【課題】搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法及び装置において、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制して高得率で製造することができる搬送物の除塵方法及び装置を提供する。
【解決手段】搬送物通過用開口部４０が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム１、２内を連続搬送される平面状の搬送物１５の除塵方法において、搬送物通過用開口部４０の位置に、搬送物１５の表裏面のうち一方面をローラ５０で支持しながら、該ローラ５０に対向配置された加圧風噴出装置４８により搬送物１５の他方面に気体を吹き付けて搬送物１５に付着した異物を風圧により除去する除塵工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理における処理領域の周縁部に沿って処理済みガスを万遍なく吸引できるようにする。
【解決手段】プラズマ生成部１１の処理ガス噴出方向側にノズル部１２を設ける。ノズル部１２は、噴出方向に積層された複数のプレート３１〜３３，３５で構成する。噴出口３５ａを囲む吸引路５０として、互いに重なり合う２つのプレートの少なくとも一方の重なり面に幅広の凹溝部５１，５３を形成し、最先端側のプレート３５及び他のプレート３２，３３にスリット又は整列孔からなる狭隘な貫通部５２，５４，５５を形成する。凹溝部及び貫通部５１〜５５は、それぞれ処理領域１９に沿うように延在されている。プレート３５の貫通部５５が、吸引路５０の上流端の吸引口を構成するとともに処理領域１９の周縁部を画成する。 （もっと読む）

【課題】外気圧より低い気圧に維持される低圧室内において低コストで被洗浄面に付着した付着物を除去すること。
【解決手段】被洗浄面に付着した付着物を次のような方法で除去する。この除去方法は、外気圧より低い気圧の低圧の室内６に設置された空気の送り出し装置（例えばコンプレッサー８）であって、低圧の室内６において取り込んだ空気を送り出す送り出し装置から送られる空気により、前述の低圧の室内６における被洗浄面にドライアイス粒５を噴射し、この噴射による衝突エネルギにより被洗浄面に付着した付着物７を除去する。低圧の室内６に設置されたコンプレッサー８による圧縮空気でドライアイス粒５を噴射するので、室外に設置されたコンプレッサーからの高圧空気のように室内の圧力を上昇させることがない。よって、室内６を負圧に維持するための装置を少なくすることができ、低コストで被洗浄面の付着物を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】粉塵発生層の剥離・除去作業による有害微粉塵の発生を効率的に防止し、作業能率を向上させる処理剤及び剥離方法、浮遊粉塵の除去方法を提供する。
【解決手段】極限粘度法に基づいて測定される数平均分子量が５×１０^６ 以上で、直鎖状のポリ（メタ）アクリルアミド水溶液あるいは水分散液からなる粉塵処理剤であって、前記ポリ（メタ）アクリルアミド水溶液あるいは水分散液が０．０００１〜０．０１重量％の固形分濃度を有し、かつ乾燥することにより前記固形分濃度が上昇し、保水性ゲルを形成すること、前記保水性ゲルが非水溶性であることを特徴とする粉塵処理剤および、粉塵発生層の剥離方法、ならびに浮遊粉塵の除去方法に関する。 （もっと読む）

【課題】天井クレーンやマニピュレータによる遠隔操作に適した堆積物除去装置及びその使用方法を提供する。
【解決手段】溶融炉本体の覗き窓２８から溶融空間１へ抜き差し可能で、しかも先端が傾斜壁２１に当接する下部撹拌棒３４と、天井クレーンのフックに係合し得るベール４１を有する上部撹拌棒３６と、下部撹拌棒３４が起立した姿勢であるときに、上部撹拌棒３６が起立した姿勢、または横倒しになった姿勢となり得るように、上部撹拌棒３６の先端を下部撹拌棒３４の基端に枢着するジョイントピン３７と、ジョイントピン３７枢着部位に外嵌し得るジョイントコネクタ３８とを備える。
下部撹拌棒３４及び上部撹拌棒３６を覗き窓２８から溶融空間１に差し込んで、これらを全体を昇降させ、下部撹拌棒３４先端で傾斜壁２１に付着している堆積物を撹拌する。 （もっと読む）

【課題】周方向に分割されている環状の中間部材が介在する真空容器において、中間部材の分割部品間の隙間も含めて中間部材の内外の雰囲気を切り分けることができる真空容器を提供すること。
【解決手段】中間部材に沿って環状に形成されると共に当該中間部材と前記第１の部材との間を気密に塞ぐためにこれらの間に押圧された状態で介在する弾性体よりなる環状の第１のシール部と、前記中間部材に沿って環状に形成されると共に当該中間部材と前記第２の部材との間を気密に塞ぐためにこれらの間に押圧された状態で介在する弾性体よりなる環状の第２のシール部と、互いに隣接する前記分割部品の間を気密に塞ぐために、前記中間部材に沿って環状に形成され、一方の周縁及び他方の周縁が夫々第１のシール部及び第２のシール部に密着するシート部と、を備えるように真空容器を構成する。 （もっと読む）

