【課題】ミラーピースの取付け作業及び交換作業が容易なビームダウン型太陽集光装置の二次ミラーを提供する。
【解決手段】ミラーピース５の裏面に予め磁石１１を固着しておき、その磁力によりミラー本体４に取付けため、ミラー本体４に対する取付け作業及び交換作業が容易である。ミラーピース５を取付けるための磁石１１が、サマリウムコバルト磁石又はアルコア磁石であるため、熱的安定性に優れ、高温になってもミラー本体４に対する磁力が低下しない。 （もっと読む）

【課題】物体を見る観察者側の空中に立体像を簡便に形成することが可能な光学結像装置に用いる光制御パネルを簡便に製造する方法を提供する。
【解決手段】透明平板の内部に、一方側の面に垂直に多数かつ帯状の平面光反射部２２、２３を一定のピッチで並べて形成した第１及び第２の光制御パネルＣ、Ｄを、第１及び第２の光制御パネルＣ、Ｄのそれぞれの一面側を、平面光反射部２２、２３を直交させるようにして、向かい合わせて形成した立体像を形成する光学結像装置２１に使用する第１及び第２の光制御パネルＣ、Ｄの製造方法であって、金属反射面が一面に形成された一定厚みの透明合成樹脂板又はガラス板を、前記金属反射面が一方側に配置されるようにして、多数枚積層して積層体を作製し、前記積層体を前記金属反射面に対して垂直な切り出し面が形成されるように切り出して作る。 （もっと読む）

【課題】従来の再帰反射シートは、宇宙空間から到来する太陽光のような、特定の方向から入射する入射光のみを対象として再帰反射性を発揮することができなかった。
【解決手段】上記課題を解決する再帰反射部材は、平面に沿って配列された集光レンズアレイと、集光レンズアレイの各々の集光レンズに対応して、特定の方向から集光レンズアレイに入射する入射光の焦点面をそれぞれ鏡面とする凹面反射鏡を有する凹面反射鏡アレイとを備え、特定の方向から入射する入射光は、集光レンズアレイを透過して、凹面反射鏡アレイで反射されることにより、特定の方向へ再帰反射される。 （もっと読む）

【課題】 エッジライト方式のバックライトユニットを有する液晶表示装置において、バックライトユニットの消費電力の増大を抑えつつ、正面輝度を高くする。
【解決手段】 液晶表示パネルと、当該液晶表示パネルの背面側に配置された導光板と、当該導光板の端部に配置された光源と、前記液晶表示パネルと前記導光板との間に配置されたプリズムシートとを有する液晶表示装置であって、前記プリズムシートは、複数のプリズムと基材とを有し、前記プリズムは、前記基材と対向する第１の面とは異なる面が、反射層を有する第１の領域と有しない第２の領域からなり、前記第１の領域は、前記第２の領域よりも光源に近い位置にあり、かつ、前記第１の面と概略平行な面を有する階段状の面になっており、前記第２の領域は、前記導光板から出射して前記第１の面に入射した光の進行方向を所望の方向に変える面になっている液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】より容易にマイクロミラーアレイ基板を製造すること。
【解決手段】基板３上に配列させた金属柱２２を封止膜２３で被覆し、封止膜２３と金属柱２２の表面が略面一となるように研削して、封止膜２３の表面から金属柱２２の上端面２２ａを露出させる際、その上端面２２ａを研磨して鏡面加工を施し、光反射面２として形成することにより、マイクロミラーアレイ基板１Ａのミラー面に複数の光反射面２を一括して形成することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】従来の再帰反射シートは、宇宙空間から到来する太陽光のような、特定の方向から入射する入射光のみを対象として再帰反射性を発揮することができなかった。
【解決手段】上記課題を解決する再帰反射部材は、板状のベース部材の両面に対で設けられる入射側レンズと射出側レンズを有する集光レンズを配列してなる集光レンズアレイと、集光レンズの各々に対応して、集光レンズの光軸に沿った特定の方向から入射する入射光の焦点面をそれぞれ鏡面とする凹面反射鏡を有する凹面反射鏡アレイとを備え、特定の方向から入射される入射光は、集光レンズアレイを透過して、凹面反射鏡アレイで反射されることにより、特定の方向へ再帰反射される。 （もっと読む）

【課題】従来の再帰反射シートは、宇宙空間から到来する太陽光のような、特定の方向から入射する入射光のみを対象として再帰反射性を発揮することができなかった。
【解決手段】上記課題を解決する再帰反射部材は、平面に沿って配列された集光レンズアレイと、集光レンズアレイの各々の集光レンズに対応して、集光レンズのレンズ面曲率中心とは異なる位置にそれぞれ中心を有する球面反射鏡を含む球面反射鏡アレイとを備え、対応する集光レンズと球面反射鏡の光軸に沿った特定の方向から入射する入射光は、集光レンズアレイを透過して、球面反射鏡アレイで反射されることにより、特定の方向へ再帰反射される。 （もっと読む）

