【課題】ガスの検出感度とガスの脱離を両立することができる有機電界効果トランジスタ式ガスセンサおよびその使用方法を提供する。
【解決手段】有機半導体層を有する電界効果トランジスタ１と、電界効果トランジスタ１の温度を制御する温度制御機構２４とを備える有機電界効果トランジスタ式ガスセンサ３である。 （もっと読む）

【課題】湿式処理によって成膜した酸化金属膜を備え、光照射、水素ガスおよび気圧を測定可能であるセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかるセンサは、３つ以上の反応基を有する付加重合性化合物と、酸性基を有する付加重合性化合物と、親水性官能基を有する付加重合化合物と、を含有する下地組成物を用いて有機膜を形成する有機膜形成工程と、上記酸性基を金属（M1）塩にする金属塩生成工程と、金属（M2）イオン水溶液で処理することによって、上記酸性基の金属（M1）塩を、金属（M2）塩とする金属固定工程と、上記金属（M2）イオンを還元して上記有機膜表面に金属膜を形成する還元工程と、上記金属膜を酸化する酸化工程と、を含む方法によって製造された酸化金属膜を備え、光、水素ガスおよび気圧を検出可能である。 （もっと読む）

【課題】水素センサシステムの校正を精度良く行う。
【解決手段】水素センサシステムは、雰囲気中の水素濃度に応じた出力を示す水素検知素子と、水素検知素子の出力を水素濃度に対応付けるための対応データを記憶する記憶手段と、対応データに基づいて水素検知素子の出力を水素濃度に変換する制御手段とを有しており、制御手段は、水素検知素子の雰囲気が大気状態とみなし得る所定のタイミングで計測された出力に基づいて、水素濃度がゼロの場合の特性を示すゼロ点のズレを補正するゼロ点補正を行い（ステップＳ４）、水素検知素子の劣化度合いに関係するパラメータに基づいて、出力に対する水素濃度の比率を調整する（ステップＳ６）。 （もっと読む）

【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】マイグレーションの抑制と端子電極の密着強度の向上とを両立するセラミックヒータと、これを熱源とし、被測定ガス中の特定成分の濃度によって変化する電気的特性を検出するセンサ部を有するガスセンサ素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】耐熱性セラミックスを主成分とする絶縁体（１１〜１５）の内側に通電により発熱する発熱体１０と一対の発熱体リード部１００、１０１と一対の端子電極１０２、１０３を設けたセラミックヒータ１であって、少なくとも、絶縁体（１１〜１５）の内、発熱体１０が直接触れる部分を耐熱性セラミックスの含有率を相対的に高くした主成分高含有率絶縁体層１１、１２、１３とし、絶縁体（１１〜１５）の内、端子電極１０２、１０３が直接触れる部分を耐熱性セラミックスの主成分の含有率を相対的に低くした主成分低含有率絶縁体層１４、１５とする。 （もっと読む）

【課題】有機シリコーンガスに対する耐被毒性能が高く、ガスセンサの検出感度の回復時間をより短縮化させ、さらに被覆層におけるひび割れや剥離が生じ難いガス検知素子を提供すること。
【解決手段】検出電極２と、金属酸化物半導体を含むガス感応部４と、ガス感応部４を加熱する加熱部３とを備えるガス検知素子であって、ガス感応部４の外周面に、無定形の酸化アルミニウムを含む被覆層５を設けてあるガス検知素子。 （もっと読む）

【課題】超薄膜プラチナ粒界ナノ空間に金属化合物が形成された薄膜をガスセンサの感応膜に適用し、プラチナとナノ化合物の構成金属や膜厚や占有比率や形成条件を変える事で、水素およびそれ以外の様々なガスのセンシングに対応でき、長期信頼性の高い超薄膜ガスセンサを実現するデバイスを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを具備し、ゲート電極は、酸素を含有する酸素ドープアモルファス金属と前記金属の酸化物結晶とが混合した金属酸化物混合膜と、前記金属酸化物混合膜上に設けられたプラチナ膜とを有し、プラチナ膜は、複数のプラチナ結晶粒と該プラチナ結晶粒間に存在する粒界領域から構成され、粒界領域は、金属酸化物混合物により埋められ、プラチナ結晶粒の周囲が金属酸化物混合物により囲まれた構造を有するガスセンサ。 （もっと読む）

【構成】
半導体基板の空洞に、薄膜ヒータをメタンの燃焼触媒で被覆した検知片と、薄膜ヒータを補償用材料で被覆した補償片とを設け、ブリッジ回路に組み込む。検知片がメタンの着火点以上に昇温しないように、駆動回路により電力を加えた際のブリッジ回路の出力を０点出力とし、複数の０点出力を基に基準値を発生させて記憶する。検知片がメタンの着火点以上の温度でのブリッジ回路の出力を、基準値により補正してメタンを検出する。
【効果】
半導体基板の空洞にヒータ薄膜を設けた接触燃焼式メタンセンサに対して、ヒータ抵抗のドリフトを補正する。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】作製工程が簡便であるガスセンサを提供することを課題の一とする。また、作製コストが抑制されたガスセンサを提供することを課題の一とする。
【解決手段】ガスセンサの検知素子として機能する、酸化物半導体層がガスと接するトランジスタと、検出回路を構成する、酸化物半導体層がガスバリア性を有する膜に接するトランジスタとを、同一表面上に単一工程で作製し、これらのトランジスタを用いたガスセンサを作製すればよい。 （もっと読む）

