【課題】フラットパネル修復に、検査切断修復結合ツール及び独立体積修復ツールの２種類が必要である
【解決手段】装置は、統合された検査機能と、材料除去機能と、材料堆積機能とを備え、検査動作、材料除去動作、及び材料堆積動作を同じ光軸に沿って実行する。装置は、部分的に、カメラと、一対のレンズと、１つ又は複数のレーザとを備える。第１のレンズは、検査を受けているターゲット基板上に形成される構造上に光軸に沿ってカメラを合焦させるために使用される。第１のレンズは、検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、構造上にレーザビームを合焦させて、その構造上に存在する材料を除去するためにも使用される。第２のレンズは、検査された構造が材料堆積を必要としていると識別される場合、レーザビームをリボン上に合焦させて、リボンに形成された埋め込みウェルから流動的複合物を構造に転写するために使用される。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。
【解決手段】樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源１と、光源１から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度が０．１以上となる４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ２と、光学フィルタ２を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ３とを備えたので、透明電極Ｐが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Ｐの形状を特定でき、透明電極Ｐの検査に必要な測定精度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】データ信号入力端子の上部に位置するＣＦガラス基板の切断に起因して後発生する、ソース信号線の膜剥がれ、膜浮きの低減、および膜剥がれ、膜浮きによる製造工程における品質歩留まりの低下の低減を可能にする液晶表示装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明の一実施形態における液晶表示装置は、上面上にマトリクス状に配置された複数のデータ信号線４と走査線を有する第１の基板８と、液晶９を介して第１の基板８の上面と対向配置され、第１の基板８の端部から退避した位置に切断端部２０を有する第２の基板５と、を備え、データ信号線４は、第２の基板５の切断端部２０の下部に対応する領域が、他の領域に比べ細く形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液晶表示素子表面の傷や打痕の検査を効率的且つ安定的に行うことが可能な液晶表示素子を提供する。
【解決手段】傷又は打痕の検査対象となる第ニ電極基板２の外表面に、検査対象エリアを縁取る検査用パターン１３を設ける。検査用パターン１３は、傷の検査規格に応じた長さを有する個片状の傷検査用パターン１３ａと、打痕の検査規格に応じた長さを有する個片状の傷検査用パターン１３ｂとが、検査対象エリアの縁に沿って複数個交互に配置された集合体で構成されている。検査者は、検査用パターン１３を見るだけで検査対象エリアを正確に特定することができ、また、傷検査用パターン１３ａと打痕検査用パターン１３ｂを参照することで、傷と打痕の良否判定を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイのソース・ドレイン間のWeak-SD欠陥と呼ばれる抵抗を介して導通状態にある欠陥を、保持時間を長くすることなく短時間で検出する。