【課題】光学体の両面いずれからの入射においても、入射角による色調変化を抑制することができる光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、凹凸面を有する第１の光学層と、凹凸面上に形成された波長選択反射層と、凹凸面を埋めるように波長選択反射層上に形成された第２の光学層とを備える。光学体は、入射角（θ、φ）で入射面に入射した光のうち、特定波長帯の光を正反射（−θ、φ＋１８０°）以外の方向に選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯以外の光を透過する（但し、θ：入射面に対する垂線と、入射面に入射する入射光または入射面から出射される反射光とのなす角、φ：入射面内の特定の直線と、入射光または反射光を入射面に射影した成分とのなす角）。光学体は、５°以上６０°以下の入射角度で、光学体の両面のいずれか一方から入射し、光学体により反射された正反射光の色座標ｘの差の絶対値、および色座標ｙの差の絶対値が、光学体の両面のいずれにおいても、０．０５以下である。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレイに用いる反射シートであって、消費電力が小さく、発熱が少ない液晶ディスプレイを実現する反射シートを提供する。
【解決手段】パターン表面と、パターン表面とは反対側の平坦表面とを有する反射基材１０と、反射基材１０の反射パターン表面上に塗布されている反射ベース層２０と、反射ベース層２０に蒸着により形成されている反射層３０と、反射シートが特定の色になるようにメッシュ数が３００メッシュ以上のスクリーン印刷方式により反射層３０に印刷されている高透光性のカラー層４０と、反射基材１０の平坦面に設けられる粘着層５０と、剥離可能に粘着層５０に粘着されている離型紙６０とが含まれる。 （もっと読む）

【課題】空間の仕切り面に自在に配置される反射部材に照明器具からの光を反射して配光する反射照明システムにおいて、配光方向を可変でき、かつ、配光用スペースを小さくして反射範囲及び配光方向を広く調整できるようにする。
【解決手段】本照明システムは、天井面１０１の任意の位置に配置自在である反射部材１と、側壁面１０３に配置され反射部材１に光を照射する照明器具２とを有する。反射部材１は照明器具２からの光を反射する反射面を有する複数の反射片と、各反射片をそれぞれ回転自在とする回転軸とを有し、各反射片は回転軸が互いに平行に、かつ、各反射面と天井面１０１との成す角が相互に同じに配置される。従って、各反射片を回転して反射光を所望の方向に配光でき、かつ、複数の反射片により配光方向を調整するので、１枚の反射片を用いる場合に比し配光用スペースを小さくして反射範囲及び配光方向を広く調整することができる。 （もっと読む）

【課題】 例えばＥＵＶ光を用いる露光装置であって、高いスループットを達成することのできる露光装置。
【解決手段】 本発明の露光装置は、光源（１）より射出された光が集光する集光点（１ａ）からの光を用いて、第１面に設置される反射型のマスク（Ｍ）を照明する照明光学系と、マスクのパターンを第２面に設置される感光性基板（Ｗ）に投影する投影光学系（ＰＯ）とを備えている。集光点から投影光学系の光軸（ＡＸ）へ導いた垂線の長さをＤｈとし、第１面と第２面との光軸に沿った距離をＤｖとするとき、０．１２＜Ｄｈ／Ｄｖ＜１．３４の条件を照明光学系と投影光学系とが満足する。 （もっと読む）

ファセットミラー（６；１０）は、マイクロリソグラフィにおける使用に向けて役立つ。ファセットミラー（６；１０）は、ＥＵＶ照明光（３）の部分ビームを導くための照明チャンネルを予め定義する複数のファセット（７；１１）を有する。ファセット（７；１１）の少なくとも一部は、アクチュエータ（３１；３５）を有する調節デバイス（３０；３４）を用いて、ファセット反射平面（ｘｙ；ｘ’ｙ’；ｘ’’ｙ’’）に垂直な移動成分（３２；ｄｚ’；ｄｚ’’）を伴って変位可能である。これは、ファセットミラーの使用中に達成すべき望ましい照明事前定義に準拠するように作られた所定の要件が従来技術と比較して低い製造費用で達成されるファセットミラーをもたらす。 （もっと読む）

【課題】画質の良好な投影画像を表示できる反射型スクリーンを提供する。
【解決手段】反射型スクリーン１は、入射した画像光Ｒ１が投影される投影面Ｓｆを有する。この反射型スクリーン１は、入射した画像光を反射させる反射部２１を有し、投影面Ｓｆに複数、設けられた立体形状の単位構造体２を備える。水平軸に沿って並設された複数の単位構造体２の各反射部２１は、鉛直軸に沿う方向から見た場合に、水平軸に対する傾斜角度θｈＣ，θｈＲ，θｈＬが画像光Ｒ１の入射角度θ１ｈＣ，θ１ｈＲ，θ１ｈＬに応じて異なるように形成されている。 （もっと読む）

