【課題】消費電力量を低減させることのできる環境センサを提供する。
【解決手段】本実施形態の湿度センサ１００は、環境の雰囲気における湿度を検出するセンサ部１０と、センサ部１０に交流電圧を印加する電源部３０と、を備え、センサ部１０は、従来の湿度センサのセンサ部よりインピーダンスが高くなるように構成される。これにより、従来の湿度センサと比較して、センサ部１０における消費電力量を低減させることが可能となる。これにより、従来の湿度センサと比較して、センサ部１０を含む本発明の湿度センサ１００全体の消費電力量を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】構成や製造工程を簡素化しつつ保護ゲル部が感湿膜に付着するのをより効果的に抑制することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】湿度センサ１０は、基板２０の一面２０ａにおいて対向配置された一対の検出電極３１ａ，３１ｂと感湿膜３６を有する湿度検出部３０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０と離れて形成され、ボンディングワイヤ１１５が接続された状態で保護ゲル５０に覆われるパッド４０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０とパッド４０の間に形成され、パッド４０側から湿度検出部３０側への保護ゲル５０の流動を抑制するダム部６０と、を備える。ダム部６０は、検出電極３１ａ，３１ｂと同一材料を用いて一面２０ａに形成されたダミー配線６１と、感湿膜３６と同一材料を用いて形成され、ダミー配線６１の少なくとも一部を覆うダム用感湿膜６２を有する。 （もっと読む）

【課題】ガスの検出感度とガスの脱離を両立することができる有機電界効果トランジスタ式ガスセンサおよびその使用方法を提供する。
【解決手段】有機半導体層を有する電界効果トランジスタ１と、電界効果トランジスタ１の温度を制御する温度制御機構２４とを備える有機電界効果トランジスタ式ガスセンサ３である。 （もっと読む）

【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】超薄膜プラチナ粒界ナノ空間に金属化合物が形成された薄膜をガスセンサの感応膜に適用し、プラチナとナノ化合物の構成金属や膜厚や占有比率や形成条件を変える事で、水素およびそれ以外の様々なガスのセンシングに対応でき、長期信頼性の高い超薄膜ガスセンサを実現するデバイスを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを具備し、ゲート電極は、酸素を含有する酸素ドープアモルファス金属と前記金属の酸化物結晶とが混合した金属酸化物混合膜と、前記金属酸化物混合膜上に設けられたプラチナ膜とを有し、プラチナ膜は、複数のプラチナ結晶粒と該プラチナ結晶粒間に存在する粒界領域から構成され、粒界領域は、金属酸化物混合物により埋められ、プラチナ結晶粒の周囲が金属酸化物混合物により囲まれた構造を有するガスセンサ。 （もっと読む）

【構成】
半導体基板の空洞に、薄膜ヒータをメタンの燃焼触媒で被覆した検知片と、薄膜ヒータを補償用材料で被覆した補償片とを設け、ブリッジ回路に組み込む。検知片がメタンの着火点以上に昇温しないように、駆動回路により電力を加えた際のブリッジ回路の出力を０点出力とし、複数の０点出力を基に基準値を発生させて記憶する。検知片がメタンの着火点以上の温度でのブリッジ回路の出力を、基準値により補正してメタンを検出する。
【効果】
半導体基板の空洞にヒータ薄膜を設けた接触燃焼式メタンセンサに対して、ヒータ抵抗のドリフトを補正する。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 酸素が存在する被検出ガス中のＮＯｘ濃度を容易に高い精度で検知できる窒素酸化物センサおよび窒素酸化物検出方法を提供する。
【解決手段】 窒素酸化物センサは、センサ素子１５の酸素反応抵抗Ｒｏ_２と酸素濃度Ｃｏ_２との関係を示す式１、センサ素子１５のＮＯｘ反応抵抗Ｒｎｏ_ｘとＮＯｘ濃度Ｃｎｏ_ｘとの関係を示す式２、およびセンサ素子１５の実抵抗が保存されている関係式記憶手段と、被検出ガス中で実際に測定したセンサ素子１５の一対の電極１３ａ、１３ｂ間の全抵抗Ｒａと、被検出ガス中で実際に測定した酸素濃度Ｃｏ_２と式１とを用いて求めた酸素反応抵抗Ｒｏ_２と、予め求めた実抵抗Ｒｒと、ＮＯｘ反応抵抗Ｒｎｏ_ｘを求める式３とを用いて、被検出ガス中におけるセンサ素子１５のＮＯｘ反応抵抗Ｒｎｏ_ｘを求め、式２からＮＯｘ濃度Ｃｎｏ_ｘを求める算出手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス１０を基板２の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】作製工程が簡便であるガスセンサを提供することを課題の一とする。また、作製コストが抑制されたガスセンサを提供することを課題の一とする。
【解決手段】ガスセンサの検知素子として機能する、酸化物半導体層がガスと接するトランジスタと、検出回路を構成する、酸化物半導体層がガスバリア性を有する膜に接するトランジスタとを、同一表面上に単一工程で作製し、これらのトランジスタを用いたガスセンサを作製すればよい。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を向上することができるガスセンサ用基板、ガスセンサ用パッケージ、およびガスセンサを提供する。
【解決手段】触媒５と検出対象ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱反応が生じ、この発熱反応により発生する熱によって発熱抵抗体８の抵抗値が変化し、この抵抗値の変化に基づいて検出対象ガスを検知するガスセンサ１に用いられるガスセンサ用基板７であって、触媒５を担持するための担持部７１が設けられた基板７２を備え、発熱抵抗体８は、担持部７１の近傍の基板７２に設けられており、基板７２には、触媒５の発熱反応により発生した熱によって発熱抵抗体８の温度を上昇させるための切欠部Ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化を招くことなく車両への衝撃に起因するドリフトや感度の変動を可及的に防止することができる接触燃焼式ガスセンサの車両への設置方法を提案すること。
【解決手段】 接触燃焼式ガス検出素子７と、補償素子１０とからなるガスセンサを車両に設置する場合に、素子７、１０を構成するヒータの軸線の投影線が進行方向に対して斜めとなるように、また上下動の激しい車両に対してはさらに上下方向にも斜めとなるように配置する。 （もっと読む）

