【課題】基板をｙ方向に搬送しつつ蒸着によって成膜を行う際に、光源や受光器を成膜材料で汚染することなく、原子吸光法によって、ｙ方向と直交するｘ方向の蒸着フラックスを測定する。
【解決手段】測定光をｙ方向と直交するｘ方向に通過させ、かつ、測定光の光路より蒸発源側に配置される蒸着フラックスを遮蔽する遮蔽板を用い、測定光の光路と遮蔽板とを相対的に移動することにより、遮蔽板によって遮蔽されない蒸着フラックスに対する、測定光のｘ方向の通過位置を変更することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】赤外線スペクトル吸収に伴うガス圧変動を利用した赤外線吸収式ガス分析計において、ＳＯ_２の検出目的に使用するフローセンサのＮｉ素子の腐食を防止し、フローセンサの耐用期間を伸ばすことを目的とする。
【解決手段】Ｎｉ素子の正常部側面には表面のみにＮｉＳＯ_４が付着し、腐食部には深部までＮｉＳ_２が生成していると推定される。よって、ＮｉがＳＯ_２で硫化されてＮｉＳ_２が生成されるとＮｉが深部まで腐食して断線するが、Ｎｉが硫化してもＮｉＳＯ_４として表面のみに止まり深部まで進行しなければ、断線の問題は生じない。また、Ｎｉは１００℃以下では、ＮｉＳＯ_４として存在し、１００℃以上でＮｉＳ_２が生成することが分かった。そこで、フローセンサの抵抗金属箔の温度を１００℃以下にすることにより、ＮｉＳ_２の生成を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】測定結果の信頼性やオペレータの作業効率を損なうことなしに、光源光による光学素子の劣化を低減することのできる分光光度計を提供する。
【解決手段】複数の光源１１、１２、分光器１５、及び光検出器１８を含む測光部１０を具備する分光光度計において、所定時間に亘って測定が行われず且つ操作入力もない場合に、光源１１、１２からの光が以降の光学素子に入射しない状態となるように光源切替ミラー１３を駆動する。これにより、光源光が必要以上に長時間に亘って光学素子に照射されるのを防止し、光による光学素子の劣化を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の受光素子からなるラインセンサのＥＶＥＮ出力信号とＯＤＤ出力信号との間に生じる強度のズレに起因するノイズを低減させることができる信号処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＣＣＤイメージセンサ１２０によって得られた受光信号に基づいて光源からの出力光の強度に相当する背景成分の強度情報とノイズ成分の強度情報を求め、背景成分の強度情報とノイズ成分の強度情報に基づいて補正量の大きさを算出し、補正量の大きさに基づいて補正係数を算出する。その補正係数に基づいて複数の群による受光信号間の強度のズレ補正を行う。 （もっと読む）

【課題】ノイズ源の影響を排除して高精度な火災判別ができる減光式煙感知器を得る。
【解決手段】本発明に係る減光式煙感知器は、検煙空間５と、検煙空間５を横断するように形成された検煙用光路７と、検煙空間５とは分離して設けられた補償用光路９と、検煙用光路７及び補償用光路９に向けて発光する発光素子１１と、補償用光路９を通過した光を受光可能に配設された第１受光素子１３ａと、検煙用光路７を通過した光を受光可能に配設された第２受光素子１３ｂと、第１受光素子１３ａの受光量の変化率と第２受光素子１３ｂの受光量とを用いて火災を判別する火災判別手段１７ａとを備えてなり、第１受光素子１３ａと、第２受光素子１３ｂが一つのパッケージ内に収納されてなる多素子入りフォトダイオードで構成されている。 （もっと読む）

