【課題】本発明は、単一のブラインドシャッターを用いた小型マスク連続露光方式により、露光領域における照射量分布の局所的なムラが少ない露光を実現できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、基板を搬送方向に一定の速度で搬送しながら、搬送方向に所定間隔を空けて複数並べられた前記基板上の露光領域に対して露光を行う。露光装置は、点滅式光源と、基板をＹ軸正方向に搬送する搬送装置と、光源と基板との間に配置されるフォトマスクと、光源とフォトマスクとの間に位置し、光を遮光するブラインドシャッターとを備える。光源の点滅の周波数は５０Ｈｚであり、基板の搬送速度は１００〜２００ｍｍ／ｓｅｃであり、Ｙ軸方向におけるフォトマスク上の開口パターンが形成される領域の長さは、１５０〜２５０ｍｍである。これによって、ブラインドシャッター復帰時に光源が遮られることに起因する露光量減損率は３％以下となる。 （もっと読む）

【課題】増加された輝度を可能にすると共に、より短い系の設計長さによって特徴づけられた投射型ディスプレイを提供する。
【解決手段】少なくとも一つの光源１１０、サブエリア１２４の二次元分布１２２にフレームを表すように構成された少なくとも一つの反射型画像生成器１２０、光学投射素子１３４の二次元配列１３２を有し、フレームの画像が、全体像１６０を形成するために、像面１５０内で重畳するように、投射する毎に像面１５０上へ少なくとも一つの画像生成器１２０の関連するサブエリア１２５を撮像するように構成された投射光学素子の配列、そして、一方では少なくとも一つの反射型画像生成器１２０と光学投射素子１３４の二次元配列１３２との間の光路、そして、他方では少なくとも一つの光源１１０と少なくとも一つの反射型画像生成器１２０との間の光路の範囲内に配置されたビームスプリッタ１４０を含んでいる投射型ディスプレイ１００。 （もっと読む）

【課題】フィルム基材を被印刷基材に使用した場合に、印刷時に被印刷基材の印刷面に凹凸が生じにくいようにすること。
【解決手段】被印刷基材６の非印刷面側に、クッション層２１と強磁性体層又はマグネット層２２を有する裏面用基材２をラミネートし、裏面用基材２が印刷定盤４に接触するようにフィルム基材６を印刷定盤４上に乗せる。そして、印刷定盤４の表層部分４１又は内部の電磁石４４の磁力により強磁性体層又はマグネット層２２を磁着することで、裏面用基材２を介して被印刷基材６を印刷定盤４上に固定する。この状態で、色インキを用いてフィルム基材６上に任意のパターンを形成した後、電磁石４４の磁力を解除又反転させて印刷定盤４上からフィルム基材６を裏面用基材と共に取り外す。そして、裏面用基材２をフィルム基材６から分離させることで、フィルム基材６上に精細パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】高精度にカラーフィルタと位置合わせすることができる反射型カラー画像表示装置の製造方法と、この製造方法を実施する際に用いて好適な画素電極基板とを提供する。
【解決手段】画素電極基板２が背面側に重ね合わされた画像表示体１の前面側にカラーフィルタ基板３を重ね合わせて構成される反射型カラー画像表示装置の製造方法であって、画素電極基板２として、通電により画像表示体１に位置合わせマークを表示させるための位置合わせマーク表示用電極２３を基材２１上に１又は複数設けた画素電極基板２を用い、画素電極基板２を重ね合わせた画素電極基板２の位置合わせマーク表示用電極２３に通電し、画像表示体１に位置合わせマークを表示させた状態で、表示させた位置合わせマークとカラーフィルタ基板３に予め設けられた位置合わせマーク３３とを用いて位置合わせしつつ、カラーフィルタ基板３を画像表示体１に重ね合わせて貼り合わせる。 （もっと読む）

