【課題】 可視光や紫外光等によって影響を受けることなく、試料に照射された電子線エネルギーを正確に測定することのできる電子線照射システムを提供する。
【解決手段】 電子線照射システムにおいては、チャンバ２に収容された試料４に電子線Ｅを照射し、その試料４に照射された電子線エネルギーを、電子線検出器７によって測定する。このとき、電子線検出器７の検出面７ａを、導電性遮光膜７ｂで覆うことにより、当該電子線検出器７にて電子線Ｅを検出する際に、チャンバ２内における可視光や紫外光等から影響を受けることを防止する。これによって、試料４に照射された電子線エネルギーを正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】電子線の実出力をリアルタイムで精度良く測定可能な電子線照射装置を提供する。
【解決手段】電子線照射装置１では、窓ユニット４において、電子線ＥＢの出射軸方向から見て、電子線出射窓２４と重ならないように電流読出電極５が設けられている。これにより、電子線照射装置１では、電子線出射窓２４から出射した電子線のうち、散乱等で電子線出射窓２４側に戻ってきた電子線ＥＢによって生じる電流を測定することができる。したがって、電子線照射装置１では、電子線出射窓２４の厚みのムラや、電子線ＥＢが照射対象物に照射される際に発生する飛散物や汚れなどの付着によって動作時間の経過と共に変化する電子線出射窓２４の表面状態を加味した上で、実際に電子線出射窓２４から出射した電子線ＥＢの出力（実出力）をリアルタイムで精度良く測定できる （もっと読む）

【課題】 イオンビーム電流の計測誤差を小さくして計測精度を高めることができるイオンビーム計測装置を提供する。
【解決手段】 このイオンビーム計測装置２０は、イオンビーム２を受け入れる入口２４を有するファラデーカップ２２と、ファラデーカップ２２の入口２４の上流側近傍に設けられていて接地電位を基準にして正のバイアス電圧が印加される抑制電極２６と、ファラデーカップ２２の外側に設けられていてファラデーカップ２２内にイオンビーム２の入射方向と交差する方向の磁界Ｂを作る磁石３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板間のケーブルおよびコネクタをなくすることのできる荷電粒子線の線量分布測定装置を提案する。
【解決手段】プリント基板１０の一表面Ｓ１には、複数の第１電極２１（アノード）が形成され、また、この複数の各第１電極２１と電離空間２６を介して対向する第２電極２３（カソード）を有する第２電極基板２２が配置され、プリント基板１０の一表面Ｓ１と対向する他の表面Ｓ２には、信号処理回路が配置される。この信号処理回路は、複数の信号処理ブロック４０と配線ブロックを含む。信号処理ブロック４０は、前記各第１電極２１の電荷をそれぞれ積分する複数の積分用コンデンサと、少なくとも１つの増幅回路と、前記増幅回路に対してそれに対応する前記各積分コンデンサを切換え接続する少なくとも１つの切換スイッチとを含む。プリント基板は、多層プリント基板で構成することもできる。 （もっと読む）

【課題】放射線の照射によって生体が受けた放射線量を無線方式でリアルタイムに測定できる放射線量測定システムを提供すること。
【解決手段】放射線の照射によって生体が受けた放射線量をリアルタイムに測定する放射線量測定システム１であって、シンチレーター２、シンチレーター２から生じる蛍光を検知する蛍光検知手段３および検知された蛍光の蛍光強度から放射線量を求めるデータ処理手段４を有して成り、シンチレーター２は生体５に埋め込まれて用いられ、シンチレーター２が埋め込まれた生体領域に対して放射線が照射されることによってシンチレーター２から発せられる蛍光を、生体外に設けた蛍光検知手段３が検知することを特徴とする放射線量測定システム。 （もっと読む）

【課題】放射光ビームや軟Ｘ線ビーム等の位置及びその強度分布、更には、これらの時間変化を高精度で長期間安定して検出することが可能で、従来の検出装置よりも低コストで製造し得るビーム検出部材およびそれを用いたビーム検出器を提供する。
【解決手段】ビームの位置や強度を検出するためのビーム検出部材２であって、ビーム７が照射されるビーム照射部６が、少なくとも珪素（Ｓｉ）、窒素（Ｎ）、リチウム（Ｌｉ）、ベリリウム（Ｂｅ）、ホウ素（Ｂ）、リン（Ｐ）、硫黄（Ｓ）、ニッケル（Ｎｉ）、バナジウム（Ｖ）から選ばれた一種または二種以上の元素（Ｘ）を、Ｘ／Ｃ＝０．１〜１０００ｐｐｍ含む多結晶ダイヤモンド（Ｃ）膜４からなり、この多結晶ダイヤモンド膜４に前記ビーム７が照射されると発光８，８ａする発光機能を有する。このようなビーム検出部材２と前記発光現象を観測する発光観測手段３，３ａとによりビーム検出器１を構成する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの影響を排除し、高精度、高再現性があり、大規模加速器における複数のビーム位置計測手段を設置する場合に、それぞれのビーム位置計測信号の同期を確保することができる加速器のビーム位置計測装置を提供する。
【解決手段】アナログ信号処理回路２１は、恒温槽４０１を信号処理回路と温度センサー４０３を収納した信号処理部恒温槽４０７と発熱体４０２を収納した温度調整恒温槽４０８とに分割し、温度調整恒温槽４０８を信号処理部恒温槽４０７と距離を置いて配置し、この両者の恒温槽を管路４０９Ａと４０９Ｂで接続し、管路上に送風装置４１０を配置し、そして電源４０４と発熱体スイッチ４０５と温度制御回路４０６とを恒温槽４０１の外部に配置した構成となっている。また、温度センサー４０３からの温度モニタ信号は温度制御回路４０６に入力し、温度制御回路４０６から発熱体スイッチ４０５へ開閉指令を出力する構成とする。 （もっと読む）