本発明は少なくとも１つの充填用注ぎ口（３２）と洗浄器とを備えた容器充填装置に関し、上記洗浄器は通路開口部（４１）を有する固定式収集部材（４）と、待機位置と封止部材（５）が通路開口部を密閉できる作業位置との間で移動可能な封止部材（５）と、封止部材をその待機位置と作業位置との間で移動させる移動手段とを備える。上記封止部材はホルダ（６２）に載置された弾性を有する可変形薄膜（５１）を備え、ホルダ（６２）と弾性を有する可変形薄膜（５１）とが密閉性変形室を形成し、上記ホルダが移動手段によって作業位置に移動した場合に上記密閉性変形室は加圧流体を入れて可変形薄膜を変形させることが可能であり、通路開口部を封止する。
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【課題】細長平板状器具に固着した固着物を容易に除去することができるようにする。
【解決手段】細長平板状器具の固着物除去装置１０は、多数のワイヤー先端が露出して外周面が構成されたブラシ部１４を有するワイヤーブラシ１１と、ワイヤーブラシ１１を、ブラシ部１４が周方向に回転するように回転駆動する回転駆動部１２と、ブラシ部１４の外周面から所定間隔をおいた外側に、刃先がブラシ部１４の外周面側を向くと共に刃先の延びる方向がブラシ部１４の外周面の接線方向に対して角度をなすように設けられた固定刃３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板を吸着保持する方式の処理装置における吸引通路に存在する塵埃やパーティクル等によって基板が汚染されるのを防止する。
【解決手段】被処理基板であるウエハＷを回転可能に保持するスピンチャック１０に、ウエハを吸着するための吸引口１４を設けると共に、この吸引口に真空ポンプ２０を接続してなる基板処理装置において、スピンチャックにおける吸引口と真空ポンプとを連通する吸引通路１５ａの汚れを防止するための汚れ防止手段４０を設ける。この汚れ防止手段を、吸引通路における吸引口側に配設されるフィルタ部材４１にて形成する。 （もっと読む）

【課題】 積層セラミック電子部品チップの表面から研磨材および研磨屑を確実かつ容易に除去することにある。
【解決手段】 乾式研磨工程を終えた積層セラミック電子部品チップ、研磨材および研磨屑の混合物に軟質メディアを加えて、撹拌し、前記積層セラミック電子部品チップから軟質メディアによって、研磨材および研磨屑を除去する積層セラミック電子部品チップの乾式洗浄方法およびその乾式洗浄装置。 （もっと読む）

タンク洗浄システムは、知られているシステムよりも効率的且つ効果的なタンク洗浄を提供する。このタンク洗浄システムはさらに、洗浄プロセスを監視することを可能にし、洗浄の確証を提供する。この点に関して、このタンク洗浄システムは、スプレーヘッド機構の制御及び監視を提供し、同時に、知られているシステムに関連した機械的な単純さ及び頑丈な性質を維持する。このタンク洗浄システムは、洗浄される容器の１つ又は複数の特性を自動的に考慮し、それに応じて洗浄動作を変更する。 （もっと読む）

【課題】エキシマ真空紫外光ランプから射光されたエキシマ真空紫外光を効率よくウエハに照射することができ、真空紫外光を利用してウエハの薄膜を良好に改質することができるエキシマ真空紫外光照射処理装置を提供する。
【解決手段】エキシマ真空紫外光照射処理装置１０は、ウエハ１６を収容するチャンバー１２と、チャンバー１２内を真空に保持する真空ポンプ１３と、チャンバー１２内に窒素を供給するガス供給装置１４と、チャンバー１２内に収容されたウエハ１６を所定温度に加熱するヒータ１５と、チャンバー１２内に収容されたウエハ１６の薄膜にエキシマ真空紫外光を照射するエキシマ真空紫外光ランプ２１とを備えている。装置１０では、ランプ２１がチャンバー１２内に露出しつつ、真空状態にあるチャンバー１２内に収容されたウエハ１６の薄膜に真空紫外光を直接照射する。 （もっと読む）

