【課題】感度の向上を図れ、且つ、サーモパイルにかかる応力を低減することが可能な赤外線センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】熱型赤外線検出部３が、半導体基板１の一表面側で空洞部１１の周部に形成された支持部３ｄと、半導体基板１の上記一表面側で空洞部１１を覆う第１の薄膜構造部３ａとを備え、第１の薄膜構造部３ａが、空洞部１１の周方向に沿って並設され支持部３ｄに支持された複数の第２の薄膜構造部３ａａと、互いに対向する第２の薄膜構造部３ａａ，３ａａ同士を連結し第２の薄膜構造部３ａａにかかる応力を緩和する応力緩和構造部３ｃとを有し、第２の薄膜構造部３ａａごとに第２の薄膜構造部３ａａと支持部３ｄとに跨ってサーモパイル３０ａが設けられるとともに、サーモパイル３０ａごとに出力を取り出す場合に比べて温度変化に対する出力変化が大きくなる接続関係で全てのサーモパイル３０ａが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出素子を空洞部の上方にて支持する支持部材の反りを抑制できる熱型光検出器、熱型光検出装置及び電子機器を提供することにある。
【解決手段】 熱型光検出器２００は、熱型検出素子２２０と、空洞部１０２と面する第１面と対向する第２面に熱型検出素子を搭載して支持する支持部材２１０と、少なくとも熱型検出素子と対向する位置に空洞部を形成して支持部材を支持する固定部１００とを有する。支持部材は、第２面側に配置され、第１方向に向う残留応力ＣＳを有する第１層部材２１２と、第１面側にて第１層部材に積層され、第１方向とは逆向きの第２方向に向う残留応力ＴＳを有する第２層部材２１４とを有する。第１層部材２１２は第２層部材２１４よりも熱コンダクタンスが小さい。 （もっと読む）

【課題】 焦電体を有するキャパシターの熱が、キャパシターを支持する支持部材を介して逃げ難くした構造を有する焦電型光検出器、焦電型光検出装置及び電子機器を提供することにある。
【解決手段】 焦電型光検出器２００は、第１電極２３４と第２電極２３６との間に焦電体２３２を含み、温度に基づいて分極量が変化するキャパシター２３０と、空洞部１０２と面する第１面と対向する第２面にキャパシターを搭載して支持する支持部材２１０とを有する。支持部材２１０上に配置される第１電極２３４の熱コンダクタンスＧ１が、第２電極の熱コンダクタンスＧ２よりも小さい（ＧＣ１＜Ｇ２）。 （もっと読む）

【課題】電極が本来意図していない方向に湾曲することに起因して、感度がばらつくのを抑制することが可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】このサーモセンサ１００（センサ装置）は、熱膨張率の異なる複数の層を有し、一方端側が絶縁膜２３に支持されているカンチレバー電極２４と、カンチレバー電極２４に対向するように配置される下部電極２２とを含み、カンチレバー電極２４から延びる方向であるＸ方向と交差するＹ方向を軸にして、カンチレバー電極２４が下部電極２２と離間する方向に湾曲することによって熱を測定することにより電子を供給する電荷供給部２８を備え、カンチレバー電極２４の表面上には、カンチレバー電極２４がＹ方向とは異なる方向を軸にして湾曲するのを抑制するための湾曲抑制部材２７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード３１、３２用の不純物領域と、フォトダイオード３１、３２の受光面に対する入射光の入射角度を制限するための角度制限フィルター４１、４２と、を含む。角度制限フィルター４１、４２は、フォトダイオード３１、３２用の不純物領域が形成される面を半導体基板１０の表面とする場合に、半導体基板１０の裏面側からフォトダイオード３１、３２用の不純物領域に対して受光用の穴を形成することによって残存する半導体基板１０により形成される。 （もっと読む）

【課題】 熱型赤外線固体撮像素子において２次元画素アレイの画素数を多画素化にともない発生する、水平走査回路の動作速度低減、駆動線での電圧降下によるオフセット分布の問題の解決、及び素子温度変動による温度ドリフト抑制を同時に実現可能な熱型赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】 熱型赤外線固体撮像素子において、画素エリアの水平走査を行う水平走査回路（８）を設け、画素の読み出しを行うとともに、画素エリアの両端部に配置した２つの垂直走査回路（４ａ、４ｂ）により駆動線（３）を両端駆動し、さらに、差動積分回路（７）のバイアス線（１９）に画素エリアの両端にて電圧供給することにより画素エリア端部に形成した参照画素（１２）列の出力をフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】複数のフォトセンサを備える光検出回路において、各フォトセンサに電源を供給する配線や、各フォトセンサが光を検出して生成した電気信号を出力する配線に、寄生抵抗のばらつきが存在すると、このばらつきに起因したノイズが発生する。
【解決手段】入力端子と接続された第１の配線と、出力端子と接続された第２の配線と、一方の端子が第１の配線と接続され、他方の端子が第２の配線と接続された第１のフォトセンサと第２のフォトセンサとを有し、第１の配線と第２の配線とは平行に配置される光検出回路において、入力端子から、第１の配線、第１のフォトセンサ、第２の配線を介して出力端子に至る第１の経路と、入力端子から、第１の配線、第２のフォトセンサ、第２の配線を介して出力端子に至る第２の経路とで、抵抗値の和を等しくする。 （もっと読む）

