【課題】Ｘ線センサのＸ線入射面に付着している又は付着し得る、水滴や塵等の環境を、生産ラインを長時間停止させることなく除去することが可能な、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線を検出することにより、物品５０に対する検査を実行するＸ線検査装置であって、Ｘ線照射部４と、ラインセンサ６を有するＸ線検出部５と、ラインセンサ６に近接して配置され、ラインセンサ６のＸ線入射面６Ａに付着している又は付着し得る環境を、ラインセンサ６の長手方向に関して同時に除去するスクレパー１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、水道管路の枝管部内面に付着した錆を、複雑な構成の装置を使用することなく簡単に除去し、かつ外部へ排出することを目的とする。
【解決手段】 先端に除去刃２を一体化したパイプ軸１と、前記パイプ軸１の外面に穿設された排水口３からなる枝管部清掃装置であって、前記パイプ軸１に外嵌する接続部材４によって枝管部ｐへ止水状態で取り付け、前記パイプ軸１後端部の操作ハンドル５を回転しながら下降することによって枝管部ｐ内面の錆を破砕し、その後、前記排水口３を開いて錆を外部へ排出するものである。従来のような清掃手段と錆排出手段を別体としたものより、著しく操作性が向上する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の端面を確実に洗浄することができるようにした洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】所定方向に搬送される基板の搬送方向と交差する方向の端面を洗浄する洗浄装置であって、
回転軸線を基板の板面と直交させて配置され基板の端面の厚さ方向全長にわたって接触する第１のブラシ毛２３ｂを有する上部洗浄ブラシ２３と、回転軸線を上部洗浄ブラシと同じにして配置され第１のブラシ毛と同じ位置で第１のブラシ毛間に入り込んで基板の端面の厚さ方向全長にわたって接触する第２のブラシ毛２４ｂを有する下部洗浄ブラシ２４と、上部洗浄ブラシと下部洗浄ブラシを逆方向に回転駆動させて第１のブラシ毛と第２のブラシ毛とで基板の端面を洗浄させる差動歯車機構３４を具備する。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理時に外方に飛散する洗浄液によるミストの発生を抑制し、基板への再付着の防止を図れるようにした基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷを水平に保持し、鉛直軸回りに回転するスピンチャック２０と、鉛直軸回りに回転可能な洗浄部材３０と、洗浄部材を鉛直軸回りに回転するサーボモータ３９と、洗浄部材をウエハの被洗浄面に沿って移動させる移動機構６３と、を具備する基板洗浄装置において、洗浄部材は、ベース部３２にスポンジ状の洗浄基部３１を接合してなり、ベース部及び洗浄基部の中心部に、洗浄液供給源に接続する吐出口３３を設け、洗浄基部の表面に、基端が洗浄液吐出口に連通すると共に、先端が洗浄部材の外周縁部手前まで延びる複数の連通溝３５を設け、ベース部における連通溝が位置する部位に、連通溝と連通する排出孔３６を設ける。 （もっと読む）

本発明は、溝、接合部、凹凸、及び/又は孔を備えた表面を水平及び/又は垂直洗浄する機械用のブラシ（１０）に関する。この機械は前記表面にほぼ平行な面で前記ブラシ（１０）を移動させるように設けられている。前記ブラシ（１０）は、前記溝、接合部、凹凸、及び/又は孔の間に延びる表面の部分を洗浄又は磨くための少なくとも１組の第１毛部（１）と、前記溝、接合部、凹凸、及び/又は孔を洗浄するための少なくとも１組の第２毛部とを備えている。前記第１、第２毛部（１，２）は洗浄面を形成し、この洗浄面で前記第２毛部（２）は前記第１毛部（１）に対して突出している。前記ブラシ（１０）はベース板（４）を有し、前記ベース板（４）は、前記１又は複数組の第２毛部（２）が設けられた１又は複数のブラシ部（５）に、１又は複数のボルト又はねじ接合により解放可能に取り付けられるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】能率的に貼付されているラベルを除去できる手段を提供する。
【解決手段】適宜形状のケース上部に天板を設け、該天板上面適所に切除部を設けるとともに、該切除部上縁よりその外周の一部を突出させてフラップホイールを回転可能に位置させ、該フラップホイールを駆動させるための駆動源と該駆動源からの動力をフラップホイールに伝達するための伝達機構を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブラシの寿命を長くした洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する保持機構１０と、基板Ｗを洗浄可能な洗浄ブラシ２１とを備え、保持機構１０に保持された基板Ｗに洗浄ブラシ２１を当接させながら相対回転させて基板Ｗを洗浄するように構成された洗浄装置１において、洗浄ブラシ２１を洗浄するブラシ洗浄器５０を有し、このブラシ洗浄器５０は、洗浄ブラシ２１の表面電位を変化させて、洗浄ブラシ２１の表面電位および当該洗浄ブラシ２１に付着した異物の表面電位を互いに正負が同じ表面電位にすることにより、洗浄ブラシ２１から異物を分離して除去するようになっている。 （もっと読む）