【課題】測定感度、熱応答速度および測定精度がより向上した接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】 触媒膜を有しこの触媒膜に接触した測定ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出する検知素子およびこの検知素子の温度補償を行うための補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサにおいて、
前記検知素子および前記補償素子をダイヤモンド構造を有する導電性炭素質で形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

本発明は、ドープした強誘電性材料を使用したガスセンサーに関する。センサーは、ガスサンプルの異なるガス相成分を検出するために、異なる部分のアレイが、別々に独立して制御される温度で操作できるアレイとして形成することができる。好適な態様は、糖尿病のような状態の診断に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】検出感度を向上することができるガスセンサ用基板、ガスセンサ用パッケージ、およびガスセンサを提供する。
【解決手段】触媒５と検出対象ガスとの接触に起因する触媒反応により発熱反応が生じ、この発熱反応により発生する熱によって発熱抵抗体８の抵抗値が変化し、この抵抗値の変化に基づいて検出対象ガスを検知するガスセンサ１に用いられるガスセンサ用基板７であって、触媒５を担持するための担持部７１が設けられた基板７２を備え、発熱抵抗体８は、担持部７１の近傍の基板７２に設けられており、基板７２には、触媒５の発熱反応により発生した熱によって発熱抵抗体８の温度を上昇させるための切欠部Ｃが形成されている。 （もっと読む）

可燃性ガス検出器は、電子回路と電気的に接続された、例えば２０μｍ未満の平均直径を有する第１導体要素を備える少なくとも第１検出要素を含む。可燃性ガス検出器は、第１固定端と、第２固定端と、第１固定端と第２固定端との間の延長中間部分とを有する第１支持要素をさらに含み、延長中間部分は第１導体要素に対して支持を提供する。別の可燃性ガス検出器は、第１検出要素および第２検出要素を含む。第１検出要素は、５００μｍの直径を有する球よりも小さい体積を有する第１触媒支持部材を含む。第２検出要素は、５００μｍの直径を有する球よりも小さい体積を有する第２触媒支持部材を含む。可燃性ガス検出器は、第１検出要素がより高い電力モードで動作し第２検出要素がより低い電力モードで動作する第１モードと、第２検出要素がより高い電力モードで動作し第１検出要素がより低い電力モードで動作する第２モードとの間でサイクルするように適合された電子回路をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】気体感応型の半導体装置を、補償の手間を少なくする、簡単で確実な信号形成および信号評価に関して改良する。
【解決手段】ゲート電極、および／または、このゲート電極を半導体チャネルから絶縁するゲート絶縁層、および／または、ゲート電極と半導体チャネルとの間に設けられるゲートスタック層が２つの面セクションを有し、この２つの面セクションは、複数の気体に対して異なる感度を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、新たな知見に基づき、低濃度の水素ガス検知が行える水素ガス検知センサー装置及び水素ガス検知方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガスセンサー素子９と、ガスセンサー素子９に接続されたインピーダンス測定装置１８と、を有する水素ガス検知センサー装置であって、インピーダンス測定装置１８が、ガスセンサー素子９に１ＫＨｚ未満の交流周波数の交流を印加可能であるとともに、ガスセンサー素子９の静電容量測定が可能であることを特徴とする水素ガス検知センサー装置１により、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】室温で動作し水素ガスに対する応答速度が速い水素ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水素ガスの検知部となる酸化タングステン膜２と、前記酸化タングステン膜２の前記水素ガスと接触する側の面に設けられた一対の電極３と、前記酸化タングステン膜２の前記水素ガスと接触する側の面に間隔をあけて設けられ前記水素ガスを解離する触媒となる金属微粒子４とを有する水素ガスセンサとする。 （もっと読む）

【課題】気体熱伝導度式ガスセンサにおいて、製造が容易なガスセンサを提供する。
【解決手段】雰囲気中のガス濃度を検知する検知素子Ｒｓ、および検知素子の温度補償を行う補償素子Ｒｒがブリッジ回路に組み込まれ、検知素子の抵抗値の変化によってガス濃度を検知する気体熱伝導度式ガスセンサ１において、検知素子Ｒｓを白金コイルに高熱伝導材料でコーティングし、放熱速度によって抵抗値が変化する第一の発熱体で構成され、補償素子Ｒｒを白金コイルに低熱伝導材料でコーティングして形成して、第一の発熱体と熱伝導率の異なる材質で形成された第二の発熱体で構成されている。それらをブリッジ回路１０に組み込んで気体熱伝導度式ガスセンサ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】使用する材料に左右されることなく、変形、寸法変化等を抑えることができ、寸法精度に優れた品質の高いセラミックシートを得ることができるセラミックシートの製造方法及びセラミック積層体の製造方法を提供すること
【解決手段】セラミックシートの製造方法は、シート原料を用いてセラミックシートを成形して乾燥させた後、ペースト材を印刷して乾燥させ、シート原料の分散剤添加量とセラミックシートの印刷乾燥収縮率との関係（グラフａ、ｂ）を求める印刷乾燥収縮率測定工程と、その関係（グラフａ、ｂ）から印刷乾燥収縮率が最小となる極小点ｐ１を求め、極小点ｐ１における分散剤添加量を含む一定の分散剤添加量範囲を選定する分散剤添加量選定工程と、分散剤の添加量を分散剤添加量範囲内としたシート原料を用いてセラミックシートを成形して乾燥させるシート成形工程と、セラミックシートにペースト材を印刷して乾燥させる印刷工程とを有する。 （もっと読む）