【課題】特定の箇所に洗浄ムラが発生することがなく、異物の一部が被洗浄物に再付着せず、且つ、高回転の高トルクモーターを必要としない自公転ディスクブラシ装置を提供することにある。
【解決手段】公転アーム１０と自転ガイドリング２０と１つ以上の回転ブラシ３０とを有し、１つ以上の回転ブラシ３０は公転アーム１０にセットされ、自転ガイドリング２０の内側部と回転ブラシ３０の円周部とが接触する接触部４０を有するように設置され、公転アーム１０が回転することにより回転ブラシ３０が自公転する。 （もっと読む）

【課題】糸屑のような糸毛状異物が付着したマットであっても、確実に清掃できると共に、メンテナンスの容易なマット清掃装置を提供する。
【解決手段】 ラジアル方向に対して回転前方へ傾倒した多数の短毛１ａを突設させた斜毛ローラ１を有し、斜毛ローラ１より大きな回転周速度にて回転し、短毛１ａから糸毛状異物Ｂを除去するために、斜毛ローラ１に接触する除去ローラ２を有している。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハをスポンジブラシによって所定の洗浄度合に洗浄できるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】回転テーブル１１に保持された半導体ウエハ２２を回転駆動されるスポンジブラシ３８によって洗浄するブラシ洗浄装置において、上記回転テーブルを回転駆動するモータ１６と、上記洗浄ブラシを回転駆動するモータ３４と、上記スポンジブラシを上記被洗浄物の径方向に沿って揺動させる揺動機構３２と、上記スポンジブラシを半導体ウエハの径方向中心部から外方へ揺動させたときに上記スポンジブラシの上記半導体ウエハに接触する端面と上記半導体ウエハの上記端面が接触する部分との相対速度が所定値以上になるよう上記角モータを制御する制御装置６４とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】風力を利用した簡単な構造で塗料を除去し、錆発生を離れた場所から確認することができる機器の清掃装置を提供する。
【解決手段】風力により軸部材６を中心として回転する風車１１と、風車１１の回転により所定の面に沿って回転するブラシ１０とを備えたブラシ付き風車５を、風車１１の回転によりブラシ１０が機器１の被清掃面をブラッシングするように機器１に取付ける。風力をうけて風車１１が回転し、風車１１の回転によりブラシ１０が機器１の底部をブラッシングしながら回転し、これに伴って機器１の塗料が少しずつ剥ぎ取られて錆が露出し、離れた場所から錆を確認することができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置の洗浄液が回転ブラシの回転軸を介して洗浄槽の外部に漏れ出すことを防止し、回転ブラシに回転駆動トルクを与えている回転機構、及びモーターの電気配線等への障害を無くする回転ブラシ支持機構を提供する。
【解決手段】Ｏリング溝１８を具備し回転ブラシ軸２２に固定される上部カバー１４と、洗浄装置の洗浄槽の底部１０に固定される下部カバー１２と、エアー注入口２０−１とエアー放出溝２０−２とを具備し下部カバー１２に固定されるエアー注入カバー１６とを有し、上部カバー１４は、下部カバー１２とエアー注入カバー１６との間に挿入された位置で回転し、エアー注入口２０−１から注入されたエアーは、エアー放出溝２０−２から放出されて、上部カバー１４とエアー注入カバー１６との間隙を充満する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの掃除作業を簡単に行うことができるノズル掃除具を提供すること。
【解決手段】先細りした漏斗形状のノズル１３に対して掃除ドリル５５を挿入することにより付着物を取り除くものであって、掃除ドリル５５を覆い、弾性部材５３によって掃除ドリル５５に対して軸方向に変位可能な案内カバー５２を備え、その案内カバー５２には上面にノズル１３の先端が入り込む位置決め孔５２ｂが形成され、案内カバー５２の相対的な変位によって掃除ドリル５５が位置決め孔５２を通って突き出されるようにしたノズル掃除具６。 （もっと読む）