【解決手段】ＴＦＴ基板のＴＦＴアレイに対して電圧を印加し、電子線照射により得られる二次電子を検出してＴＦＴアレイの欠陥を検出するＴＦＴアレイの欠陥検出において、ＴＦＴのソースおよび／又はゲートへの電圧を印加する電圧パターンにおいて、電圧値および／又は印加時期によってＴＦＴの内部リークによるリーク電流を増加させる特性パラメータに設定する。特性パラメータの設定において電圧値および／又は印加時期を設定することによってＴＦＴの内部リークによるリーク電流を増加させ、増加させたリーク電流によってＴＦＴの内部欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する電子部品のリードと周辺基板のリードとの未圧着部分の鮮明な画像を得、双方のリード間の位置ずれを正確に測定できるようにする。
【解決手段】表示基板の周囲に接続された可撓性を有する電子部品のリードおよび周辺基板のリードを、電子部品および周辺基板の面に対して実質的に垂直方向から撮影する撮像部１３と、この撮像部１３の光軸Ｌに対する入射角が所定角度以下の光を、電子部品および周辺基板のリードに照射する照明部１４と、撮像部１３で撮像された電子部品のリードと周辺基板のリードとの接続部分に対応する画像データから、接続部分における電子部品のリードと周辺基板のリードとの位置ずれを検出する位置ずれ検査部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】表示パネルと電子部品又は電子部品搭載基板との接続箇所を検査する際に、撮影した画像でそれぞれの面の様子が良好に判るようにする。
【解決手段】被検査対象となる表示パネルと電子部品又は電子部品搭載基板との接続部を、撮影部で撮影する。その撮影時に、撮影部のレンズの光軸と同じ方向から同軸落射で照明光を投射すると共に、レンズの光軸と所定の角度を持った方向から照明光を投射する。そして、同軸落射方式で照明した状態で撮影を行い、その撮影画像から接続部の表示パネル側の状態を判別する。また、所定の角度を持った方向から照明した状態で撮影を行い、その撮影画像から接続部の電子部品又は電子部品搭載基板側の状態を判別する。同軸落射による照明光と、所定の角度を持った照明光は、色を変えて同時に照射して、撮影でカラー画像を得て、色分離された画像からそれぞれの状態を判別するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】 ＴＦＴやＣＦは透明膜と不透明膜で積層された多層膜構造からなる。このような多層構造で異物等の不具合が生じた場合、異物がどの層にあるのかを早期に特定することが重要だが、集積イオンビーム(FIB)で加工した断面を電子顕微鏡(SEM)を用いて観察する方法では異物のある箇所は電子顕微鏡観察においては不透明であるうえ、作業効率が低い。
【解決手段】本発明にかかる液晶パネルの検査方法は、液晶パネル内に異物等の不具合が生じた場合、光学式顕微鏡により当該異物にピントを合せた後に、顕微鏡の視野範囲内、具体的には当該異物と同じ画素または隣接画素に形成された複数の不透明なダミーパターンに逐次ピントを合せることにより、当該異物がある層を特定するものである。 （もっと読む）

【課題】 貼付対象の表面（リード部）に貼り付けたＡＣＦの貼付位置が、貼付許容領域の外側にはみ出ていることを検出できるようにする。
【解決手段】 基板に形成されたリード部１２に貼り付けられたＡＣＦ２２の貼付状態を検査するＡＣＦ貼付状態検査装置であって、検査対象基板１０のリード部１２とＡＣＦ２２を撮像する撮像部と、該撮像部が撮像したリード部１２とＡＣＦ２２の画像から、リード部１２に貼り付けられたＡＣＦ２２の貼付状態を判定する判定部と、を備える。
上記判定部は、リード部１２の上に貼り付けられたＡＣＦ２２の周囲の所定位置に貼付許容領域３２Ｔ，３２Ｂ，３２Ｒ，３２Ｌを設定し、ＡＣＦ２２が貼付許容領域３２Ｔ，３２Ｂ，３２Ｒ，３２Ｌの外側にはみ出しているか否かを検出し、はみ出していないときは貼付状態が適切であり、はみ出しているときは貼付状態が不良であると判定する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の表面のＡＣＦの貼付状態の検出精度を向上させる。
