【課題】靴底に付着した油脂分の脱脂洗浄を、油脂分の分解作用を持つ化学洗浄液を用いて効果的に脱脂洗浄できる湿式靴底脱脂洗浄装置を得る。
【解決手段】電動機により駆動される駆動用ローラー、テンションローラー、により構成される無限軌道駆動機構上を回転する平ベルトの下方部に、油脂分解作用を持つ水溶性化学洗浄液の貯留容器を配置し、平ベルト上面部に洗浄液貯留容器内の洗浄液を補給すると同時に平ベルト上の付着物を洗浄するための機構として洗浄液容器より吸い上げて噴射する為の吸上げポンプ及び洗浄液噴射ノズルを持つ湿式靴底脱脂洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 底付きパイプの内面を洗浄するに際し、洗浄液を使用しないで洗浄効率を上げること。
【解決手段】 底付きパイプ１の内面をエアブロー装置２０により洗浄する底付きパイプ洗浄装置１００であって、エアブロー装置２０は洗浄ノズル２２をパイプ１内に挿入可能にし、洗浄ノズル２２がエア噴出口２３を外周面に備え、エア吸入口２４を先端面に備え、パイプ１内の異物を洗浄ノズル２２の外周面のエア噴出口２３から吹出すエアブローにより吹飛ばしながら、該洗浄ノズル２２の先端面のエア吸入口２４から捕集するもの。 （もっと読む）

【課題】基板を移動しながら、ブラシの洗浄力を低下させることなく、大型の基板を均一に洗浄する。
【解決手段】基板搬送機構は、基板１をローラに搭載して所定の速度で移動する。ブラシユニットは、複数のディスクブラシ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆを有し、ブラシユニットカバー２０内には、各ディスクブラシに対してブラシ高さ調整機構が設けられている。各ブラシ高さ調整機は、各ディスクブラシの高さをそれぞれ独立に調整して、各ディスクブラシが基板に接触する圧力を等しくする。ブラシ移動機構は、ブラシユニットカバー２０に連結されたリンク１４によって、ブラシユニットをスライドレール１３に沿って所定距離だけ往復させる。 （もっと読む）

【課題】ワークを液体ホーニング処理するホーニングゾーンと、該ホーニングゾーンで液体ホーニング処理されたワークを洗浄処理する洗浄ゾーンとを、外気から遮断されたハウジング内に互いに隣接して備えた液体ホーニング加工機における洗浄ゾーンの汚染を防止すること。
【解決手段】液体ホーニング加工機１のハウジング４内におけるホーニングゾーン５と洗浄ゾーン６との間には、ホーニングゾーン５の雰囲気ガスが洗浄ゾーン６に流入するのを防止する隔壁７が配設されている。さらに、液体ホーニング加工機１は、ホーニングゾーン５で液体ホーニング処理されたワーク２を、搬送槽11内の液72中に浸漬した状態で、ホーニングゾーン５から洗浄ゾーン６に搬送する液中搬送装置10を、ハウジング４内に備える。 （もっと読む）

【課題】 基板に接触して洗浄する洗浄部材の表面のみならず内部をも浄化させることができる部材洗浄機構を備えた基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ウエハ洗浄装置１０は、ウエハＷを保持するスピンチャック１１と、ウエハＷの表面に接触して洗浄する伸縮性のある洗浄部材３２を有するブラシ３０と、ブラシ３０を基板処理位置と待避位置との間で移動させるブラシ移動機構２０と、待避位置において洗浄部材３２を洗浄するためのブラシ洗浄機構５０を具備する。ブラシ洗浄機構５０は、洗浄部材３２を圧縮／自然膨張させるように洗浄部材３２と相対的に接離自在に設けられた円柱部材５２と、洗浄部材３２に純水を供給する第１の部材洗浄ノズル５４ａを有する。洗浄部材３２は、自然膨張した状態で純水を吸収し、圧縮される際に吸収した純水とともに洗浄部材３２の表面および内部の汚れを排出し、浄化される。 （もっと読む）

