【課題】投影露光装置において、広い露光エリアを確保しながら、高精度のパターンを形成する。
【解決手段】投影露光装置の投影光学系３０において、第１レンズ群３２、第２レンズ群３４、第３レンズ群３６、第４レンズ群３８を備え、第１レンズ群３２と第２、３レンズ群３４、３６との間に、偏光ビームスプリッタ４０を配置する。そして、マスクＰＭの光軸上点からのマージナル光線ＭＬ１、ＭＬ２が偏光ビームスプリッタ４０の入射面に対し垂直入射するように、第１レンズ群３２の光学特性が定められている。 （もっと読む）

【課題】４０５ｎｍから６５６ｎｍまでの波長域で収差補正された顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】液浸系顕微鏡対物レンズは物体側より正レンズ群Ｇａと正レンズ群Ｇｂとレンズ群Ｇｃとレンズ群Ｇｄとレンズ群Ｇｅから構成される。レンズ群Ｇａは物体側が平面の平凸レンズと物体側が凹面のメニスカスレンズの接合レンズと２つの正単レンズからなる。レンズ群Ｇｂは１つの３枚接合レンズからなる。レンズ群Ｇｃは１つ以上の接合レンズを含む。レンズ群Ｇｄは像側が強い凹面のメニスカス形状である。レンズ群Ｇｅは物体側が強い凹面の負レンズを含む。Ｈ１をレンズ群Ｇｂから射出するマージナル光線高、Ｈ２をレンズ群Ｇｄに入射するマージナル光線高、ｆを対物レンズの焦点距離、ｆ（Ｇｂ）をレンズ群Ｇｂの焦点距離とすると、次式を満足する。
０．５≦Ｈ２／Ｈ１≦０．７５
７．８≦ｆ（Ｇｂ）／ｆ≦ ２０ （もっと読む）

【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微
鏡システムが開示される。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微
鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを
有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため
、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。
好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、
非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレン
ズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

【課題】ＮＡ＞１の開口数で液浸リソグラフィが可能な非常に高い像側開口数を有する真空紫外（ＶＵＶ）領域で使用する反射屈折投影対物レンズの提供。
【解決手段】物体面１０１上のパターンを像面１０２上に結像するための反射屈折投影対物レンズであって、パターンを第１中間像１０３に結像する第１対物レンズ部１１０と、第１中間像を第２中間像１０４に結像する第２対物レンズ部１２０と、第２中間像を像面１０２上に結像する第３対物レンズ部２３０とを有し、第１連続鏡面を有する第１凹面鏡１２１と、第２連続鏡面を有する少なくとも１つの第２凹面鏡１２２とが、第２中間像１０４の上流側に配置され、瞳面が、物体面と第１中間像との間、第１及び第２中間像の間、及び第２中間像と像面との間に形成され、主光線高さがすべての凹面鏡１２１，１２２で光学的に離して配置される。 （もっと読む）

【課題】収差を十分に補正し良好な画像を得る。
【解決手段】正パワーの前群光学系１０およびこれと同パワーの後群光学系１２と、これらの光軸方向の距離を相対変化させる光学系駆動部とを備え、前群光学系１０が、レンズＬ１とレンズＬ２の接合レンズＷ２で構成される正パワーの第１群光学系Ｇ１と、レンズＬ３で構成され正パワーの第２群光学系Ｇ２と、レンズＬ４とレンズＬ５で構成される第３群光学系Ｇ３とを備え、後群光学系１２が、レンズＬ７とレンズＬ６で構成される正パワーの第４群光学系Ｇ４と、正パワーのレンズＬ８で構成される第５群光学系Ｇ５と、レンズＬ１０とレンズＬ９の接合レンズＷ１９で構成され正パワーの第６群光学系Ｇ６とを備えるフォーカス可変光学系４を提供する。 （もっと読む）

【課題】対物系のＮＡ値を大きくすることができる対物系を提供する。
【解決手段】合焦レンズ素子及び各視野レンズ素子は、同じ単一のガラス素材から形成され、マンジャンミラー集合体３１２、視野レンズ素子集合体３０５及び合焦レンズ素子集合体３１１の全ての構成要素は、受け取る光エネルギの軸線に沿って整列され、マンジャンミラー集合体において、１個または複数個のマンジャンミラー素子の２個の反射面は、受け取る光エネルギの軸線に沿って非ゼロ距離の離れた鏡面である。 （もっと読む）