【解決手段】ＡＣＦが貼付されたフレキシブル基板１０に対して、フレキシブル基板１０の表面と所定の角度を持って照明光を照射する照明部１と、フレキシブル基板１０の表面と所定の角度を持って配置されて、フレキシブル基板１０の表面から照明光が反射した反射光を撮像する撮像部４，５とを備える。さらに、照明部１とフレキシブル基板１０の表面との間、又はフレキシブル基板１０の表面と撮像部４，５との間の少なくとも一方に偏光フィルタ３を配置する。その上で、照明部１を、フレキシブル基板１０のプリント回路基板との接続部１１側に近づけて配置し、撮像部４，５を、フレキシブル基板１０の表示パネルとの接続部１２側に近づけて配置し、フレキシブル基板の表示パネルとの接続部が、プリント回路基板との接続部よりも近い距離で撮像されるようにした。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤモジュールに搭載される部材の端部を良好に検出すること。
【解決手段】端部検出装置１０は、ＦＰＤモジュールに搭載される部材を載置する載置面に、入射光を乱反射する仕上げ処理が施されたヘッド部１３と、ヘッド部１３に載置される部材の端部を撮像して画像を出力する撮像部１４と、を備える。また、撮像部１４が有するレンズ１４ａの光軸に対して、レンズ１４ａより外側の領域へ傾けた位置に配置され、部材及び載置面に光を照射する光源１１と、画像に含まれる部材及びヘッド部１３の載置面のコントラスト比を求め、コントラスト比が閾値を超える領域を、部材の端部として検出する端部検出部１５と、を備える。端部検出部１５は、ＡＣＦを部材に貼り付ける場合にＡＣＦの端面を部材の端面に合わせて、ＡＣＦを正確に切断できるように位置を調整する指示を行う。 （もっと読む）

【課題】１つのＴＦＴアレイ領域に２つのゲート駆動回路が設けられた基板においてゲート駆動回路の検査を行う場合において、いずれか一方のゲート駆動回路に欠陥がある場合でもゲート駆動回路の欠陥を検出する。
【解決手段】検査対象である基板が備えるゲート駆動回路に駆動信号を供給するゲート駆動回路用ドライバ部と、検査対象である基板が備えるＴＦＴアレイ領域を走査し、走査で得られるＴＦＴアレイ領域の走査画像に基づいて、ゲート駆動回路およびＴＦＴアレイ領域の駆動状態を検出する検出部とを備える。ゲート駆動回路用ドライバ部は、２つのゲート駆動回路に対して駆動信号を個別に供給しＴＦＴアレイ領域を個別に駆動する。検出部は、各ゲート駆動回路の駆動時における２つの走査画像を取得し、各走査画像上の非駆動部位を検出し、各走査画像で検出された非駆動部位の出現状態に基づいてＴＦＴアレイ領域とゲート駆動回路の非駆動状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】データ集積回路の小型化にかかわらず、接続線の不良を検出することが可能な、液晶表示装置、および液晶表示装置の検査方法を提供する。
【解決手段】走査線およびデータ線に接続されるように形成される画素と、データ線に電気的に接続されるデータパッドと、データパッドを経由してデータ線にデータ信号を供給するためのデータ集積回路と、データパッドにそれぞれ接続され、データ集積回路と重なるように形成される第１データトランジスタと、データ線にそれぞれ接続され、データ集積回路と重ならない領域に形成される第２データトランジスタと、を備える液晶表示装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】走査幅が一定であることに起因する欠陥の誤検出の問題を解決し、欠陥の誤検出を低減し、欠陥の検出精度を向上させる。
【解決手段】一定の走査幅Ｗｓによって取得した走査範囲２１の信号画像において、走査方向の両端部分の信号画像を除き、中央部分の信号画像のみを用いて欠陥検出を行う。ＴＦＴ基板アレイ検査において、ピクセル３０のサイズＷｐにかかわらず一定の走査幅ＷｓでＴＦＴ基板上の走査範囲２１を走査し、電子線の走査によって取得される検出信号によって、前記走査範囲２１の信号画像を形成し、信号画像を、ピクセル３０の欠陥検出を行う検出範囲２２と、ピクセル３０の欠陥検出を行わない不検出範囲２３とに区分し、検出範囲の信号画像の信号強度に基づいてピクセル３０の欠陥検出を行い、欠陥検出で検出された欠陥ピクセルに対応するアレイを欠陥アレイとして検出する。 （もっと読む）

【課題】 異方性導電膜に含まれる導電性粒子密度を直接測定する手段がなかった。異方性導電膜の粒子密度バラツキがあっても判らなかった。
