【課題】電子製品用の基板に付着した異物を除去する異物除去装置において、エアー射出による異物への除去作用を維持しながらも異物の拡散による再汚染を防止し、充分な異物除去能力を得ることができる。
【解決手段】この発明の異物除去装置においては、異物除去処理を行う際に基板１上部に隙間を空けて対向して配置される異物飛散防止板３と、異物飛散防止板３の外周に設けられる囲い板４と、異物飛散防止板３に開口して設けられるエアー射出部５と、エアー射出部５と囲い板４の間に開口して設けられるメインエアー吸引部６およびサブエアー吸引部７とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】シートガラスの表面の洗浄むらが発生し難く洗浄度を向上することができるシートガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】シートガラスの搬送中に、一方向に並んだ複数の洗浄ブラシを回転させることにより、前記シートガラスの少なくとも一方のガラス面を洗浄する。前記洗浄ブラシのそれぞれは、回転中心軸から放射状に延び、前記シートガラスに対して摺動する複数の羽根ブラシ部を備える。前記複数の洗浄ブラシのそれぞれと隣接する洗浄ブラシとの間の回転中心軸間距離は、前記回転中心軸から前記羽根ブラシ部の先端までの長さと、前記隣接する洗浄ブラシの回転中心軸から羽根ブラシ部の先端までの長さとの合計より短い。前記複数の洗浄ブラシのそれぞれの前記羽根ブラシ部のそれぞれは、前記隣接する洗浄ブラシの羽根ブラシ部と、この羽根ブラシ部に周上で隣り合う羽根ブラシ部との間に位置するように、前記複数の洗浄ブラシは同期して回転する。 （もっと読む）

【課題】ベルト反転部７のクリーナ装置１０において、ベルトＢ厚みに変化が生じても剥ぎ取り効果の劣化を招かないようにする。
【解決手段】ベルト幅方向の保持軸１１にスクレーパＳを設けたクリーナ装置である。スクレーパの分割体１６はそれぞれ脚１５により取付板１２を介して保持軸に支持されている。各脚は、同一太さの鋼製で同一機械的強度を有して２つが対となってそれぞれ分割スクレーパを支持している。その対の脚は、分割スクレーパがその先端縁が同一高さとなっているから、ベルト幅方向端から中央に向かって徐々に短くなってスクレーパのベルトへの圧接方向の曲げ剛性が高くなっている。この曲げ剛性の相違によって中央部の厚みが減少したベルトにこのスクレーパを押圧すると、中央部から両端に向かって保持体の撓み量が変化してスクレーパは全長に亘って均一な圧接力でもってベルトに圧接し、厚みが減少したベルト中央部にもスクレーパが圧接して円滑な剥ぎ取り作用を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄ライン上を搬送されるワーク全体の水切りを行うと共にエアーブロー位置を局所的にエアーブローしても、エアー消費量を少なくする。
【解決手段】外周面１１ａに３つのノズル１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃが設けられたノズルヘッド１１が回転プレート１３によってノズル筐体１４に回転可能に取り付けられ、３つのノズル１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃそれぞれに別系統でエアーを供給するように当該ノズルの数だけエアー導入経路１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃがノズル筐体１４内に設けられたエアーブロー用自動ガン１と、ノズル筐体１４に固定されエアーブロー用自動ガン１をワークＷの所定のエアーブロー位置に移動させる移動手段２と、ノズル筐体１４に内蔵されると共に回転プレート１３に固定され、当該回転プレート１３を回動させる回動手段３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】薄板部材を破損させることなく効率良く薄板部材を洗浄することを可能とする薄板部材洗浄装置を提供する。
【解決手段】薄板部材洗浄装置１０００は、蓋部材１１０１と、この蓋部材１１０１により一方端側に設けられた開口部が閉ざされ、内部に水道水１３００が蓄えられる細長い円筒形状容器１１０２とを含む洗浄容器１１００と、この洗浄容器１１００内に収容され、洗浄容器１１００内を移動することで水道水１３００によりその表面が洗浄されるメッシュ部材１６０を保持する薄板部材固定部材１２００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】清掃ブラシの耐久性を向上させたエレベータのロープ清掃装置を提供する。
【解決手段】調速機ロープ７を挟んで両側にそれぞれ設けられた一対の清掃ブラシ１１，１１の先端が調速機ロープ７の外周面にそれぞれ当接しているとともに、それら両清掃ブラシ１１，１１の回転軸１５，１５が当該回転軸１５，１５と調速機ロープ７の両者に直交する方向で調速機ロープ７に対してオフセットしていて、調速機ロープ７が長手方向に移動するのに伴って両清掃ブラシ１１，１１がいわゆる連れ回りの形態をもって回転することにより、それら両清掃ブラシ１１，１１の調速機ロープ７に対する当接位置が連続的に変化し、両清掃ブラシ１１，１１の偏摩耗が防止される。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物に固着した付着物を効率よく洗浄できる洗浄方法、装置、洗浄媒体を提供する。
