【課題】従来の線形加速器よりも容易に設計及び製作することが可能な、任意の大きさの加速電流が得られる荷電粒子加速器を提供する。
【解決手段】
荷電粒子加速器１００は、前記複数の進行軌道のそれぞれに沿って配列する加速電極によって構成される荷電粒子加速ユニット１０１を複数備え、イオン発射部１０２から発射される複数のイオンビームそれぞれを、複数の荷電粒子加速ユニット１０１により、同期して加速することができるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】
ドリフトチューブ線形加速器において、ＲＦコンタクトを台座と土台間に挿入すると高周波電流の経路により台座と土台間に電位差が生じ放電するという問題があった。
【解決手段】
円筒共振器に固定された土台と、円筒共振器の円筒軸方向に直線状に配列された複数のドリフトチューブとを備え、ドリフトチューブの少なくとも一つは、台座を有するステムにより支持され、このステムにより支持されたドリフトチューブの設置位置が調整可能となるよう、台座は土台に固定されるとともに、台座と土台との間にＲＦコンタクトが挿入されたドリフトチューブ線形加速器において、台座と土台との間であってＲＦコンタクトから外側部分に電気的な接触部がない隙間を有するようにした。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも1つの加速器セル(1)及び電力供給装置(5)を含む粒子加速器に関する。電力供給装置(5)は、加速器セル(1)に供給ライン(6)を経由して接続され、電気的エネルギーがパルス形態で、供給ライン(6)を経由して加速器セル(1)に供給されることができるようになる。加速器セル(1)は、そこに供給された電気的エネルギーによって電場(E)を生成し、その電場により電気的に荷電された素粒子(4)は、加速される。電力供給装置(5)は、DC電流源(7)及び回路配置(8)を有している。電力供給装置(5)は、DC電流源(7)により供給された電気エネルギーが容量的にバッファされて、回路配置(8)の対応する作動上で、加速器セル(1)に供給されるように設計される。回路配置(8)は、加速器セル(1)の近くに配置され、同じものが、少なくとも作動の間中粒子加速器により発生したイオン化する放射線にさらされる。DC電流源(7)は、第１ケーブル(11)を経由して回路配置(8)につながれる。
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本発明は、導波管、特に誘電体壁加速器における導波管、並びに導波管を製造する方法に関する。本発明によれば平面的に接触接続された電子デバイス（５０）が、導波管に、特に誘電体壁加速器の加速器セル（１０）の導波管に組み込まれる。
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【課題】コンデンサにて内導体と外導体との間に所要の電位差を与え、マルチパクタ現象を防止し、高周波を加速器に伝達する加速器用高周波カプラを提供する。
【解決手段】コンデンサ16は、内導体に接続する内側導体リング21、外導体に接続する外側導体リング22、内側導体リング21と外側導体リング22との間に介在する絶縁体23を備える。絶縁体23は、ポリイミド樹脂フィルムを成形することにより、周方向に継ぎ目のない円筒状に形成し、絶縁破壊を防止する。このコンデンサ16にて内導体と外導体との間に所要の電位差を与え続け、マルチパクタ現象を防止し、高周波を加速器に伝達する。 （もっと読む）

単色空間電荷で中性化された中性ビームで活性化される化学プロセスによって基板を処理する化学プロセスシステム及び当該化学プロセスシステムの使用方法が記載されている。当該化学プロセスシステムは、第1プラズマポテンシャルで第1プラズマを生成する第1プラズマチャンバ、及び、前記第1プラズマポテンシャルよりも大きい第2プラズマポテンシャルで第2プラズマを生成する第2プラズマチャンバを有する。前記第2プラズマは前記第1プラズマからの電子束を用いて生成される。さらに当該化学プロセスシステムは、前記第2プラズマチャンバ内に基板を設置するように備えられた基板ホルダを有する。
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【課題】
ステムと円筒型空洞の電気的接触を取りながらドリフトチューブ間の平行度と位置調整を高精度にできるドリフトチューブ型加速器を提供することを課題とする。
【解決手段】
貫通穴を有する円筒型空洞と、円筒型空洞に入射された荷電粒子の通過位置に取り付けられるチューブ状のドリフトチューブと、ドリフトチューブを固定するステムとを有し、円筒型空洞の内部に複数のドリフトチューブを配置し、ドリフトチューブ間に高周波電場を発生させ、ドリフトチューブ中心を通過する荷電粒子を加速する型のドリフトチューブ型加速器において、円筒型空洞の貫通穴の壁とステムとの間に設置され、可動可能な構成を有する固定部材と、固定部材とステムとの間に設置される接続子とを備え、固定部材を可動することで、接触子を介して円筒型空洞とステムとの間の電気的接続を取ることによって、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】高精度な電圧測定が可能な電圧プローブを提供する。
【解決手段】本発明の電圧プローブは、計測端子と、前記計測端子に電気的に接続され且つ筐体内に収容された抵抗器と、前記抵抗器に電気的に接続された出力端子とを備え、前記抵抗器は、前記筐体内において絶縁性の液相冷媒に浸漬されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型小径のベローズ内への設置が容易であり且つベローズの軸直角方向の変位に対する許容量が大きいＲＦコンタクトを提供する。
【解決手段】本発明のＲＦコンタクトは、筒状の本体部と、前記本体部の一端から延び且つ前記本体部の外周に沿って配置された複数の第１フィンガと、前記本体部の他端から延び且つ前記本体部の外周に沿って配置された複数の第２フィンガとを備え、第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、軸直角方向外側に突出する突出部を有する。 （もっと読む）