【課題】被洗浄面に洗浄残りが発生することがなく、ブラシロールの回転方向に限定されることなく、長期間に亘り、効率よく確実に異物等の対象物を除去する高い洗浄性能を有するブラシロール、及びそのブラシロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】ブラシロール１は、略棒状又は円筒状の回転軸３と、前記回転軸３の外周に螺旋状に巻き付けられたブラシ部２を有し、前記ブラシ部２は断面略Ｕ字状の帯状体６と、前記帯状体６で芯線７と共に挟持されるブラシ毛材８とで構成されたチャンネルブラシ５からなるブラシ体４ａ、４ｂ、４ｃが３本以上並列に設けられてあると共に、前記回転軸３の外周に螺旋状に巻き回されて形成されてあり、前記ブラシ体４ａ、４ｂ、４ｃは前記回転軸３の軸心Ｃ．Ｌ．の垂線Ｐ．Ｌ．にたいして４５°以下の傾斜角度θを有すると共に、前記回転軸３の外周に固定手段１０にて固定して形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】搬送路上を移動する対象物の上面をクリーニングする工程を比較的簡易な機構で自動化し、生産性の向上を図る。
【解決手段】ガイド部４ａ，４ｂは、搬送路２上の幅方向における湿式充填品３の変位を規制する。クリーニングベルト５ｃは、主動ローラ５ａと、従動ローラ５ｂとの間に巻回され、搬送路２の幅方向に延在している。クリーニングベルト５ｃは、搬送路２上を移動する湿式充填品３の上面と当接する凹凸状のクリーニング面５ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は上記実情に鑑み、洗浄効率の向上と共に、操作性及び洗浄性能の向上を図り得る洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄対象面７２に当接させる二つのブラシ９を各別に有する二つのブラシ駆動機構３を備え、夫々のブラシ駆動機構３が、回転駆動部８と、ブラシ９と、当該ブラシ９が回転駆動部８の回転軸心の周りに自転を伴わず公転のみを行うよう、回転駆動部８の回転運動をブラシ９に伝達する駆動伝達機構とを備えると共に、二つのブラシ駆動機構３を各別に保持する二つの保持部４と、当該二つの保持部４をそれらの相対角度を変更可能に枢支し、作業用のハンドル６を取付けた装置本体２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面の洗浄性能が高く、耐久寿命が長いガラス基板用洗浄工具を提供する。
【解決手段】洗浄工具１０の砥石片１６は、マトリクスとしての母体樹脂２４と、その母体樹脂２４よりも硬く且つガラス基板４２よりも低強度のフィラー( 薄片状シリカ、マイカ）２２とを含むことから、洗浄に際して砥石片１６によりガラス基板４２を傷つけることなく、ガラス基板４２の表面に付着した封止樹脂が好適に削除されるとともに、ガラス基板４２の表面に付着したガラスカレットが好適に弾き飛ばされるので、ガラス基板４２の表面における高い洗浄性能と長い耐久寿命とが得られる。 （もっと読む）

【課題】基板の端部の必要な部分を効果的に清浄にすることが可能な基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置を提供することである。
【解決手段】洗浄ブラシ５３１は、鉛直方向に延びるブラシ軸５４０を有する。ブラシ軸５４０の外周面を覆うように円筒状の緩衝部材５４２が取り付けられ、緩衝部材５４２の外周面を覆うように円筒状の洗浄部材５４３が取り付けられている。緩衝部材５４２および洗浄部材５４３の下端部はブラシプレート５４１に固定されている。ブラシプレート５４１上における洗浄部材５４３の外側の領域には、環状の洗浄部材５４４が取り付けられている。本実施の形態では、洗浄部材５４３として比較的硬質で柔軟性が低い材料が用いられ、緩衝部材５４２および洗浄部材５４４として比較的軟質で柔軟性が高い材料が用いられる。 （もっと読む）

