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Fターム[2H092MA08]の内容

液晶−電極、アクティブマトリックス (131,435) | 製造方法 (16,988) | 製法、工程 (14,676) | 成膜方法 (5,204) | CVD (1,864) | プラズマ (1,102)

Fターム[2H092MA08]に分類される特許

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【課題】ダミー画素部に黒色のベタ状の画像を表示させた場合、ダミー画素電極には最大(又は最小)の電圧が印加され続けられる。一方、画素電極には、平均すれば中間調の電圧が印加される。この電位差によって発生する横方向電界により液晶層中に含まれるイオン性不純物が移動して偏在し、シミ状の表示むらが発生するという課題があった。
【解決手段】基板上に設けられ、画素電極が配列した表示画素部と、前記表示画素部を平面視で囲うように配列したダミー画素電極と、を備え、前記ダミー画素電極は、電気的にフローティング状態を取り、前記ダミー画素電極と前記画素電極との間隙は、前記画素電極間の間隔よりも小さい。そのため、ダミー画素電極の電位は、隣り合う画素電極の電位に近づく。そのため、横方向電界を緩和でき、シミ状の表示むらの発生を防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】本発明の実施例は非晶質酸化物薄膜トランジスタ及びその製造方法、ディスプレイパネルを開示する。
【解決手段】前記非晶質酸化物薄膜トランジスタは、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体活性層、ソース電極及びドレイン電極を含む。前記半導体活性層はチャネル層とオーミック接触層を含み、前記チャネル層は前記オーミック接触層に比べ酸素含有量が高い。また、前記チャネル層は前記ゲート絶縁層と接し、前記オーミック接触層は二つの独立したオーミック接触領域に分けられ、かつ前記二つの独立したオーミック接触領域はそれぞれ前記ソース電極、ドレイン電極と接する。 (もっと読む)


【課題】画素間領域に設けた絶縁膜によって画素電極に起因する凹凸を緩和する場合でも、画素電極の厚さを適正に制御することができる電気光学装置の製造方法、かかる方法により製造された電気光学装置、当該電気光学装置を備えた投射型表示装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】液晶装置の素子基板に画素電極9aを形成する際、画素間領域10fに沿って延在する格子状の凸部47fを備えた第1絶縁膜47を形成した後、第1絶縁膜47にコンタクトホール47aを形成し、その後、導電膜9および第2絶縁膜49を順次積層する。次に、研磨工程では、凸部47fが露出するまで研磨し、第2絶縁膜49および導電膜9を凸部47f(画素間領域10f)により分割する。 (もっと読む)


【課題】隔壁形成プロセスを省き、かつ、塗布法により半導体溶液を所望の場所に形成し、トランジスタ素子分離を行うことのできる薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】基板上に形成された梯子状の凸部を有するゲートバス電極と、ゲートバス電極の表面形状に沿うように当該ゲートバス電極上および基板上に形成されたゲート電極と、ゲート電極の凹凸に沿うようにゲート電極上および基板上に形成されたゲート絶縁体層と、ゲート絶縁体層の凹部内に形成された半導体層と、半導体層の中央に形成された保護膜と、半導体層の両端部で接続されたソース電極とドレイン電極とを備える。 (もっと読む)


【課題】薄膜トランジスタ(背面基板)とカラーフィルタの画素とを位置合わせを、より容易にする。
【解決手段】実質的に透明な第1の基板1と、上記第1の基板1上に設けられた実質的に透明なゲート電極2と、上記ゲート電極と同一層に離間して設けられた実質的に透明なキャパシタ電極3と、上記ゲート電極および上記キャパシタ電極を覆うように設けられた実質的に透明なゲート絶縁膜4と、上記ゲート絶縁膜上に設けられた半導体層5と、上記半導体層と接続した実質的に透明なソース電極6と、上記半導体層に接続すると共に上記ソース電極と離間して形成された実質的に透明なドレイン電極7と、少なくとも上記ドレイン電極上を覆うように形成された着色層11と、を備える。 (もっと読む)


【課題】上部遮光膜を備えなくともチャネル形成領域を遮光することができる表示層装置。
【解決手段】チャネル形成領域上にシリコンを含むゲート絶縁膜103を有し、ゲート絶縁膜を介して、チャネル形成領域上にゲート電極104と、容量配線とを有し、その上にシリコンを含む第2絶縁膜106を有し、第2絶縁膜上に、Alを含む第2配線を有し、その上に酸化シリコンを有する第3絶縁膜を有し、第3絶縁膜上に、Alを含む第3配線を有する表示装置であって、第2配線及び第3配線はチャネル形成領域を遮光することができる。 (もっと読む)


