【課題】被洗浄物に対して好適に洗浄乾燥可能な時間を設定可能でかつ洗浄乾燥に要する総作業時間を短縮できる洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置の提供を図る。
【解決手段】洗浄液を含有する液体に被洗浄物を浸漬する洗浄工程Ｓ２と、洗浄工程Ｓ２の後に前記被洗浄物に付着した前記洗浄液をリンス液に置換するリンス工程Ｓ３と、リンス工程Ｓ３の後に前記被洗浄物に付着した前記洗浄液あるいは前記リンス液を除去する乾燥工程Ｓ５と、前記被洗浄物を洗浄工程Ｓ２へ搬送し、洗浄工程Ｓ２後にリンス工程Ｓ３へ搬送する第一搬送工程Ｓ１と、前記被洗浄物をリンス工程Ｓ３から乾燥工程Ｓ５へ搬送する第二搬送工程Ｓ４と、乾燥工程Ｓ５の後に前記被洗浄物を取り出す取出工程Ｓ６と、を備え、洗浄工程Ｓ２に要する時間とリンス工程Ｓ３に要する時間と第一搬送工程Ｓ１に要する時間の合計が、乾燥工程Ｓ５に要する時間よりも長く設定されている。 （もっと読む）

ポンプと、約６００ＰＳＩ以下である使用圧力および約１ガロン／分以下である使用流量で一種以上の洗浄剤を表面に散布するためのポンプに接続された散布器とを備える表面洗浄のための装置およびシステムが、記載および請求される。 （もっと読む）

【課題】経時保存後においても良好な洗浄力を有すると共に、拭き跡残りも低減された拭き取り用洗浄剤組成物、及び当該拭き取り用洗浄剤組成物を用いる洗浄方法の提供。
【解決手段】過酸化水素（Ａ）と、両性界面活性剤（Ｂ）と、ｐＨ５〜８の溶液において緩衝機能を有する化合物（Ｃ）０．３〜１．５質量％とを含有し、当該両性界面活性剤（Ｂ）と当該化合物（Ｃ）との混合割合［（Ｂ）／（Ｃ）］が質量比で２〜１５であり、かつ、ｐＨが８以下であることを特徴とする拭き取り用洗浄剤組成物。 （もっと読む）

【課題】金属屑から分離した異物が金属屑に再付着することを抑制することができる金属屑の洗浄装置を得る。
【解決手段】異物５が付着した金属屑６が内側に入れられ、洗浄水１を貯留する洗浄槽２と、金属屑６を攪拌する攪拌機７と、洗浄槽２に貯留された洗浄水１に気泡３を供給し、気泡３を異物５に吸着させ、異物５を金属屑６から分離させ、気泡３が洗浄水１の水面に向かって浮上するのに伴って異物５を浮上させる気泡生成器４と、洗浄水１を洗浄槽２からオーバーフローさせて、異物５を洗浄槽２の外側へ排出する異物排出手段１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被洗浄体が、例えば、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有した場合であっても、凹凸部に付着した異物を被洗浄体から除去することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄水１の中で、異物が付着した被洗浄体４に向かってマイクロバブル６を噴射して異物に吸着させ、異物を被洗浄体４から分離させ、マイクロバブル６が洗浄水１の水面に向かって浮上するのに伴って異物を浮上させて、被洗浄体４を洗浄する洗浄装置であって、洗浄水１を貯留する洗浄槽２と、マイクロバブル６を噴射するマイクロバブル噴射器３と、被洗浄体４を保持するハンド部５ｃを有しているととともに、被洗浄体４を移動させるロボットアーム５と備え、ロボットアーム５は、被洗浄体４を移動させて、被洗浄体４とマイクロバブル噴射器３との相対位置を変えながら、マイクロバブル６を被洗浄体４に衝突させる。 （もっと読む）

