【課題】 本発明は、ガラス基板やフィルム基板等の基板どうしを貼り合わせる際に、両基板の間隔が不均一にならず、液晶表示のコントラストが不均一になる等の問題が生じにくい粘着チャック装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 粘着チャック装置１は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ベース部材１１上に、粘着部材１２を有する。ベース部材１１には貫通孔１３を複数有し、該貫通孔１３は後述するように、ガラス基板やフィルム基板等の基板を粘着部材１２から剥離する際に使用する気体等を供給するためのものである。実施形態においては、粘着部材１２は凹部１４を有し、上記剥離する際に使用する気体等が供給しやすいようになっている。基板を保持する前記粘着部材１２が伸縮する。前記粘着部材１２は、粘着部と非粘着部を有し、ウレタンゲルを含むことが好ましい。また、前記粘着部材１２内に押圧部材を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ガラス基板やフィルム基板等の基板どうしを貼り合わせる際に、両基板の間隔が不均一にならず、液晶表示のコントラストが不均一になる等の問題が生じにくい粘着チャック装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 粘着チャック装置１は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ベース部材１１上に、粘着部材１２を有する。ベース部材１１には貫通孔１３を複数有し、該貫通孔１３は後述するように、ガラス基板やフィルム基板等の基板を粘着部材１２から剥離する際に使用する気体や剥離ピンを挿入するためのものである。第１実施形態においては、粘着部材１２は凹部１４を有し、上記剥離する際に使用する気体や剥離ピンが挿入しやすいようになっている。基板を保持する粘着部材１２がウレタンゲルを含む。前記粘着部材１２が、保持される基板と接する同一面内に、粘着部と非粘着部を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】表示されるべき画像の品質を向上することができる液晶表示パネル、およびこれを備えた液晶表示装置を提供する。
【解決手段】液晶表示パネル１は、第１貫通孔が形成された第１基板２と、第２貫通孔が形成された第２基板３と、第１基板２と第２基板３との間に狭持された液晶材４と、第１基板２上に設けられた第１電極２ａと、第２基板３上に設けられた第２電極３ａと、第１基板２と第２基板３との間にあって、かつ液晶材４を囲むようにして設けられた外側シール材５と、第１基板２と第２基板３との間にあって、かつ第１貫通孔および第２貫通孔を囲む内側シール材７とを備え、内側シール材７の周囲には、第１貫通孔および第２貫通孔が形成されていることに起因する、第１電極２ａおよび第２電極３ａが迂回するための迂回領域Ｎを有しており、迂回領域Ｎにおける、第１電極２ａまたは第２電極３ａ上には、補強部材９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板間の間隔を調節するために上定盤と下定盤の間隔を調整するとき、微細な回転現象の発生がなく、上定盤全体が均一に移動できる基板合着装置を提供する。
【解決手段】上部チャンバー３００と、上記上部チャンバー３００の下方に配置されて、板形状に形成される上定盤と、上記上定盤の外側端に突出して設けられる支持ピン３５０と、上記上部チャンバー３００に接して基板の合着空間を形成する下部チャンバー４００と、上記支持ピン３５０を支持して、端部が上記支持ピン３５０を受容する溝形状のプッシュロード４１２と、上記下部チャンバー４００の縁部に設けられ、上記プッシュロード４１２を昇降させるアクチュエータ４１１と、を包含して構成する。 （もっと読む）

【課題】外力により基板に不均一な応力が分布することを防止し、基板の扁平度を保持し、合着基板の品質を向上させる。
【解決手段】基底部８０と基底部の上面に絶縁層９１、電極層９２、誘電層９３からなる静電力発生部とからなる静電チャック装置において、上記基底部は、弾性復原力を有する弾性素材からなる弾性層を具備することを特徴とする静電チャック装置及びそれを備えた基板合着装置を提供する。基底部は、弾性復原力を有する弾性素材からなる弾性層と、その一面に位置した非弾性素材からなる非弾性層とからなる２層構造である。 （もっと読む）

