【課題】真空処理装置内で使用される基板搬送ロボットであって、ロボットアームの関節部は、一方のアーム部材に形成した上下方向に貫通する軸支孔と、軸支孔に装着したベアリングと、他方のアーム部材に固定した、ベアリングに挿入される支軸とを備えるものにおいて、ベアリングでの発塵で生ずるパーティクルによる真空処理装置内の汚損を防止できるようにする。
【解決手段】一方のアーム部材３１_１の下面に、軸支孔５１を下方から覆うカバー７が着脱自在に取り付けられる。また、支軸５３が他方のアーム部材３２_１上方に突出する上部軸部５３ａを有し、一方のアーム部材３１_１に、上部軸部５３ａが挿入される上部ベアリング５５を装着した筒部５４を設ける場合には、上部ベアリング５５の内輪と他方のアーム部材３２_１との間に介設するカラー５７の下端に、外周に立上り部５７ｂを有するフランジ部５７ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】小さな形状で布辺を把持し、２つのグリッパーで持った布辺部をたぐりだし両端を把持して展開して排出するロボットハンドおよび行程長よりも本体サイズが小さな直線運動機構を提供する。
【解決手段】菱形リンク機構と、その対角線上の両支点を両端で挟むように連結した２つの同じ長さの挟持リンク機構と、挟持リンク機構どうしを連結する支点と菱形リンク機構の他の一つの支点を両端で連結した２つの同じ長さの駆動リンク機構からなる直線運動リンク機構。および前記直線運動リンク機構と２連の平行四辺形４節リンクを結合するリンク機構。２連の平行四辺形４節リンク機構を連結するリンクは支点を共有しない選択肢を持つリンク機構およびこれをもちいた布物のたぐり展開装置。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際に、ハンド上の基板の中心位置の検出精度を向上できるようにした基板位置検出方法を提供する。
【解決手段】ハンド７に、搬送経路上の所定位置に設定した検出点ＰＳに基板の周縁があるか否かを検出するセンサで検出可能な指標として、Ｒ方向に所定距離ＬＲ０離れた第１指標７３と第２指標７４とを設ける。第１指標７３が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を基準位置として、基準位置から、第２指標７４が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置までの変位量ＬＲを算出し、この変位量ＬＲと指標７３，７４間の距離ＬＲ０との比を補正係数として算出する。そして、基板の周縁の各箇所が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を、当該Ｒ方向位置と基準位置との偏差に補正係数を乗算して補正する。 （もっと読む）

【課題】 基板搬送用ロボットのフィンガーの変形を精度よく検出する。
【解決手段】 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、前記筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の前記変位センサによる検出結果を取得する制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】保持台の姿勢を正確に制御することができ、また高速で移動させても保持台がふらつくことがない搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置に、第一の姿勢保持リンク５６、及び第二の姿勢保持リンク５７を設ける。第一の姿勢保持リンク５６の一端と第二の姿勢保持リンク５７の一端とは連結軸５３によって回転可能に連結される。保持台２１の基部プレート２７にレール５１，５２を取り付ける。連結軸５３にローラ５４，５５を所定の軸線の回りを回転可能に取り付ける。ローラ５４，５５はレール５１，５２のローラ転走部５１ａ，５２ａに接触するように配置される。保持台２１を移動させるとき、ローラ５４，５５がローラ転走部５１ａ，５２ａを転がり運動する。 （もっと読む）

【課題】
ダブルスカラーアームの左右一対のアームを、バックラッシなしで同期させる。
【構成】
ダブルスカラーアームの先端のハンドにより、物品を移載する。左右一対のアームの先端の軸を上下一対の屈曲部材により互いに連結する。屈曲部材の一方を、一方の軸に一端を固定して時計回りに巻回し、他方の軸に反時計回りに巻回して他端を固定する。屈曲部材の他方を、一方の軸に一端を固定して反時計回りに巻回し、他方の軸に時計回りに巻回して他端を固定する。 （もっと読む）

