【課題】被検査物の顕著な欠陥などにより一時的にＰＭＴへの入射光量が過大となった際に、後続の正常な被検査物に対する異常判定を低減できる光学式検査装置、ピンホール検査装置、膜厚検査装置、および表面検査装置を提供する。
【解決手段】光学式検査装置は、被検査物に光を照射し、該被検査物を通過、透過もしくは反射した被検出光Ｐ２をＰＭＴ３により検出することによって被検査物を検査する装置であって、ＰＭＴ３からの出力電流Ｉを電圧信号Ｖ１に変換するＩ／Ｖ変換回路１１と、電圧信号Ｖ１から所定周波数より小さい低周波成分を抽出するローパスフィルタ回路１３と、ローパスフィルタ回路１３を通過した信号とローパスフィルタ回路１３を通過していない信号との差を出力する演算器１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造条件の変更を行うことなく、感度低下を補正して光検出精度を向上させることができる光量検出回路及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】一対の光検知部ＬＳ１及びＬＳ２を設け、一方の光検知部ＬＳ１は外光の光量に応じた出力信号Ｉａを出力し、他方の光検知部ＬＳ２は減光手段で１／ｎに減光された外光の光量に応じた出力信号Ｉｂを出力する。そして、光検知部ＬＳ２の出力信号Ｉｂにｎを乗算する乗算部１１と、光検知部ＬＳ１の出力信号Ｉａに定数ａを乗算する乗算部１２と、乗算部１１の出力値を乗算部１２の出力値で除算する除算部１３と、除算部１３の出力値に定数ｂを加算する加算部１４と、乗算部１１の出力値を加算部１４の出力値で除算する除算部１５とを備え、除算部１５の出力値を外光の光量（照度Ｌ）とする。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子の出力に基づいて温度を測定できる撮像装置及び生体高分子分析チップを提供する。
【解決手段】二次元アレイ状に配列された複数の光電変換素子２０と、光電変換素子２０の少なくとも１つの受光面を覆う遮光材３７と、光電変換素子２０を冷却する温度調整部７７と、光電変換素子２０の出力電流を計測するとともに、温度調整部７７を制御する制御部７１ａと、あらかじめ計測された、遮光材に３７より受光面を覆われた光電変換素子２０の測定下限温度Ｔ₁における暗電流に対応する値ＨＤが記憶される記憶部７１ｂと、を備える撮像装置１０である。制御部７１ａは、遮光材３７により受光面を覆われた光電変換素子２０ａの暗電流に対応する値ΔＡを計測し、計測した暗電流に対応する値ΔＡが測定下限温度における暗電流に対応する値ＨＤよりも小さい場合に温度調整部７７の冷却強度を低下させる。 （もっと読む）

【課題】イメージセンサに入射した光線の位置を精度良く測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】受光した光線の光量に応じた数の電子が蓄積される受光部が、少なくとも前記光線の位置の測定方向に沿って所定間隔毎に配置され、各受光部に蓄積された電子を読み出して各受光部毎に蓄積された電子数に相関する相関値に変換した情報を出力するイメージセンサに位置の測定対象とする光線を入射させた状態で、前記情報を複数回出力させるようにイメージセンサを制御し、イメージセンサより複数回出力された各情報により示される各受光部毎の相関値を各受光部毎に合算し、当該合算によって得られた各受光部毎の相関値に基づいて前記所定間隔よりも高い分解能で光線の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】
広範囲の温度計測を行なうことが可能であり、全ての検出温度範囲に対してノイズの影響を抑制した赤外線検出器を提供する。
【解決手段】
同一チップにサーモパイル素子１、前置増幅回路部２、及び主増幅回路部３を備え、サーモパイル素子１の出力信号Ｖｏｕｔをスイッチング部２１又はスイッチング部２２によってチョッピングした後に低雑音増幅器２３によって増幅し、低雑音増幅器２３の出力信号を、差動増幅器３１で増幅する。
クロック信号ＳＣＫがクロック信号入力端子５又はクロック信号入力端子６に供給されることでスイッチング部２１及びスイッチング部２２を選択的に動作させる。また、帰還抵抗部３２のスイッチ３７、３８をオン、オフ制御することで差動増幅器３１の利得を可変させる。 （もっと読む）