【課題】 清掃用の回転ブラシを作業動作により自回転させ対象物の表面を擦り磨く機能を高める。
【解決手段】
ブラシ掛け作業はブラシを対象物に押し当て前後又は左右に動かせて作業をするが、ブラシを回転ブラシとして、対象物との間の摩擦抵抗を利用して回転ブラシを自回転させる。
ブラシかけの作業動作の方向に対して対象物との間でブラシ軸の左右の摩擦抵抗が不均衡であれば摩擦抵抗の差に応じた回転トルクが生じ、回転ブラシは自回転する。
回転ブラシの軸の左右を異なる接触抵抗とする一の方法として、ブラシの動きに対し回転ブラシの軸を僅かに左又は右に傾けて対象物に押し当てる。
回転ブラシの軸の左右を異なる接触抵抗とする二の方法として、ブラシの動きに対し回転ブラシの軸の左右で異なる押し当て力で対象物に押し当てる。 （もっと読む）

【課題】基板が薄くて剛性の乏しいものであっても、該基板の表面に付着した塵埃が効率良く除去できる基板の塵埃除去装置を得る。
【解決手段】基板（Ｗ）を水平に支持して一方から他方に向けて移送する移送装置（２）を設け、複数のカップ型の掻きブラシ（１０）を上下に向けて前記基板（Ｗ）の移送方向と直交する左右方向に配列するとともに、該掻きブラシ（１０）を前記基板（Ｗ）の上面と下面とに接触させ、各掻きブラシ（１０）を前記左右方向に往復動させる横移動装置（２０）、及び各掻きブラシ（１０）を上下軸心（Ｃ）を中心として回転させる回転装置（３０）を設け、前記掻きブラシ（１０）の内部を吸引形の集塵機（３５）に接続する。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハの上面と下面とを同時に、しかも確実に洗浄することができる基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】一側面に出し入れ口２が形成された処理槽１と、この処理槽内の上記出し入れ口と対向する位置に設けられ処理槽内に搬入された半導体ウエハ１０の搬入方向と交差する径方向の両端部を保持してこの半導体ウエハを回転駆動する保持駆動手段８と、保持駆動手段に保持された半導体ウエハに処理液を供給する洗浄ノズル１２４，１２５と、処理槽内の上記保持駆動手段よりも内方に設けられ先端部に上記半導体ウエハの板面を洗浄する洗浄ブラシ７１，１２２を有するアーム６３，１２１およびこのアームを上下方向に駆動するとともに洗浄ブラシが半導体ウエハの径方向に沿って移動するよう上記アームを揺動駆動する駆動手段を有するツールユニット６１，６２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンス業務として時間、労力、費用のかかる汚れ仕事を解決することで、作業効率、労働安全、生産性の向上を図ること。
【解決手段】 ブラシローラによりシリンダ表面に付着した異物を除去するシリンダ洗浄用ブラシユニットにおいて、ブラシローラに対してシリンダの反対側にブラシ対向フレームを配置すると共に、該ブラシ対向フレームがブラシローラに接触又は接近させた所定角度範囲の曲面と、前記曲面の下部縁から斜め後方に延びているシリンダに対し離れる斜面とを有する。これにより洗浄廃液の中から異物がフイルタでろ過されるので、汚泥状異物による受け皿の汚れや受け皿から洗浄廃液を排出するドレインパイプ等の詰まり等のトラブル対策の負担が軽減される。ブラシローラと対向フレームとを接触（キスタッチ、摺接を含む）させることにより、対向フレームに異物が蓄積するのを防止し、同時にブラシのセルフクリーニング効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】基板の表裏両面の好適な洗浄を可能とする。