【課題】ズーム比１５倍以上の高倍率を達成しながら、望遠側の色収差を良好に補正し、高性能、小型軽量なズームレンズを達成する。
【解決手段】ズームレンズは、物体側から順に、正の屈折力を有し変倍のためには移動しない第１群Ｆと、負の屈折力を有し変倍に際して移動する第２群Ｖと、負の屈折力を有し変倍に際して移動する第３群Ｃと、正の屈折力を有し変倍のためには移動しない第４群Ｒで構成され、第１群は、屈折率をNp、アッベ数をνｐ、としたとき、70<νｐ<85、2.31<Np+0.01×νｐ<2.58、1.6<Np<1.85を満足する正レンズを有し、該正レンズの焦点距離をｆｐ、第１群を構成する負レンズの合成焦点距離をｆｎａとしたとき、1.25<|fp/fna|<1.7である。 （もっと読む）

【課題】フォーカシング移動量を小さくして迅速なフォーカシングが可能であり、構造が簡単で低コストであり、より優れた光学性能を持つズームレンズ系及びこれを備えた電子撮像装置を得る。
【解決手段】物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群、負屈折力の第２レンズ群、正屈折力の第３レンズ群、及び正屈折力の第４レンズ群で構成され、変倍に際し、第１レンズ群と第２レンズ群のレンズ群間隔が増加し、第２レンズ群と第３レンズ群のレンズ群間隔が減少するズームレンズ系において、第１レンズ群は、物体側から順に、フォーカシング時に光軸方向の位置が固定された正屈折力の第１ａレンズ群、及びフォーカシング時に光軸方向に移動する正屈折力の第１ｂレンズ群で構成されており、次の条件式（１）を満足する。（１）０．３５＜ｆ１ｂ／ｆ１ａ＜０．５７但し、ｆ１ｂ：第１ｂレンズ群の焦点距離、ｆ１ａ：第１ａレンズ群の焦点距離。 （もっと読む）

【課題】広い視野領域にわたり、高い光学性能を有し、しかも環境変化があっても高い光学性能を維持することができる反射屈折光学系を得る。
【解決手段】物体１０３の中間像ＩＭを形成する第１結像光学系Ｇ１と、中間像を像面１０５に結像させる第２結像光学系Ｇ２を有し、第１結像光学系は光透過部Ｍ１Ｔと裏面反射部とした第１の光学素子Ｍ１と、光透過部Ｍ２Ｔと裏面反射部とした第２の光学素子Ｍ２を有し、第１の光学素子と第２の光学素子は互いに裏面反射部Ｍ１ａ、Ｍ２ｂが対向するように配置されており、物体からの光束は、順に第１の光学素子の光透過部、第２の光学素子の裏面反射部、第１の光学素子の裏面反射部、第２の光学素子の光透過部を介した後に第２結像光学系に出射しており、第２結像光学系を構成する少なくとも３つのレンズ成分Ｌ１，Ｌ９，Ｌ１０は環境変化によって生ずる収差変動を補正するために光軸方向に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】マイクロリソグラフィ露光装置用の照明システムのための向上した集光装置を提供すること。
【解決手段】マイクロリソグラフィ露光装置の照明システムは瞳平面５４を視野平面６２に変換するための集光装置６０１を有する。集光装置６０１は、薄い平面状プレートＬ１１として形成される第１のレンズ、非球面凹面の後面を有する負のメニスカス・レンズとして形成される第２のレンズＬ１２、第３のレンズＬ１３は非球面凸面の後面を有する正のメニスカス・レンズ、、第４のレンズＬ１４はやはり非球面凸面の後面を有する両凸面レンズ、第５のレンズＬ１５は凹面の後面を備えた正のメニスカス・レンズ、第６のレンズＬ１６は平凹面レンズ、最終段レンズである第７のレンズＬ１７はわずかに凹面の前面を備えた正のメニスカス・レンズで構成される。 （もっと読む）