【課題】シャッタの温度の高低によらずに撮像対象を精度良く撮像できる赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】シャッタを閉じて赤外線センサDet.101にシャッタからの赤外線輻射を入射させ、スイッチSW1(111)〜SW5(115)を同時に閉じて5個のトランジスタTr0(121)〜Tr4(125)に電流を流す。次に、閉じているスイッチSW5(115)だけを開ける。電荷蓄積キャパシタ130にはトランジスタTr0(121)〜Tr4(125)の各ゲートに印加されている電流が記憶される。シャッタを開けて撮像を開始する。このときトランジスタTr0(121)〜Tr4(125)にはシャッタを閉じているときと同じ電流が流れ続ける。スイッチSW1(111)〜SW4(114)の内のいずれか一つを開き4個のトランジスタで電流の排出を行えば、電荷蓄積キャパシタ130に蓄積された電流を4/5倍に減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】 フォトダイオードの寄生容量が大きい場合であっても演算増幅器の雑音が増幅されることなく、低雑音な光電流積分回路を提供する。
【解決手段】 スイッチ102 及び積分容量103 が並列にその入力端子と出力端子との間に接続されてなる第１の演算増幅器101 と、フォトダイオード106 と、前記フォトダイオードの一方の端子と前記第１の演算増幅器の入力端子との間に設けられ、前記フォトダイオードの寄生容量と前記積分容量との接続を阻止しつつ前記フォトダイオードで検出された光電流は通過させる電流通過回路111 とを備えて光電流積分回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】ポプコンノイズや外来の瞬時的な衝撃あるいは電気的インパルスノイズによる誤検出を防止する。
【解決手段】第１の増幅回路５ａにて１Ｈｚを中心とする第１の周波数帯域で電圧信号を増幅し、第２の増幅回路５ｂにて数１０Ｈｚ〜１００Ｈｚ程度の第２の周波数帯域で電圧信号を増幅する。第１の比較回路１４ａで第１の増幅回路５ａから出力される電圧信号を所定のしきい値Ｖr3と比較し、第２の比較回路１４ｂで第２の増幅回路５ｂから出力される電圧信号を所定のしきい値Ｖr4と比較する。第１のパルス幅識別回路１９ａで第１の比較回路１４ａの出力信号のパルス幅を識別し、第２のパルス幅識別回路１９ｂで第２の比較回路１４ｂの出力信号のパルス幅を識別する。そして、判断部２０ではパルス幅識別部１９の２つの出力信号に基づいて人体の検出か否かを判断する。 （もっと読む）

単一光子を検出するように構成された光子検出器と、光子検出器の出力信号を、第１の部分が第２の部分と実質的に同一である第１の部分と第２の部分とに分周する信号分周器と、第２の部分を第１の部分に対して遅延させる遅延手段と、信号の第１の部分と遅延させた第２の部分とを、遅延させた第２の部分が出力信号の第１の部分における周期的変動を打ち消すために使用されるように合成する合成器とを備える光子検出システム。
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【課題】低照度の場合でもノイズの影響を受けにくく、照度制御のための処理が調光装置の演算処理に影響することがなく、かつ汎用性に優れる照度センサ及び調光制御装置の提供。
【解決手段】周囲の明るさに応じた電気信号を出力する受光素子１１１と、受光素子１１１が出力する電気信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ１１３と、Ａ／Ｄコンバータ１１３が出力するデジタル信号を記憶し、このデジタル信号にＰＷＭ信号のデューティ比を決定するレジスタ１１４と、レジスタ１１４が出力するデューティ比に基づいてＰＷＭ信号を出力するＰＷＭコントローラ１１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】受光セルとして半導体受光素子を用いた火炎検出装置であって、特に耐雑音性の向上を図り、火炎検出特性の安定化を図った簡易な構成の火炎検出装置を提供する。
【解決手段】火炎が発する可視光を検知する半導体受光素子と、ケーブルを介して上記半導体受光素子にその駆動電圧を供給すると共に上記ケーブルを介して上記半導体受光素子による火炎検知信号を検出して火炎の有無を判定する検出装置本体とを具備したものであって、特に前記半導体受光素子の直近に該半導体受光素子による火炎検知信号を遅延して前記ケーブルに出力することで、前記半導体受光素子の見掛け上の応答特性をブロードにするフィルタ回路を設けた。 （もっと読む）