【課題】生成されるイオンビームのエネルギーが即座に判り、かつ、レーザー照射を行いながら、リアルタイムでイオンビームの計測が可能なイオンビーム検出器を実現する。
【解決手段】本発明のイオンビーム検出器１は、イオン３に混在するＸ線を透過させ、かつイオン３を光に変換する光変換部７と、光変換部７にて変換されたイオン３由来の光を電気信号として検出する光検出部９と、イオン３が光変換部７に到達するまでの飛行時間を計測する飛行時間計測部１０とを有し、光変換部７がイオン３を受光する側に、イオン３に混在する電子を除去する電子除去部５と、イオン３に混在する光を遮光する遮光部６とを備えるとともに、光変換部７と光検出部９との間に、光変換部７に入射するイオン３の光軸に対し湾曲した湾曲部８が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大強度中性子束を検出することを可能にし、また、大量の中性子が照射された場合において動作が不安点になることがないようにし、また、中性子束を直接測定することを可能にする。
【解決手段】中性子検出媒体として中性子シンチレータを用いた中性子検出器において、複数の孔を形成された枠体２２と、上記枠体２２に形成された上記孔２２ａ内に嵌合された中性子シンチレータ２４と、上記中性子シンチレータ２４からの出力信号が入力される光電面ピクセルを形成するマルチアノード光電子増倍管３０を有し、上記光電面ピクセルからの出力信号に基づいて中性子画像を得る光検出部とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】非接触ないし非破壊の状態を保ちながら、高Ｓ／Ｎ比にて荷電粒子を検出する。
【解決手段】荷電粒子検出方法において、正方晶系結晶１２の内部にレーザ光１０を照射する段階と、正方晶系結晶１２を通過するレーザ光１０を、外部を通過する荷電粒子によって生じる電場により正方晶系結晶１２の内部に電気光学的に生じる屈折率変化に基づく光学的位相変化が生じている光成分とこの光学的位相変化が生じていない光成分とに分離する段階と、分離された光学的位相変化が生じている光成分を検出することによって、前記荷電粒子を検出する段階とを備える。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させることができる軌道位置ずれ検出装置，組成分析装置及び荷電粒子ビームの軌道調整方法を提供すること。また，エネルギー分解能や散乱粒子の取得効率を容易に変更することができる組成分析装置を提供すること。
【解決手段】絞り部３１と超音波モータ３２と駆動軸３３とを備えて構成された開口状態変更装置３０により，基準ビーム軸上の所定の位置に配置され荷電粒子ビームを通過させる開口部３１ａの開口径（開口状態）を変更可能とする。
また，上記開口部３１ａを通過した或いは該開口部３１ａから外れた上記荷電粒子ビームの強度を測定し，該荷電粒子ビームの強度に基づいて上記荷電粒子ビームの軌道と上記基準ビーム軸との位置ずれの有無を検出する。 （もっと読む）

電子ビーム１０６の強度を感知するための検出器及び方法が開示される。例示の検出器は、導電コア１１０と、導電コア１１０の上に形成された絶縁層１１２と、電圧電位に電気的に接続され、絶縁層１１２の上に形成された外側導電層１１４とを有する多層複合構造１０４を含む。支持体１１６が、電子ビーム発生器１０２とターゲット領域１０８との間で、電子ビーム発生器１０２によって発生される電子ビーム１０６の直接経路の内部で、電子ビーム発生器１０２と位置合わせして導電コア１１０を配置するように構成される。
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本発明は進路に沿って電子ビーム発生器により発生され、電子の出口窓（２４）を通して発生器から放出される電子ビームの強度を検出するセンサー（１０）に関するものである。本発明は、進路内に配置され、出口窓（２４）に対して露出された導体（２６）と、導体（２６）を遮蔽する絶縁ハウジング（２８）であり、出口窓（２４）と係合して前記出口窓（２４）のある室（３０）を形成している絶縁ハウジング（２８）とを含むこと、および導体（２６）が前記室（３０）内に配置されていることを特徴とする。本発明はまた、電子ビーム強度を検出するシステムにも関するものである。
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経路に沿って発生される電子ビーム１０６の強度を感知するための検出器１０４が開示される。例示の検出器は、電子ビーム１０６の経路内部に露出導体１０５を配置するように構成された支持体１１２に取り付けられた露出導体１０５と、露出導体１０５から隔離された接地導体１０７であって、少なくとも電子ビーム経路の方向に位置決めされた窓を有するプラズマ・シールドを形成するために露出導体１０５を部分的に取り囲む接地導体１０７とを含む。
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【課題】 異なる電圧印加状態においても荷電粒子の飛行軌跡を所望の状態に維持できるよう電界パターンを調整した荷電粒子検出装置を提供する。
【解決手段】 ＭＣＰ群２をＩＮ電極１とＯＵＴ電極３とで挟み込み、ＯＵＴ電極３に対向してアノード基板４０を配置し、アノード端子４１からコンデンサ６２を介して出力信号部であるＢＮＣ端子６に接続されている。ここで、ＩＮ電極１とアノード基板４０を後方から覆う後方カバー５との間に配置される各構成部材は、径方向においてＩＮ電極１の側壁から外側へと突出しないように配置されている。 （もっと読む）

荷電粒子ビームシステム、特に直接書込みリソグラフィシステムの多量の荷電粒子ビームの特性を測定するリソグラフィシステム、センサ、方法において、荷電粒子ビームは変換器素子を使用して光ビームへ変換され前記光ビームを検出するために前記変換器素子と並んで配置されたダイオード、ＣＣＤまたはＣＭＯＳ装置のような感光検出器のアレイを使用し、前記光ビームによる露出後、前記検出器からの結果的な信号を電子的に読み出して１以上のビーム特性の値を決定し、それによって自動化された電子計算器を使用するため前記信号を使用し、前記計算された特性値に基づいて、全ての数又は複数の前記荷電粒子ビームの仕様範囲値から各１以上の特性を補正するように荷電粒子システムを電子的に適合することにより行われる。 （もっと読む）

【課題】 放射線等を検出する電極として用いられる金属線材が、撓み等で変形するのを防止することのできる金属線材固定用セラミック枠体を提供すること。
【解決手段】 金属線材固定用セラミック枠体は、中央部に両主面間を貫通する第一の貫通孔１ａが形成されるとともに、一方主面と第一の貫通孔１ａの開口との間に段差部１ｂが形成された第一のセラミック枠体１と、中央部に両主面間を貫通する第二の貫通孔２ａが形成されるとともに、他方主面の第二の貫通孔２ａの周囲に段差部１ｂに係合する凸部２ｂが形成された第二のセラミック枠体２と、第一のセラミック枠体の一方主面と第二のセラミック枠体の他方主面との間に配置されるとともに、第一の貫通孔１ａおよび第二の貫通孔２ａを横切るようにして配置され、両端部が段差部１ｂと凸部２ｃとに挟み込まれて固定された金属線材３とから成る。金属線材３に張力を加えて金属線材３を真直ぐに保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 暗電流の増加を抑制することが可能な電子検出装置を提供する。
【解決手段】 電子検出装置１は、光電面１１を有する光電面板１０と、光電面１１から放出された電子の進路を制限する電子遮蔽部材６０と、電子の入射に応じて信号を出力する電子検出器４０と、を備える。電子遮蔽部材６０は開口部６２を有しており、かかる開口部６２は電子検出器４０のｐ^＋層４５上に位置している。よって、光電面板１０の光電面１１から放出された電子を、電子入射面であるｐ^＋層４５の表面に入射させることができる。また、電子遮蔽部材６０は電子検出器４０に極めて近接して配置され、かつ開口部６２の周縁はｐ^＋層４５の周縁よりも内側に位置している。よって、ｐｎ接合領域５１の上面、すなわちｐｎ接合領域の露出面は電子遮蔽部材６０により覆われることとなるため、ｐｎ接合領域５１の露出面への電子及びＸ線の入射を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームの軌道の調整作業を容易化して調整精度を向上させると共に，装置の稼動中における電子ビームのずれを容易に検出すること。
【解決手段】 加速器Ｙ１から出射されたイオンビームＬのビーム電流を測定する分割電極１０或いはファラデーカップ２０等のビーム電流測定手段を試料分析装置の測定室７３ａに設け，このビーム電流測定手段によるビーム電流の測定値に基づいてイオンビームＬの軌道位置を検出する。これにより，測定されたビーム電流を電流計測器等でモニタリングしながらイオンビームＬの軌道調整を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】回転ガントリーを有する粒子線治療装置の線量分布測定システムに関し、特に線量分布測定装置が複数ある場合、複数の線量分布測定装置と制御計算機とがシーケンサを介して制御命令および測定データの授受行う線量分布測定システムにおいて制御の共通化および自動化を可能とする。
【解決手段】シーケンサが、データ測定および線量分布測定装置を駆動するタイミングを決定するカウンタ制御シーケンサ１６と、当該カウンタ制御シーケンサが決定した駆動タイミングに合わせ線量分布測定装置を駆動制御する駆動制御シーケンサ１７ａ，１７ｂとを備え、それぞれ密閉水槽５Ａ，５Ｂ、駆動架台６ａ，６ｂを有する複数の線量分布測定装置を一括制御できるようにした。 （もっと読む）