【課題】構成する光学部材を大型化することなく、大きな開口数を有する液浸法を用いた反射屈折投影光学系を提供する。
【解決手段】第１面Ｒ１の像を第２面上に形成する反射屈折投影光学系ＰＬ１は、少なくとも６つのミラーＭ１〜Ｍ６を含み、前記第１面Ｒ１の第１中間像及び第２中間像を形成する第１結像光学系Ｇ１と、前記第２中間像を前記第２面上にリレーする第２結像光学系Ｇ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】色収差や像面湾曲などの諸収差が良好に補正されて優れた結像性能を有し、光学面での反射損失を良好に抑えて大きな実効的な像側開口数を確保することのできる比較的小型の投影光学系に関する。
【解決手段】第１面（Ｒ）の縮小像を第２面（Ｗ）上に形成する反射屈折型の投影光学系は、少なくとも２枚の反射鏡（ＣＭ１，ＣＭ２）と透過部材（Ｌ１１〜Ｌ２１７）とを備え、且つ投影光学系の光軸（ＡＸ）を含まない円弧形状の有効結像領域を備え、有効結像領域を規定する円弧の曲率半径の大きさをＲとし、第２面上における最大像高をＹ_０とするとき、１．０５＜Ｒ／Ｙ_０＜１２の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で透過率の高い色消しレンズを提供する。
【解決手段】 屈折レンズと、複数のバイナリ形状の格子を有する回折レンズとを備えている色消しレンズを提供する。この色消しレンズでは、屈折レンズは、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である屈折レンズ材料を用いて形成されており、回折レンズは、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である回折レンズ材料を用いて形成されており、回折レンズの格子の表面粗さの平均二乗偏差値（ｒｍｓ値）は、５ｎｍ以下である。この色消しレンズは、フッ化リチウムおよびフッ化マグネシウムの屈折率が大きく変化する２００ｎｍから短波長側の吸収端波長までの真空紫外線領域の色収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】従来は、可視撮像センサと赤外撮像センサを有する撮像素子においてセンサに効率的に可視光を集光する機能が無いという問題があった。また、反射光学系では可視光と赤外光の結像位置が同じであるため撮像素子の同一面に可視撮像センサと赤外撮像センサを有する撮像素子と組み合わせる必要があるという問題があった。
【解決手段】基板と、前記基板の光照射面側に設けられ、可視光を電気信号に変換する可視撮像センサと、前記基板を挟んで前記可視撮像センサと対向する位置に設けられ、赤外光を電気信号に変換する赤外撮像センサと、前記可視撮像センサの光照射面側に設けられ、前記可視光を集光し、前記赤外光を透過する集光素子と、を備える撮像素子。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に伴う誤検出を防止した対物レンズの調整方法を提供する。
【解決手段】結晶質の材料を用いたレンズを含む複数のレンズからなる対物レンズの調整方法であって、環境温度の変化によって対物レンズに生じる熱応力を求め、求めた熱応力から、当該熱応力により生じる対物レンズを通る光の状態変化を求める変化量算出ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０３）と、対物レンズを通る光の状態が環境温度の変化に拘わらず一定となるように、求めた光の状態変化を打ち消すような結晶質の材料を用いたレンズ（第９レンズ）の結晶方位を算出する調整量算出ステップ（ステップＳ１０４）と、算出した結晶方位が得られるように結晶質の材料を用いたレンズ（第９レンズ）を光軸回りに回転させる調整ステップ（ステップＳ１０５）とを有している。 （もっと読む）

【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微鏡システムが開示される。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの試料についての望まれない粒子や、パターンきず等の検査するためのデザインを提供する。
【解決手段】このシステムは、開口（絞り）およびフーリエフィルタリングのための外部瞳がなく、比較的緩い製造公差を提供し、ブロードバンド明視野やおよびレーザ暗視野イメージングおよび波長３６５ｎｍ以下における検査に適する。使用されるレンズは単一の材料を用いて形成または構成される。少なくとも１つの小さな折り返しミラー（３０４）およびマンジャンミラー（３０６）を含んでいる。第２の戻りイメージが第１のイメージから横方向にずれるように軸をはずして構成される。これによって、受光を許容する横方向分離および各イメージを別々に操作することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】反射屈折投影光学系を構成する光学部材を大型化することなく、大きな開口数を有する液浸法を用いた反射屈折投影光学系に関する。
【解決手段】第１面Ｒ１の像を第２面上に形成する当該反射屈折投影光学系ＰＬ１は、少なくとも６つのミラーＭ１〜Ｍ６を含み、前記第１面Ｒ１の第１中間像及び第２中間像を形成する第１結像光学系Ｇ１と、前記第２中間像を前記第２面上にリレーする第２結像光学系Ｇ２とを備える。 （もっと読む）

【課題】高ＮＡで可視域から近赤外域まで、諸収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズを提供すること。
【解決手段】物体側から順に、少なくとも一つの接合レンズを含む第１レンズ群Ｇ１と、少なくとも一つの接合レンズを含む第２レンズ群Ｇ２とにて構成し、第１レンズ群の接合レンズＬ１が正レンズＬ１ｐと像側に凹面を向けた負レンズＬ１ｎとよりなり、第２レンズ群の接合レンズＬ２が、物体側に平面または凹面を向けた負レンズＬ２ｎと正レンズＬ２ｐとよりなり、適切に設定された条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】自家蛍光の発生が少なく、且つ、軸外まで収差が良好に補正された対物光学系、及びそれを備えた落射型観察装置を提供することを課題とする。
【解決手段】落射照明に用いられる対物光学系１２は、無限遠補正型の対物光学系であり、標本面ＳＳ側から順に、励起光を反射し、蛍光を透過させる光路分割素子を含み、蛍光を収斂させる正のパワーを有する第１レンズ群ＬＧ１と、接合レンズＣＬ１を含み、前記蛍光を平行光束に変換する負のパワーを有する第２レンズ群ＬＧ２と、を含んで構成される。 （もっと読む）