【課題】装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを水平姿勢で保持する基板保持部１と、基板Ｗに接触して基板Ｗを洗浄する洗浄ブラシ７と、洗浄ブラシ７の側方に設けられ、処理液の液滴をキャリアガスとともに基板に噴射して基板を洗浄する二流体ノズル９と、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを保持する保持アーム５と、この保持アーム５に連結して設けられ、基板Ｗ面に沿って洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを移動させる単一のアーム移動機構と、を備えている。このように構成される基板処理装置によれば、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９を移動させる単一のアーム移動機構を備えているので、装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能が一層向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ガードレール表面を清掃して再塗装する場合に、塗装面を美しく仕上げることのできるガードレール清掃塗装装置を提供する。
【解決手段】ガードレール３００に沿って移動しながらガードレール３００表面の清掃及び塗装を行うガードレール清掃塗装装置１００であって、ガードレール３００表面から汚れを剥離させる剥離手段１０と、剥離手段１０により剥離された汚れを拭き取る拭き取り手段２０と、拭き取り手段２０により汚れが拭き取られたガードレール３００表面を塗装する塗装手段３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ブラシの内部に染み込んだ異物を確実に除去できる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハを洗浄するためのスポンジブラシ１８と、このスポンジブラシ１８を所定の処理位置と所定の待機位置との間で移動させる移動手段とを備えている。スポンジブラシ１８は、前記待機位置で待機ポッド２５内に収容される。移動手段は、待機ポッド２５内でスポンジブラシ１８に洗浄液が供給されている状態で、スポンジブラシ１８を受け部４３に押し付けてスポンジブラシ１８を圧縮させる圧縮動作、およびスポンジブラシ１８を受け部４３から離反させてスポンジブラシ１８を自身の復元力により復元伸長させる伸長動作を交互に行うように制御される。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の洗浄液ミストを効率良く排気し、且つ、洗浄槽のメンテナンススペースを十分確保できる洗浄槽排気装置を提供することにある。
【解決手段】洗浄槽排気装置は、１つ以上の洗浄槽１０−１、２を覆う各上蓋２０−１、２と、洗浄液のミスト６６を誘導する集合ダクト３０と、洗浄液のミスト６６を吸引、排気する吸引排気部４０とを具備し、各上蓋２０−１、２は、それぞれ中空箱型の構造を成し、各上蓋２０−１、２の下面は複数の吸気口２２を有し、側面の１つは集合ダクトと接続される通気口２４を有し、集合ダクト３０は、各上蓋２０−１、２の通気口２４と接続される１つ以上のダクト入口３２と、吸引排気部４０に接続されるダクト出口３４とを有する。 （もっと読む）

【課題】耐薬品性があり、軽量で、撓みが極めて少なく、液晶表示パネルなどの基板を好適に洗浄することのできるブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトを提供する。
【解決手段】炭素繊維強化プラスチックで形成した円筒状の芯材２の軸線方向両端に、金属製の支軸１０を取り付け、芯材２の外周面と、芯材２の軸線方向端部に隣接する支軸１０の外周面の少なくとも一部を被覆するようにしてＰＶＣ熱収縮管３を熱収縮させる。 （もっと読む）

【課題】通過する被清掃体の表裏両面に対して、それぞれ精密に調整された適正な進入量で除電清掃を行える除電清掃装置を提供する。
【解決手段】回転して被清掃材Ｐの上面を除電清掃するブラシ部材Ｂ１の下流側に回転して被清掃材Ｐの下面を除電清掃するブラシ部材Ｂ２を配置する。被清掃材Ｐは、上流側の搬送ローラ１１、１３と下流側の搬送ローラ１２、１４とによって挟持搬送されてブラシＢ１、Ｂ２を通過する。ブラシ部材Ｂ１、Ｂ２によって被清掃材から分離されたゴミは、ブラシ部材Ｂ１、Ｂ２を覆って配置したカバー部材Ｄ１、Ｄ２を通じて吸引される。被清掃材Ｐに対する摺擦の進入量の調整機構を設けたブラシＢ１に対向させて、搬送ローラ１１、１２と同一直径で同一中心高さの支持ローラ１７を設けた。 （もっと読む）

【課題】基板の表面のデバイス形成領域に処理液による悪影響を与えることなく、基板の周縁部から汚染を良好に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】ブラシ１１に関連して、処理液を吸引するための吸引ノズル７０が設けられている。吸引ノズル７０の先端部は、第１接触面３２と第２接触面３３との境界部分３４に対向する先端面７２と、第１接触面３２および第２接触面３３と当接する当接面７３とを有している。先端面７２には、吸引口７４が形成されている。吸引ノズル７０に接続された吸引管７６は、処理室２の外部へ延びており、その先端は、真空発生装置６０に接続されている。真空発生装置６０が駆動されると、ブラシ１１の内部に含まれる処理液は吸引口７４に吸引され、ブラシ１１の内部に吸引口７４に向かう処理液の流れが形成される。 （もっと読む）

【課題】ブラシの交換時期を適切に判断することができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷの裏面の周縁領域１４および周端面１５に対する裏面洗浄処理時には、ブラシ１６は、裏面処理時位置に配置され、スピンチャック３に保持されたウエハＷの周縁部に対して押し込まれる。そして、その状態が所定時間にわたって維持された後、ブラシ１６は、ウエハＷから離間される。一方、ブラシに加わる荷重が圧力センサにより検出され、その検出される荷重に基づいて、制御部により、ブラシ１６が裏面側処理時位置に配置されたか否かが判断される。そして、ブラシ１６が裏面側処理時位置に配置されたと判断された時点からブラシ１６がウエハＷからの離間のために移動し始めるまでの時間が計測され、その時間がメモリに累積して記憶される。 （もっと読む）