【課題】動作中、屈折率が水のそれより高い浸漬液を含み含有される粒子の凝集のおそれがないリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】ステッパまたはスキャナとして用いられる投影露光型のリソグラフィ装置において、水よりも屈折率が高い液浸液として、１つまたは複数のハロゲン化アルカリ金属、例えばフッ化アルカリ金属、塩化アルカリ金属、臭化アルカリ金属、の水溶液を用いるものであり、その屈折率が１．５以上のものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で物体の全周を観察又は撮像することが可能であり、反射面で発生する収差を補正することが可能な光学系を提供する。
【解決手段】 中心軸２に対して回転対称な断面円環状の反射光学素子３と、反射光学素子３と同軸に配置され、中心軸２に対して回転対称な広角結像光学系４と、から構成される光学系１において、反射光学素子３の内側に配置された物体Ｍの全周の映像は、反射光学素子３で反射され、広角結像光学系４に入り、広角結像光学系４を経て収差を補正され、全体として平面からなる像面５に輪帯状に結像される。 （もっと読む）

【課題】光軸に沿う方向の長さを低減して小型化を図りつつ、光を２次元的に走査する。
【解決手段】少なくとも２枚のレンズ２，３を有し、１枚のレンズ３に対して少なくとも他の１枚のレンズ２を光軸Ｃに交差する方向に移動させて光を走査する光走査光学系１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 露光装置用の投影光学系において、各光学素子のもつ複屈折が補正され、偏光特性を有しない投影光学系を製造すること。同時に、各像高の寸法均一性を得るために、各像高において一定の瞳強度分布を持つ投影光学系を製造すること。
【解決手段】 投影光学系における、各像高における瞳強度分布を一定の分布にすると同時に、投影光学系の各光学素子が持つ複屈折によって生じる、異なる二偏光間の位相差をキャンセルするように、光学素子境界面に構成する光学薄膜の最適化を行う。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を用いることなく、低コストで、同一の光束を用いるＢＤとＨＤの一つの対物光学素子での互換を可能とする光ピックアップ装置及び対物光学素子を提供する。
【解決手段】前記対物光学素子は、その光学面が同心円状の複数の領域に分割され、前記複数の領域は、少なくとも一つの第１光ディスク用領域と、少なくとも一つの第２光ディスク用領域とを有し、前記第１光ディスク用領域を通過した前記第１光束は、前記第１光ディスクの情報記録面上に集光され、前記第２光ディスクの情報記録面上に集光されず、前記第２光ディスク用領域を通過した前記第１光束は、前記第２光ディスクの情報記録面上に集光され、前記第１光ディスクの情報記録面上に集光されず、前記第１光ディスク用領域の合計面積Ａは、前記第２光ディスク用領域の合計面積Ｂよりも大きい（Ａ＞Ｂ）。 （もっと読む）

【課題】干渉縞のコントラストを下げることなく、大きな開口数で被検物体を観察することができる干渉対物レンズを提供する。
【解決手段】干渉対物レンズ１を、光源３１からの照明光を被検物体面３３に集光させる対物レンズ２と、この対物レンズ２から被検物体面３３側へ射出する照明光を分割するハーフミラー５と、ハーフミラー５で分割された照明光を反射し、再びハーフミラー５を介して被検物体面３３からの戻り光と同一光路上に合成する参照ミラー３と、ハーフミラー５及び参照ミラー３の間の光路上に配置され、参照ミラー３に照射される分割された照明光の光束径を絞るリング絞り４とから構成する。 （もっと読む）

【課題】観察視野の前方と後方の両方で色収差が良好に補正された像の観察、あるいは画像を得ることが可能な観察光学系を提供する。
【解決手段】最も物体側に配置された負レンズ１と、負レンズ１の像側に配置されていて負レンズ１側に反射面２ｂを持つ環状プリズム２と、負レンズ１及び環状プリズム２の像側に配置された結像レンズ群３とからなる。負レンズ１と結像レンズ群３とで前方観察光学系を構成すると共に環状プリズム２と結像レンズ群３とで後方観察光学系を構成し、且つ、結像面１０上における後方観察光学系による像と前方観察光学系による像とが異なる位置に結像する。負レンズ１と環状プリズム２とは接合されている。 （もっと読む）

