【課題】 異なるレーザ光の波長に対してエバネッセント光のしみ出し深さを同じ量に簡単に設定できる全反射蛍光顕微鏡を提供する。
【解決手段】 複数の波長のレーザ光を発生するレーザ光源ユニット１からのレーザ光を標本１９に対し対物レンズ１８を介して所定の入射角で照射し、エバネッセント照明を発生させ、このエバネッセント照明により標本１９より発生する蛍光をフィルタ２４ａ、２４ｂを介してＣＣＤカメラ２６で撮像するものであって、標本１９に照射されるレーザ光の入射角をガルバノミラー１２ａで調整可能にするとともに、レーザ光源ユニット１からのレーザ光の切り替えに対しエバネッセント光のしみ出し深さが同じ量になるようにガルバノミラー１２ａの角度を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、光源光の利用効率が高く、しかも微小な対象物の鮮明な像が得られる照明装置を実現する。
【解決手段】光源、第１投影レンズ系及び第２投影レンズ系を備えた照明装置であって、第１投影レンズ系が、光源から出射された光を平行光に変換するための第１レンズ部材と、第１レンズ部材を通過した平行光のうち中心波長が２００〜４５０ナノメートル以内の範囲にあり、かつ、半値幅が１〜４０ナノメートル以内のスペクトル特性を有する光を選択的に通過させるための波長選択部と、波長選択部を通過した光を集光するための第２レンズ部材と、所定断面積の透過部を有し透過部に第２レンズ部材によって集光された光を入射部から入射させて出射するための調整部材とを含み、第２投影レンズ系が、調整部材から出射された光を再び集光して対象物に照射するレンズ系である照明装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】可動ブレードが流体中に少なくとも部分的に浸漬され、且つ、各ブレードの屈折率と前記流体の屈折率の間の差が各ブレードの表面における大幅な反射及び屈折を防止するために十分に小さい均一性補正モジュールを提供すること。
【解決手段】２つのより長い辺及び２つのより短い辺を有する長方形照明スリットにおける放射線分布の均一性を改善するための均一性補正モジュールであって、照明スリットの各より長い辺に沿って配列された複数の可動ブレードと、流体を含むチャンバと、を含み、前記可動ブレードは前記流体中に少なくとも部分的に浸漬され、且つ、各ブレードの屈折率と前記流体の屈折率の間の差は各ブレードの表面における大幅な反射及び屈折を防止するために十分小さい均一性補正モジュール。 （もっと読む）

【課題】高価な音響光学素子を用いることなく、高解像度の試料像を撮像できるレーザ顕微鏡及びカラーレーザ顕微鏡を実現する。
【解決手段】本発明では、レーザビームを一方向に発散性を有する非コヒーレントな光ビームに変換するライン状光ビーム発生装置(12)を用いる。そして、レーザ光源(1，2，3)から発生したレーザビームをライン状光ビーム発生装置(12)により一方向に発散性を有する光ビームに変換し、ビーム偏向装置(18)を介して試料(25)に投射し、試料表面を走査する。そして、試料からの反射ビームを例えばリニァイメージセンサ(26)により受光してビデオ出力を発生する。ライン状光ビーム発生装置として、複数のマイクロミラー素子が２次元アレイ状に配列されたマイクロミラー装置を用いる。入射したレーザビームは、各マイクロミラー素子の往復回動により一方向に高速振動する光ビームに変換され、発散性光ビームが発生する。 （もっと読む）

【課題】 波長選択性に優れ、光学アライメントが容易で、さらに小型化が可能で、価格的にも安価な紫外線顕微鏡を提供する。
【解決手段】 紫外域の波長を含む光源１４ａからの光を波長選択装置１３の第１の干渉フィルタ１３１と第２の干渉フィルタ１３２の２枚の干渉フィルタを用いて所定の分光特性による反射を、それぞれ２回ずつの合計４回行なうことで、ＤＵＶ光を取り出し、このＤＵＶ光を標本に照射し、標本からの光により拡大光学像を観察する。 （もっと読む）