【課題】小型で、簡単に簡単に廃タイルカーペット等の使用済み内装材の裏面に付着している接着材、コンクリート、モルタル片等の付着物を除去する清浄装置を提供する。
【解決手段】使用済み内装材の裏面に対しある角度をつけてスチルワイヤーブラシを回転させると同時にスチルワイヤーブラシを上下に振動させて、スチルワイヤーブラシの内装材裏面への接圧に強弱をつけて擦ることにより、使用済み内装材の裏面に付着した接着剤やコンクリート、モルタル等の付着物を簡単にしかも安定して除去することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】一方の主面がウェット洗浄に向かない基板の両側の主面を同時に洗浄する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、基板９の外縁部を保持する円環状の基板保持部２、基板９の下面にドライ物理洗浄を行う第１洗浄機構３、および、基板９の上面に液体を用いるウェット洗浄を行う第２洗浄機構４を備える。第１洗浄機構３は、基板９の下面に向けて固形の二酸化炭素の微粒子を噴出する外部混合型の２流体ノズルである噴射ノズル３１を備える。第２洗浄機構４は、基板９の上面に洗浄液を供給する洗浄液供給部４２、洗浄液が供給された基板９の上面を洗浄する洗浄ブラシ４１を備える。基板洗浄装置１では、基板保持部２に保持された基板９の下面に対して第１洗浄機構３によりドライ物理洗浄が行われ、上面に対して第２洗浄機構４によりウェット洗浄が行われることにより、一方の主面がウェット洗浄に向かない基板の両側の主面を同時に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】レンズ形状が異なる各種レンズの光学面に対して洗浄部材を略均一な接触圧で接触させることができ、強固な汚れであっても光学面全体を一様に洗浄することができるようにしたレンズの洗浄装置を提供する。
【解決手段】レンズ２をその幾何中心０を中心軸として回転させる。レンズ２に洗浄剤７０を噴射し、２つの回転軸６０，６０に取付けた柔軟性を有する洗浄部材６４，６４をレンズ２の凸面２ａに接触させて洗浄する。洗浄部材６４としては、ブラシを用いる。その１つをレンズ２の略中央部に接触させ、他方を周辺部に接触させる。２つの回転軸６０，６０は、揺動中心軸Ｒ₁ を中心としてレンズ２の半径方向に揺動する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、無害で廃液が一切流出しないで、誰でも簡単に外壁タイルの洗浄コーティングが可能な壁及び床面清掃具を開発・提供する事にある。
【解決手段】 ハンドポリッシャ本体の動力軸部に回転台を軸着し、該回転台の表面に、左右又は上下方向に所定間隔空けてパッド取付部を設け、回転台の該パッド取付部を除く箇所にブラシを設けると共に、回転台のパッド取付部には、１又は複数枚のパッド高さ調整用スペーサーを介してパッド取付板を設け、該パッド取付板とパッドとを面ファスナー等の係止部材で固着するものである。又、ブラシの先端を、パッドの表面より前面に位置するよう設け、該パッドはタイルの表面を洗浄・コーティングし、ブラシはタイルとタイルの間の目地を洗浄・コーティングするものである。 （もっと読む）

【課題】 ワークチャックにおける異物の残存率を低減することができるワークチャックの洗浄装置を提供する。
【解決手段】 多数のピン１４が下向きに突設され且つその先端で半導体ウェーハを吸着保持した状態で回転するワークチャック１２と、複数の毛束を突設すると共にワークチャック１２に毛束の先端が当接した状態で回転する表面ブラシ４１と、ワークチャック１２又は表面ブラシ４１の少なくとも一方をワークチャック１２の半径方向に変位させる変位駆動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 対象物を搬送方向に直角な左右方向ほとんど振れずに、確実に向き換えができるようにする。
【解決手段】 左右方向Ｙで搬送速度が高速から、停止、逆向き搬送を含む低速へと異なる差速コンベア１によって搬送する対象物２に左右方向Ｙで異なった搬送速度またはおよび方向の搬送作用を及ぼして回転力Ｆ３を与えるのに併せ、対象物２の高速搬送側Ｙ１と、低速搬送側Ｙ２との双方に回転促進力Ｆ１、Ｆ２を側方から与えて、対象物２の向きを変えることにより、上記の目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄処理をより効果的に、かつ均質に行うことを可能とした洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハＷ等の基板に洗浄処理を施す洗浄処理装置、例えば、スクラブ洗浄ユニット（ＳＣＲ）２１ａは、ウエハＷを略水平に保持して面内回転させる保持手段であるスピンチャック７１と、スピンチャック７１に保持された基板の上面を洗浄するブラシ７６ａ・７６ｂ等の洗浄手段と、ブラシ７６ａ・７６ｂを保持するブラシ保持アーム７７ａ・７７ｂと、ブラシ保持アーム７７ａ・７７ｂをブラシ７６ａ・７６ｂがスピンチャック７１に保持されたウエハＷ上の所定位置を移動するように駆動するアーム駆動機構７９ａ・７９ｂとを具備する。カップ７３の外側の所定位置には、２本のリンスノズル８６ａ・８６ｂが配設されており、それぞれウエハＷの所定位置に洗浄液またはリンス液を供給してウエハＷ上に液膜を形成する。 （もっと読む）