【課題】信号光を高感度かつ高ＳＮＲで検出できる光検出装置を提供することにある。
【解決手段】信号光を受光して、該信号光を光増幅して伝送する第１光伝送部101と、信号光を受光して、該信号光を伝送する第２光伝送部102と、第１光伝送部101および第２光伝送部102からそれぞれ伝送されて出力される光を光電変換する光電変換部103と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な分析ロジックを追加することで、干渉の影響を排除し、濃度を正確に算出できるようにしたレーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】干渉ガスを含む測定対象ガスのガス濃度を測定する場合、発光部側の電流制御部および発光側温度安定化手段に対し、複数の異なる波長の中赤外領域レーザ光を発光するようなレーザ駆動電流およびレーザ動作温度とする制御を行い、一定時間に異なる波長の中赤外領域レーザ光によってそれぞれ得られる、複数のガス吸収波形をもとに、測定対象ガスによる吸収成分と干渉ガスによる吸収成分とを分別し、測定対象ガスの濃度を算出するレーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、発光部および受光部の異常・正常を確実に判定できるようにしたレーザ式ガス分析計を提供する。
【解決手段】発光部から照射されるレーザ光の発光光量に対する受光部での受光光量を表す検量線を生成し、この検量線の傾きの標準値からの変動率が所定範囲内であって、かつ検量線の最大値が所定の閾値を上回る場合に光源部および受光部が正常であると判断し、他の場合を異常であると判断するレーザ式ガス分析計とした。 （もっと読む）

【課題】個々の受光素子間での固有のバラツキを低減し、測定環境が変動しても、受光素子による検出値の比較を精度良く行うことができ、各受光素子間の光のクロストークを低減した光検出器を提供する。
【解決手段】参照光受光素子３１側の領域と信号光受光素子３２側の領域とを内側キャップ仕切り板３７ｃによって分割する。よって、受光素子３１，３２間での光のクロストークが低減され、異なる光路上の光を精度良く検出することができる。受光素子チップ３４上に隣接して形成された受光素子３１，３２を用いる。このため、受光素子３１，３２間での固有のバラツキを低減することができる。よって、測定環境が変動しても、受光素子３１，３２間での検出値の変動が同じ変化特性となり、これらの検出値の変動の相殺を容易に行うことができる。従って、受光素子３１，３２による検出値の比較を精度良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】対ノイズ性に優れ、高精度のガス濃度計測が可能なガス濃度計測装置および方法を提供する。
【解決手段】レーザ光の発振波長を所定周波数の変調信号で変調する際に、測定対象のガス状物質に固有の吸収波長を所定周波数で変調する第１の期間と、該固有の吸収波長から外れた波長を所定周波数で変調する第２の期間と、を持ち、第１の期間で計測したオフセット信号を含むガス濃度信号から、第２の期間で計測したオフセット信号を差し引くことにより、正確なガス濃度を求める。 （もっと読む）

【課題】吸収線の中心波長が１．２μｍより短い検知対象ガスを高い精度で検知するためのレーザ光源およびそれを用いたガス検知装置を提供する。
【解決手段】所定の波長幅（変調周波数）で波長変調されたレーザ光（変調光ａ）を出力する変調光出力部１１と、変調光ａを伝搬させる光ファイバ１２と、光ファイバ１２を伝搬するレーザ光をラマン増幅させるための励起光ｂを光ファイバ１２へ出力する励起光出力部１３と、光ファイバ１２を伝搬してラマン増幅されたラマン増幅後の変調光ａ'の波長を非線形光学効果により短い波長に変換する波長変換素子１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】より高い精度でガスを分析することができる光学式ガス分析装置を提供することにある。
【解決手段】測定対象のガスが流れる計測セルと、レーザ光を射出する発光部と、発光部から射出されたレーザ光を計測セルに案内する光学系と、光学系から入射され、計測セルを通過したレーザ光を受光する受光部と、受光部で取得した情報に基づいて、計測セルを流れるガスを分析する分析部と、光学系の温度を調整する温度調整手段と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 赤外光源の駆動電力の低減、検知出力のＳ／Ｎ比の向上を両立させることを可能とした赤外線式ガス検知器を提供する。
【解決手段】 赤外光源１と、駆動回路４と、赤外線光学フィルタ２ｄと、受光素子２ａと、信号処理回路２４とを備え、駆動回路４は、受光素子２ａが受光した赤外線量の時間変化に応じて電気量を発生する応答時間に比べて短いパルス幅で発熱体１ｄを間欠に通電させ、通電後の非通電時に赤外光源１が放射する赤外線量の時間変化の周波数成分に対する信号処理回路２４のゲインは、当該周波数成分より高い周波数領域に対する信号処理回路２４のゲインより大きい。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする課題は従来実用化されていなかった生体の無侵襲グルコース測定装置を提供することにある。
【解決手段】 上記の目的を達成するために、本発明に係わる生体の旋光特性測定装置では、脈拍に同期した波長可変レーザ光をその出力光が左右円偏光状態が周期的に変化するように長さが限定された偏波面保存光ファイバを介して生体に入射させる方法を採用して課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】レーザを照射する分析対象ガスに同伴されるダスト等が分析精度に影響を及ぼすのを抑制することのできるレーザ式ガス分析装置を提供する。
【解決手段】レーザを照射するレーザ光照射装置２と、照射されたレーザを受光するレーザ光受光装置３を、分析対象ガスを内部空間に含む機器に配置してガス分析を行うレーザ式ガス分析装置において、前記レーザ光照射装置から前記レーザ光受光装置側に向けて前記機器の内部空間に突出させた外筒２２が配置され、両端が前記レーザ光照射装置からのレーザを透過する光透過性部材によって閉塞された密閉空間を有する内筒２３が前記外筒内に配置された二重管ノズルを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】機器をプロセスラインから取外すことなくキャリブレーションを行うことが可能なレーザ式ガス分析装置を提供する。
【解決手段】測定ガス中にレーザ光を照射し、そのレーザ光の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザ式ガス分析装置において、
レーザダイオードと、該レーザダイオードから出射したレーザ光を２方向に分岐する分岐手段と、分岐したレーザ光がそれぞれ入射する所定の長さを有すると共に気密に隔てられた第１、第２投光室と、該それぞれの投光室を通り測定ガスを透過したレーザ光を受光する第１、第２フォトダイオードと、前記それぞれのフォトダイオードが配置され所定の長さを有すると共に気密に隔てられた第１、第２受光室を備えている。 （もっと読む）