【課題】アルコール濃度検出装置に搭載される各種センサをその装置本来の用途であるアルコール濃度の検出以外にも使用することで車両におけるセンサ搭載状況を最適化する。
【解決手段】アルコール濃度検出装置１０は、乗員の呼気に含まれるアルコール成分を検出するアルコールセンサ１７ａと、その呼気に含まれるアルコール成分以外のガス成分を検出するガスセンサ１７ｂ〜１７ｅとを含んで構成されるガスセンサ群１７と、アルコールセンサ１７ａの検出値に基づいてアルコール濃度を算出し、その算出したアルコール濃度をガスセンサ１７ｂ〜１７ｅの検出値に基づいて補正するマイクロコンピュータ２１（制御手段）を有するアルコール検出ＥＣＵ２０とを備える。ガスセンサ群１７は、アルコール濃度を算出することに加えて、車室内の空気状態を検知するために利用される。 （もっと読む）

可燃性ガス検出器は、電子回路と電気的に接続された、例えば２０μｍ未満の平均直径を有する第１導体要素を備える少なくとも第１検出要素を含む。可燃性ガス検出器は、第１固定端と、第２固定端と、第１固定端と第２固定端との間の延長中間部分とを有する第１支持要素をさらに含み、延長中間部分は第１導体要素に対して支持を提供する。別の可燃性ガス検出器は、第１検出要素および第２検出要素を含む。第１検出要素は、５００μｍの直径を有する球よりも小さい体積を有する第１触媒支持部材を含む。第２検出要素は、５００μｍの直径を有する球よりも小さい体積を有する第２触媒支持部材を含む。可燃性ガス検出器は、第１検出要素がより高い電力モードで動作し第２検出要素がより低い電力モードで動作する第１モードと、第２検出要素がより高い電力モードで動作し第１検出要素がより低い電力モードで動作する第２モードとの間でサイクルするように適合された電子回路をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】室温で動作し水素ガスに対する応答速度が速い水素ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水素ガスの検知部となる酸化タングステン膜２と、前記酸化タングステン膜２の前記水素ガスと接触する側の面に設けられた一対の電極３と、前記酸化タングステン膜２の前記水素ガスと接触する側の面に間隔をあけて設けられ前記水素ガスを解離する触媒となる金属微粒子４とを有する水素ガスセンサとする。 （もっと読む）

例えば呼気などの流体中のＮＯ濃度を決定する半導体デバイスが開示される。デバイス（１）は典型的に、有機半導体層（１４）内にチャネル領域（１６）を画成するように互いに離隔された一対の電極（１８）と、チャネル領域を制御するゲート構造（１０）と、チャネル領域に少なくとも部分的に重なる受容体層（２２）とを有し、受容体層は、ＮＯと錯体形成するＩＩＩ族からＸＩＩ族の遷移金属イオン又は鉛（Ｐｂ）イオンを含むポルフィン又はフタロシアニン配位錯体を有する。このような半導体デバイスは、ｐｐｂレンジのＮＯ濃度を検出することができる。
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【課題】硫化水素による被毒を可及的に少なくした接触燃焼式ガスセンサを提供すること。
【解決手段】電気抵抗体1の外周に電気絶縁層2を介して貴金属粒子からなる感応層を形成して感応層3に可燃性ガスが接触することにより生じる熱を電気ヒータ1の抵抗変化として検出する接触燃焼式ガスセンサにおいて、前記感応層が、結晶子径25.0〜26.0nmの複数のパラジウムの結晶子の集合体からなる粒子により構成した。 （もっと読む）

【課題】格別に信頼性のある方法で、化学的な標的物質の非常に僅かな量又は濃度であっても、高精度で検出又は定量化することができる電気化学的センサを提供する。
【解決手段】本発明によれば、電気化学的センサ（１）が、マトリックス（１２）内に埋め込まれたナノ粒子（１４）からなる検出領域（１０）を含み、ナノ粒子（１４）はマトリックス材料に比べて高い電気伝導率を有する。検出領域（１０）の電気伝導率(σ)が、ナノ粒子（１４）間の電子のトンネル、イオン化又はホッピングプロセスと、ナノ粒子（１４）と検出すべき標的物質との電気化学的相互作用とによって規定されている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）を有し、上記感受性の構成部材（３）上に熱的に残らず分解可能な材料からなるマスキング層（３１）を設け、上記感受性の構成部材（３）を上記マスキング層（３１）によりほぼ完全に覆い、上記マスキング層（３１）上に温度安定性の材料からなる保護層（３３）を設け、上記マスキング層（３１）を熱分解又は低温運転する酸素プラズマによって除去するセンサ素子（１）の製造方法に関する。本発明は、更に、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）及び温度安定性の材料からなる保護層（３３）を有し、上記感受性の構成部材（３）は上記温度安定性の材料からなる上記保護層（３３）により覆われていて、上記感受性の構成部材（３）及び上記保護層（３３）は互いに間隔を空けて配置されている、センサ素子に関する。
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