【課題】半導体堆積室において形成された堆積残渣で汚染されているツール部品を清浄化する方法を提供すること。
【解決手段】ツール部品の清浄化方法が、堆積残渣で汚染されたツール部品を半導体堆積室から取り出すことと、ツール部品をオフラインのガス反応室に案内することと、堆積残渣を揮発性種に変換するための条件下、ツール部品に反応性ガスを接触させることと、オフラインのガス反応室から揮発性種を除去することと、堆積残渣を本質的に有しないツール部品をオフラインのガス反応室から回収することと、ツール部品を半導体堆積室で使用することとを含んでなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 バレル研磨とその後の洗浄処理とをまとめて一気に行うことのできる研磨洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】 処理対象物を収容したバレルＢＡ１〜ＢＡ３を、洗浄液に浸漬した状態で回転させて、処理対象物とメディアとを流動させる処理槽１〜３と、洗浄液に接触しない状態でバレルＢＡ１〜ＢＡ３を保持して回転させる空転機構ＲＴ（Ｈ）と、処理槽１〜３に接続された液タンクＴＫ１〜ＴＫ３と、液タンクＴＫ１〜ＴＫ３と各処理槽１〜３との間で洗浄液を循環させる循環機構とを備えている。各バレルＢＡ１〜ＢＡ３には、研磨屑が通過自在な貫通孔ＨＯが設けられているので研磨屑が有効に排出される。排出された研磨屑は、循環機構において捕捉される。 （もっと読む）

【課題】 水冷壁管、過熱器管・主蒸気管等の被洗浄配管を、切断することなく、単一の化学洗浄液を使用して一貫洗浄可能にするための技術を提供すること。
【解決手段】 主蒸気止め弁取り合い座を洗浄液入り口、水冷壁管取り合い座およびボイラ降水管取り合い座を洗浄液出口として取り合い、仮設洗浄装置によりドラム型ボイラの被洗浄配管に、加熱したキレート系化学洗浄液を循環させるドラム型ボイラの一貫洗浄方法並びに被洗浄配管から除去されたスラッジ分を除去・回収するスラッジ捕集装置、循環ポンプ、洗浄剤溶解タンク、洗浄剤溶解注入ポンプおよび洗浄液の温度を調整する熱交換器を含む仮設洗浄装置から構成されることを特徴とする洗浄システム。 （もっと読む）

【解決手段】 特に、病院、ケアセンター、又は同様の施設では、尿瓶又は便器の様な排泄容器を空にして洗浄するための、安全に取り扱えて信頼できる方法を有している必要がある。従って、濯ごうとする物品（１１２）を処理できる方法とシステム（１１０）が提案されている。この場合、先ず、空にする段階（２１０）で、濯ごうとする物品（１１２）は、空にされ、濯ぎ落とし液を使って濯ぎ落とされる。続いて、循環の段階（２１２）で、濯ごうとする物品（１１２）が、循環で洗われる、最後に、濯ぎ洗浄の段階（２１４）が実行され、濯ごうとする物品（１１２）は、濯ぎ洗浄液を使って濯がれる。次に、随意的な消毒の段階（２１６）、望ましくは化学消毒の段階（２１６）で、濯ごうとする物品（１１２）は、消毒され、随意的な乾燥の段階（２１８）で、濯ごうとする物品（１１２）は、高温の空気を吹き付けることによって乾燥される。 （もっと読む）

【課題】 金型の成形面に傷を発生させるおそれがなく、確実な密閉空間を形成して除去した異物を周囲に再付着させることなく確実に収集又は外部に排出することができ、大掛かりな装置を必要とせず簡単な構造で迅速に清掃でき、比較的小型の金型清掃に適した光学ガラス素子の金型清掃方法及び金型清掃装置を提供する。
【解決手段】 金型（下型７）の成形面１２を覆って密閉空間Ｓを形成し、該密閉空間Ｓに清掃ガスを吹込んで前記成形面Ｓを清掃するとともに、該密閉空間Ｓ内の清掃ガスを周囲に拡散させることなく排出する。 （もっと読む）