【課題】従来の製造プロセスからの大きな変更を抑えつつ薄型化および軽量化を図るとともに、歩留まりを向上した表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】大判ガラス基板33上の有効表示部17の外方に構造体42を形成する。対向用大判非ガラス基板38を、大判ガラス基板33に貼り合わせて中間パネル45を形成する。中間パネル45から大判ガラス基板33を除去し、アレイ側機能層35側をアレイ用非ガラス基板に転写し、構造体42を除去する。構造体形成工程を追加するだけで中間パネル45までを従来の製造プロセスで製造できるので、従来の製造プロセスからの大きな変更を抑えつつ、薄型化および軽量化を図ることができる。構造体42により、アレイ側機能層35の有効表示部17の外方の部分の自己支持性が向上するので、アレイ側機能層35をアレイ側大判非ガラス基板に転写しやすくして歩留まりを向上できる。 （もっと読む）

【課題】高さの異なるパターン構造物を簡易な方法で効率よく作製できるパターン構造物の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上の下地膜１２上に、感光性樹脂層を形成し、パターン露光し、現像して、基板表面から頂点までの高さが異なる２種以上のパターン構造物１４Ａ及び１４Ｂを形成し、下記式１及び下記式２を満たす。
１．０≧（（ｈ１＋Ｈ１）−（ｈ２＋Ｈ２））／（Ｈ１−Ｈ２）≧０．８ … 式１
１．２μｍ≧Ｈ１−Ｈ２≧０．２μｍ … 式２
〔Ｈ１；膜厚が厚い領域Ａにおける下地膜の膜厚（μｍ）：Ｈ２；膜厚が薄い領域Ｂにおける下地膜の膜厚（μｍ）：ｈ１；膜厚が厚い領域Ａにおける下地膜表面からパターン構造物１４Ａの頂点までの距離（μｍ）：ｈ２；膜厚が薄い領域Ｂにおける下地膜表面からパターン構造物１４Ｂの頂点までの距離（μｍ）〕 （もっと読む）

【課題】
従来のビーズ入り接着剤により封止を行った液晶エタロンフィルタでは、フ接着剤の膨張などの影響により、ガラス基板の間隔が変化し、波長制御が安定しないことがあった。
【解決手段】
2枚のガラス基板を、シリコンや強い酸化性を有する金属薄膜で覆われたガラス、シリコンを間に挟んで陽極接合により貼り合せ、中間に液晶を注入した液晶エタロンフィルタを形成することで、スペーサ間隔の減少、増大の両方向にガラス基板を強固に固定して、ガラス基板間隔の変動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性が圧電素子によってばらついているような場合であっても、インクの着弾位置のばらつきをなくし、歩留まりの向上を図ることを目的とする。
【解決手段】インクジェットヘッド３０に配列した設けたノズル４０は、先端に液体のノズル孔４５を設けたインクを充填するためのチャンバ４１と、このチャンバ４１に設けられる圧電素子４２とを有しており、この圧電素子４２に電圧を印加することによりチャンバ４１の容積を変化させて、インクをノズル孔４５から噴射させるようにしたものであり、各ノズル４５から噴射したインク液滴の飛翔速度を、インク液滴ごとに個別的に測定する速度測定部６２と、測定されたインク液滴ごとの飛翔速度に基づいて、ノズル４０ごとに圧電素子４２への印加電圧を個別的に変化させる制御を行う電圧設定部６４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高価で高精度なステージを不要とし、低価格で高精度な装置を提供できて、生産品の製造コストを低減できる工程処理装置を提供する。
【解決手段】ずれ量計測要否判断部１７は、副走査方向９への工程処理部３の目標位置に対する実際の位置のずれ量を、新たに計測する必要があるか否かを予め定められた基準に基づいて判断する。補正移動量算出部１８は、ずれ量計測要否判断部１７により新たなずれ量の計測が必要であると判断された場合、新たに計測されたずれ量に基づいて、工程処理部３の副走査方向９の補正移動量を算出する一方、ずれ量計測要否判断部１７により新たなずれ量の計測が必要でないと判断された場合、予め記憶されたずれ量に基づいて、工程処理部３の副走査方向９の補正移動量を算出する。ステージ制御部１３は、補正移動量算出部１８により算出された補正移動量に応じて工程処理部３の副走査方向９の移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネル用の一対のガラス基板を加圧して貼り合わせる上部ステージと下部ステージとの間の平行度にずれが生じていても良好に貼り合わせることが可能な液晶表示パネルの製造装置を提供すること。
【解決手段】枠状に塗布されたシールで囲まれた領域に液晶が滴下された第１の基板を保持する下部ステージと、第１の基板に貼り合わせられる第２の基板を保持する上部ステージとが互いに対向して備えられ、これら下部ステージと上部ステージとの間で第１の基板と第２の基板とが加圧されて貼り合わせられる液晶表示パネルの製造装置であって、下部ステージには、第１の基板が載置される複数の樹脂パッドが縦横に列設されると共に、第１の基板のシールに対応して配置された樹脂パッドが、第１の基板のシールで囲まれた領域に対応して配置された樹脂パッドよりも高い硬度を有している。 （もっと読む）

