【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

本発明は、水の少なくとも１つの物理化学パラメータを測定するための装置に関し、この装置が、前記水の次亜塩素酸ＨＯＣｌの形態の活性塩素の濃度を測定するための手段を備えている。本発明によれば、次亜塩素酸ＨＯＣｌの形態の塩素の濃度を測定するための前記手段が、次亜塩素酸ＨＯＣｌの形態の塩素を検出するための第１および第２の電流測定式センサ（２１、２２）を備え、該２つの電流測定式塩素センサ（２１、２２）の各々が信号を出力し、該２つの電流測定式塩素センサ（２１、２２）が、ただ１つの共通の基準電極（２５）を有し、バイポテンショスタットへと接続され、本発明は、前記第１および第２の電流測定式センサ（２１、２２）を同時に働かせるための手段と、前記２つのセンサ（２１、２２）によって出力される信号の間の差を測定するための手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内ガス混合物の不活性化化学薬品の濃度を調合・制御する方法および装置。
【解決手段】ガス混合物には基剤化学薬品である化学成分とともに不活性化化学薬品である化学成分が含まれ、基剤化学薬品は不活性化化学薬品の希釈剤または不活性化化学薬品のビヒクルまたはキャリアとして作用する。コンデンサをガス混合物に曝し、ガス混合物はコンデンサの板間で誘電物を構成する。誘電物の誘電率は化学成分の相対濃度によって影響を受けるので、容量の測定値をガス混合物の多数の化学成分の濃度レベルの決定に使用する。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、路面の変化に左右されることなく、正確、且つ取り扱いが容易な自動車の故障回避装置の提供。
【解決手段】自動車（１）の故障の予兆として発生する気体状物質及び当該気体状物質の濃度を検出するセンサ（３、９）と、警報手段（４）と、制御手段（１０、１０Ｂ）とを有し、該制御手段（１０、１０Ｂ）は、前記センサ（３、９）の検出結果と閾値とを比較して、当該気体状物質濃度が閾値以上である場合には警報を発し、自動車を減速、停止させるべく制御を行う様に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 純ボロンナノベルトを用いて、好ましくは１本の純ボロンナノベルトを用いて、ガスとくにハロゲン分子、酸素分子又は水分子を検出するガスセンサー及びガス検知方法を提供する。
【解決手段】
基板と基板の間に設けられた純ボロンナノベルト、純ボロンナノベルト両端に形成された微細電極を配線するためのパターン、各基板上の微細電極を介して配線されたエレクトロメータ、純ボロンナノベルト素子に添って数mmの間隔を置いて配置されたボロンナノベルトの理論的なバンドギャップよりも大きな光子エネルギーを持つ青色発光ダイオード（LED）から基本的に構成されてなり、ガス雰囲気中で、LEDによる光照射に伴う電流電圧特性の変化を測定し、光励起キャリアによる電気抵抗の時間変化を測定するガスセンサー及びこの原理を用いたガス検知方法。
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【課題】携帯に便利な小型のものとして構成することができ、使用上の利便性が高く、しかもメンテナンス性に優れたポータブル型ガス警報器を提供すること。
【解決手段】本発明のポータブル型ガス警報器は、手で握って保持することのできる箱型形状のケーシングを備え、このケーシングの内部における上半部にガス検知動作に係る機能部材が配置されていると共に下半部に電池室およびセンサ装着部が左右に並設されたガス警報器本体と、このガス警報器本体のセンサ装着部に着脱自在に装着されるガスセンサとにより構成されており、ガス警報器本体のセンサ装着部は、検知対象ガスの種類が異なる複数の同形のガスセンサのうちから目的に応じて選択されたいずれか一のガスセンサが、他のガスセンサと交換可能に装着されるよう構成されており、センサ装着口と電池挿入口とは互いに同方向に開口し、ガスセンサおよび電池が同方向に引き出される構成とされている。 （もっと読む）

【課題】簡易な原理に基づき、使い切りで、コンパクトかつ安価な反応性ガス漏洩検知用ガスセンサおよび該ガスセンサを備えた反応性ガス漏洩検知器を提供するとともに、簡易であるが信頼性の高い、反応性ガス漏洩検知方法を提供する。
【解決手段】反応性ガスとの接触により反応し切断され得る信号線部材を備えたことを特徴とするガスセンサ、該ガスセンサと該ガスセンサ内の信号線部材の切断の有無を検出する手段とを備えた反応性ガス漏洩検知器、ならびに該ガスセンサを用いて、漏洩した反応性ガスを、該ガスセンサの信号線部材に接触させ、該信号線部材を反応させて切断し、該信号線部材の切断を検出することにより反応性ガスの漏洩を検知する反応性ガスの漏洩検知方法。 （もっと読む）

本明細書に開示されているのは、化学センサーおよび化学センサーアレイを使用して、多成分ガス系の中のＮＯ_ｘ、アンモニア、炭化水素、一酸化炭素および酸素など各種のガスの存在および／または濃度に関する情報を、分析、検出および／または測定するための装置である。そのセンサーおよびセンサーアレイには、ガスの存在を分析および／または検知するための化学／電気活性材料を使用する。
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【課題】 流体中のアナライトを検出するためのセンサアレイの提供。
【解決手段】 電気的測定装置に電気的に接続された少なくとも第１の化学的感受性レジスタと第２の化学的感受性レジスタとからなり、流体中のアナライトを検出するためのセンサアレイであって、それらの化学的感受性レジスタのそれぞれが非導電性有機ポリマー及びその非導電性有機ポリマーと組成的に異なる導電性物質の混合物を含み；それぞれのレジスタが非導電性有機ポリマー及び導電性物質の前記混合物を通る電気経路、第１の濃度で第１の化学アナライトを含む第１の流体と接触したときに第１の電気抵抗、及び第２の相異なる濃度で該化学アナライトを含む第２の流体と接触したときに第２の電気抵抗を与え；第１の化学的感受性レジスタの第１の電気抵抗と第２の電気抵抗との差が、第２の化学的感受性レジスタの第１の電気抵抗と第２の電気抵抗との差と相異なる；ことを特徴とするセンサアレイ。
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フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

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本明細書に開示するのは、金属酸化物センサの配列の抵抗を、デジタル信号に変換するデバイスおよび方法であって、ここで、センサは、センサ配列を取り囲んでいるガスの濃度に応答する。このデバイスは、励起電圧をセンサに提供する電子励起デバイス、センサの抵抗をデジタル信号に変換するアナログ−ツー−デジタル信号変換デバイス、および、デジタル信号からガス濃度を算出する手段を含む。
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