【課題】 半導体レーザ素子の製造方法に関し、特に共振器の両端面に保護膜を有する半導体レーザ素子において、保護膜の膜質によらず、ＣＯＤによる素子劣化が少なく、高出力かつ高信頼性が得られることにある。
【解決手段】 共振器端面１ａ，１ｂを所定の条件下、例えば低イオンエネルギーかつ高イオン電流密度でプラズマ処理することによって、劈開時に発生した共振器端面１ａ，１ｂ部の汚染物質や自然酸化層を除去すると共に、酸化が抑制されるように共振器端面１ａ，１ｂを改質させる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１種の界面活性剤を含む水−二酸化炭素系から界面活性剤を回収する方法であって、該水−二酸化炭素系を脱水剤と接触させて水を除き、界面活性剤を回収する方法に関する。また、本発明は、二酸化炭素、二酸化炭素と相溶性を有する界面活性剤及び／又は助溶媒、並びに除去対象物を含む混合系を循環させる循環ライン中に該除去対象物の選択的除去装置を設け、該混合系を循環させて、前記界面活性剤及び／又は助溶媒に取り込まれた該除去対象物を選択的に除去することを特徴とする方法に関する。
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【課題】 充填操業を一時的にも停止することなく充填ラインを洗浄できる充填包装装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 包装材としての帯状のフィルムＦを走行させながら該フィルムに縦シールを施して筒状体とする縦シール手段１３と、縦方向で所定間隔をもって上記筒状体に横シールして該筒状体を袋体とする横シール手段１４，１５と、充填時に上部開口が未横シールの空袋体の該上部開口に臨む充填位置で内容物を充填するノズル２５，２６及び該ノズルに接続された内容物移送用配管とから成る充填ライン２１，２２と、ノズルが充填位置から洗浄位置へ移動した際、充填ライン洗浄液を流通させる洗浄装置３０とを備える充填包装装置において、充填ライン２１，２２は複数設けられ、各充填ラインが独立して充填位置と洗浄位置のいずれかに選択的にもたらされることが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】高圧下の超臨界流体と接する洗浄・乾燥処理チャンバー等の内面金属材から金属が溶出して、半導体ウエハー等に悪影響が及ぶことを防止した超臨界流体洗浄・乾燥装置を提供する。
【解決手段】洗浄・乾燥処理チャンバー内を超臨界状態に維持することによって、被洗浄物の洗浄・乾燥処理を行う超臨界流体洗浄・乾燥装置において、上記洗浄・乾燥処理チャンバーと、該洗浄・乾燥処理チャンバー内に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段と、該洗浄・乾燥処理チャンバー内の不要物を排出する流体排出手段とを備え、上記洗浄・乾燥処理チャンバーを、被洗浄物を入れる容器本体１０ａと該容器本体１０ａの開口部を覆う蓋体とから構成し、容器本体１０ａおよび蓋体の少なくとも超臨界流体と接する面ａに不活性な酸化皮膜３０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄・乾燥処理チャンバーを構成する容器本体と蓋体との嵌合を容易にし、自動化に適したものとする。
【解決手段】 洗浄・乾燥処理チャンバーと、該洗浄・乾燥処理チャンバー内に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段と、上記洗浄・乾燥処理チャンバー内の不要物を排出する流体排出手段とを備え、上記洗浄・乾燥処理チャンバー内を超臨界状態に維持することによって、当該洗浄・乾燥処理チャンバー内の被洗浄物の洗浄・乾燥処理を行うようにしてなる超臨界流体洗浄・乾燥装置であって、上記洗浄・乾燥処理チャンバーは、被洗浄物を入れる容器本体と、該容器本体の開口部に嵌合される蓋体とからなり、容器本体と蓋体との嵌合部には、容器本体と蓋体との嵌合位置を合わせる合成樹脂製の位置合わせリングと嵌合部の隙間をシールするシール部材とが設けた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、従来のドライアイス製造時に排出されるＣＯ₂ガスを有効利用し、少ない動力でドライアイスを製造するシステム、およびかかるシステムを応用してドライアイスを有効に再利用することができるドライアイスブラスト洗浄システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 ＣＯ₂を含むガスから、水分を除去する除湿器２と、水分を除去したＣＯ₂を含むガスを冷却する空気冷媒冷凍機３と、ＣＯ₂が冷却されてできたドライアイスを分離する分離装置４とを備えるドライアイス製造システム１、およびこれを用いたドライアイス製造方法。 （もっと読む）

【課題】光洗浄では除去しきれない有機物汚染の除去を、効果的に短時間で効率的に行うことができ、洗浄に伴う光学部品の温度上昇も殆どない光学部品の洗浄方法、洗浄装置を提供すること。
【解決手段】この洗浄方法は、容器内を減圧するステップと、減圧された容器内にプラズマを生成可能な所定のガスを供給するステップと、容器内に備えられた電極に電力を印加するステップとを有し、電力印加により容器内に生成されたプラズマを用いて、容器内に配置された洗浄対象を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】ワークに沿って移動するエアー噴射部から低圧大風量のエアーを噴射することができるエアブロー装置を提供する。
【解決手段】低圧大風量のエアーを発生させるブロワー２１と、ワークＷに沿って移動するエアー噴出部５１との間を連通するエアーダクト３１に、エアー噴出部５１の移動方向に沿って直線状に延在してエアー噴出部５１の移動に応じて軸方向に伸縮する伸縮部６１を設ける。これにより、比較的大きな断面積を有するエアーダクト３１を採用することができ、ブロワー２１からエアー噴出部５１まで低圧大風量のエアーを低速で通過させ、エアーダクト３１内におけるエアーの流速増加を防ぎ、圧力損失を僅少とし、低圧大風量のエアーを圧力低下させることなく、エアー噴出部５１から噴出させることができる。 （もっと読む）