【解決手段】少なくとも片方の面に研磨砥粒が配置された可撓性を有する薄片状の洗浄媒体を洗浄対象物方向に移動させて洗浄対象物に接触させ、研磨砥粒が配置された面が洗浄対象物に接触したときのすべり動作により洗浄対象物に付着した付着物を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の被洗浄面の洗浄に当たって洗浄クロスをその幅方向に有効利用することで、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図るとともに、洗浄クロスの交換間隔を長くして生産効率を向上する。
【解決手段】基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに押圧される押圧子と、基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧子の対向面１５にテープ状の洗浄クロス１２を送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロス１２に洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板１の被洗浄面１ａ、１ｂの長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、洗浄クロス１２の幅方向に複数の押圧子１１ａ１、１１ａ２と１１ｂ１、１１ｂ２とを並列配置するとともに、各押圧子１１ａ１、１１ａ２と１１ｂ１、１１ｂ２とを被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】２本の粘着ロール体に対して、１本の粘着テープが接触するタイプのクリーンローラ装置を提供すること。
【解決手段】クリーンローラ装置１０は、ワーク表面の塵埃を吸着する第１の粘着ロール体４２Ａと、同じく第２の粘着ロール体４２Ｂと、第１の粘着ロール体４２Ａ、第２の粘着ロール体４２Ｂのスライドをガイドする第１のガイド機構９０Ａ、第２のガイド機構９０Ｂと、第１の粘着ロール体４２ＡをワークＷに接離する方向にスライドさせる第１のロール用アクチュエータ７１Ａと、粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂに接触可能であり、それら粘着ロール体４２Ａ，４２Ｂに付着した塵埃を転写する粘着テープロール５３０を保持する第１のテープ保持部５３１と、第１のテープ保持部５３１および粘着テープロール５３０をワークＷに接離する方向にスライドさせる第１のテープ用アクチュエータ７０Ａと、モータ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】表面処理装置において、被処理物の表面上での処理ガスの流れを調節する。
【解決手段】被処理物９を支持部２１にて処理領域に配置して支持する。第１処理ガス供給系６０Ａにて、処理ガスを被処理物９の相対的に内側の部分に供給する。第２処理ガス供給系６０Ｂにて、処理ガスを被処理物９の相対的に外周側の部分に供給する。第１処理ガス供給系６０Ａの処理ガスの供給流量と第２処理ガス供給系６０Ｂの処理ガスの供給流量を互いに連関させて調節する。好ましくは、第１処理ガス供給系６０Ａの供給流量を第２処理ガス供給系６０Ｂの供給流量より大きくする。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の容積を小型化するとともに洗浄媒体を洗浄槽に滞留させることなく飛翔させて表面が複雑な形状をした洗浄対象物でも効率良く洗浄する。
【解決手段】洗浄対象物４を保持した保持部３を洗浄槽ユニット２の外側に配置して洗浄槽ユニット２の洗浄槽６を小型化する。洗浄槽ユニット２は洗浄槽本体９の開口部の外縁に設けられたプール部材１９で保持部３を保持して一定間隙２２で吸引気流１７の流入路を形成する。洗浄槽６内の空気を洗浄槽本体９に接続された吸引装置１６で吸引してプール部材１９と保持部３の間隙２２に洗浄槽６に向かう吸引気流１７を発生させ、洗浄媒体６を洗浄槽６内に回収して、飛翔した洗浄媒体６が洗浄槽６外に漏れることを防ぐとともに洗浄媒体６を有効に利用して洗浄効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】効率的に高い精度でゴミを除去することができるビット清掃装置を提供する。
【解決手段】空隙４１はドライバビット１８の先端部の形状を象る。空隙４１には布シート３２が覆い被さる。したがって、先端部がその軸心に沿って空隙４１に受け入れられると、先端部の外壁面および空隙４１の内壁面の間に布シート３２が挟み込まれる。軸心に沿ったドライバビット１８の移動に基づき先端部は空隙４１内で布シート３２に押し付けられる。布シート３２は押し潰される。布シート３２は先端部の外壁面から微小なゴミを擦り取る。こうして布シート３２は先端部の外壁面から効率的に高い精度でゴミを除去することができる。清掃作業は効率的に実施される。その結果、ドライバビット１８の先端部にゴミの付着は回避される。先端部から例えばねじのねじ頭へのゴミの移動は防止される。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向に沿ってワークが搬送されるタイプのクリーンローラ装置において、当該ワークが落下しないと共にワークからフィルムが剥がれないようにすることが可能なクリーンローラ装置を提供すること。
