【課題】ミラー部の重量増加を最小限に抑えつつ、ミラー部の剛性を高め、ミラーが往復振動した場合でも反りや変形が生じることを防止できるマイクロミラー装置を実現する。
【解決手段】対向する一対の捻り梁によって往復振動可能な状態でフレーム部材に連結されたミラー基板と、該ミラー基板に対して前記捻り梁を回転中心として往復振動させるための駆動手段を有するマイクロミラー装置において、前記ミラー基板101は、少なくとも応力制御の機能を有する応力制御層102と、反射層103と、増反射機能を有する増反射膜104を備え、前記応力制御層102は、引っ張り応力を有する層102-aと圧縮応力を有する層102-bとを交互に積層した多層構造であることを特徴とするので、質量の増加を最低限に抑えつつ剛性を高めることができ、ミラーの平坦性の確保や往復振動時の変形を効果的に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】従来のミラー部のサイズに比べて装置全体のサイズを小さくできる、圧電駆動方式の光走査装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光ビームを反射するミラー部２と、圧電素子を備えて圧電駆動部として機能する可動支持体３Ａ〜３Ｄと、可動支持体３Ａ〜３Ｄを囲む固定枠部４とを備え、ミラー部２と可動支持体３Ａ〜３Ｄの互いに近接する端部の内側角部とを連結するトーションバー５、６で可動支持体３Ａ〜３Ｄの内側にミラー部２を軸支し、トーションバー５、６と軸方向が直交するように固定枠部４と可動支持体３Ａ〜３Ｄの前記内側角部と対角位置にある各外側角部とを連結するトーションバー機能を有する連結部７Ａ〜７Ｄで固定枠部４の内側に可動支持体３Ａ〜３Ｄを軸支し、圧電素子に駆動信号を印加してミラー部２を揺動駆動する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ミラーを振動可能に維持する可動枠と、可動枠を振動可能に維持する支持枠とを有する２次元光スキャナにおいて、空気の逃げ道のためにミラーと可動枠との間及び可動枠と支持枠との間に空虚を設けていたので装置が大型化していた。
【解決手段】空洞部１１ａを有する半導体基板の可動枠１１にミラーＭ、ミラーＭを振動可能に支持する１対のトーションバー１２ａ、１２ｂ、２対の圧電アクチュエータ１３ａ、１２ｂ；１４ａ、１４ｂを形成する。空洞部２１ａを有する半導体基板支持枠２１に、可動枠１１、可動枠１１を振動可能に支持する１対のトーションバー２２ａ、２２ｂ、２対の圧電アクチュエータ２３ａ、２３ｂ；２４ａ、２４ｂを形成する。空気の逃げ道として、可動枠１１に複数の貫通孔１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板の伸びとマイクロ構造体の伸びの差などによる応力の弾性支持部への伝達が低減されたマイクロ構造体を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体１８は、電極基板などの基板９と、基板９に支持部１を固定する１つのポスト１０と、支持部１の外周に枠状に配置される可動部５と、可動部５と支持部１とを弾性的に連結する弾性支持部２、３、４を有する。弾性支持部２、３、４は、支持部１に対して枠状の可動部５を可動に支持する。弾性支持部は、ねじりバネ２、４、弾性変形可能な連結部３などにより構成される。 （もっと読む）

【課題】光導波路や光ファイバなどへの入射光を偏向する可動レンズの調芯を行うための２次元位置決め装置において、構成を簡略化し、かつ小型化する。
【解決手段】可動レンズ１１に、その２次元位置決め装置を備える可動レンズユニット１において、前記可動レンズ１１を、前後の蓋およびケースで挟み込んでｚ軸（光軸）方向への変位を規制し、かつｘｙ方向への変位を許容する。一方、圧電素子３１ａ，３２ａと錘３１，３２ｂとから成る駆動部材３１，３２を前記可動レンズ１１にｘｙ平面上の直交する２方向から取付け、該圧電素子３１ａ，３２ａの伸張時と縮小時との速度差によって前記可動レンズ１１をｘｙ方向に変位させて位置決めを行う。したがって、前後の蓋およびケースは可動レンズ１１を挟み込むような構造でよく、また駆動部材も圧電素子と錘であり、構成を簡略化することができるとともに、小型化、特に薄型化することができる。 （もっと読む）