【課題】全体としての大きさが小型であり、許容可能な材料使用量により製造され得、かつ色収差、特に横色収差に関して良好な補正状態を有する屈折性投影対物レンズを提供する。
【解決手段】純粋に屈折性の投影対物レンズは、５個のレンズ群を有する単一ウェスト形システムとして設計される。負の屈折力を有する第１のレンズ群と、正の屈折力を有する第２のレンズ群と、負の屈折力を有する第３のレンズ群と、正の屈折力を有する第４のレンズ群と、正の屈折力を有する第５のレンズ群が設けられる。ビーム束が最も狭く収縮する収縮部は、前記ウェスト部の領域内に位置する。ウェスト距離ＡＴは、物体平面と前記収縮部Ｘとの間において形成される。条件ＡＴ／Ｌ≦０．４が、前記ウェスト距離ＡＴと投影対物レンズの物像距離Ｌとの間における距離比ＡＴ／Ｌに関して成り立つ。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高ズーム比であって、高い光学性能を有する変倍光学系及びそれを有する撮像装置を提供する。
【解決手段】物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ群を有し、該第１レンズ群および該第２レンズ群は光軸に対して垂直方向の成分を持つように移動する光学素子をそれぞれ備え、該光学素子の移動により変倍を行う変倍光学系において、該変倍光学系の基準軸と物体側から第ｉ番目の光学面との交点における該光学面の接線の傾きをＫｉ、Ｋｉの最大値をＫｍａｘ、光学系全体のＫｉの合計を


としたとき、


を満足する変倍光学系。 （もっと読む）

投影対物器械を製造する方法、及び本方法によって製造される投影対物器械を提供する。投影対物器械のための初期設計を定める段階と、各々が特定の品質パラメータを反映する複数のメリット関数成分ＡＢ、「ＩＲＲＡＤ ＥＦＰ」を有するメリット関数を用いて設計を最適化する段階とを含む投影対物器械を製造する方法。このメリット関数成分のうちの１つは、投影対物器械の像表面における有効照度に対して正規化された有効照度ＡＢ、「ＩＲＲＡＤ ＥＦＦ」を表す正規化有効照度値が、投影対物器械の像表面の直近の最終光学面を除く投影対物器械の各光学面上の所定の照度閾値「ＩＲＲ ＴＶ」を超えないことを要求する最大照度要件を定める。火面領域内に位置決めされた光学面及び／又は光学面上の決定的に小さい有効部分開口は、それによって系統的に回避される。 （もっと読む）

【課題】 干渉画像だけでなくコントラストの良好な明視野画像を容易に得ることができる安価な干渉対物レンズと、その干渉対物レンズを備える干渉顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】本発明は、サンプル１１の上方に配置され、対物レンズ１０と、第１のビームスプリッタ１２と、参照面１３を有する干渉対物レンズ１と、干渉対物レンズ１の上方に配置されている観察光学系２と、可視域から赤外域までの光を出射する例えばハロゲンランプ等の光源１４を有する照明光学系３から構成され、干渉画像だけでなくコントラストの良好な明視野画像を容易に得ることができる干渉顕微鏡装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来の顕微鏡の球面レンズを備える対物レンズに入射した偏光は、Ｐ偏光とＳ偏光での透過率特性の違いにより振動面の回転を生じる。しかも、この現象は光線が通るレンズの位置に依存する。したがって、対物レンズの瞳面が完全には暗くならず、いわゆるアイソジャイヤを生じる。このアイソジャイヤによって、観察領域の背景が明るくなり、観察を行いにくいという問題があった。本発明では、アイソジャイヤを軽減する為の高い偏光特性を有する対物レンズを提供する事およびこの対物レンズを顕微鏡に備える事を目的とする。
【解決手段】本発明の上記課題は、曲率方向が直交するように配置された少なくとも２枚のシリンドリカルレンズを含む対物レンズによって解決される。 （もっと読む）

【課題】 例えば１．７程度の大きな像側開口数および良好な結像性能を確保することのできる液浸型の投影光学系。
【解決手段】 第１面（Ｒ）の像を第２面（Ｗ）上に形成する本発明の液浸型の投影光学系は、第１面側の面が気体に接触可能であって且つ第２面側の面が液体（Ｌｍ）に接触可能な光学素子（Ｌｂ）を備えている。光学素子の第２面側に接触可能な液体は、液浸対物光学系中の気体の使用光に対する屈折率を１とするとき、使用光に対して１．５よりも大きい屈折率を有する。光学素子の第１面側の面の曲率半径をＲｂとし、光学素子の第１面側の面の有効径をＥｂとし、光学素子を形成する光学材料の使用光に対する屈折率をＮｂとするとき、３．２＜Ｎｂ・Ｅｂ／｜Ｒｂ｜＜４．０の条件を満足する。 （もっと読む）