窓ガラスの隅までキレイに清掃することができ、安価に製造でき、窓ガラスのガラス面をスムーズに走行させることができ、所望の方向に真っ直ぐ走行でき、窓ガラスに拭き残しが生じるのを防止できる窓拭き装置を提供する。
窓ガラスＷに吸着する吸着部１０と、この吸着部１０に取り付けられ、窓ガラスＷを清掃する清掃ユニット２０と、吸着部１０に取り付けられた走行部３０とから構成されており、吸着部１０に、走行部３０が旋回自在に取り付けられている。吸着部１０に走行部３０が旋回自在に取り付けられているので、走行部３０の走行方向を変えても、清掃ユニット２０の姿勢を変えないようにできる。このため、清掃ユニット２０の拭取り部２２を平面視で四角形状にすることにより、窓ガラスＷの隅までキレイに清掃することができる。
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【課題】 ロボットカメラにこびりついた汚れを効果的に除去し、かつ、短時間で一連の清掃作業を遠隔操作で行う。
【解決手段】 ロボットカメラに対向する位置に設置する筐体と、該筐体を設置場所に固定する脚とを有するロボットカメラメンテナンスボックスであって、前記筐体前面に設けられた開閉自在の扉と、前記筐体上部に設けられ、液体を噴射するウォッシャーノズルと、ロボットカメラのハウジングに設けられた前面ガラス面を洗浄する洗浄ブラシと、前記洗浄ブラシによる洗浄後のガラス面を乾燥させる乾燥手段と、前記筐体内部に設けられ、前後左右に動き、かつ前記洗浄ブラシ及び乾燥手段を支持する支持腕部材とを具備するものである。 （もっと読む）

【課題】 煙突内面に対する除染作業の機械化、自動化を図り、安全かつ効率的な除染作業を可能とする。
【解決手段】 煙突１内部を昇降可能な装置本体１１と、その装置本体を煙突中心位置に保持する保持機構１２と、装置本体に搭載されて煙突内面から汚染物を除去する汚染物除去機構１３とを具備する。汚染物除去機構としては斫りハンマー１８によるものとビットによるものを交換可能とする。斫りハンマーの斫り深さを一定に維持する機構や、煙突内面の突起物を検知してそれを回避する機構を備える。保持機構は少なくとも３本の保持アームを煙突内面に突っ張ることで装置全体を煙突中心位置に保持する。除染装置３によって煙突内面より除去した汚染物を煙突底部に落下せしめてバキューム装置４により真空吸引により回収する。煙突内部から排気を行って排気中の汚染物を集塵装置７により捕集する。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄基板に接触するスポンジ等の洗浄部材の装着が容易で、被洗浄基板の縁部まで洗浄範囲とすることができ、洗浄部材の押付力の変化によって被洗浄基板との接触面積が変化しにくく、被洗浄基板の膜面にダメージを与えることがない洗浄具及び該洗浄具を用いた基板洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 基板洗浄装置に用いる洗浄具であって、洗浄具は被洗浄基板の洗浄面に接触させる洗浄部材１と該洗浄部材１を保持する洗浄部材保持機構２とを具備し、洗浄部材保持機構２は下方部が複数のチャック爪４ａに分割された挟持部材（スリーブ）４と、該挟持部材の外周に嵌入されるリング部材５を具備し、該挟持部材の複数のチャック爪４ａで形成された挿入穴に該洗浄部材１の端部を挿入し、該リング部材５を該挟持部材の外周に嵌入することにより、該複数のチャック爪４ａで該洗浄部材１を締め付け固定する構造、即ちコレットチャック構造とした。 （もっと読む）