【課題】
塵埃や油の飛沫の多いエレベーター環境下で光学式センサを用いる際、光学窓若しくはレンズ，ミラー等の汚れを、簡便な手法で防止する。
【解決手段】
一方の端部に外部流体と接する開口部を有し、他方の端部に光学窓０２０６を有する鏡筒０２０７と、該鏡筒に対し熱対流を生成せしめる手段を有する。 （もっと読む）

【課題】検出感度や検出装置としての応答を損なうことなく消費電力の低減を図り、それでいて回路規模を増大させずに装置の小型化を図る光変調型検出装置を提供する。
【解決手段】光変調型検出装置１５０は、パルス信号変換部１１２の受光信号経路を遮断してそのオフセットを抑圧し、当該期間の終了時点でその状態を保持するとともに上記受光信号経路を再接続するオフセットキャンセル（以下「ＯＣ」）期間と、当該ＯＣ期間後に、パルス光１０１が放射されていない期間に受光信号１０４が存在する非同期受信（以下「ＡＧ」）の有無を検出するＡＧ期間とを含むノイズ検知モードＭ１と、上記ＡＧ有りと検出されなかったノイズ検知モードＭ１後に、パルス光１０１が放射されている期間と同時に受光信号１０４が存在する同期受信（以下「ＳＧ」）の有無を検出するＳＧ期間を含む物体検知モードＭ２とを有する。 （もっと読む）

【課題】プラズマから放射される光の特性を高精度に計測できる計測装置、光源装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光源装置１３は、プラズマ５０を発生させるプラズマ発生部５１と、プラズマ５０から放射される露光光ＥＬを集光させるための集光ミラー５２と、該集光ミラー５２から射出される露光光ＥＬを計測するための計測装置７０とを備えている。この計測装置７０は、露光光ＥＬの光路において露光光ＥＬの光軸方向に沿って互いに異なる位置に配置される２つの計測用部材７１，７２と、該各計測用部材７１，７２に入射した露光光ＥＬの特性をそれぞれ検出する検出部７５，７６と、該各検出部による検出結果に基づき集光ミラー５２から射出される露光光ＥＬの特性を算出する制御装置６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低下させることができるイメージセンサーシステムを提供する。
【解決手段】イメージセンサーシステム２００は、平面２１２及びこの平面にある区域２１４を具備するパネル２１０と、区域に接近するように前記平面の上に設置され、且つ検出する範囲が前記区域を含む第一イメージセンサー区域及び第二イメージセンサー区域を具備するイメージセンサーチップと、前記第一イメージセンサー区域及び第二イメージセンサー区域に電気接続される処理ユニットと、から構成されるイメージセンサーモジュール２２０と、を含む。手などのポインター２７０を前記区域に接近させる場合、即ち前記ポインターが前記第一イメージセンサー区域と前記第二イメージセンサー区域の検出範囲に入る場合、前記第一イメージセンサー区域及び第二イメージセンサー区域が前記ポインターの存在を検出し、前記処理ユニットが前記ポインターの位置を判断する。 （もっと読む）

【課題】使用可能な温度範囲を拡げつつ、外光強度の検出精度を向上した液晶表示装置の外光強度検出方法を提供する。
【解決手段】複数の副画素を有する表示領域の外方に、外光強度を検出する光センサ56を配置する。光センサ56に入射する外光の光路上に、液晶層と同一の液晶材料により形成したシャッタ部55を配置する。シャッタ部55により光センサ56に対する外光Ｌの透過強度を可変させつつ光センサ56により外光強度を検出するものである。シャッタ部55による透過強度が異なる外光Ｌに対応する光センサ56での検出外光強度の差分を取る。光センサ56での温度に起因する検出外光強度の変動を打ち消して、使用可能な温度範囲を拡げつつ外光強度の検出精度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】取込光量を好適に規定できる光計測装置を提供する。
【解決手段】光計測装置１は、測定対象である面光源１０１からの光を結像させる集光レンズ１５と、集光レンズ１５の後側の面光源１０１の共役点に配置された視野絞り部材１７と、集光レンズ１５の前側焦点の共役点に配置された開口絞り部材２１と、視野絞り部材１７及び開口絞り部材２１を透過した光を受光し、受光した光に応じた信号を出力する検出器５とを有する。 （もっと読む）