本発明は、重炭酸ナトリウム、その混合物または類似した手段を使用し、かつ、単一のブロックのプラスチック・サンドブラスト・ブース（Ｃ）を備えた新規な洗浄設備である。ブースは、支持体（Ｓ）、洗浄材料供給装置（Ａ）のための室、および、濾過装置（Ｆ）のための室からなる単一のブロック・プラスチックＬ字状の要素に配置される。サンドブラスト・ブース（Ｃ）は、ホッパ状に形成される底部（Ｃｔ）、アクセスを許容するように設計されたヒンジ結合された開口側壁（Ｃｏ）、透明なガラスを備えた点検ウインドウ（Ｃｆ）、および、長手袋の挿入のために並んで配置された２つの孔（Ｃｍ）を有する。
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【課題】コンクリート等の多孔質体に付着・浸透している油類を、大掛かりな工事を必要とすることなく効率的に除去すること。
【解決手段】油類が付着・浸透しているコンクリート等の多孔質体表面に吸着部材を敷き詰める工程と、前記多孔質体表面に敷き詰めた吸着部材の全域に溶剤もしくは水等を注ぐ工程と、前記溶剤等を注いだ吸着部材をシート部材により被覆した状態で所定時間放置し、前記溶剤等により溶解されて多孔質体表面に滲出する油類を吸着部材に吸着する工程と、所定時間経過後、シート部材による吸着部材の被覆状態を解除するとともに、前記油類を吸着した吸着部材を多孔質体表面から撤去する工程と、前記吸着部材を撤去した多孔質体表面をウエス等を用いて拭き取り・乾燥し、前記多孔質体表面への油類の滲出の有無を確認する工程からなる油類の除去方法により、多孔質体から油類を除去するようにした。 （もっと読む）

本発明の態様は、基板を処理するための基板処理装置および方法に向けられる。一態様では、基板処理装置は処理室と、基板を保持するための処理室内部の基板保持器と、基板に対し略垂直に音波を供給するための処理室内の音響箱とを含む。音響箱は膜、および、膜に結合された変換器を含むことができる。
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この発明は、金属連続体（１）、特に普通鋼又はステンレス鋼から成る熱間圧延された鋼帯のデスケーリング及び／又はクリーニングを行う方法及び装置に関する。その方法としては、移送方向（Ｒ）に向かって装置（２）を通して金属連続体（１）を移送し、装置内で、金属連続体にプラズマ・デスケーリング及び／又はプラズマ・クリーニングを施すものである。この発明では、金属連続体のデスケーリング又はクリーニングの結果を改善するために、金属連続体（１）は、移送方向（Ｒ）に対して、プラズマ・デスケーリング及び／又はプラズマ・クリーニング装置（２）の前に、金属連続体（１）に高い度合いの平坦性を付与する処理を施されるものと規定する。
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【課題】タンク洗浄装置に用いられる駆動ユニットを提供する。
【解決手段】洗浄装置による洗浄中に液体および／または気体がタンク空間から逃げないよう確実にするために、本発明による磁気カップリング装置をハウジング（２）に提供する。磁気カップリング装置は、２つの協働する磁極要素（８、９）を備え、磁極要素（８、９）は、それぞれ、密閉隔離されて伸張し、磁極部が、タンク空間側のタービンハウジング（３）内と、タンク空間の外側のギアハウジング（１）内とに伸張している。これによって、液体および気体の漏れに対して非常に高い安全性を提供し、点検および保守のために容易に取り扱えるコンパクトな構造の達成が可能となる。 （もっと読む）

第１の端部と第２の端部を有する本体を備えた第１の取付け部品で構成される流体連結部品である。本体の第１の端部から第２の端部まで通路が延びる。本体の第２の端部にブラケットが取り付けられる。ブラケットは第２の端部に隣接する空所を形成する。本体の第１の端部を流体入口ラインに取り付けるため取付け要素が設けられる。ピストンが通路内を移動できる。ピストンには本体の第１の端部に面する入口側と本体の第２の端部に面する出口側がある。ピストンを通る開口がピストンの入口側とピストンの出口側を流体連結する。流体開口のある第２の取付け部品は、取付け部品の第２の端部に隣接する空所内にスライドして収容される寸法になっている。ピストンの開口が第２の取付け部品の流体開口に通じてピストンは移動可能になり第２の取付け部品に係合する。 （もっと読む）