【課題】狭い領域内に高い容量値をもった蓄積容量を構成することができる電気光学装置、該電気光学装置を備えた投射型表示装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】液晶装置100においては、複数層の層間絶縁膜41〜45のうち、層間絶縁膜42に溝状凹部42eが設けられ、かかる溝状凹部42eの底壁42e1および側壁42e2に沿って形成された第1電極層5a、誘電体層40、および第2電極層7aにより蓄積容量55が構成されている。また、層間絶縁膜42には層間絶縁膜43が積層され、層間絶縁膜43において溝状凹部42eが反映されてなる凹部43eの内部で、第1電極層5a、誘電体層40、および第2電極層7aが蓄積容量55を構成している。 (もっと読む)


【課題】大面積化しても低消費電力を実現した半導体装置の構造およびその作製方法を提供する。
【解決手段】画面で使われる画素の薄膜トランジスタを作製する。その薄膜トランジスタにおいて、ソース配線、ゲート電極を同一平面上に作製する。また、ソース配線と薄膜トランジスタをつなぐ配線と、画素電極と薄膜トランジスタをつなぐ配線を同一工程で作製する。 (もっと読む)


【課題】隣接する画素の間に設ける絶縁膜は、バンク、隔壁、障壁、土手などとも呼ばれ
、薄膜トランジスタのソース配線や、薄膜トランジスタのドレイン配線や、電源供給線の
上方に設けられる。特に、異なる層に設けられたこれらの配線の交差部は、他の箇所に比
べて大きな段差が形成される。隣接する画素の間に設ける絶縁膜を塗布法で形成した場合
においても、この段差の影響を受けて、部分的に薄くなる箇所が形成され、その箇所の耐
圧が低下されるという問題がある。
【解決手段】段差が大きい凸部近傍、特に配線交差部周辺にダミー部材を配置し、その上
に形成される絶縁膜の凹凸形状を緩和する。また、上方配線の端部と下方配線の端部とが
一致しないように、上方配線と下方配線の位置をずらして配置する。 (もっと読む)


【課題】液晶表示装置において、開口率を高くするためにアレイ基板側にカラーフィルタを具備させ、そのために必要なコンタクトホールを形成するブラックマトリクスの樹脂組成物を、パターン形成に優れ、低膜厚での遮光性、規格内の比誘電率を備えた遮光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】複数色の着色画素に覆われた画素電極、液晶を駆動する薄膜トランジスタ、前記薄膜トランジスタを覆って設けられたブラックマトリクスとを備えるアレイ基板において、画素電極とドレイン電極をつなぐコンタクトホールを設けるブラックマトリクスを形成するための遮光性樹脂組成物であって、遮光成分として赤色顔料であるC.I.Pigment Red 254と、青色顔料であるC.I.Pigment Blue 15:3を含み、更に重合禁止剤としてメチルハイドロキノンを含んでいる。 (もっと読む)


【課題】トランジスタのチャネル部が形成される領域にU字状の縦長溝を形成し、見かけ上のチャネル長に対してチャネル長を長くする方法は、溝を掘るためにフォトリソグラフィ工程を余分に行う必要があり、コストや歩留まりの観点で問題があった。
【解決手段】ゲート電極または絶縁表面を有する構造物を利用し、三次元形状のチャネル領域を形成することにより、チャネル長が、上面から見たチャネル長に対して3倍以上、好ましくは5倍以上、さらに好ましくは10倍以上の長さとする。 (もっと読む)


【課題】カラーフィルタの遮光マスクとして金属膜を用いた従来の液晶表示パネルでは、
他の配線との寄生容量が形成され信号の遅延が生じやすいという問題が生じていた。また
、カラーフィルタの遮光マスクとして黒色顔料を含有した有機膜を用いた場合、製造工程
が増加するという問題が生じていた。
【解決手段】本発明は、遮光マスク(ブラックマトリクス)を用いることなく、対向基板
上に遮光部15、16として2層の着色層を積層した膜(赤色の着色層13と青色の着色
層12との積層膜、あるいは赤色の着色層13と緑色の着色層11との積層膜)を素子基
板のTFTと重なるよう形成する。 (もっと読む)


【課題】 製造歩留まりの高いアレイ基板、液晶表示装置及びアレイ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 アレイ基板は、複数の補助容量電極17と、複数の半導体層15と、複数のゲート電極20と、複数の補助容量線21と、複数の第1コンタクトホールCH1及び複数の第2コンタクトホールCH2を有した層間絶縁膜22と、複数の第1コンタクトホールを通って複数の半導体層のソース領域に電気的に接続された複数の信号線27と、少なくとも複数の第2コンタクトホールを通って複数のゲート電極に電気的に接続され、複数のゲート電極とともに複数の走査線19を形成する複数の接続電極28と、複数の画素電極34と、を備える。互いに隣合う一方の画素電極34が接続された補助容量電極17と、他方の画素電極34が接続された補助容量電極17とは、走査線19を挟んで対向している。 (もっと読む)


