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Fターム[2H025AC01]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 露光エネルギーの種類 (10,978) | 可視光・近紫外線 (3,984)

Fターム[2H025AC01]に分類される特許

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【課題】副生成物がなく、耐熱性が改善された光塩基発生剤、さらに高温キュアの必要がないアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物及びそれを用いた回路基板を提供。
【解決手段】光塩基発生剤は、式(1)で表されるアシルオキシイミノ基を含有し、光による解裂部位を環状構造内に含む環状化合物を含有することを特徴とし、感光性樹脂組成物は、光塩基発生剤とポリアミド酸とを含有。


(式中、X1は4価の有機基であり、nは0〜3の整数を表す。Rは芳香族基または炭素数が1以上のアルキル基である。) (もっと読む)


【課題】光塩基発生剤による副生成物がなく、さらに高温キュアの必要がないアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物及びそれを用いた回路基板を提供する。
【解決手段】光塩基発生剤(A)とポリアミド酸(B)とを含有する感光性樹脂組成物であって、前記光塩基発生剤は、式(1)で表されるアシルオキシイミノ基を含有する化合物、であり、前記ポリアミド酸は主鎖中及び/又は末端に重合性基を持つポリアミド酸である。


(式中、X1は4価の有機基であり、nは0〜3の整数を表す。Rは芳香族基または炭素数が1以上のアルキル基である。) (もっと読む)


【課題】従来の感光性樹脂組成物では困難であった、光塩基発生剤による副生成物がなく、さらに高温キュアの必要がないアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物及びそれを用いた回路基板を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、光塩基発生剤(A)とポリアミド酸(B)とを含有する感光性樹脂組成物であって、前記光塩基発生剤は、式(1)で表わされる光による解裂部位を環状構造内に含む環状化合物を含有することを特徴とする。
【化1】


(式中、X1はアリーレン基であり、nは0〜3の整数を表す。Rは芳香族基または炭素数が2〜50のアルキル基である。) (もっと読む)


【課題】より高感度でマスク忠実性の高い厚膜用化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物と、当該フォトレジスト組成物を用いた厚膜レジストパターンの製造方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、厚膜フォトレジスト層を形成するために用いられる厚膜用化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物であって、電磁波または粒子線を含む放射線照射により酸を発生する酸発生剤(A)と、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂(B)と、を含有する。酸発生剤(A)は、カチオン成分としてジフェニル[4−(フェニルチオ)フェニル]スルホニウムカチオンと、アニオン成分としてテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートアニオンとを含む。 (もっと読む)


【課題】分散性、流動性、及び保存安定性に優れ、更には耐性も優れたカラーフィルタ用着色組成物、並びにこれを用いたコントラスト比及び明度が高いカラーフィルタの提供。
【解決手段】顔料と、樹脂と、活性エネルギー線重合性単量体と、活性エネルギー線重合開始剤と、溶剤と、を含んでなるカラーフィルタ用着色組成物であって、該樹脂が、分子内に2つの水酸基と1つのチオール基とを有する化合物(a1)を含むポリオール(a)中の水酸基と、テトラカルボン酸二無水物(b1)を含むポリカルボン酸無水物(b)中の酸無水物基と、を反応させてなるポリエステル(D)の存在下、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体(c1)を含むエチレン性不飽和単量体(c)をラジカル重合してなるポリエステル(X)を、含んでなることを特徴とするカラーフィルタ用着色組成物によって解決。 (もっと読む)


【課題】従来の感光性樹脂組成物では困難であった、光塩基発生剤による副生成物がなく、さらに高温キュアの必要がないアルカリ現像可能な感光性酸樹脂組成物及びそれを用いた回路基板を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、光塩基発生剤(A)とポリアミド酸(B)とを含有する感光性樹脂組成物であって、前記光塩基発生剤は、式(1)で表されるアシルオキシイミノ基を含有する化合物、であり、前記ポリアミド酸は主鎖中及び/又は末端に重合性基を持つポリアミド酸であることを特徴とする。
【化1】


(式中、Xは、連結基Yを有するアリーレン基であり、nは0〜3の整数を表す。Rは連結基Yを有する芳香族基またはアルキル基であり、Yは2価の有機基である。)
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【課題】従来の感光性樹脂組成物では困難であった、光塩基発生剤による副生成物がなく、さらに高温キュアの必要がないアルカリ現像可能な感光性酸樹脂組成物及びそれを用いた回路基板を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、光塩基発生剤(A)とポリアミド酸(B)とを含有する感光性樹脂組成物であって、前記光塩基発生剤は、式(1)で表されるアシルオキシイミノ基を含有する化合物、であり、前記ポリアミド酸は主鎖中及び/又は末端に重合性基を持つポリアミド酸であることを特徴とする。
【化1】