【解決手段】フィルムが貼付されているワークＷを搬送しつつ、塵埃を除去するクリーンローラ装置１０であって、塵埃吸着ローラ体５１Ａとベースローラ体５１ＡとでワークＷを鉛直方向に沿って移動させ、塵埃吸着ローラ体５１Ｂをベースローラ体５１Ａに向けて押し付ける付勢力を与える第２の駆動源５２を備え、粘着テープロール７０を塵埃吸着ローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第３の駆動源を備え、ワークＷの検出から所定時間が経過する前には第２の駆動源５２のみを作動させ、所定時間の経過後には少なくとも第３の駆動源６３を作動させて大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体５１Ｂに対して与えるように制御する制御手段１００を具備する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、絶縁物で特にプリント基板の表面改質に係り、主に微小領域に対する処理対象の表面に付着する微小な有機物除去による洗浄および親水性向上を目的とし、微小放電プラズマを用いた、薬品・溶剤レスのドライ処理によりパターン印刷部のみの表面改質を行ない、製作工程の低減、環境面負荷低減、製品の歩留まり向上ならびに工業的付加価値を高める放電表面処理装置及び放電表面処理方法に関する。
【解決手段】 基板を可動ステージ上に載置し、少なくとも一方が誘電体で覆われた高電圧電極と接地電極を有する微細放電電極と基板とを相対位置合せし、高電圧電極と接地電極との間に高電圧を印加するとともに、微細放電電極に放電ガスを供給することにより、微細放電電極に微細な非平衡放電プラズマを発生させ、前記プラズマのなかで生成される活性種を被処理基板に対して吹きつけながら、可動ステージにより基板をＸＹ面内でＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、活性種を基板の表面に次々に作用させて該表面を改質する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置、基板搬送方法及びクリーニング方法において、ガラス基板の破損を防ぎながら、ガラス基板を確実に吸着保持する。
【解決手段】ガラス基板１０を浮上させる浮上ステージ２と、ガラス基板１０を吸着保持する吸着保持部３ａと、ガラス基板１０を吸着保持部３ａに対し押付ける吸着補助部４と、を備える基板搬送装置１において、吸着補助部４、吸着保持部３ａ、及び、ガラス基板１０、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング機構５を更に備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の容積を小型化するとともに洗浄媒体を洗浄槽に滞留させることなく飛翔させて表面が複雑な形状をした洗浄対象物でも効率良く洗浄する。
【解決手段】吸引ダクト１７から洗浄槽６内の空気を吸気してプール部材１１ａの開口部とプール部材１１ｂの多孔性部材１２とにより洗浄槽６内に向かう吸引気流を生成している。この状態で洗浄対象物４を保持手段３の把持手段２１で把持してプール部材１１ａの開口部より洗浄対象物４が保持された保持手段３を挿入し、洗浄対象物４が洗浄槽６の中に送り、洗浄媒体加速ノズル１３に圧縮空気を供給し、洗浄媒体加速ノズル１３から洗浄媒体飛翔空間９に垂直上向きに気流を発生させて洗浄媒体５を飛翔させて洗浄対象物４に衝突させ洗浄対象物４表面に付着している付着物を効率良く除去する。 （もっと読む）

【課題】洗浄媒体の漏れや滞留を確実に防ぎ、気流のエネルギーを有効に利用して高い洗浄能力を発揮する。
【解決手段】洗浄槽本体１０の空気を吸引している状態で洗浄槽本体１０の開口部方向に高速気流を噴出して洗浄媒体５を加速して洗浄対象物４を洗浄するとき、洗浄対象物４と洗浄槽外縁部１１の間隙２９を通り洗浄槽本体１０内に流入する気流を、洗浄槽本体１１の開口部を通過させずにバイパス流路２６を通して洗浄槽本体１０内に流入させて洗浄対象物４と洗浄槽外縁部１１の間隙２９を流入する気流により洗浄媒体５を飛翔させる気流が乱されたり弱められたりすることを防止するとともに洗浄槽本体１０の内壁に沿う循環気流Ａを強めて洗浄能力の向上と安定化を図る。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の厚さにばらつきがあっても、電極が設けられた側辺部を確実に清掃できるようにした清掃装置を提供することにある。
【解決手段】基板の側辺部の上下面を清掃する清掃装置であって、
上面に上記基板が供給載置されこの基板を位置決め駆動する載置テーブルと、供給リールから繰り出されて巻き取りリールに巻き取られることで載置テーブルによって位置決めされた基板の側辺部に沿って走行するテープ状の清掃部材１５と、清掃部材に対向して配置された押付けローラ２２ａ，２２ｂと、押付けローラを駆動して上記清掃部材を上記基板の側辺部に押付ける上下シリンダ２３ａ，２３ｂと、上下シリンダによって押付けローラが清掃部材を基板に押付けたときに清掃部材に加えられた加圧力を検出するロードセル４３ａ，４３ｂと、ロードセルの検出に基いて上下シリンダが押付けローラに加える加圧力が一定となるよう制御する電空レギュレータ４４ａ，４４ｂ及び制御装置４５を具備する。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面処理に際し、被処理物上の異物等を確実に、かつ被処理物等を損傷することなく検知する。
【解決手段】表面処理装置１の処理部３を被処理物９と対向させ、被処理物９に対し平面ＰＬと平行な移動方向に相対移動させる。処理部３に表面状態検知手段１０の回転体１２を設ける。表面状態検知手段１０の回転体１２は、好ましくは円筒体であり、その回転軸１２ａが、平面ＰＬと平行で上記移動方向と交差している。支持部１３によって、回転体１２を回転軸１２ａのまわりに回転可能に支持し、かつ回転軸１２ａを平面ＰＬと交差する方向に変位可能にする。回転体１２の回転を回転センサ２１で検知する。 （もっと読む）