【課題】基板の選択性を広げつつ、電界効果移動度が高くノーマリーオフ駆動する薄膜トランジスタ等を得る。
【解決手段】活性層の成膜工程での成膜室中の雰囲気の全圧に対する酸素分圧をPodepo(%)とし、熱処理工程中の雰囲気の全圧に対する酸素分圧をPoanneal(%)としたときに、熱処理工程時の酸素分圧Poanneal(%)が、−20/3Podepo+40/3≦Poanneal≦−800/43Podepo+5900/43の関係を満たすように成膜工程と熱処理工程とを行う。 (もっと読む)


【課題】IPSにおける従来の技術は、工程数が多く、開口率が低いので、実用化できな
い。また、液晶層に最も近接している層に存在する配線及び電極が多く、画素表示部にお
ける個々の液晶にかかる電界が不均一であった。
【解決手段】本発明は、ゲイト線102、105とコモン線103、104を最初に同時
に形成し、層間膜形成後、画素電極108とコモン電極110、111とソ─ス線106
、107を同時に形成する。こうすることによって、電極パタ─ンを単純化でき、工程を
簡略化した。また、液晶層に最も近接している層に存在する配線及び電極を画素電極とコ
モン電極とソ─ス線とし、その形状を単純なものにした。 (もっと読む)


【課題】遮光層の遮光性能を低下させずに、素子基板に対する加熱処理を行うことのできる電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】液晶装置の製造工程において、素子基板用の基板本体10wの一方面10sに走査線3a(遮光層)、絶縁膜12を形成した後、半導体層1aを形成する半導体層形成工程、および半導体層1aに導入した不純物を拡散させる不純物拡散工程では、レーザーアニール装置やランプアニール装置等の加熱装置920によって、一方面10s側を他方面10t側より温度を高くした状態で加熱する。このため、走査線3aは高い温度に加熱されないので、走査線3aに用いたアルミニウム膜やタングステンシリサイド膜に溶融や再結晶化等が発生しない。 (もっと読む)


【課題】 光学センサを搭載したとしても額縁部分の大型化を防止することのできる画像表示装置を提供する。
【解決手段】 画像表示装置は、画像を表示する画像表示領域を有する表示パネルと、画像表示領域を覆うように設けられた透明絶縁性基板と、を備えている。透明な導電性部材からなる第一電極と、第一電極上に成膜され所定の波長の光を吸収することにより導電性が変化する光導電性膜と、第一電極と重なるように前記光導電性膜上に成膜された透明な導電性部材からなる第二電極と、を有する光学センサが、画像表示領域の内側に設けられた所定の領域に重なるように透明絶縁性基板上に配置されている。 (もっと読む)


【課題】アクティブマトリクス型基板において、薄膜トランジスタと、その端子接続部を
同時に作り込み、少ないマスク数で歩留まりの良い表示装置を提供する。
【解決手段】画素部および外部入力端子を有する表示装置であって、画素部は、ゲート電
極と、半導体膜と、ゲート電極上に形成された絶縁膜、および絶縁膜上に半導体膜と電気
的に接続された電極を有するTFTを有し、外部入力端子は、ゲート電極と同じ層に形成
された第1の配線と、電極と同じ層に形成され、絶縁膜に形成されたコンタクトホールを
介し第1の配線と接続された第2の配線と、第2の配線に接続され、第2の配線上に形成
された透明導電膜と、第2の配線と透明導電膜が接続している位置で透明導電膜と電気的
に接続するフレキシブルプリント配線板を有する表示装置。 (もっと読む)


【課題】オン電流を確保しつつ、オフ電流を低減した薄膜トランジスタを有する表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ゲート電極GTと、ゲート電極GTの上側に形成される結晶化された第1の半導体層MSと、第1の半導体層MSの上側に形成される、ソース電極STおよびドレイン電極DTと、第1の半導体層MSの側方から延伸して、ソース電極ST及びドレイン電極DTのうちの一方と第1の半導体層MSとの間に介在する第2の半導体層SLと、を有する表示装置であって、第2の半導体層SLは、第1の半導体層MSと接触して結晶化されて形成される第1部分SLaと、第1部分SLaよりも結晶性が低い第2部分SLbを有する、ことを特徴とする表示装置。 (もっと読む)


【課題】結晶性の高い微結晶半導体膜を生産性高く作製する方法を提供する。また、該微結晶半導体膜を用いて、電気特性が良好な半導体装置を生産性高く作製する方法を提供する。
【解決手段】反応室内に第1の電極及び第2の電極が備えられたプラズマCVD装置を用いて、堆積性気体及び水素を第1の電極及び第2の電極の間に配置された基板を含む反応室内に供給した後、第1の電極に高周波電力を供給することにより反応室内にプラズマを発生させて、基板に微結晶半導体膜を形成する。なお、プラズマが発生している領域において、基板端部と重畳する領域のプラズマ密度を、基板端部と重畳する領域より内側の領域のプラズマ密度より高くし、基板端部より内側の領域に微結晶半導体膜を形成する。また、上記微結晶半導体膜の作製方法を用いて、半導体装置を作製する。 (もっと読む)


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