【課題】極めて簡単なパターンで、ギャップ出しの後に封止材を要しない外周シール材を得る液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】シール材を介して一対の複数枚取り基板を貼り合わせる工程と、前記一対の複数枚取り基板の切断によって液晶セル毎の分離を行う工程を備え、前記シール材は、前記各液晶セルの領域毎に形成した個別シール材ＳＬｅと、これら各個別シール材を囲んで形成した外周シール材ＳＬｃとから構成され、前記一対の複数枚取り基板の貼り合わせの際に、前記一対の複数枚取り基板の間を減圧しながら前記一対の複数枚取り基板の間のギャップ出しを行うものであって、前記外周シール材ＳＬｃは、前記一対の複数枚取り基板の貼り合わせよりも前に、前記一対の複数枚取り基板のうちいずれか一方の複数枚取り基板に形成し、その延在方向に該一方の複数枚取り基板に対して高低差を有する連続した環状のパターンで形成する。 （もっと読む）

【課題】ウェブフィルムやシートの変形を防止しつつシール剤に固定作用を生じさせることが可能なアライメント貼合装置及びアライメント貼合方法を提供する。
【解決手段】アライメント貼合装置は、重ね合わせたウェブフィルムＷとシートフィルムＳとの間に挟まれたシール剤３１に固定作用を生じさせる固定部５を備え、固定部５には、重ね合わせたウェブフィルムＷ及びシートフィルムＳを載置する石英ステージ６２と、載置されたウェブフィルムＷ及びシートフィルムＳに対して圧力を加えるプレスステージ６３と、プレスステージ６３を石英ステージ６２に対して接近及び離間させるプレスステージ駆動機構６５と、シール剤３１を固化するＵＶ光源６１と、が設けられている。 （もっと読む）

【課題】互いに色が異なる着色層間での線幅や厚みのばらつきを抑制することのできるカラーフィルタの製造方法と、このカラーフィルタの製造方法での使用に適したカラーフィルタ用インキとを提供すること。
【解決手段】重量平均分子量が７０００〜３００００のバインダ樹脂と、着色剤と、チクソトロピー付与剤と、溶剤とを含み、せん断速度１ｓ^−１における粘度η_１が１０〜２０Ｐａ・ｓで、この粘度η_１のせん断速度１２ｓ^−１における粘度η_１２（Ｐａ・ｓ）に対する比η_１／η_１２（チクソトロピーインデックスＴＩ）が１．１〜１．７である、互いに色が異なる３種以上のインキ４，８，１１を、透明基板５に順次印刷する。次いで、透明基板５上のインキパターン６，９，１２を平坦化し、硬化することにより、カラーフィルタの着色層を形成する。 （もっと読む）

【課題】平面度の高い状態で基板を保持できる基板貼り合せ装置及び基板貼り合せ装置の制御方法を提供すること。
【解決手段】上定盤の下面における支持棹（吸着パッド）の間に粘着機構部５２を設けた。粘着機構部５２は、隣接する支持棹（吸着パッド）の間に複数の貫通孔７２が形成された加圧板７１と、下面７３よりも下方に突出するように設けられた粘着部材７４とを備えた。また、粘着機構部５２は、各貫通孔７２内に配置されるとともに加圧板７１の下面７３から出没可能に支持され、上基板保持装置により粘着機構部５２の近傍まで移動された第１の基板を上面側から吸着保持する吸着ヘッド７５を備えた。さらに、粘着機構部５２は、該吸着ヘッド７５に吸着された第１の基板を粘着部材７４に粘着させるように上昇させるアクチュエータ７６及び支持部材８２を備えた。 （もっと読む）