【課題】観察光学系と自動焦点系とを併用したとしても自動焦点系の光束に影響を及ぼすことがないこと。
【解決手段】ＤＵＶ照明／結像装置５１におけるランプハウス２０から出射された照明光束を無限遠補正光学系７に入射させる偏光ビームスプリッタ２４と標本面９からの戻り光束を無限遠補正光学系７から分離するダイクロイックミラー２５との間にλ／４波長板５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 対物レンズと結像レンズとの間に設けた中間光学系（例えば変倍光学系）に起因するフレアの発生を抑えることができ、かつ、標本に対する照明方向を観察方向と揃えることもできる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 標本１０Ａの側から順に配置された対物レンズ１４と中間光学系５２〜５４と結像レンズ６１とを有し、標本の像を形成する観察手段と、対物レンズと中間光学系との間の中間光学系の光軸と同軸上に照明光Ｌ１を導入して、該照明光により対物レンズを介して標本を照明する照明手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＷＤの長い近接場顕微鏡等の光学装置を提供すること。
【解決手段】光源３０３と、光検出用あるいは照明用の光ファイバプローブ９０４と、物体と、光ファイバプローブ９０４との間に配置され、負屈折を示す媒質で形成された光学素子（負屈折率媒質３０１）と、光ファイバプローブ９０４により検出された光を電気信号に変換するフォトマルチプライヤ９０８とを具備する。 （もっと読む）

本発明は、光ビームを発射するための垂直キャビティ型レーザ（VCSEL）のマトリックス（23）と、観察すべき物体（25）上に光ビームを集束させるための光学手段（24）とを備えた、並列共焦点レーザ顕微鏡装置（2）に関する。本発明によれば、夫々のVCSELレーザの背後に１つのフォトセンサー（22）が配置してあり、このフォトセンサーが物体（25）から後方散乱された光ビームをVCSELレーザのキャビティ（このキャビティは濾過用穴として使用される開口を備えている）を介して受光できるようになっている。
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【課題】戻り光による雑音を抑制して高いＳ／Ｎ比と広いダイナミックレンジを有するとともに高速応答が可能な共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】ＳＬＤ１００の出射端１０１から出射された前方出射光Ａは、コリメータレンズ２３１によって平行光束とされ、偏光フィルタ２３３によって所定の偏光成分のみが透過され、対物レンズ２３２によって集光されて、被測定体２２０の所定位置に照射される。被測定体２２０で反射された光は、対物レンズ２３２、偏光フィルタ２３３およびコリメータレンズ２３１を経て、ＳＬＤ１００の出射端１０１に戻り光Ｂとして入射する。ＳＬＤ１００に戻り光Ｂが入射すると、ＳＬＤ１００が有する光増幅機能によって、ＳＬＤ１００の出射端１０１から出射する前方出射光Ａの強度は変化する。 （もっと読む）

【課題】 照明光の生成器、その後方に配置された、空間分離スペクトル成分の生成のための照明光用スペクトル分割器、分割された照明光の平行化調整器、スペクトル成分の重畳を伴う、試料上または試料内への照明光フォーカシング器および試料光検出器の装備された、好ましくは、短パルス照明光の生成器、その後方に配置された照明光用スペクトル分割器、それも照明光源のパルス長より大きなパルス長を持つ空間分離された、ただし試料内では再び集束される、スペクトル成分を生成するための照明光用スペクトル分割器の装備された、試料の光学的検査および／または光学的加工のための方法および配置。
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【課題】 試料の観察像の周辺領域で生じる光量の低下を補うことが可能な共焦点顕微鏡、光源光量を逐次容易に変化させることが可能な共焦点顕微鏡、及び照明光の波長を変化させることが可能な共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 共焦点顕微鏡を、対物レンズ３の焦点面に共役な面に位置する複数の光源４０からなる光源アレイ３０と、対物レンズ３の焦点面に共役な面に位置し光源アレイ３０の各光源４０に対応する各位置にそれぞれ開口２３を有するピンホールアレイ２２と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は観察対象である試料を照明する照明手段と、この試料上のパターンの特定の空間周波数成分を除去する空間フィルタとを簡単な構成で実現する顕微鏡装置及びその照明方法を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置の光源４０を、対物レンズ３の瞳面８又はこの瞳面と共役な平面２３上に設け、これらの面上にこの光源４０を支持するための支持手段４０を空間フィルタとして使用する。 （もっと読む）

【課題】光走査型顕微鏡で広域視野照明も可能にする。
【解決手段】試料（２３）の点状または点群状照明のための照明光を生成するスポット照明装置（２）、点状または点群状の照明光を誘導して試料（２３）上を走査する走査装置（３、４）、試料（２３）上の点状または点群状の照明スポットを、走査装置（３、４）を通して少なくとも１つの共焦点絞り（２６）により少なくとも１つの検出ユニット（２８）上に結像させるスポット検出装置（５）および走査装置（３、４）を制御してスポット検出装置（５）から読み出しを行う制御ユニットを有する光走査型顕微鏡であって、試料（２３）の照明用として広域視野照明光源（２９、３４）が追加装備されていて、また広域視野照明光源（２９、３４）の作動時には制御ユニットが、広域視野照明された試料（２３）の画像が得られるように、走査装置（３、４）を制御してスポット検出装置（５）から読み出しを行う。 （もっと読む）