【課題】半透過型液晶表示装置を用いるに当たり、右眼用及び左眼用の各輝度情報を両眼で均等に知覚できるようにすることで、立体画像の視認性の向上を図る。
【解決手段】画素２０_A内において、副画素２０_R，２０_G，２０_Bの配列方向と直交する方向、即ち、行方向（水平方向）における中央部に透過部２１を設け、当該透過部２１を挟んでその両側に反射部２２_A，２２_Bを設ける画素構成とする。すなわち、透過部２１及び反射部２２_A，２２_Bを画素２０_A内において、画素中心に関して左右対称に設ける。そして、パララックスバリア１２を、遮光部１２４が画素２０_Aの中心に対応する部位に位置し、透過部１２５が画素２０_C，２０_C間に対応する部位に位置するように設ける。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークを備える基板の位置決めにおいて、アライメントマークの正確な位置が未知である場合においても、正確に基板の位置合せを行なう。
【解決手段】基板２におけるアライメントマークの位置と同じ位置にアライメントマークを備える基準板を位置決めし、前記位置決めされた前記基準板におけるアライメントマークの位置を測定し、前記測定された前記アライメントマークの位置と同じ位置に前記基板のアライメントマークが位置するよう該基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】大きな視域を発生するが、クロストークを殆ど又は全く生じないマルチビューディスプレイを提供する。
【解決手段】第一のピッチで構成された複数のイメージングユニットを具備するディスプレイパネルと、ディスプレイパネルを照射するために配置された光源と、複数のイメージングユニットで光の線のイメージを作り出すために光源によって放出された光を集束させるために配置され、第二のピッチで複数のレンズを具備するレンチキュラースクリーンとからなるマルチビューディスプレイにおいて、第二のピッチは、レンズが、互いに間隔を空けられたものであるイメージングユニットの二つにイメージを作り出すと共に、隣接のイメージングユニットが、異なるレンズによって作り出されたイメージによって照明されるように、第一のピッチの整数の倍数に実質的に等しくなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】バキューム・テーブルを備えたプリベーク装置で発生する、熱処理時の吸着状態や接触状態に起因するカラーフィルタ基板の面内で外観上のムラを発生させないプリベーク装置提供する。
【解決手段】加熱処理部７０Ａと冷却処理部７０Ｂで構成され、加熱処理部内に、加熱処理ローラー８０Ａが、その長手方向をガラス基板６０の搬送方向と直角にして、複数個が平行にフレーム８２Ａ間に、その上面を同一面として水平に設けられ、冷却処理部内に、冷却処理ローラー８０Ｂが、その長手方向を前記搬送方向と直角にして、複数個が平行にフレーム８２Ｂ間に、その上面を前記同一にして水平に設けられ、加熱処理ローラー上のガラス基板を水平に搬送しながら加熱処理を行い、冷却処理ローラー上のガラス基板を水平に搬送しながら冷却処理を行う。 （もっと読む）

【課題】小型かつローコストの反射型液晶プロジェクタを提供する。
【解決手段】ＰＢＳシート２７は、照明光の入射光軸αと、これに直交する反射光軸βの両方向に対して直交する方向を中心軸として、パネル面２０ａに対して凹状の円弧状に湾曲されている。光源部１３から照射された照明光は、偏光変換素子１４によってＳ偏光光に変換され、ロッドインテグレータ１６でエネルギー分布が均一化されてカラーホイール１７によって順次にＲ，Ｇ，Ｂの色光に変換され、ＰＢＳ１９に照射される。照明光は、ＰＢＳシート２７によりほぼ全反射して液晶表示パネル２０へ向けて照射される。ＰＢＳシート２７で反射した照明光は、パネル面２０ａを過不足無い照射範囲で照明する。パネル面２０ａで反射されたＲ，Ｇ，Ｂの各成分画像が順次にスクリーン３０上に投影され、スクリーン３０上で合成され、フルカラー画像が観賞できる。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】露光工程でのフォトマスクに起因した欠陥が発生しても、連続して作業を行うことを可能とする、カラーフィルタの露光による欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】フォトレジスト層へのフォトマスクを介したパターン露光Ｐｅ、続く現像によりブラックマトリックス４１又は着色画素４２を形成する際に、フォトマスクに起因した共通欠陥Ｋ１を修正するために、現像後の検査にて予め検出された共通欠陥の位置、形状をもとにした第２露光２ｅを現像前に与えておくこと。第２露光にレーザー光を用いること。第２露光の形状を共通欠陥の形状より大きな形状とし、現像後に余分な領域を除去して所望の形状とすること。 （もっと読む）

【課題】光の乱反射を減らした液晶ディスプレイ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の基板が相互対向して配され、その間に液晶層が形成された液晶ディスプレイパネルと、液晶ディスプレイパネルの下部に配され、液晶ディスプレイパネルに光を照射するバックライトユニットと、を備えるが、液晶層が形成された部分に対して離隔して配された基板の表面に形成された欠陥ホール内に充填され、基板の表面に対して水平面になるように充填材が形成され、充填材が充填された欠陥ホール上にカバー部材が付着されたことを特徴とする液晶ディスプレイ装置である。これにより、充填材によって欠陥ホールが形成された領域を充填させるので、光の乱反射を未然に防止する。このように、エッチング工程で発生する物理的な限界を克服して超薄型加工を通じて薄型のディスプレイ装置を具現可能である。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生あるいはヒロックの発生を防止しつつ、素子基板に入射した光を効率よく反射して、表示光量を増大させることのできる液晶装置、液晶装置の製造方法、および投射型表示装置を提供すること。
【解決手段】反射型の液晶装置１００において、反射性の画素電極９ａより下層側には、隣り合う画素電極９ａにより挟まれた隙間領域９ｓ、９ｔに重なるアルミニウム配線からなる反射性配線（データ線６ａおよび容量線５ｂ）が設けられ、隙間領域９ｓ、９ｔに入射した光を反射性配線（データ線６ａおよび容量線５ｂ）で反射し画像の表示に利用することができる。データ線６ａおよび容量線５ｂの表面には、隙間領域９ｓ、９ｔと重なる領域を露出させる遮光性保護層８６ａ、８５ｂが窒化シリコン膜等により形成されている。 （もっと読む）