【課題】ピグにより押し出された粉塵が周囲に飛散することを防止すると共にピグを回収する時の衝撃音をできるだけ低減する。
【構成】管路５に圧送されているピグ１５がピグ受け部８に衝突するとき大きな衝撃音が発生するが、消音部３の円筒カバー１１で円筒部６の外周に所定の大きさで形成した空洞１０と円筒カバー１１の上面に形成した絞り管１２で発生した衝撃音を低減して近傍住民に不安感を与えることを防ぐ。さらに、低減した衝撃音を集塵部４に設けた集塵袋１３と網目袋１４により吸音して衝撃音をより低減する。また、ピグ回収部２に達して押し出されている粉塵を集塵部４で回収して周囲に粉塵が飛び散ることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、作業効率を向上し、異物の拡散を防止し得る異物除去装置の提供を目的とするものである。
【解決手段】異物除去装置１は、遊技機の形成物品の所定領域を覆うための開口部１１を有するケース状のカバー１０と、カバー１０内にエアーを送り込むエアー吹出装置３０と、カバー内の電荷を除去する除電装置４０と、カバー１０内のエアーとともに異物を吸引するエアー吸引装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の起動時におけるシールリングの摩耗や振動を抑えるとともに、容器の殺菌やすすぎのための液を効率よく利用することのできる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】昇降機構２１０を備えることにより、装置起動時においては、シールリング１４を下降させ、シールリング１４のシール壁１４ａ、１４ａをマニホールド１１の下面から離間した状態とし、シールリング１４のシール壁１４ａ、１４ａの上部を液で濡らす。この後に、シールリング１４を上昇させてマニホールド１１に密着させ、シールリング１４とマニホールド１１の下面との接触部分の摩擦が大きくなるのを防ぐ。また、シール部材２０３および固定リング２００により、シールリング１４とマニホールド１１との隙間から液の漏出を塞ぐ。 （もっと読む）

【課題】従来のバフの洗浄装置においては、手による揉み洗いで、洗浄し、天日乾燥か、強制脱水等による方法が一般的である。この方法は、能率が劣ること、厳寒時には大変に辛い作業であり、その改良が望まれていた。一部において、洗浄水を単にバフ装置に吹き付けて洗浄する方法では、バフ装置のバフの奥に付着した汚れが取れ難い等の問題がある。そして、また乾燥はエアを吹き付けることにより行なっているため、エアの供給が必要であった。
【構成】フレームに設けたケーシングにクロス状に軸支したローラと、洗浄水供給装置と、ホースとで構成した車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置で、ケーシングの上面に水噴出用の孔を複数個開設し、この孔を洗浄水供給装置に連通し、またケーシングの上面に排水用の孔を複数個開設する構成とした車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置である。 （もっと読む）

【課題】繊維紡糸用ノズルに付着した有機物、特に孔径が５０μｍ以下の細孔を有するノズルに付着した有機物を、ノズルに損傷を与えることなく、効率よく除去できる繊維紡糸用ノズルの洗浄方法の提供。
【解決手段】対向する電極１２間の放電空間を通過するガスをプラズマ化し、得られたプラズマガスを繊維紡糸用ノズル１４に接触させる工程を有することを特徴とする繊維紡糸用ノズル１４の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】油貯蔵タンク内のガスが直接外部に流出することを確実に防止しながら、タンク底部に堆積するスラッジを油貯蔵タンクから抜き出すことができる油貯蔵タンク内スラッジの除去方法およびそのシステムを提供する。
【解決手段】油貯蔵タンク内スラッジの除去システム１０は、油貯蔵タンクＡに接続されるガス導出管２０と、ガス導出管２０に接続されるガス洗浄油槽２２を有するガス洗浄機構１２と、タンク内圧を大気圧以下に保持、制御しながらガスを外部へ排出するガス排出機構１４と、ガス導出管２０内に、ナフタレン等を溶解可能なガス洗浄油を通過させるガス洗浄油処理機構１６と、スラッジ除去機構１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】柔軟性の無い凹凸面や、書画等のデリケートなものに付着した塵埃を適切に清掃することのできる清掃用具を提供する。
【解決手段】被清掃面にその先端部が摺動接触して塵埃を掃き取ると共にこの塵埃が付着する掃き取り部（２６７）を有する掃き取りブラシ（２６０）と、前記掃き取り部（２６７）の先端部が接触して前記塵埃が転位付着する除去ブラシ（２７１）と、この除去ブラシ（２７１）を回動可能に取付け且つ、その内部空間の集塵部に除去ブラシに付着した塵埃を転位付着させて集塵部に移送収納させるための塵埃移送ブラシ（２７３）を有する集塵ユニットとを備えた清掃用具とする。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも部分的に汚染物質又は望ましくない物質で覆われた表面を水素原子の適用によってクリーニングする方法に関する。本発明は又、クリーニング方法を実施するように構成された照射ユニットを提案する。本発明の方法では、触媒物質を備えた表面に差し向けられた水素分子の原子化によって水素原子を生成させ、触媒物質は、水素原子への水素分子の少なくとも一部の原子化を生じさせる。触媒物質を備えた表面は、クリーニングされるべき表面に近接して配置され、このような触媒物質を備えた表面は、その全表面積がクリーニングされるべき表面領域の表面積の少なくとも２倍であるように寸法決めされる。この方法により、構造的に簡単且つ効率的な仕方で表面領域のクリーニングが可能である。
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