【課題】 バイオチップ分析に必要なデータをコンピュータネットワークを通じてバイオチップ分析装置に配信し、該装置からバイオチップ読取データをコンピュータネットワークを通じて回収して解析し、その結果を返すバイオチップオンライン分析システムの提供。
【解決手段】 バイオチップ分析装置と、バイオチップの配列データ及び解析データを蓄積したデータベースおよびバイオチップ読取データを基に解析を行うサーバ装置が設備されたバイオチップ情報センターとから成り、これらをコンピュータネットワークを介して接続されている。バイオチップ分析装置は自ら所有するバイオチップ配列データ、或いは要求に応じてサーバ装置から提供されるバイオチップ配列データを利用してバイオチップの作製、反応、読取りを行うと共に、サーバ装置はバイオチップ分析装置からバイオチップ読取データを回収し、解析を行い、その解析データをバイオチップ分析装置に返信する。 （もっと読む）

多重モード・スペクトル画像解析の方法および装置が開示される。一つの実施態様において、本発明は、修正された照明プロファイルで対象物を照明する段階、照明された対象物の反射、透過、または蛍光画像を作成する段階、当該対象物をスキャンする段階、および光の状態を修正した後、当該反射光、透過光、または蛍光光の再解析を行う段階で構成される。本発明は、時間分解能が低い高スペクトル分解能画像および時間分解能が高い多重画像取得を行う他の画像解析手段と併用することが望ましい。
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顕微鏡の照明装置（１０）は、顕微鏡観察のために試料を照射する光を生成する少なくとも１つの光源（３２）と、光源によって生成された光をコリメートする少なくとも１つのコリメートレンズ（５０、５２）と、コリメートされた光を受光し、観察中の試料に中空の円錐状の光を向ける暗視野コンデンサ（１４）とを備える。この照明装置は、更に、中心に配置されたスペーサと、スペーサを取り囲む複数の光ファイバとを備え、暗視野コンデンサに伝達する中空の円筒状の光を生成して、光源から試料への光の伝達効率を高めるアダプタを備えていてもよい。照明装置は、蛍光顕微鏡法に好適に適用され、分解能及びコントラストを向上させる。
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顕微鏡システムは、照明フィールドを規定する少なくとも一つのレンズと、レンズを通して試料を照明するための照明光ビームを発する少なくとも一つの光源とを含む。少なくとも一つの検出器が、ピクセルごとに試料からくる検出光ビームを検出するために設けられる。電気回路が検出器から下流側に接続され、当該電気回路は、少なくとも一つのレンズの照明フィールドの波長依存輝度分布を格納するための記憶ユニットを含む。電気回路は、均質に照明された画像フィールドを形成するために、格納された波長依存輝度分布をピクセルごとに用いる。照明フィールドを均質に照明するために、格納された波長依存輝度分布に応じて照明光ビームの強度をピクセルごとに制御するために、操作可能要素が設けられる。
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【課題】生成されるべき光ビームのスペクトルの組合せが、殆ど任意的に選択可能でありかつ交換要素及び再調整を要することなくユーザによって簡単な態様で変更可能な複数の波長を含む光ビームの生成装置。
【解決手段】共焦点走査顕微鏡のための照明光ビーム等の複数の波長を含む光ビームの生成装置であって、それぞれ異なる波長を有する複数のレーザ光ビームを合一するためのビーム合一装置を含むと共に、該ビーム合一装置が複数の個別のビーム合一要素を含むように構成されたビーム生成装置において、前記ビーム合一要素（複数）（２）は、直列的に、又は並列的な複数のグループの形態で配置され、かつ、それぞれ、１つの個別に定義される波長領域の１つの波長を有する１つのレーザ光ビームを入射結合するよう構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

マスクを所定の偏光状態の照明光で照明する際の光量損失を少なくできる照明光学装置及び投影露光装置である。レチクル（Ｒ）を照明光（ＩＬ）で照明する照明光学系（ＩＬＳ）と、レチクル（Ｒ）のパターンの像をウエハ（Ｗ）上に投影する投影光学系（ＰＬ）とを有する。照明光学系（ＩＬＳ）において、露光光源（１）から直線偏光状態で射出された照明光（ＩＬ）は、進相軸の方向が異なる第１及び第２の複屈折部材（１２，１３）を通過して、ほぼ特定の輪帯状の領域で光軸を中心とする円周方向に実質的に直線偏光となる偏光状態に変換された後、フライアイレンズ（１４）等を経てレチクル（Ｒ）を輪帯照明の条件で照明する。
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