【課題】分光した各波長の光の空間的な分離量を効果的に大きくすることができるダブルパスモノクロメータ、ならびにこれを用いた波長選択光スイッチ、および光チャンネルモニタを提供すること。
【解決手段】入射光を回折させて分光する回折格子と、前記入射光を前記回折格子が回折させた回折光を３以上の奇数回反射させて該回折格子に再入射させるように配置した反射面を有する反射器と、を備える。好ましくは、前記反射器において、前記反射面は、前記回折格子に再入射させる際の前記回折光が、基準波長において、前記反射器によって反射させる前の前記回折光と略平行に進行し、かつ前記入射光に対して回折平面上で離隔した位置で前記回折格子に再入射するように、配置している。 （もっと読む）

【課題】光導波路や光ファイバなどへの入射光を偏向する可動レンズの調芯を行うための２次元位置決め装置において、構成を簡略化し、かつ小型化する。
【解決手段】可動レンズ１１に、その２次元位置決め装置を備える可動レンズユニット１において、前記可動レンズ１１を、前後の蓋およびケースで挟み込んでｚ軸（光軸）方向への変位を規制し、かつｘｙ方向への変位を許容する。一方、ｘｙ平面上の直交する２方向から、厚み方向に電圧を印加することで屈曲変位する一対の第１の駆動部材３１，３２および第２の駆動部材３３，３４で挟み込み、それによる押出しおよび引込みによって前記可動レンズ１１をｘｙ方向に変位させて位置決めを行う。したがって、前後の蓋およびケースは可動レンズ１１を挟み込むような構造でよく、また駆動部材も棒状や帯状であり、構成を簡略化することができるとともに、小型化、特に薄型化することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化、低コスト化を実現できるとともに、受光感度がよくて距離測定精度の高いレーザレーダ装置を提供する。
【解決手段】レーザレーダ装置１０は、装置本体を構成するベースフレーム１２と、ベースフレーム１２の所定位置に固定され、レーザ光を出射する光源１４と、光源１４からの出射光を図示しない対象物に向けて走査する光走査装置１６とを有している。光走査装置１６はリコン基板から半導体微細加工法により可動板（反射ミラー）やトーションバー等が一体に形成されており、可動板の中央部にはフォトダイオードが一体に形成されている。対象物からの反射光２２は、光学部品を介することなく直接フォトダイオードにより受光される。 （もっと読む）

【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１００は、レーザー光ＬＬを出射する光出射部２００と、光出射部２００から出射したレーザー光ＬＬを反射する光反射部２２を有し、光反射部２２を互いに直交する回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ回動させて、光反射部２２で反射したレーザー光ＬＬを回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ走査する光スキャナー１と、回動中心軸Ｘ１、Ｙ１の交点と光出射部２００との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー１を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段３００とを有している。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】 差動位相偏移変調信号の復調器を作製するにあたり、位相調整を高速に行い、かつ装置の寿命を長く保つ必要がある。
【解決手段】 復調器内部の遅延干渉計において、干渉させる2つの分岐光の位相差の調整をピエゾ素子などの位相調整手段と、第一の位相調整手段よりも低速で動作し、かつ劣化速度が遅い発熱体などの位相調整手段とを用いて行う。 （もっと読む）