【課題】常温より高い温度の基板を支持する際、基板を搭載するテーブルを効果的に冷却し、テーブルの歪を小さくして、基板の表面の高さの変動を抑制する。
【解決手段】上面に常温より高い温度の基板を搭載するテーブル（１００，５００）と、テーブルの下面に設けられた冷却手段（１１２，１２２）と、テーブルの厚み方向に設けられた複数の孔（１０１，１０２）と、テーブルを構成する物質より熱伝導率の高い物質で構成され、複数の孔の内部に設けられて、テーブルの熱を冷却手段へ伝える複数の熱伝導手段とを備える。テーブルの厚み方向の熱伝導性が向上し、テーブルの上面付近が効果的に冷却されて、テーブルの上面付近の歪が小さくなる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット装置による基板上へのスペーサ粒子の配置を連続的に安定して行うことができ、表示品質に優れる液晶表示装置を得ることができるスペーサ粒子分散液、及び、液晶表示装置を提供する。
【解決手段】インクジェット装置を用いて、スペーサ粒子を基板上の任意の位置に配置するためのスペーサ粒子分散液であって、スペーサ粒子と溶媒とを含有し、前記スペーサ粒子は、基材微粒子の表面にプラス帯電ブロックとマイナス帯電ブロックとを含有するＡＢ型又はＡＢＡ型のブロック共重合体を有するスペーサ粒子分散液。 （もっと読む）

【課題】塗布断面積は線状パターンのどの位置においても均一でないと、液晶を封止するための２枚のガラス基板を貼り合わせた際、内側の液晶側や外側のガラス基板外部にはみ出してしまったり、シール性能の劣る箇所からの漏れが発生したりする恐れがある。
【解決手段】圧力応答曲線と速度変化曲線を重ね合わせるように調整することで、塗布断面積を一定にすることができる。さらに、圧力を変化させる際に多段階あるいは連続的に設定値を変更し、圧力変化時間を単段で切替えた場合の圧力応答時間より充分長くすることによって、速度変化の立ち上り立ち下りに関わらず変化し始めと変化し終わりの曲率をほぼ同等にすると共に、シリンジ内の塗布するペースト残量の変化による圧力応答性の変化を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】貼合せ基板の製造不良を低減することのできるプレス装置を提供する。
【解決手段】チャンバ７１内が大気圧下では基板Ｗ１，Ｗ２を上平板７２ａ及び下平板７２ｂにて真空吸着にてそれぞれ吸着保持し、チャンバ７１内が減圧下では各平板７２ａ，７２ｂに電圧を印加して静電吸着にてそれぞれを吸着保持する。そして、大気圧下から減圧下への切替時に基板Ｗ１，Ｗ２を吸着保持するための背圧をチャンバ７１内の圧力と等圧にする。これにより、基板Ｗ１，Ｗ２の落下，移動を防ぎ、基板Ｗ１，Ｗ２の貼合せ不良を低減する。 （もっと読む）

【課題】工程数を増やすことなく、素子基板に対して対向基板との隙間寸法を制御する柱状突起を光反射層の間に形成することのできる反射型液晶装置の製造方法、反射型液晶装置、電子機器、および投射型表示装置を提供すること。
【解決手段】反射型液晶装置１００の素子基板１０に柱状突起１１を形成するにあたって、樹脂塗布工程でネガタイプの感光性樹脂１３を塗布した後、露光工程で第２面１０ｙ側から感光性樹脂１３を露光すると、素子基板１０の透光領域１０ｔの感光性樹脂１３のみが露光されるので、現像後、画素電極９ａの上層には感光性樹脂層１３ａが形成されない。従って、現像後の感光性樹脂層１３ａをエッチングマスクとして用いて下層側の絶縁膜１２をエッチングして柱状突起１１を形成した場合、柱状突起１１が画素電極９ａの上層に形成されない。 （もっと読む）