【課題】微小フィルターと対応する受光素子との間で発生するクロストークを低減して、画質を向上させる偏光イメージセンサーを提供する。
【解決手段】この偏光イメージセンサー５０は、複数の受光素子６が１次元的、または２次元的に配列されたイメージセンサー７と、各受光素子６に対向配置されたマイクロレンズ（光学素子）３と、イメージセンサー７の受光素子６と対応する複数の領域に、少なくとも２種類以上の異なる偏光特性を有する微小フィルター２１、２２によって構成される偏光フィルター１と、を備え、各微小フィルター２１、２２と各マイクロレンズ３との間を透明な樹脂部材２により接続した。 （もっと読む）

【課題】ノイズを低減した高感度の赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】基板上に設けられた赤外線検出画素アレイ２５０と、基板上に設けられた検出回路部２６０と、を備えた赤外線固体撮像素子が提供される。赤外線検出画素アレイは、複数の行配線２１０と、複数の列配線２２０と、一端が複数の行配線のいずれかに接続され他端が複数の列配線のいずれかに接続され、受光する赤外線に基づいて第１電気信号ｓｇ１を生成する複数の赤外線検出画素１１０と、を有する。検出回路部は、列配線のそれぞれに接続され、第１電気信号を積分増幅して第２電気信号ｓｇ２を生成する複数の積分増幅回路４０と、複数の積分増幅回路のそれぞれに接続され、第２電気信号と、予め定められた参照電圧Ｖｒｅｆと、を比較して、第３電気信号ｓｇ３を出力する複数の比較回路５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】画像処理手段を併設することなく異なる性質の対象物の位置、大きさ、個数を検出することのできる小型の赤外線アレイセンサを低コストで提供する。
【解決手段】各々赤外線受光部４及び第１、第２の温度検知部５Ａ、５Ｂを有する複数のセンサ画素２を二次元に配列した赤外線アレイセンサ１において、隣り合うセンサ画素２を熱的及び電気的に分離するとともに吸収波長帯を互いに異ならせ、同一の吸収波長帯の光を吸収するセンサ画素２の第１の温度検知部５Ａ同士が行毎に直列に接続され、第２の温度検知部５Ｂ同士が列ごとに直列に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】焦電素子を用いた構造で薄型化が図られた、赤外線センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板２上には、チタン酸ジルコン酸鉛からなる薄膜状の焦電素子１４が設けられている。薄膜状の焦電素子１４は、ゾルゲル法により形成することができる。ゾルゲル法では、粉体原料の焼結により焦電素子１４を形成する手法と比較して、焦電素子１４の厚さを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ＩＣ素子の発熱が赤外線センサに与える影響を低減できる赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】パッケージ３は、絶縁材料からなる基体４０に配線パターン４６が形成されてなり赤外線センサ１およびＩＣ素子２が横並びで実装されるパッケージ本体４と、赤外線センサ１での検知対象の赤外線を透過する機能を有しパッケージ本体４との間に赤外線センサ１およびＩＣ素子２を囲む形でパッケージ本体４に気密的に接合されるパッケージ蓋５とで構成されている。パッケージ本体４は、赤外線センサ１を実装する第１の領域４１とＩＣ素子２を実装する第２の領域４２との間に、ＩＣ素子２から赤外線センサ１側へ放射される赤外線を遮蔽する壁部４３が立設され、第２の領域４２の厚みを第１の領域４１の厚みよりも薄くしてある。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で精度の高い熱検出が可能な熱センサー用検出回路、熱センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】熱センサー用検出回路は、熱センサー素子ＣＦの一端のノードである検出ノードＮ１と第２の電源ノードＶＤＤとの間に設けられる充電回路２０と、検出ノードＮ１と第１の電源ノードＶＳＳとの間に設けられる放電回路３０とを含む。放電回路３０は、検出ノードＮ１と第１の電源ノードＶＳＳとの間に直列に設けられる放電用抵抗素子ＲＡ及び放電用トランジスターＴ２を有する。充電回路２０は、第２の電源ノードＶＤＤと検出ノードＮ１との間に設けられる充電用トランジスターＴ１を含む。 （もっと読む）