【解決手段】ベース部材２に設けられた保持部材６によってベース部材２と基板Ｗとが離間された状態で基板Ｗの周縁部が保持され、保持部材６に保持された基板Ｗの面のうち、ベース部材２に向く側の第１洗浄面ＷＦ１を洗浄するための第１洗浄ブラシ２１は、第１洗浄具支持アーム２２によって、基板Ｗとベース部材２との間に第１洗浄面ＷＦ１に沿って移動可能に配置支持される。回転モーター１１によってベース部材２に連結された中空状の回転軸９を介して基板保持機構１及びそれに保持された基板Ｗを回転させながら、回転モーター１６による移動動力によって、第１洗浄面ＷＦ１に沿って第１洗浄ブラシ２１を移動させ、第１洗浄ブラシ２１により基板Ｗの第１洗浄面ＷＦ１を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】ブラシ片の毛腰を強く設定しても、被洗浄面である車体のホイール等に傷を付けることが無く、高い洗浄性が発揮されるホイール等洗浄ブラシ及びそのホイール等洗浄ブラシを搭載した洗車機を提供する。
【解決手段】 自動車のホイールあるいはタイヤの被洗浄面に付着した汚れ等を洗浄する為のホイール等洗浄ブラシにおいて、前記ホイール等洗浄ブラシは、台座及びブラシ部を有し、前記ブラシ部は、複数のブラシ片にて前記台座の上部に植毛されてあり、前記ブラシ片の少なくとも１つは、異なる硬度を有して長手方向に分子配向された少なくとも２種以上の多層被覆線材にて形成されてあると共に、前記線材の外周面の少なくとも一部が被覆されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、本体に内蔵したモータにより回転軸に取り付けられた洗浄ブラシを回転させると共に、回転軸に貫通した穴を開けたノズル先端から流体を噴射する洗浄モータノズルを提供する。
【解決手段】ホース取付金具５には圧力流体が供給され、回転軸７の貫通孔６からノズル嘴４のオリフィス孔１９を経て洗浄ブラシ３の中央開口から圧力流体が噴射される。一方、固定子９のコイルが励磁され、前記固定子９と対向している永久磁石の回転子８が回転する。前記回転子８が回転すると、前記回転子８が固定されている回転軸７が一体に回転し、前記回転軸７の先端に螺合されているノズル嘴４が一体となって回転する。したがって、前記ノズル嘴４の先端に螺着されている洗浄ブラシ３も一体となって回転する。このようにして、洗浄ブラシ３の回転及圧力流体の相乗剥離効果により汚れを落とすことができる。 （もっと読む）

【課題】 機械部品などの蒸気洗浄機において、高温の蒸気噴流だけでなく、ブラッシングをすると洗浄効果が著しく向上することが知られているが、高温蒸気下では、蒸気が気体であるため、大きなトルクが得られないこと、高温であるため、熱膨張などの変形が生じ、減速装置が満足に作動しないという問題があった。
【解決手段】 ２段式のテーパローラを用いた遊星減速方式とし、テーパローラにはツバの付いたものを用いて、太陽ローラの支持には軸受などのない簡単な構造とした。そして、蒸気タービンの軸方向の力や回転ブラシに作用する押付反力で、動力伝達に必要なローラの接触面圧を生じさせるようにした。
そして、蒸気タービンの排気を外部の空気と触れないように減速機内部を通って回転ブラシ部に導き、飽和温度の蒸気を洗浄に利用し、放熱によって生ずる蒸気ドレンも同時に洗浄に活用するようにした。 （もっと読む）

【課題】 使用する洗浄水を少量にして乾燥を省略でき、しかも汚れの除去能力に優れるメダル清掃装置を提供する。
【解決手段】 下側ブラシ盤４の先方にメダルｍの上下面を払拭する吸水性の払拭ローラ１１を設け、洗浄水Ｗを貯水する貯水タンク１５を設け、貯水タンク１５の洗浄水Ｗを下側ブラシ盤４の上面にポンプ１５ｃで吐水するノズル１５ｂを設け、貯水タンク１５の洗浄水Ｗをメダルｍの非投入時にノズル１５ｂへ送り出すようにポンプ１５ｃを作動させる制御手段を設け、吐水した洗浄水Ｗを下側ブラシ盤４の遠心力で払拭ローラ１１の方向へ飛ばして払拭ローラ１１を湿らせてメダルｍを清掃できるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の洗浄を行うときに、基板の主面が異物の汚染を受けることをより確実に防止することができる基板の洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、被洗浄基板の端面をスクラブ洗浄するための洗浄装置であって、少なくとも、洗浄液供給ノズルから供給された洗浄液で被洗浄基板の端面をスクラブ洗浄する洗浄子と、前記被洗浄基板の主面にリンス液を供給するリンス液供給ノズルと、該リンス液供給ノズルと前記洗浄子との間に配設された飛沫遮蔽部材とを具備し、飛沫遮蔽部材およびリンス液供給ノズルは、被洗浄基板の両主面側に配設されており、飛沫遮蔽部材は、洗浄子から洗浄液の飛沫が被洗浄基板の主面へ飛散するのを防止するものであり、リンス液供給ノズルは、被洗浄基板の主面から端面方向へリンス液を供給して、洗浄液が被洗浄基板の端面方向から主面方向に進入するのを防止する基板の洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】
各ディスク洗浄ブラシのディスクに対する接触圧力を均一に保持することが可能で再洗浄ディスクを低減することができるディスク洗浄ブラシおよびディスク洗浄機構を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、回転ブラシの芯ローラの軸方向にすべり対偶を構成するために回転ブラシに凹凸円周部のある中心開口を設け、凹凸円周部に嵌合する芯ローラの凹凸円周部の軸方向の厚さよりもその軸方向の厚さが大きい円板あるいは円筒の形状としたものである。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送に伴う搬送効率を向上する。
【解決手段】搬送用基板保持手段13，14，15は供給側６に設けられる１次側基板保持手段13と、１次側基板保持手段13よりも排出側11に設けられる２次側基板保持手段14と、１次側基板保持手段13と２次側基板保持手段14との間に設けられる中間基板保持手段15とを一体的に設ける。１次側基板保持手段13と中間基板保持手段1の長さＸ１と、中間基板保持手段15と前記２次側基板保持手段14の長さＸ２と、供給側６と基板洗浄用インデックステーブル８の基板受取・取出位置Ｌ１間の搬送長さＸ３と、基板洗浄用インデックステーブル８の基板受取・取出位置Ｌ１と基板乾燥用インデックステーブル10の基板受取・取出位置Ｍ１間の搬送長さＸ４と、基板乾燥用インデックステーブル10の基板受取・取出位置Ｍ１と排出側11間の搬送長さＸ５を同じに形成する。基板Ｄが滞ることなく同調して搬送できる。
（もっと読む）

【課題】基板の両面の各周縁領域および周端面を洗浄することができ、かつ、各周縁領域における洗浄幅を容易に変更することができる、基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】ブラシ１６は、ウエハの表面の周縁領域および周端面を洗浄するための第１洗浄部２６と、ウエハの裏面の周縁領域および周端面を洗浄するための第２洗浄部２７とを上下に一体的に備え、鉛直軸線まわりに回転対称な略鼓状に形成されている。回転中のウエハの裏面の周縁領域および周端面にブラシ１６の第２洗浄面２９が押し付けられることにより、そのウエハの裏面の周縁領域および周端面が洗浄される。その後、回転中のウエハの表面の周縁領域および周端面にブラシ１６の第１洗浄面２８が押し付けられることにより、そのウエハの表面の周縁領域および周端面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハの研磨に使用されるウェーハ研磨用プレートの表面を高清浄度かつ高効率的に洗浄する。
【解決手段】 ウェーハ研磨後のウェーハ研磨用プレートＰを洗浄槽１１内のプレート回転用ローラー１２により回転自在に保持し、高圧噴射用ポンプ２１により加圧した洗浄液をノズル１４で噴射洗浄液１５にして、溝部Ｍの形成されたウェーハ保持面１３に噴射させ、付着するワックスあるいは研磨剤固形物を除去する。同時に、プレート表面ブラシ洗浄機構２５によりウェーハ保持面１３を摺擦する。また、プレート側面ブラシ洗浄機構２７およびプレート裏面ブラシ洗浄機構２８を用いて各部位を摺擦し付着物を除去する。上記洗浄液は、洗浄液循環用ポンプ１７により洗浄液循環用タンク１９に還流され、洗浄液加熱用ヒータ２０により適温に加熱され循環供給される。 （もっと読む）