本発明は双眼視装置、情報コンテンツ、及び表示ソースを備えた立体視表示システムに関する。この表示システムは、双眼視装置、情報コンテンツ、及び表示ソースを最適化する複数のソフトウェアを実行する電子コンポーネントを備えており、前記複数の最適化ソフトウェアが一緒になって、様々なパラメータを管理するループを形成する点を特徴とする。前記装置の着用者は従って、着用者の視覚生理機能に最もよく適合された状態で、双眼視装置を介して情報コンテンツを観賞できる。 （もっと読む）

光学部品は、複数の周期を有する回折構造体を有する基板を備え、複数の周期のうちの少なくとも１つの周期が複数のステップを有し、複数のステップの高さが少なくとも１つの周期において非単調的に増大する。光学部品は、少なくとも２つの波長、たとえば３つの波長とともに用いられ、単一の基板上にあり、すべての波長に対して少なくとも５０％の効率を与えるものである。
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投影パターンを有するマスクを収容するためのマスク装置と、光学素子群を有する投影装置と、基板を収容するための基板装置と、液浸ゾーンとを備える、特にマイクロリソグラフィで使用するための光学結像装置である。光学素子群が、基板に投影パターンを投影するように構成されており、作動中に少なくとも一時的に液浸ゾーンに隣接して配置される液浸素子を有する複数の光学素子を備える。作動中に液浸ゾーンが液浸素子と基盤との間に配置され少なくとも一時的に液浸媒体が充填される。本発明によれば、熱減衰装置が設けられており、この熱減衰装置は、前記液浸媒体によって前記液浸素子の温度分布ＴＥに誘発される変動を減じるように構成されている。
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【課題】
【解決手段】本発明は、レーザービームによって走査される可撓性光ファイバーのビームの遠位端部を備えた小型化された光学ヘッドに関するものであり、前記光学ヘッドは、試料に接触して、前記試料を共焦点で励起するように設計されており、この光学ヘッドは、球面収差を補正する手段及びフォーカシング手段から構成されている。本発明によれば、フォーカシング手段は、光学ヘッドの遠位端部に配置された球面レンズ又は半球レンズ（Ｌ５）に係わる高い収斂性を有する第一のレンズ（Ｌ４）と、曲率が光ファイバービームの瞳孔の中心に実質的に合わせられ、この瞳孔が、横収色状態と軸方収色状態とが一致する正確な位置に配置された単一の収束レンズ軸上色収差及び横色収差を補正する手段とを含み、この収束レンズは、複レンズ（Ｌ３）の形態で第二の収束レンズ（Ｌ３ａ）合体している。

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電子画像センサー（２４）上に画像を形成するレンズ光学系（２２）と、画像センサーの出力をフィルタリングするデジタルフィルター（２６）とを有するカメラ（２０）の設計方法。この方法は、デジタルフィルターを用いて達成可能な画像の改善を推定する工程を有する。修正光学仕様を決定するために、推定した改善に応答して、カメラの目標光学仕様が処理され、この修正光学仕様に応答して、レンズ光学系が設計される。 （もっと読む）

【課題】 液浸領域の光透過部材の交換による液浸型投影光学系の結像性能の悪化を抑え、良好な結像性能に基づいて微細パターンを高精度に且つ安定的に投影露光する。
【解決手段】 像面側に形成された液浸領域の液体を介して物体面のパターンの像を感光性基板上に形成する投影光学系を備えた本発明の露光装置において、投影光学系の液浸領域の光透過部材は、液浸領域に配置されるべき交換用光透過部材（Ｈａ，Ｈｂ）と交換可能に構成されている。また、交換用光透過部材の交換に応じて、投影光学系における液浸領域の光学的光路長が調整可能に構成されている。 （もっと読む）

本発明は、像面に配置される感光層に、物体面に配置されるマスクを投影するためのマイクロリソグラフィック投影露光装置の投影対物レンズに関するものであり、投影対物レンズ（１０８）が、光入射面と光射出面を有する像面側の最後の光学素子（１１３）を備えており、液浸液（１１４）が光射出面と像面（ＩＰ）との間の領域に配置される液浸モードに合わせて設計されており、像面側における最後の光学素子（１１３）の光入射面と液浸液（１１４）との少なくとも１つの界面が、少なくとも領域状の微細構造（１１７、２１７、３１３ａ、４１３ａ、５１５ａ、６１５ａ）を備えていることを特徴とする。
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