(式中、X1はアリーレン基であり、nは0〜3の整数を表す。Rは芳香族基または炭素数が2以上のアルキル基である。) (もっと読む)


【課題】 得られる硬化物に十分なメルト性を得られながら十分な耐熱性が得られる感放射線性組成物、これを用いて形成されるマイクロレンズおよびその形成方法の提供。
【解決手段】 感放射線性組成物は、(A)成分:不飽和二重結合基を有するポリシロキサンと、(B)成分:上記(A)成分以外のポリシロキサンと、(C)成分:少なくとも2つ以上のメルカプト基を有する有機化合物と、(D)成分:感放射線剤と、(E)成分:溶剤とを含有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高温に晒されたとしても、黄変などの変色が生じ難いレジスト膜を形成することを可能とする感光性組成物を提供する。
【解決手段】(A)重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物と、(B)分子中に環状エーテル骨格を有し、かつ直鎖エーテル骨格を持たないエポキシ化合物と、(C)白色フィラーとを含有し、前記(C)白色フィラーが、該白色フィラー5gを純水100mLに加えた液を加熱し、5分間沸騰させた後、23℃に達するまで静置し、沸騰処理液を得、次に得られた沸騰処理液に、沸騰により蒸発した水量の水を加えて水量を100mLとした液のpHを測定したとき、pH6.8以上、11以下の値を示す白色フィラーである、感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板に対して薄膜で密着強度が高く、抵抗値が低く、高精細なパターンを形成可能な、安価なアルミニウム含有感光性組成物を提供すること。
【解決手段】アルミニウム粉末およびアルミニウム合金粉末から選択される少なくとも1種の金属粉末(A)、アルカリ可溶性樹脂(C)、多官能(メタ)アクリレート(D)、光重合開始剤(E)、ならびにジヒドロターピネオールおよびテキサノールから選択される少なくとも1種の溶剤(F)を含有し、該金属粉末(A)の平均粒径D50が1〜20μmであることを特徴とするアルミニウム含有感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】パターン膜を形成する現像工程において、高い残膜率を維持したまま、現像残渣がなく、高温ベーキング後においても平坦性、光透過率、耐溶剤性等の塗膜物性を損なうことなく、低誘電特性に優れた高解像度のパターン膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、下記の成分(A)、(B)及び(C)からなり、各成分の構成割合が(A)100質量部に対して(B)5〜50質量部及び(C)1〜40質量部に設定されている。成分(A):フマル酸ジエステル単量体から誘導される構成単位(a1)、芳香族ビニル単量体から誘導される構成単位(a2)、α,β−不飽和カルボン酸単量体から誘導される構成単位(a3)及び(メタ)アクリル酸エステル単量体から誘導される構成単位(a4)からなる共重合体。成分(B):キノンジアジド基を有する感光剤。成分(C):2個以上のエポキシ基を有する硬化剤。 (もっと読む)


【課題】印刷配線板、リードフレーム、半導体パッケージ等の製造、金属の精密加工等の分野において、エッチングレジスト、めっきレジスト等のレジスト材料として特に優れた高解像性と高密着性を有し、更にレジスト剥離性にも優れた光重合性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が5千〜50万であるバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)下記一般式(I)で表されるイミド化合物Aを含む光重合可能な不飽和化合物:3〜70質量%、及び(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%を含有する感光性樹脂組成物。
(もっと読む)


【課題】高い反射率を有する白色のレジスト膜を形成でき、かつ高温又は光の照射により、白色から変色し難いレジスト膜を形成できるレジスト材料を提供する。
【解決手段】重合性炭化水素単量体及び重合性炭化水素重合体の内の少なくとも一方の物質と、白色のフィラーと、光重合開始剤又は光重合開始剤と増感剤との組合せである光重合開始成分とを含有し、重合性炭化水素重合体がエポキシ樹脂を含み、重合性炭化水素単量体とエポキシ樹脂との波長400nmでのモル吸光係数が1M−1cm−1以下、かつ270℃で1時間焼成処理後の重合性炭化水素単量体とエポキシ樹脂との波長400nmでのモル吸光係数が5M−1cm−1以下であり、フィラーの長波長側の吸収波長端の波長Xが450nm以下であり、波長(X+10)nmでの光重合開始成分のモル吸光係数が5M−1cm−1以上であるレジスト材料。 (もっと読む)


【課題】本発明はDTR法を用いた平版印刷材料において、印刷諸特性に優れ、特に耐刷性を向上することを目的とする。
【解決手段】支持体上に、下塗り層、ハロゲン化銀乳剤層及び物理現像核層を少なくともこの順で有する平版印刷材料の製造方法において、支持体上に下塗り層用の塗工液を塗布して下塗り層塗布膜を設け、その後の乾燥工程で該下塗り層塗布膜の恒率乾燥から減率乾燥に移行する時点での表面温度が、15℃以下であることを特徴とする平版印刷材料の製造方法。 (もっと読む)


【課題】耐久性に優れた印刷版を簡便に製造することができ、かつ、環境に優しい印刷版の製造方法および印刷版製造用光硬化性液体を提供すること。
【解決手段】本発明の印刷版の製造方法は、印刷版原版上に、エポキシ変性脂肪酸エステルおよび/またはアクリル変性脂肪酸エステルと光重合開始剤とを含む印刷版製造用光硬化性液体を付与し、未硬化の膜を形成する印刷版製造用光硬化性液体付与工程と、未硬化の前記膜に、選択的に紫外線を照射し、前記膜の一部を硬化させる紫外線照射工程と、前記印刷版原版上の前記膜のうち、未硬化の部分を除去する未硬化部除去工程とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板上にソルダーレジスト膜を形成したりる用途に好適に用いられ、光反射性に優れ、かつ放熱性に優れたレジスト膜を形成できる感光性組成物を提供する。
【解決手段】(A)重合性炭化水素モノマー及び重合性炭化水素ポリマーの内の少なくとも一方の重合性炭化水素化合物と、
(B)465nmにおける屈折率が1.8以上である無機フィラーと、
(C)熱伝導率10W/m・K以上である無機フィラーとを含有する、感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】基板の凸凹を気泡なくラミネートさせ、感度向上効果を有する感光性樹脂積層体、該感光性樹脂積層体を用いて基板上にレジストパターンを形成する方法、及び該レジストパターンの用途を提供すること。
【解決手段】支持体上に、感光性樹脂層、保護層を順次積層してなる感光性樹脂積層体であって、該保護層は、感光性樹脂層と接する面の平均粗さ(Ra)が0.5μm以上であり、該感光性樹脂層は、(a)カルボキシル基含有の熱可塑性共重合体20〜90質量%、(b)分子内に少なくとも一つの重合可能な末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー5〜75質量%、及び(c)光重合開始剤0.01〜30質量%を含むドライフィルムレジストであり、そして該(c)光重合開始剤としてヘキサアリールビスイミダゾール誘導体を含むことを特徴とする感光性樹脂積層体。 (もっと読む)


【課題】高顔料濃度になっても、現像速度が速く、しかも現像ラチチュードが大きく、さらにパターン欠けを生じない着色感光性組成物を得ること。また、前記着色感光性組成物を用いることで、色純度が高く、コントラストが高い色特性が良好で、しかも生産性の高いカラーフィルタを得ることにあり、このカラーフィルタを用いて、輝度の高い鮮明な画像の液晶表示装置を得ること。
【解決手段】(A)ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料、(B)黄色顔料、(C)重合性化合物、(D)バインダー樹脂、および(E)光重合開始剤を含み、該(C)重合性化合物がヒドロキシ基を有し、その二重結合密度が9.6meq/g以上11.5meq/g以下の範囲である重合性化合物である着色感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】スリット塗布を行った後減圧乾燥または真空乾燥による方法を用いることなく自然乾燥した場合にも、短時間の乾燥で、塗布ムラがなく、塗布膜厚が均一で、露光、現像後のレジストパターンの形状が良好な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物として、アルカリ可溶性ノボラック樹脂、キノンジアジド基を含んだ感光剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(A)と沸点が145℃以下かつ酢酸n−ブチル蒸発速度が50以上の溶剤(B)との混合溶剤を含む感光性樹脂組成物を用い、これを基板上にスリットコーティングし、減圧乾燥または真空乾燥による方法を用いることなく乾燥し、その後露光、現像することによりレジストパターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】高温下に晒されたとしても変色が生じ難く、かつ基板等に対する密着性が低下し難いレジスト膜を得ることを可能とする感光性組成物の提供。
【解決手段】1分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する重合性炭化水素モノマーもしくは重合性炭化水素ポリマーである重合性炭化水素化合物(A)と、(B)1分子中に少なくとも2つの環状エーテル基を有する化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)下記の式(1)で表されるアンモニウム塩または特定構造で表されるホスホニウム塩を含む、感光性組成物。
(もっと読む)


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