干渉変調器（“ＩＭＯＤ”）ディスプレイが、周辺光を利用し、ＭＥＭＳ変調器に到達する周辺光の量を低減させることおよび任意の光学的歪みまたは性能の損失を生じることなく、接触感知を組み込む。接触感知のための電極が、干渉ディスプレイの裏面ガラスに位置され、第一の機能が接触を感知するためにＭＥＭＳディスプレイのピクセルを駆動することである電極とともに使用される。接触が、ＩＭＯＤ層を歪め、ディスプレイの後部のさまざまなディスプレイ層を介して感知される。
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本発明は、各々が少なくとも１つの反射面（５）を有する複数の反射ファセット要素（１）を含むＥＵＶマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明光学ユニットに使用するための光学要素に関する。この場合、少なくとも１つのファセット要素（１）は、このファセット要素（１）の少なくとも１つの反射面（５）と交わる回転軸（９）の回りに回転可能な方式で配置される。そのような光学要素を使用すると、照明光学ユニット内の照明放射線の少なくとも一部の方向及び／又は強度を簡単な方式で変更することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部において光を精度よく反射させることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｙ１側に形成された端部３１ａと、Ｙ２側に形成された端部３１ｂと、端部３１ｂ側に形成された接続部３１ｃとを含み、Ｙ方向に沿って直線状に延びるとともに、片持ち梁状の駆動部３１と、駆動部３１の接続部３１ｃと接続され、駆動部３１の駆動時に接続部３１ｃと略同じ傾斜になるように構成されたミラー支持部３２と、ミラー支持部３２により接続部３１ｃにおける傾斜と略同じ傾斜になるように支持されることによって、Ｘ方向に延びる回動中心Ｒ２回りに回動されるＸ方向光走査部１０とを備え、回動中心Ｒ２は、駆動部３１の非駆動状態において駆動部３１の端部３１ａと接続部３１ｃとを結ぶＹ方向に延びる直線（接線Ｃ１およびＤ１）の略中央Ｒ４を通る位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】プロジェクターを反射スクリーンの斜め方向に配置した場合であっても、斜め方向からの光を反射スクリーンの前方の観察側により多く反射させ、投影画像のコントラストを向上させることができる反射スクリーンを提供する。
【解決手段】スクリーン基板の中心より、前記スクリーン基板の観察面側の法線に対して垂直方向にずれた位置から、前記観察面側に斜めに投射された投射光を、観察側に反射する反射スクリーンであって、前記スクリーン基板の前記観察面側に複数個の凹部が形成され、前記凹部の凹面の少なくとも前記投射光が投射される部位（範囲）に形成される反射部と、前記凹面の前記反射部の非形成領域に形成される低反射率部と、前記凹面の前記反射部と前記低反射率部との間に前記反射部と前記低反射率部とのいずれも形成されない基板露出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】プロジェクターを反射スクリーンの斜め方向に配置した場合であっても、斜め方向からの光を反射スクリーンの前方の観察側により多く反射させ、投影画像のコントラストを向上させることができる反射スクリーンを提供する。
【解決手段】スクリーン基板の中心より、前記スクリーン基板の観察面の法線に対して垂直方向にずれた位置から、前記観察面に斜めに投射された投射光を、観察側に反射する反射スクリーンであって、前記観察面に複数の凹部が形成され、前記凹部の凹面の少なくとも前記投射光が投射される部位に反射膜が形成され、少なくとも前記反射部を含む前記凹面に透明保護膜が形成されている反射スクリーン。 （もっと読む）

本発明は、互いに離隔された両面性の複数の光起電性セル又は前記セルの列によって形成される光起電性モジュール用の反射素子であって、セルの各々が、前面及び後面に向かう入射光線からの光子を捕えることができる能動前面及び能動後面を有する反射素子に関する。この素子は、隣接する２つのセル又は隣接するセルの２つの列を分離する間隙に実質的に沿ったセルの下に配置される少なくとも１つの反射性モジュールを備える。この反射性モジュールは、間隙に対して方向付けされた表面が、入射光子の全部又は一部をセルの後面に向けて送ることができるような第１の湾曲を有する第１の部分と、間隙に対して方向付けされた表面が、入射光子の全部又は一部をセルの後面に向けて送ることができるような第２の湾曲を有する、第１の部分に載置される第２の部分であって、第２の湾曲が第１の湾曲と異なる第２の部分と、を備える。
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【課題】
瞳面における露光光ＥＬの強度分布を調整できる露光装置等を提供する。
【解決手段】
二次元面内に配置された複数の反射面を有する反射光学部材１６は、複数の反射面の間の少なくとも一部に設けられ、反射面に入射する入射光又は反射面によって反射される反射光の少なくとも一方の光量を調整する調整部材２２を備えている。
調整部材２２は、複数の反射面の間から出し入れ可能であり、反射面からの調整部材２２の突出量を個別に調整することで、照明光学系または投影光学系の瞳面、またはこの瞳面と共役な位置における露光光ＥＬの強度分布を補正することができる。 （もっと読む）