【課題】トランスインピーダンスアンプのような逆バイアス電圧を受光素子に印加せずに受光素子からの電流を電圧に出力する回路を用いて、パルス光を検出することができる光電センサ、光電センサの受光ユニットおよび光電センサの投光ユニットを提供する。
【解決手段】ＬＥＤ（Ａ）１１は、検出領域に向けてパルス光を投光する。ＬＥＤ（Ｂ）１３は、直流光を直接フォトダイオード５２に向けて投光する。フォトダイオード５２は、検出領域から入射される、パルス光を直流光でバイアスした光を受光する。トランスインピーダンスアンプ５３は、フォトダイオード５２に逆バイアスを印加せずに、フォトダイオード５２から出力される電流を電圧に変換する。ハイパスフィルタ５４は、トランスインピーダンスアンプ５２から出力される電圧から直流光の成分を除去する。 （もっと読む）

【課題】受光セルとして半導体受光素子を用いた火炎検出装置であって、特に耐雑音性の向上を図り、火炎検出特性の安定化を図った簡易な構成の火炎検出装置を提供する。
【解決手段】火炎が発する可視光を検知する半導体受光素子と、ケーブルを介して上記半導体受光素子にその駆動電圧を供給すると共に上記ケーブルを介して上記半導体受光素子による火炎検知信号を検出して火炎の有無を判定する検出装置本体とを具備したものであって、特に前記半導体受光素子の直近に該半導体受光素子による火炎検知信号に暗電流を加算する暗電流加算回路を設けた。 （もっと読む）

【課題】製造システムのスループットに影響を与えることのない光エネルギ値に対する暗電流の補償方法を提供する。
【解決手段】（ａ）光感応性デバイスの第１のアレイおよび第２のアレイから第１の暗電流値を求め、（ｂ）光エネルギを第１のアレイによって受信し、（ｃ）受信した光エネルギに基づいて第１のアレイの各エレメントごとに光エネルギ値を求め、（ｄ）光エネルギに不感の第２のアレイから前記ステップ（ｃ）とほぼ同時に第２の暗電流値を求め、（ｅ）光エネルギ値を第１の暗電流値および第２の暗電流値の関数として調整する。 （もっと読む）

【課題】
検出信号の電気的なＳ／Ｎ比を改善する。
【解決手段】
光源と、グレーティングと、前記グレーティングからの光を２つに分割するハーフミラーと、前記ハーフミラーの光を検出する光検出素子と、前記光検出素子の信号を電圧に変換する光電流電圧変換回路と、前記光電流電圧変換回路の信号を変換してリファレンス信号を出力するアナログ・デジタル変換回路と、試料用のフローセルと、前記フローセルを透過した光を検出する光検出素子と、前記光検出素子の信号を電圧に変換する光電流電圧変換回路と、前記光電流電圧変換回路の信号を変換してサンプル信号を出力するアナログ・デジタル変換回路と、前記アナログ・デジタル変換回路のサンプル信号とリファレンス信号から吸光度を演算する演算部とを有する液体クロマトグラフ用検出器において、前記演算部に入力するサンプル信号とリファレンス信号が任意の波長において所定範囲となる増幅回路を設ける。 （もっと読む）

【課題】物理量あるいは化学量の変化に応じて取り出される電気量の変化量が小さいセンサ素子を用いた場合でも、十分な感度を確保することができるセンサ装置を提供する。
【解決手段】電流電圧変換部５は、それぞれ電流変換部３からの電流信号により充電される複数のコンデンサＣ１〜Ｃ３と、これら複数のコンデンサＣ１〜Ｃ３の接続関係を切り替える接続切替手段としての複数のスイッチ要素Ｓ１〜Ｓ１２とを有する。スイッチ要素Ｓ１〜Ｓ１２は、制御部からの制御信号φ１〜φ６によりオンオフ状態が制御され、電流信号を入力するときに電流信号で各コンデンサＣ１〜Ｃ３を充電するように前記複数のコンデンサＣ１〜Ｃ３を並列に接続し、電圧信号を出力するときに前記複数のコンデンサＣ１〜Ｃ３の両端電圧の和を出力するように前記複数のコンデンサＣ１〜Ｃ３を直列に接続する。 （もっと読む）