【課題】常温の大気中で用いても１０^８（ｃｍＨｚ^１／２／Ｗ）以上の比検出能Ｄ^＊が得られる赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】赤外線検出装置２に赤外線が照射されると、白金黒膜２２０が赤外線を吸収して温度が上昇し、その裏面に接している単結晶シリコン層の温度が上昇する。その温度変化によって単結晶シリコン層の抵抗が変化する。この抵抗変化を検出することによって赤外線の強度を検出することができる。単結晶シリコン層の不純物濃度を４×１０^１５〜１×１０^１7／ｃｍ^３の範囲に設定し、単結晶シリコン層１４０の体積を１．２×１０^-１４〜８．０×１０^-１３ｍ^３の範囲に設定すると、高い抵抗温度係数と低い雑音電圧と必要な高速応答性を実現でき、常温大気中での比検出能Ｄ^＊を１０^８以上にできる。 （もっと読む）

【課題】物質内部が不均一な領域に分かれている不均一物質であっても、その各領域を理論的に正確に分析することが可能な不均一物質の光分析方法を提供する。
【解決手段】複数の構成物質の混合体である被検物質体に波長を選択して測定光を照射し得る光源装置と、入射光とこれらの透過光及びまたは反射光を測定できる検出器とを備え、前記検出器で測定された測定光量に基づいて、ｔを空気と界面との界面を通過するときの実効透過率としたときに、所定の式によって媒介変数ρとλを求める手順１と、必要に応じ複数の波長で測定してそれぞれの測定値から前記式によりρとλを求めると共に、構成物質のそれぞれの吸収係数と散乱係数からなる光学特性係数を決定して成分を同定し、前記各構成物質の成分濃度を求める手順２とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バイオディスクから撮影されるイメージの明るさを一定に維持するための照明装置の明るさの調整方法を提供すること。
【解決手段】バイオディスクにおける分析対象イメージを撮影するのに用いられる照明装置の明るさを調整する方法及び装置が開示される。この方法は、バイオディスクにおける分析対象物を撮影する段階と、該撮影された分析対象物のイメージに対する明るさを算出する段階と、該算出された明るさと目標明るさとの差に基づいて、バイオディスクにおける分析対象物を撮影するのに用いられる照明装置の明るさを調整する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】内部に微小寸法の流路が形成されたチップの流路内の流体、特に液体の濃度を効率よく、精度よく、安定して測定する。
【解決手段】光を透過する２枚の平面板により、流路を形成するための貫通溝が形成された厚みの均一な間仕切り板を挟み込むことによって内部に流路が形成されたチップ１１１を保持するためのチップ保持部１１０を備えている。チップ１１１の流路に光を照射するための光照射部、及び流路を透過した光を受光するための受光部を支持するための移動機構部材２０１が設けられている。移動機構部材２０１とチップ保持部１１０及びチップ１１１とを相対的に移動させるためのスライダー２０２，２０３を備えている。 （もっと読む）