【課題】搬送物や周囲の雰囲気温度が比較的低い環境下においても当該温度が高い環境下においても搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、リンク機構２０の動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され基板１０を載置するための載置部５とを備える。載置部５の基板搬送方向下流側の部位に、リンク機構２０の動作に伴い、基板１０の側部と当接して基板１０をリンク機構２０に向かう方向へ付勢する下流側付勢機構７が設けられ、載置部５の基板搬送方向上流側の部位に、リンク機構２０の動作に伴い、基板１０の側部と当接して基板１０を基板搬送方向へ付勢する上流側付勢機構９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ロボット動作を診断して不具合を回避することができ、かつ、異常部位の詳細表示やパネル上でのロボット動作の再現により、メンテナンス時間を短縮できるロボットの動作診断方法を提供する。
【解決手段】複数の駆動軸をそれぞれ駆動する複数のモーター、マニピュレータ、及びセンサを有し、駆動軸によりマニピュレータを移動させるロボットの動作診断方法において、少なくとも１つの駆動軸に対し、ロボットの診断対象とする動作パターンを設定し、ロボットの初期状態での動作パターンにおいて、複数回計測したモーターを制御する制御装置の複数の入出力信号と、センサまたはマニピュレータを制御する機器の複数の入出力信号とを判定データとし、新たに計測した判定データを診断データとし、統計的パターン認識方法により診断データが判定データに含まれるかを判別することにより、新たに計測した時のロボットの動作が正常であるか判定する。 （もっと読む）

【課題】大重量の基板を高い信頼性で搬送できる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】本ロボットは、それぞれが基板を保持する第１及び第２基板保持部11,12を有し、さらに、第１及び第２基板保持部11,12が装着された第１及び第２アーム機構13,14を備える。第１アーム機構13は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第１アーム19を有し、第１アーム19のそれぞれが、その中間部にて内向きに折曲可能に構成されている。第２アーム機構14は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第２アーム20を有し、第２アーム10のそれぞれが、その中間部にて外向きに折曲可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】雰囲気汚染を回避しながらも、高精度にロータの回転角度を検出でき、更に信頼性を確保できるダイレクトドライブモータを提供する。
【解決手段】隔壁１３の円板部１３ａの肉厚が、円筒部１３ｂの肉厚より厚くなっているので、寸法精度や機械精度および温度変化に起因して、隔壁１３に変形が生じた場合でも、薄肉の円筒部１３ｂが先に変形することで、隔壁１３の軸方向応力や曲げ応力を緩和することができ、それによりシール不良や破壊などを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】代替装置を持たない搬送設備の移載機においても、移載機に搭載した各種センサに断線などのリスクをなくして効率的に電源を供給し、かつ信号をも伝送するようにした移載機の給電及び信号伝送方法を提供すること。
【解決手段】アーム３の伸縮により搬送物の移載を行う移載機Ｔにおいて、アーム３の伸縮と干渉しない領域に固定側給電線５４を敷設し、稼動体側に受電コイル５３を設置し、移載機の伸縮領域の範囲内で非接触で連続給電あるいは間欠給電を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドを所定の真空度にする時間を短縮することができる吸着装置及びワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク搬送装置１は、搬送対象物であるワークｗの表面に配置される吸着パッド２１を真空ポンプ２２により真空引きしてワークｗを把持する吸着装置２と、吸着パッド２１を支持するクロスバー３１とクロスバー３１を移動させる駆動アーム３２と駆動アーム３２を移動可能に支持する支持部材３３とを有する構造部材３と、を備えており、前記吸着装置２は、支持部材３３に形成された真空タンク４と、真空タンク４と吸着パッド２１との間に配置された第一吸気流路５と、第一吸気流路５に配置された電磁弁６と、真空タンク４と真空ポンプ２２との間に配置された第二吸気流路７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークを同一水平面内で直線移動させて移載するフロッグレッグ型移載装置において、横揺れ防止を実現すると共に、パーティクルの発生を減らす。
【解決手段】フロッグレッグ型移載装置において、２本のフリーアームは、基台に一端が第１回動軸を介して取り付けられている。移載アームは、２本のフリーアームの他端に第２回動軸３４を介して連結され、ワークを載置する。同期機構３５は、２本のフリーアーム同士を連結して横揺れを抑制する。同期機構３５において、直線移動部材４７は、移載アームの移動方向にスライド自在に支持されている。回動部材４８は、直線移動部材４７に回動自在に支持されている。２本のロッド部材４５は、第２回動軸３４に軸支された第１端５７と、回動部材４８に軸支された第２端５８とを有する。 （もっと読む）