【課題】液体中のナノバブルとマイクロバブルを短時間で分離して、ナノバブルを多く含む液体を基板に対して供給して使用することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、液体と気体を混合させて微小気泡を含む液体Ｌを生成する微小気泡生成器３２と、マイクロバブルＭＢとナノバブルＮＢを有する微小気泡を含む液体Ｌを溜める貯蔵部３３と、貯蔵部３３内の微小気泡を含む液体Ｌを加圧した状態で通す液体案内部５０と、液体案内部５０内を通る微小気泡を含む液体に対して電場を付与してマイクロバブルとナノバブルとを分離する電場付与部５１とを有して、分離されたナノバブルＮＢを含む液体Ｌを基板Ｗに供給する微小気泡分離器４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】部品等の被洗浄物を気泡によって洗浄する洗浄装置において、洗浄初期に大量に浮上分離されてくる汚れによって洗浄性能や洗浄装置の性能が悪化することを防止する。
【解決手段】洗浄槽１の洗浄水２の表面に浮かぶ浮上汚れ４と洗浄水２とが樋を通過し、はじめに大量の汚れ１８を分離するための分離槽１６へ流入させる。続いて、大量の汚れがほぼ流出した後、制御部によって開閉弁を制御し、第２分離槽１２へ微量の汚れを含んだ洗浄水を流入させる。第２分離槽１２には、循環水の取組口への汚れの流入を防ぐために仕切り板１３が設置されており、洗浄槽へ洗浄水を再供給するため、微細気泡生成器６に水配管１５と水循環ポンプ１１を介して接続されている。このような構成にすると微細気泡３を用いた洗浄において特徴的な洗浄初期の大量の汚れ１８を第１分離槽１６へ貯留させることができ、洗浄装置の安定運用が可能となる。 （もっと読む）

【課題】エンジン実働時にシリンダヘッドのウォータージャケット内に残留する異物の流出を防止することが可能なシリンダヘッドの洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ウォータージャケット１に連通する複数の孔部（流入口３、流出口４、連通孔５・５・・・）のうち一つを選択して、当該選択された孔からウォータージャケット１内に洗浄液を注入し、前記選択された孔と異なる孔から前記洗浄液を排出することによって、ウォータージャケット１を洗浄する洗浄工程Ｓ１のうち、ウォータージャケット１内におけるエンジン実働時の冷却液の流れ方向と同一方向に前記洗浄液を流通させる第一洗浄工程Ｓ１０を最終工程とする。 （もっと読む）

【課題】処理対象体の隅々まで液体を浸透させて処理対象体に対する処理を十分に行い得る処理装置を提供する。
【解決手段】洗浄液８１中に浸漬された部品８０に対して所定の処理を実行可能に構成され、洗浄液８１を貯留した状態で密閉可能に構成された貯留容器２と、貯留容器２内に気体を圧送して貯留容器２内を加圧する加圧処理を実行する加圧機構（給気ポンプ３等）と、貯留容器２に取り付けられた振動装置８とを備え、洗浄液８１が貯留されると共に洗浄液８１中に部品８０が浸漬された貯留容器に対する加圧機構による加圧処理の実行状態において、洗浄液８１を振動装置８によって振動させて部品８０を洗浄する洗浄処理を所定の処理として実行する。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースを再利用しても磁気ディスク用ガラス基板に影響が及ばないようにディスクケースの再利用回数を適確に管理することができるディスクケースの使用方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、前記ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程を１サイクルとし、前記磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂容器の表面およびその内部に含まれる不純物を洗浄する樹脂容器の洗浄方法およびその方法により洗浄された樹脂容器を提供する。
【解決手段】本発明は、樹脂の表面張力の値よりも１０ｍＮ／ｍ以上低い表面張力の値を有する溶剤を用いて、樹脂または樹脂からなる樹脂容器を浸漬洗浄することを特徴とする樹脂容器の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】多量の洗浄液を使用することなく、圧力調整弁のバルブ内流路を確実に洗浄することができる圧力調整弁の洗浄方法および圧力調整弁の洗浄装置を提供する。
【解決手段】機能液タンクから１次室７に導入した機能液を、２次室８の１つの面を構成するダイヤフラム１３により大気圧基準で圧力調整し、２次室８から機能液滴吐出ヘッド４１に供給する圧力調整弁１の、内部を洗浄する圧力調整弁１の洗浄方法であって、１次室７および２次室８を含む圧力調整弁１のバルブ内流路に洗浄液を通液して洗浄を行う前洗浄工程と、前洗浄工程の後、バルブ内流路に洗浄液を充填した状態でこれを放置する放置工程と、放置工程の後、再度バルブ内流路に洗浄液を通液して洗浄を行う後洗浄工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 乾燥した水溶性加工油などの水を含まない水溶性汚れに対して、高い除去性を有するとともに、洗浄剤から汚れを分離して再使用できる洗浄剤および洗浄システムを提供する。
【解決手段】 炭素数６〜１６のモノカルボン酸 ０．０５〜２重量％、炭素数６〜１６のモノアルキルアミン ０．０５〜２重量％、炭素数１０〜１４の炭化水素 ９９．９〜９６重量％、ノニオン性界面活性剤 ２重量％以下を含んでなる炭化水素系洗浄液 １００容量部、および水 １０〜１００容量部からなるＷ／Ｏエマルジョン型炭化水素系洗浄剤を使用して洗浄する。 （もっと読む）