【課題】光劣化補正機能の実現に要するコストを低減しつつ検出精度の向上を図る。
【解決手段】光検出用トランジスタを有し、当該光検出用トランジスタに対する照射光量に応じた信号を出力する光センサ部と、光検出用トランジスタと隣接して配置されていると共に光検出用トランジスタと同一プロセスで形成された閾値検出用トランジスタを有し、当該閾値検出用トランジスタの閾値電圧を検出する閾値電圧検出部と、光センサ部の出力信号を基に照射光量に関するセンサ出力値を生成するセンサ出力値生成部と、光劣化に起因するセンサ出力値の変化を補正するための補正係数と閾値電圧との対応関係に基づいて、閾値電圧検出部にて検出された閾値電圧に対応する補正係数を決定する補正係数決定部と、補正係数決定部にて決定された補正係数に基づいてセンサ出力値を補正する補正処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学特性の測定工程を簡略化しながら、被測定物の複数の特性を測定することが可能な光学特性測定装置および光学特性測定方法を提供する。
【解決手段】光学特性測定装置は、被測定物２からの測定光を取り出す光取出部と、光取出部に接続され、被測定物２からの光を伝送する光ファイバ部２００と、光ファイバ部２００からの測定光を用いて被測定物２の低輝度域の色度・輝度を測定する分光器３００と、光ファイバ部２００からの測定光を用いて被測定物２の応答速度を測定するＰＭＴ４００とを備える。光ファイバ部２００の伝送経路が第１経路２２１と第２経路２２２とに分岐され、第１経路２２１に沿って伝送された測定光が分光器３００に達し、第２経路２２２に沿って伝送された測定光がＰＭＴ４００に達する。 （もっと読む）

【課題】各誤差要因に依存しない光量の測定を行い、高精度なデジタル変換を行う。
【解決手段】光量に応じて光電流を出力するＰＤ１０１と、参照電流を出力する定電流源１０２と、第１制御信号に基づいて光電流を選択するとともに、第２制御信号に基づいて参照電流を選択するセレクタ１０３と、光電流または参照電流の大きさに応じた周波数のクロック信号を作成するＩ−Ｆ変換回路１０４と、クロック信号のパルスをカウントするカウンタ１０５と、第１制御信号および第２制御信号をセレクタ１０３に出力するコントロール部１０８と、参照電流を基に作成されたクロック信号に対して、所定のパルス数がカウントされた時間を計測し、そのＭ倍（Ｍ：正の定数）を基準時間として保持する時間計測装置１０７と、光電流を基に作成されたクロック信号に対して、上記基準時間にカウントされたパルス数に基づいてデジタル値を作成するレジスタ１０６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】低輝度における高精度の標準光源を提供すること。
【解決手段】光源Ｌ_ｓを含む光源ボックスＳ_０で輝度Ｌ_ｓが定義される。第１の積分球Ｓ_１内の内壁上相互拡散反射によって、その内壁上に輝度Ｌ_０を第１の積分球Ｓ_１の半径の２乗に反比例する一定の減衰率で減衰させた輝度Ｌ_１が定義される。第２の積分球Ｓ_２内の内壁上相互拡散反射によって、その内壁に輝度Ｌ_１を積分球Ｓ_２の半径の２乗に反比例する一定の減衰率でさらに減衰させた輝度Ｌ_２が定義される。第２の積分球でさらに減衰した輝度Ｌ_２は、第２の積分球Ｓ_２上の出力開口部Ａ_２３で定義され、標準光源出力が得られる。 （もっと読む）

【課題】光の光量の損失を増大させることなく、光学系から射出される光の光量を計測できる光量計測装置、照明光学系、投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光量計測装置４０は、露光光ＥＬの光路に配置されたレンズ２９，３４で発生した散乱光をモニタするためのモニタ部４１，４２と、レンズ２９，３４の側面から出力した散乱光をモニタ部４１，４２に導くための光ファイバ４３，４４とを備えている。これらモニタ部４１，４２からは、それらの光電素子４１ａ，４２ａで受光された散乱光の光量に相当する電気信号が制御装置１８にそれぞれ出力される。制御装置１８は、各モニタ部４１，４２から入力した電気信号に応じて、照明光学系１３及び投影光学系１６から射出された露光光ＥＬの光量の変動量をそれぞれ算出する。 （もっと読む）

【課題】被写体を撮像するための撮像装置を用いて、当該被写体に照射されている照明光の分光放射輝度を容易に算出可能な画像処理装置および画像処理方法を提供する。
【解決手段】推定行列格納部１７は、照明環境を提供するために用いられ得るＭ種類の光源毎に予め定められた推定行列Ｗ_１，Ｗ_２，・・・，Ｗ_Ｍを予め格納する。推定行列格納部１７は、ユーザなどからの外部指令に応じて、予め格納する推定行列Ｗ_１，Ｗ_２，・・・，Ｗ_Ｍのうち、選択されたものを分光放射輝度算出部１１へ出力する。分光放射輝度算出部１１は、推定行列格納部１７から受けた推定行列Ｗに基づいて、照明光の分光放射輝度Ｅ^（１）を推定する。 （もっと読む）

【課題】迷光および光軸ずれによる精度の悪化、および特性バラツキが大幅に低減された反射型光学センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る反射型光学センサ１は、基板２と、基板２の同一面上に備えられた発光素子３および受光素子４と、投光レンズ部６ａおよび受光レンズ部６ｂが一体成形されたレンズ部材６とを有し、レンズ部材６中を発光素子３側から受光素子４側に向かって伝播する迷光Ｌ’を遮光する第１の遮光手段であるスリット９を設け、さらに、基板２中を発光素子３側から受光素子４側に向かって伝播する迷光Ｌ”を遮光する第２の遮光手段である貫通溝１０を設けたことにより、受光素子４が反射光Ｌのみを検知することができる。 （もっと読む）