【課題】帯状の基板にデバイスを効率的に製造できる露光装置を提供すること。
【解決手段】所定の円筒面に沿ってパターンを有するマスクを円筒面の円周方向に回転させつつパターンを基板に転写する露光装置であって、パターンのうち円筒面の第一領域に位置する第一部分パターンの像を第一投影領域に投影する第一投影光学系と、パターンのうち第一領域から円周方向に沿って間隔を置いた第二領域に位置する第二部分パターンの像を、第一投影領域と異なる第二投影領域に投影する第二投影光学系と、マスクの円周方向への回転に同期して、第一投影領域及び第二投影領域を経由するように基板を搬送する基板搬送装置と、を備え、搬送装置は、第一投影領域と第二投影領域との間における基板の搬送経路の経路長を調整する経路調整装置を含む。 （もっと読む）

【課題】立体映像結像装置を提供する。
【解決手段】液晶層と、カラーフィルタと、レンズアレイと、複数の遮光素子と、光学シートとを備える。レンズアレイ単元は複数のカラーフィルタの表面に設けられたレンズ素子を備え、遮光素子の設置位置は実務の需要に応じて、カラーフィルタの表面、レンズ素子の表面またはカラーフィルタの内部に直接成形することができる。遮光素子はレンズ素子の隙間に対応して間隔を置いて設置される。前述構造の組み合わせにおいて、液晶層とカラーフィルタと、光学シートとの組み合わせは液晶表示パネルの構造と見なし、レンズアレイと遮光素子を直接液晶表示パネルに取付ければ、散乱光の発生を防止し、立体映像の鮮明度が向上され、高輝度の表示効果等の効果のほか、重ね合わせた厚みを有効に軽減でき、生産プロセスを簡素化できる。 （もっと読む）

【課題】低コストで光を効率良く利用可能なプロジェクターを提供すること。
【解決手段】レーザー光を射出する光源１０Ｒ、１０Ｇ、１０Ｂと、画像信号に応じて前
記レーザー光を変調する空間光変調器である液晶表示装置１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂと、空
間光変調器での変調を経た光を投写する投写光学系１６と、励起光の照射によって励起さ
れて所定の波長領域の蛍光を発生させる蛍光体１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂと、を有し、蛍光
体１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂは、空間光変調器と投写光学系１６との間の光路中に配置され
、空間光変調器を経た光が励起光として入射することによって励起される。 （もっと読む）

【課題】膜厚均一な樹脂膜を広い領域に形成する。
【解決手段】本発明の印刷装置１は蒸気発生装置２０を有しており、印刷ヘッド５５で塗布液が基板１１上の印刷領域に塗布されると、塗布された部分は蒸気発生室２６内に送られる。蒸気発生装置２０は蒸気放出面２２に形成された小孔から加湿液の蒸気を放出し、その蒸気が蒸気発生室２６内に充満して加湿雰囲気が形成されるので、印刷された塗布液はその加湿雰囲気に置かれると、加湿液の蒸気で膨潤する。従って、印刷領域の残りの部分が印刷されている間に、先印刷された部分が乾燥しないので、印刷後の塗布液は全体が膨潤した状態が維持され、乾燥工程で乾燥むらが起こらず、膜質の良い樹脂膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、巻内および巻外での寸法ずれがないロール状フィルム基材を得ることができるロール状フィルム基材の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明においては、フィルム基材上に空隙部材を配置した空隙部材積層フィルム基材を巻回し、ロール状フィルム基材を準備するロール状フィルム基材準備工程と、上記ロール状フィルム基材の含水率が、所定の温湿度雰囲気下における含水率に達するまで、上記ロール状フィルム基材を上記温湿度雰囲気下で保管する保管工程とを有することを特徴とするロール状フィルム基材の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】基板表面の観察を妨げることなく、大型の基板を安定にチャックできるチャック装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置のチャック装置２は、その上に修正対象のカラーフィルタ１０が載置されるガラス定盤３と、ガラス定盤３の外周部を下から支持する支持台４と、ガラス定盤３の略中央部を下から支持する支持バー３０と、カラーフィルタ１０の表面の欠陥が支持バー３０の上方に位置する場合、支持バー３０を他の位置に移動させるアクチュエータ３１，３２とを備える。したがって、欠陥の観察を妨げることなく、ガラス基板３の撓みを防止できる。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ露光装置において、基板を移動するステージをリニアモータにより駆動する際、ステージの温度変化を小さくして、パターンの焼付けを精度良く行う。
【解決手段】ステージの温度を検出し、運転開始時又は運転中に、マスクホルダ２０にマスク２が保持され、かつチャック１０に基板１が搭載されていない状態で、検出したステージの温度が下限値未満であるとき、リニアモータによりステージを駆動して、リニアモータの熱でステージの温度を下限値より高い基準値以上に上げる第１の慣らし運転を行う。運転開始前又は運転中にステージの温度が下限値未満に下がっても、露光処理中のステージの温度変化が小さくなり、パターンの焼付けが精度良く行われる。 （もっと読む）