【課題】透過光により発熱することなく、画素に応じて第１の偏光光又は第２の偏光光を目的の方向へ導くことができる光偏向装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板の複数の端部にそれぞれ設けられ、各上部にストッパを有する複数の規制部材と、頂部を有して基板の上面に設けられる支点部材と、光反射領域を有し、かつ固定端を持たず、かつ少なくとも一部に導電性を有する部材からなる導電体層を有し、かつ基板と支点部材とストッパの間の空間内で可動的に配置される板状部材と、基板上にそれぞれ設けられ、板状部材の導電体層とほぼ対向している複数の電極と、を備えており、板状部材が支点部材を中心として静電引力により傾斜変位することにより、光反射領域に入射する光が反射方向を変えて光偏向する光偏向装置において、ストッパ上に直接又はストッパ上部に立体的に接続して偏光素子を具備し、偏光素子がワイヤグリッド型偏光素子であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部の磁石を設置するためのスペースを小さくする。
【解決手段】 可動部の上面に上部磁石が設置されており、下面に下部磁石が設置されている。上部磁石は、可動部から突出して可撓梁の上方または側方に可撓梁と離間して延在している上部延在部を有しており、下部磁石は、可動部から突出して可撓梁の下方または側方に可撓梁と離間して延在している下部延在部を有している。可動部が設置されていない領域（可撓梁の上方、下方、側方）に磁石（上部磁石、下部磁石）が突出しているので、磁石の平面方向の面積に対して、可動部の磁石を設置する部分の面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】 光変調効率（光利用効率）を改善することを可能とする投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】 投写型映像表示装置１００は、光源１０から出射された光を投写ユニット８０側に透過するように構成されており、複数の微小開口部７１を有する透過型デジタル素子７０と、光源１０から出射される光を透過するとともに、光源１０から出射される光を複数の微小開口部７１のそれぞれに分配するように構成されたマイクロレンズ６１とを備える。複数の微小開口部７１のそれぞれは、開閉可能に構成されたシャッタ７３を有する。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ簡単に電磁波パルス列を構成するパルス間隔を調整できる。
【解決手段】単発の電磁波パルスを複数の再帰反射素子の配列面に対して斜めに入射する。この結果、傾斜方向に配列された再帰反射素子の位置に応じて伝搬経路長（伝搬時間）が異なる複数の電磁波パルスが生成され、生成された複数の電磁波パルスを電磁波集束器により１本のビームに集束することにより電磁波パルス列を生成する。 （もっと読む）

【課題】機械的要素の摩耗や、開状態における透過率の低下を招くことなく、十分に広い波長領域の赤外線をチョッピングする。
【解決手段】各高屈折率層３，４，５は、赤外線ＩＲの波長＝λ、屈折率＝ｎ、物理的な厚み＝ｄとしたときに、その光学的厚みｎｄが１／４λとなるように導電性材料でそれぞれ形成されると共に、対向する２つの高屈折率層の間に電圧が印加された状態において２つの高屈折率層がそれぞれ光学的に一体化し、かつ、２つの高屈折率層の間に電圧が印加されない状態においてその光学的厚みｎｄが１／４λの空気層８ａ，８ｂが２つの高屈折率層の間に形成されるようにそれぞれ配設されて、各高屈折率層３，４，５が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させると共に、各高屈折率層３，４，５の間に空気層８ａ，８ｂが形成された状態において赤外線ＩＲを反射する。 （もっと読む）

【課題】 アレイ化を可能にする程度の小型の構成により機械的な変位を与えることにより少ない素子による画素化を可能にできるサブ波長格子と、このサブ波長格子を使用した表示装置を提供する。
【解決手段】 格子周期を波長よりも小さくしたサブ波長格子において、格子の一単位当たり少なくとも一つの所定間隙Ｓ２を構成する少なくとも二対の梁体１，２，３，４と、この梁体の間隙方向にテンションを付与するアクチュエータとを備えるサブ波長格子を構成する。上記サブ波長格子を梁体の長さ方向および間隙方向に配設してなる光変調器７と、この光変調器に対して光を放射する光源８とを備える表示装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸の周りに電磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させる。
【解決手段】光学装置は、ミラー部と、第１電磁石と、第２電磁石とを備えている。このミラー部は２軸駆動型であって、第１磁性体および第２磁性体を備えている。第１電磁石と第２電磁石の少なくとも一方の少なくとも一部がミラー部設置領域内に存在しているため、電磁石を小さくしても、可動部を揺動させるための駆動力を確保できるために、コイル巻き数、コイルに通電する駆動電流を大きくする必要がない。電磁石部分を含む光学装置全体を小型化することと、消費電力の増大を抑制することとを両立させることが可能となる。 （もっと読む）