【解決手段】 ＩＣチップ１の能動面に配線禁止領域１０を設け、ＩＣチップ１が実装される表示素子の透明基板９に配線禁止領域に対応するように透明な透視領域３を設ける。透視領域３を通して配線領域上に配置された導電性粒子７の数を測定することで、異方性導電膜に含まれる導電性粒子密度を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】カメラを迅速に移動させて、基板の位置決めに要する時間を短縮化して作業効率の向上を図る。
【解決手段】基板を保持する基板保持テーブルと基板の側縁部のテープ貼り付け位置に、テープ部材に積層された異方性導電テープを貼り付ける複数の貼り付けユニットと、基板保持テーブルに保持された基板に対して、複数の貼り付けユニットを相対的に移動させる貼り付けユニット移動装置とを備えるテープ貼り付け装置において、基板保持テーブルに保持された基板の側縁部のテープ貼り付け位置の下面を支持する複数の下受け部にカメラがそれぞれ設けられ、カメラおよび下受け部が基板保持テーブルに対して水平面内に移動可能とし、基板の下面に設けられた基板マークをカメラにより撮像する際に、カメラおよび下受け部を、重量のある貼り付けユニットとは別個に移動可能とさせる。 （もっと読む）

【課題】ＡＣＦ貼付け処理作業とＡＣＦ貼付け状態の検査作業のトータル作業時間を短縮できるまたはＡＣＦ貼付けに必要な処理作業装置長さを短くできる処理作業装置あるいはＡＣＦ貼付状態検査方法を、あるいは、表示基板モジュール組立のタクト時間を短縮できる、またはライン長の短い表示基板モジュール組立ライン及び表示基板モジュール組立方法を提供する。
【解決手段】搬送手段によって搬送される表示基板Ｐの辺の所定位置に貼付けたＡＣＦ３を撮像しＡＣＦ貼付け状態を検査する際に、前記ＡＣＦ３を貼付け後に前記表示基板Ｐを搬送中に撮像し、搬送中の撮像によって得られたＡＣＦ画像の揺らぎを補正し、撮像手段は所定位置に貼付けたＡＣＦ３を含む撮像領域ＳＨを撮像する。 （もっと読む）

【課題】ＬＴＰＳパネルにおいて、ＲＧＢスイッチ機能がないドライバを用いようとする場合、ドライバ設置領域にＱＤ点灯検査回路を配置しようとしても、検査用トランジスタの幅を十分にとることができず、ＱＤ点灯検査を適切に行うことができない。
【解決手段】隣接する少なくとも１以上のトランジスタ毎に千鳥配置された複数のトランジスタを、ゲートメタルが複数のポリシリコン膜を横切ることにより形成し、前記複数のトランジスタを形成する部分の前記複数のポリシリコン膜の幅を、前記コンタクトと接続する部分よりも広く形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工程を増やすことなく、配線の露出を防止することを目的とする。
【解決手段】パッシベーション膜３３６をエッチングして、配線３３０との電気的接続を図るためのスルーホール３４２を形成する。パッシベーション膜３３６上及び配線３３０のスルーホール３４２内の部分上に金属層を形成する。金属層をエッチングして画素電極３４８を形成する。パッシベーション膜３３６をエッチングする工程で、配線３３０の、ドレイン電極３３４及びソース電極３３２よりも基板３１０の切断ライン方向の位置で、配線３３０の幅を内側に含む大きさの貫通穴３４４をパッシベーション膜３３６に形成する。金属層を形成する工程で、金属層を、配線３３０の貫通穴３４４内の部分の上にも形成する。金属層３２２をエッチングする工程で、配線３３０の貫通穴３４４内の部分もエッチングして配線３３０を切断する。 （もっと読む）

【課題】この発明は液晶セルにＴＣＰを実装したときに、これら端子の接続状態とずれを連続して検査できる検査装置を提供することにある。
【解決手段】液晶セルＷの下面側に上下駆動源によって上下方向に駆動可能に設けられ異方性導電膜１２を介して上下方向に重合して接続された液晶セルの第１の端子１１とＴＣＰの第２の端子１３の部分を撮像する撮像カメラ１５と、上下駆動源によって撮像カメラを下降位置から上昇方向或いは上昇位置から下降方向に駆動したときにこの撮像カメラの焦点位置の変化に応じて出力される複数の撮像信号を画像処理する画像処理部１６と、画像処理部で画像処理された撮像信号によって第１の端子と第２の端子の接続状態及び上記第１の端子と第２の端子のずれ状態を判定する判定部２１を具備する。 （もっと読む）