【課題】信号対雑音比を向上する。
【解決手段】光センサを動作させる方法であって、直列に接続されたｎ個（ｎ＞１）の光検知素子８を備える光センサ１２にバイアス電圧を印加するステップと、光センサ１２への印加バイアス電圧によって、光センサ１２がその信号対雑音比が最高となる点またはそれに近い点に保たれている時に、光センサ１２に流れる電流を測定するステップとを含む方法。この方法は、光センサ１２への印加バイアス電圧が、ｎ×Ｖ_ｂｉ（暗状態で、その電圧付近で光検知素子８の一つに流れる電流の符号が変化するバイアス電圧；光検知素子８がフォトダイオードである実施形態ではフォトダイオードの「ビルトイン」電圧）に等しいまたはほぼ等しい時に、光センサ１２に流れる電流を測定することによって、容易に実行できる。直列に接続されたｎ個のフォトダイオードが照射されたときに生成される光電流は一つのフォトダイオードが照射されたときに生成される光電流とほぼ等しいが、直列に接続されたｎ個のフォトダイオードの漏洩電流（暗電流）は一つのフォトダイオードの漏洩電流よりも著しく低いので、信号対雑音比が顕著に向上する。 （もっと読む）

【課題】電磁波ノイズが赤外線受光部５０に悪影響を与え難くする。
【解決手段】センサユニットでは、缶部材４０は、赤外線受光部５０の周辺において回路基板２０から突出ように形成されている。缶部材４０は、回路基板２０のランド２１ａ…２１ｅに対してハンダにより接続され、ランド２１ａ…２１ｅは、缶部材４０の軸を中心として一定角度、間隔で配置されている。ランド２２ａ…２２ｅはグランドに接続されている。ランド２１ａ、２２ａの間にはコンデンサ２３ａが実装され、ランド２１ｂ、２２ｂの間にはコンデンサ２３ｂが実装されている。ランド２１ｃ、２２ｃの間にはコンデンサ２３ｃが実装され、ランド２１ｄ、２２ｄの間にはコンデンサ２３ｄが実装されている。ランド２１ｅ、２２ｅの間にはコンデンサ２３ｅが実装されている。電磁波ノイズが缶部材４０で受けられると、コンデンサ２３ａ…２３ｅを通過してグランドに流れる。 （もっと読む）

本発明は、ＮラインのＰ個の光検出画素により連続的に行われる同一の画像ラインの同期読み出しと、様々なラインにより読み出された信号の画素単位の合算とを行うための信号合算型、移動型のマルチライン線形アレイ形態の画像センサに関する。
画素は、ＭＯＳ技術のアクティブ画素である。画素マトリクス（ＭＣ）に関連して、ＮラインのＰ個のアキュムレータレジスタを備える伝達マトリクス（ＭＴ）を用いる。各積分時間に、画素のラインの内容を（ＡＤＣ変換器が）デジタル化し、アキュムレータレジスタのラインに格納する。後者のラインは、センサを通過する画像の移動に応じて新たな積分期間毎に並び替える。Ｎラインの画素により連続的に感知された画像ラインに由来する信号を、同一ラインのレジスタに蓄積する。Ｎ回の積分期間の終了時に、所定ラインのレジスタの内容を抽出し、このラインをゼロにリセットする。次いで、後続の積分期間毎に、（Ｎラインの円順列に従って）別のラインの内容を抽出し、ゼロにリセットする。各場合における抽出対象ラインは、ゼロリセット後にＮ回の蓄積が行われたラインである。 （もっと読む）

【課題】消費電力の増加および熱雑音の発生を抑制することが可能な光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出装置１は、フォトダイオードＰＤ_ｍ,ｎ，フォトダイオード用スイッチＳＷ_ｍ,ｎ，積分回路１２_ｍ及びノイズ除去回路１３_ｍを備える。積分回路１２_ｍは、フォトダイオードＰＤ_ｍ,ｎからフォトダイオード用スイッチＳＷ_ｍ,ｎを経て入力した電荷を容量素子Ｃ_ｆｋに蓄積して、当該蓄積電荷量に応じた電圧値を出力する。ノイズ除去回路１３_ｍは、アンプＡ_３、５つのスイッチＳＷ_３１〜ＳＷ_３５、４つの容量素子Ｃ_３１〜Ｃ_３４および電源Ｖ_３を備える。スイッチＳＷ_３１が最初に閉状態から開状態に転じた時刻に積分回路１２_ｍから出力される電圧値を取り込み、この時刻以降、積分回路１２_ｍから出力される電圧値と先に取り込んだ電圧値との差に応じた電圧値を出力する。 （もっと読む）