【課題】低輝度測定時においても測定精度を高めることが可能な測光装置および測光方法を提供する。
【解決手段】測定動作（ライト測定およびダーク測定）の前後において、それぞれ、イニシャル動作が行われ、電荷が吐き出されている。ライト測定動作およびダーク測定動作の各測定動作においても、それぞれ、イニシャル動作と同様に、電荷が吐き出されている。ライト測定の前のイニシャル動作が終了する少し前にシャッター５を開けた後かつライト測定動作を行う前に、シャッター５を開けた状態でビニング動作を行うプレ蓄積期間を設けることにより、電位のディップ等を埋める。 （もっと読む）

【課題】面光源からの光の計測を一の位置から高精度に行うことができる光計測装置を提供する。
【解決手段】面光源１０１からの光を計測する光計測装置１は、面光源１０１からの光を等立体角で射出する走査レンズ３と、走査レンズ３を介して面光源１０１の各部からの光を一定の方向へ順次偏向することにより、面光源１０１を走査する偏向器５と、走査レンズ３の射出瞳に共役点が位置するように配置され、偏向器５により偏向された光を、その断面を規定しつつ透過させる開口７ａが形成された絞り部材７と、絞り部材７を透過した光を受光し、受光した光に応じた信号を出力する分光器９と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光量が周期的に変動する被測定光を短時間で適切に測定することができる光量測定装置を提供する。
【解決手段】測定期間にフォトダイオード１２８が発生及び蓄積した電荷は、複数回に分けて読み出され、制御演算部１２２は、測定期間ＭＰを分割した複数個の蓄積期間ＳＰ（１），ＳＰ（２），・・・，ＳＰ（Ｍ）の各々にフォトダイオード１２８が発生及び蓄積した電荷の量Ｑ（１，ｉ），Ｑ（２，ｉ），・・・，Ｑ（Ｍ，ｉ）（ｉ＝１，２，・・・，Ｎ）に応じた画素データＤ（１，ｉ），Ｄ（２，ｉ），・・・，Ｄ（Ｍ，ｉ）を取得する。さらに、制御演算部１２２は、複数の画素データＤ（１，ｉ），Ｄ（２，ｉ），・・・，Ｄ（Ｍ，ｉ）を積算し、測定期間ＭＰにフォトダイオード１２８が発生及び蓄積した電荷の量Ｑ（１），Ｑ（２），・・・，Ｑ（Ｎ）に応じた画素データＤ（１），Ｄ（２），・・・，Ｄ（Ｎ）を算出する。 （もっと読む）

【課題】面光源の各部からの光を効率的に取り込んで計測を行うことができる光計測装置を提供する。
【解決手段】面光源１０１からの光を計測する光計測装置１は、面光源１０１の各部からの光を順次取り込むための動作を行う空間分割装置３と、空間分割装置３の動作により取り込まれた面光源１０１の各部からの光を集光する光学集光装置５と、光学集光装置５により集光された光を受光し、受光した光に応じた信号を出力する検出器７とを有する。 （もっと読む）

【課題】基準測定フィルターに近似する分光特性の視感度補正フィルターと該視感度補正フィルターを採用した高精度なヘッドライトテスターの配光特性測定系を得る。
【解決手段】ヘッドライト配光を計測するヘッドライトテスターにおいて、複数の光学フィルター特性を組み合わせ、その合成した光学フィルターの分光特性を基準視感度補正フィルターに近似させる。該合成光学フィルターを該ヘッドライトテスターに配設し、高精度のヘッドライトテスターを提供する。 （もっと読む）

【課題】背景光の光量レベルが高い環境または被検物からの光が弱い環境下でも、被検物からの光を高精度に検出する。
【解決手段】所定周波数で点灯消灯するパルス光を被検物に照射し、パルス光が照射される被検物を含む領域を撮像する。所定周波数の１以上の整数倍の複数の周波数の信号を含む複数の参照信号を生成し、生成された複数の参照信号を用いて、撮像信号を同期検波する。同期検波された複数の検波信号を加算し、加算した同期検波信号に基づいて、ノイズ成分を除去した計測信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】光センサにおいて、精度の高い補正処理を容易に実行できる技術を提供する。
【解決手段】紙葉類識別装置１００の検出部２００は、光センサとして第１と第２の発光素子２１０、２２０と、第１と第２の受光素子２３０，２４０を備えている。光センサの発光量の基準信号値を補正するための処理を実行するために、第１と第２の発光素子２１０，２２０からの透過光Ｌ１ｔ，Ｌ２ｔをそれぞれ第２と第１の受光素子２４０，２３０に受光させる。また、第１と第２の発光素子２１０，２２０からの反射光Ｌ１ｒ，Ｌ２ｒをそれぞれ第２と第１の反射基準板ＲＳ２，ＲＳ１に反射させて第１と第２の受光素子２３０，２４０に受光させる。第１と第２の受光素子２３０，２４０のそれぞれの透過光及び反射光についての受光信号値に応じて第１と第２の発光素子２１０，２２０の発光量のレベルを補正する。 （もっと読む）