時間を短縮し、装置稼働率を向上させるマニピュレータを提供する。
【解決手段】真空チャンバにエアロック室を設け、このエアロック室を、本体の真空チャンバと真空ベローズで接続する。エアロック室にはプローブホルダを取り付け、本体に設けた移動機構によりエアロック室ごとプローブを移動する。エアロック室は排気ポートから真空排気を可能とし、エアロック室と真空チャンバの間を真空バルブで仕切る。プローブはエアロック室と真空チャンバの間を移動できるよう、第２の移動機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

正常な細胞の成長、発達及び機能時には同一細胞内に発生しない、又はめったに発生しない２種以上の生物学的マーカーが、前新生物又は新生物病変が存在している可能性のある局所的部分の一部である細胞の存在を示すことについて、細胞のクラスターを調査するシステム及び方法。細胞間の関係は、細胞のクラスターを調査する間、維持されて、想定される形成異常の存在についての調査及び特定が容易になる。 （もっと読む）

【解決手段】材料取り扱い器具（１０）は、針（４）を作動させる圧電モーター（３）を含んでいる。針の作動には、流体サンプルの吸い込み及び／又は分注すること、及び／又は、針を動かして材料サンプルを取り上げるか又は置くこと、が含まれる。この例示的実施形態では、各圧電モーター（３）は、対応するピペット空洞に連結されているので、圧電モーター（３）によって駆動軸（３１）を動かすと、対応する針（４）が作動する。従って、器具（１０）上に配列されている各針（４）は、圧電モーター（３）に適切な信号を送ることによって、個々に作動させることができる。
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【課題】
真空装置内でプローブを操作するマニピュレータにおいて、小型で広範囲に移動でき精度が高く、かつマニピュレータの駆動手段（アクチュエータ）の長寿命化が期待できる試料観察装置，集束イオンビーム装置を提供すること。
【解決手段】
試料を載置する真空室と、該真空室内で移動可能なプローブと、該プローブを移動させるプローブ駆動手段と、該プローブ駆動手段の負荷を軽減する負荷軽減手段と、を備え、かつ該負荷軽減手段の軽減力を前記プローブの位置の情報に基づいて変化させる制御手段を備えた試料観察装置。 （もっと読む）