【課題】イオン源から引き出したイオンビームがビーム加速電極による加速・集束領域に入射するまでの間に、空間電荷効果によって拡散（損失）することを軽減したイオンビーム引出加速方法及び装置の提供。
【解決手段】イオン源３は、線形加速器４の容器４ａに結合した接地電位の真空容器３ａ内に絶縁状態に設置した容器状の高電圧ターミナル３ｂ内にプラズマ発生ターゲット３ｄを設置し、プラズマ発生ターゲット３ｄから発生した高電圧ターミナル３ｂ内のプラズマを線形加速器４のビーム加速・集束空間４ｂまで輸送するための筒状電極３ｆを高電圧ターミナル３ｂに設けて、筒状電極３ｆの先端位置が線形加速器４のイオンビーム加速・集束空間４ｂを形成するビーム加速電極４ｃの開口端の位置に一致するように設置する。 （もっと読む）

荷電粒子ビーム移送システムおよび線形加速器のための方法は、荷電粒子源と線形加速器との間に、加速軸に沿って直列に設けられた２つの電極を有するレンズスタックを含む。粒子源から荷電粒子束（つまり、粒子ビーム）を生成して抽出した後、２つの電極間の電位差が時間的にランプされ、粒子ビームは加速器で生成される加速パルスのパルス幅よりも短くなるように縦方向に圧縮される。荷電粒子束を横方向に集束し最終的なビームのスポットサイズを粒子ビームの電流およびエネルギとは独立に制御するための追加的な電極をレンズスタックに設けてもよい。複数の個々にスイッチ可能なパルス形成線を有する進行波加速器の例では、加速電場の物理的なサイズが荷電粒子束よりも長くなるように隣接する複数の線を同時にトリガすることによって、および、交替位相集束が行われるようにパルス形成線のトリガタイミングを制御することによって、ビーム移送が制御されうる。 （もっと読む）

【課題】使用条件が異なる場合に容易に対応できる汎用性をもたせると共に、ビーム照射中に電子ビームの分布を変更することにより、リアルタイムに基板の処理状態を制御可能にする。
【解決手段】陰極としての放電容器１の内部に、陽極となる棒状の電極２を２本配置し、これらの電極２に直流電源６を接続して電圧を印加する。また、２本の電極２の間に１本の棒状の絶縁体３を配置し、かつ、絶縁体３を絶縁体駆動部２０により上下左右に移動可能な構造にする。さらに、放電容器１には、容器内でプラズマを発生させるために必要なガスを導入するガス供給口４、および電子ビームを放出する放出部であるビーム放出孔５を設ける。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐圧を確保するとともに装置内の空間を有効利用する構造を得て、小型化を実現する直流高電圧発生装置の提供。
【解決手段】コンデンサとダイオードを絶縁基板上に配置して昇圧回路を構成し、上記昇圧回路の絶縁基板を段階的に複数積み重ねた多段倍電圧整流回路１を備えた直流高電圧発生装置において、多段倍電圧整流回路１を構成する昇圧回路の絶縁基板２０の大きさを段階によって異ならせ、高電圧出力段を低電圧出力段より小さい絶縁基板２０で構成する。 （もっと読む）

【課題】 多段に積み上げた際に必要とされる機械的強度を確保できる電圧発生ユニット及びこれを多段に積み上げて形成された高電圧発生装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電圧発生ユニット５０は、コッククロフトウォルトン回路（多段式倍電圧整流回路）の各段を形成する回路構成素子群が、複数に分割された絶縁物により被覆されたユニット構造で形成され、その表面部に、隣接する他のユニット体と電気的接続を行う入出力端子群５２Ａ’５２Ｃ’及び５２Ａ〜５２Ｃが設けられている。そして、これら入出力端子群が形成されている表面部は、隣接する他のユニット体の表面部（接合面）と接合する接合面Ｓ１，Ｓ２とされており、これらの入出力端子群は、その端子面が上記接合面Ｓ１，Ｓ２と整列するようにして設けられている。 （もっと読む）

【課題】 加速管のコストダウン及び作動効率の向上を図ることができる加速管用電圧分割抵抗体、加速管、及び加速器を提供する。
【解決手段】 イオン（荷電粒子）Ｉを加速電圧Ｖの印加により加速する加速管１であって、円管状に形成された合成樹脂製の加速管本体２と、この加速管本体２の内周面２ａに互いに所定の間隔を開けて加速管本体２の軸心方向に一列に並んで設けられたリング状の複数の加速電極３と、加速管本体２の外周面２ｂに螺旋状に巻き付けられた複数の電圧分割抵抗体（加速管用電圧分割抵抗体）５と、加速管本体２の径方向に貫通しかつ加速管本体２に密着して設けられて、先端（前端）４ａが加速電極３と電気的に接続され、頭部（後端）４ｂが電圧分割抵抗体５の各コネクタ（接続点）１６と電気的に接続された複数の端子ボルト（端子部材）４と、を備えた加速管１。 （もっと読む）

【解決手段】
少なくとも１つのストリップ形状のブルームラインモジュールを備える小型線形加速器において、該ブルームラインモジュールは、第１及び第２の端部の間で伝播波面を案内し、第２の端部で出力パルスを制御する。各ブルームラインモジュールは、第１、第２及び大３の平坦コンダクターストリップを持ち、第１及び第２のコンダクターストリップの間に第１の誘電ストリップが配置され、第２及び第３のコンダクターストリップの間に第２の誘電ストリップが配置される。更に、小型線形加速器は、第２の平坦コンダクターストリップを高電位に帯電させるように接続された高電圧電源手段と、第２の平坦コンダクターストリップにおける前記高電位を、第１及び第３の平坦コンダクターストリップの少なくとも１つへと切り替えて、対応する該誘電ストリップにおいて伝播逆極性波面を伝達させるようにするための切り替え手段と、を備える。 （もっと読む）