【課題】フォークに光センサの配線をすることなくワークの有無を検知することができる移載機を提供すること。
【解決手段】屈伸可能に連結された第１アーム１及び第２アーム２を左右に１対配設し、第１アーム１の基部をそれぞれ駆動軸３に接続するとともに、第２アーム２の先端部でフォーク４を支持し、各アーム１、２の屈伸によりフォーク４を進退するようにした移載機において、フォーク４上のワークＷの有無を検知する光センサ１０を移載機本体７に設けるとともに、フォーク４上のワークＷの有無によって開閉する遮光板１２と、その作動機構１３からなるシャッタ機構を有するミラー１１を配設し、光センサ１０の光をミラー１１に反射させることによりワークＷの有無を検知できるようにし、かつ、光センサ１０をミラー１１が通過する経路から外れた位置に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 高い信頼性を持って迅速に相対ティーチングができるようにした搬送ロボットの相対ティーチング方法を提供する。
【解決手段】 基板Ｓをロボットハンド１３にて支持した状態で同一平面内を旋回及び伸縮動作させ、前記旋回方向に沿って配置された複数の処理室Ｌ、Ｐ１乃至Ｐ３間で基板を搬送する搬送ロボット１に対し、その搬送動作を教示するとき、いずれか一の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示し、この座標データに基づいて他の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示する。一の処理室における座標データを教示する際にその伸縮軌道データを取得し、他の処理室における座標データを教示する際に、前記一の処理室及び他の処理室への搬送ロボットの伸縮ストロークが相互に異なると、前記伸縮軌道データから前記ロボットハンドの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、その動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され、基板１０を載置するための載置部５とを備え、載置部５には、基板１０の側部と当接して係止する係止部５ａ、５ｂが設けられる。第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの先端部には、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒに設けられた凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒによって駆動される従動機構部６とを備える付勢手段９が設けられる。従動機構部６は、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと係合摺動可能な長孔６２を有する従動部６１と、従動部６１の長孔６２内における凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒの移動に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに向って案内移動される付勢部６ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】
基板の搬送方向の直進性に優れた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】
基板搬送装置１は、補助回動ギア３２と回動プーリ３１とを連結するリンク部材３３を備え、リンク部材３３はリンク部材３３の連結長（貫通孔３３Ａの中心Ｐ−貫通孔３３Ｂの中心Ｑの間の長さ）を調整するためのリンク長さ調整部３４とを備えている。このため、各部材の機械加工精度に依存して組立誤差が生じても、リンク部材３３の長さ（連結長）を調整部３４により調整して、補助回動ギア３２の中心Ｏと回動プーリ３１の中心Ｒとの間の長さと、連結長とを同じに調整できる。従って、リンク部材３３により、回動プーリ３１と補助回動ギア３２との回動量つまり回動プーリ３１と回動ギア３０の回動量を一致させて、基板の搬送方向の直進性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で旋回半径を小さくすることができ、しかも搬送速度が大きい搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、一方の端部Ａ、Ｂに第１及び第２の駆動軸１１、１２が同心状に配設された第１及び第２のアーム２１、２２を有する。第１及び第２のアーム２１、２２の他方の端部Ｃ、Ｄには、第３及び第４のアーム２３、２４の一方の端部Ｅ、Ｆが、支軸２３ａ、２４ａを中心としてそれぞれ回転自在に取り付けられている。第３及び第４のアーム２３、２４は、その他方の端部Ｇ、Ｈが、連結軸３０ａを中心として同心的に回転できるように構成されている。第２のアーム２２の駆動軸１２の回転動力を第３のアーム２３に伝達するための第１の動力伝達機構４と、第１のアーム２１の一方の端部Ｃにおける回転動力を連結軸３０ａに伝達するための第２の動力伝達機構５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、両駆動用回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に設けられた回転駆動装置における駆動用回転軸が短く、小型化及び軽量化を図れることを利用し、装置を大型化することなく、設計上及びコスト上の負担の少ない上下移動機構を有する回転駆動装置を提供すること。
【解決手段】駆動用回転軸１１７，１２７の下方に、前記回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸１３９の昇降により前記駆動用回転軸１１７，１２７を同時に上下に移動させる上下移動機構を配置する。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、リンク機構２０の動作先端部において隣接する第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒによって連結され基板１０を載置するための載置部５とを備える。載置部５には、基板１０の側部と当接して係止するための係止部５ａ、５ｂが設けられる。リンク機構２０の隣接する第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒには、基板１０の側部と当接し基板１０を載置部５の係止部５ａ、５ｂに対して付勢する付勢部６ａを有する弾性の付勢部材６が固定される。付勢部材６は、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの相対的な角度関係に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに対する付勢部６ａの距離が変化するように構成されている。 （もっと読む）