【課題】高感度が可能で、且つ、気密性を確保しつつ、製造時の赤外線用の光学フィルタ膜の剥れを抑制できる赤外線検出器を提供する。
【解決手段】赤外線検出素子１が実装されたパッケージ本体４と、パッケージ本体４に気密的に接合されたパッケージ蓋５と、赤外線を透過する第１の無機材料により形成されパッケージ蓋５の開口部５ａを塞ぐように配置されたキャップ材６と、赤外線を透過する第２の無機材料により形成されてキャップ材６よりも赤外線検出素子１から離れた位置でパッケージ蓋５の外側に配置されたレンズ７とを備える。レンズ７に、赤外線用の光学フィルタ膜が積層されており、キャップ材６が、パッケージ蓋５に気密的に接合され、レンズ７が、導電性ペーストによりパッケージ蓋５に接合されることでパッケージ蓋５と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】半導体素子とパッケージとの線膨張係数差に起因して半導体素子の機能部に生じる応力を低減でき、且つ、アウトガスの発生を防止できる半導体素子の実装構造を提供する。
【解決手段】シリコン基板の主表面側に機能部１２を形成した半導体素子１が、シリコン基板の裏面側をパッケージ２の実装面２２側として配置され、シリコン基板の裏面に直接接合されたＡｕバンプ３を介してパッケージ２の実装面２２に接合され、シリコン基板の主表面側のパッド１４がボンディングワイヤ４を介してパッケージ２の導体パターン２３と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】検出精度の高い検出装置、センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】検出装置は、熱センサー素子１０と、熱センサー素子１０の検出ノードＮ１に接続される検出回路２０と、検出回路２０の読み出しノードＮ２に接続される読み出し回路３０とを含む。検出回路２０は、検出ノードＮ１によりゲートが制御される駆動トランジスターＴ１を含む。プログラム期間において、検出ノードＮ１が駆動トランジスターＴ１のしきい値電圧に対応する電圧値にプログラミングされ、プログラム期間の後の読み出し期間において、読み出し回路３０が検出回路２０の検出結果の読み出し動作を行う。 （もっと読む）

【課題】 多画素化及び小型化に対応する為に、赤外線検出画素の面積を犠牲にすることなく、支持脚における熱コンダクタンスの悪化による感度劣化を抑制することができる赤外線撮像素子を得る。
【解決手段】 第一の支持脚及び第二の支持脚で基板に中空保持される赤外線検出画素２を２次元配列し、赤外線検出画素２に駆動信号を入力する駆動極を行毎に当該赤外線検出画素２を保持する第一の支持脚１５ａを介して共通接続する駆動線と、赤外線検出画素２の検出信号を出力する信号極を列毎に当該赤外線検出画素２を保持する第二の支持脚１５ｂを介して共通接続する信号線とを備え、前記駆動線及び前記信号線の少なくともいずれか一方は、絶縁層によって分離された２つの層を有する多層線を用いて配線する。 （もっと読む）

【課題】可視光から赤外光までの光を受光して、適切な画像を形成することができる固体撮像素子及び画像入力装置の提供。
【解決手段】第１のフォトダイオード４が、可視光について光電変換を行い、第２のフォトダイオード４’が、第１のフォトダイオード４を通過した赤外光を光電変換する。可視光成分が多い場合でも、第２のフォトダイオード４’の画素が飽和することが抑制され、赤外光の成分が多い場合でも、第１のフォトダイオード４の画素が飽和することが抑制される。第１のフォトダイオード４により光電変換される可視光は、急峻なカットオフ特性のフィルタＦを用いて、各色成分毎に分離することができ、高画質RGB画像を形成できる。第２のフォトダイオード４’全体で光電変換された赤外光を用い赤外光専用センサと同等な解像度の赤外光画像を形成できる。第１のフォトダイオード４と第２のフォトダイオード４’は、別個に露光制御を行うことも出来る。 （もっと読む）

【課題】撮像対象とする電磁波の波長にかかわらず低コストでの製造が可能な撮像デバイス、及び撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】撮像対象から入射する第１の波長の電磁波を、第１の波長と異なる第２の波長の電磁波に変換するスペクトル変換手段と、第１の波長よりも第２の波長に対する感度が高く、スペクトル変換手段によって波長の変換された第２の波長の電磁波を受光する撮像素子を備えた撮像デバイス、及びこの撮像デバイスを備えた撮像装置とする。もしくは、撮像対象から入射する第１の波長の電磁波を、第１の波長と異なる第２の波長の電磁波に置換するスペクトル置換手段と、第１の波長よりも第２の波長に対する感度が高く、スペクトル置換手段によって置換された第２の波長の電磁波を受光する撮像素子を備えた撮像デバイス、及びこの撮像デバイスを備えた撮像装置とする。 （もっと読む）

【課題】一度に処理する処理量を少なくし、安価な部品構成のものを選択でき、処理時間も短縮できるセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ本体12のセンサ素子18が配列された全領域を複数の分割領域Ｓに分割する。１つの分割領域Ｓ毎にその分割領域Ｓに含まれるセンサ素子18からセンサ信号を出力させるように、全領域のセンサ素子18を分割領域Ｓ毎に順に駆動する。分割領域Ｓ毎にセンサ信号の記憶およびセンサ信号に基づく人体の判定が可能となり、全体を一度に処理した場合に比べて一度に処理する処理量が減少する。 （もっと読む）