表面から高分子材料を除去する、好ましくは、リソグラフ装置を完全には分解しないでリソグラフ装置から汚染物質の蓄積を清浄化する組成物および前記組成物の使用方法。 （もっと読む）

様々な表面上の汚物を防除するための洗浄剤組成物は、析出防止製剤、苛性物及び界面活性製剤を含む。該析出防止製剤は、スルホネート／アクリレートコポリマー、アクリレートホモポリマー及びホスホノアルカンカルボン酸を含み、約２：１〜約１：２のスルホネート／アクリレートコポリマー：アクリレートホモポリマーの質量比を有する。該洗浄剤組成物のｐＨは約１０〜約１３である。 （もっと読む）

【課題】 フラットパネルディスプレイ基板及びフォトマスク基板等の電子材料基板の表面の平坦性を損ねることなく適度なエッチング性を付与し、また界面活性剤を用いて基板表面から脱離したパーティクルの分散性を高めることで、優れたパーティクルの除去性を実現し、これにより、製造時における歩留まり率の向上や短時間で洗浄が可能となる極めて効率的な高度洗浄を可能にするフラットパネルディスプレイ基板及びフォトマスク基板等の電子材料用洗浄剤を提供する。
【解決手段】 界面活性剤（Ａ）を含有してなる電子材料用洗浄剤であって、有効成分濃度０．０１〜１５重量％における２５℃でのｐＨ及び酸化還元電位（Ｖ）［単位はｍＶ、ｖｓＳＨＥ］が下記数式（１）を満たすことを特徴とする電子材料用洗浄剤。
Ｖ ≦ −３８．７×ｐＨ＋５５０ （１） （もっと読む）

【課題】 太陽光発電及び太陽熱発電システムで使用される太陽電池パネルや反射鏡などの板状部材を、作業性が高く、かつ経済的に清掃するための清掃ロボットシステム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 太陽光発電用パネル又は太陽熱発電用反射鏡の平面状あるいは曲面状の板状部材４ａ、４ｂを清掃する清掃ロボットシステム１であって、清掃の対象となる前記板状部材４上を走行する機能と清掃する機能を有した多数の清掃ロボット２と、前記清掃ロボット２を第１の板状部材４ａから第２の板状部材４ｂへ移動させる搬送機能を有しているアレンジロボット３とを備えており、前記清掃ロボット２が、前記板状部材４に吸着しながら清掃を行うための吸着機構を有しており、多数の前記清掃ロボット２と、前記清掃ロボット２よりも少ない数の前記アレンジロボット３が協働して、太陽光発電又は太陽熱発電プラントに設置された板状部材４を清掃する。 （もっと読む）

【課題】リンス時に発生しうる基板表面のスクラッチやナノ突起欠陥の低減を実現できる磁気ディスク基板用リンス剤組成物の提供。
【解決手段】下記（ａ）の共重合体及び下記（ｂ）の両性界面活性剤の少なくとも一方と、酸化剤とを含有し、ｐＨが１〜６である磁気ディスク基板用リンス剤組成物。
（ａ）カルボン酸基を有する構成単位及びスチレン誘導体に由来する構成単位の少なくとも一方と、スルホン酸基を有する構成単位とを有する共重合体。
（ｂ）下記式（１）で表される両性界面活性剤。


［上記式（１）において、Ｒは炭素数８〜１６のアルキル基である。］ （もっと読む）

【課題】洗浄効果の高い小さなバブルサイズのマイクロバブルを外部に供給することができ且つ装置を小型化することができ、装置の配置の自由度を向上させることができるマイクロバブル生成装置及びシリコンウェハ洗浄装置を提供する。
【解決手段】マイクロバブル生成装置１は、マイクロバブル生成機構１０とマイクロバブルを外部に導出する導出導管２０とを備える。導出導管２０は拡幅部２１と管部２２とを備え、導出導管２０において、拡幅部２１と管部２２とは互いに接続されており、互いに連通している。拡幅部２１は、軸ｚを中心軸とする中空円柱形であり、底面２３，２４と、円筒形の周面２５とを有し、拡幅部２１の一方の底面２３を介してマイクロバブル生成機構１０の噴出口１１が、他方の底面２４を介して管部２２が連通している。拡幅部２１のマイクロバブルの流路軸ｚに直交する断面の面積は、管部２２の流路軸ｚに直交する断面の面積より大きい。 （もっと読む）