【課題】微小突起除去作業に要する時間を短くすることができる微小突起除去装置および微小突起除去方法、交換頻度が少ない微小突起除去テープを提供する。
【解決手段】ポリイミドからなるテープ基体１の幅方向の一方端部に微小突起３４よりも硬質な硬質材料からなる複数の研削突起２を設けた微小突起除去テープ１０を観察装置の移動装置により移動し、研削突起２を液晶カラーフィルタ基板３１に付着した微小突起３４の近傍に位置させたのち、移動装置により研削突起２を移動させて、研削突起２により微小突起３４を研削除去する。 （もっと読む）

【課題】ブラシの押し付け力を常に適正とした研磨加工を容易に可能なブラシ装置及びブラシ加工方法を提供する。
【解決手段】ブラシ回転用モータ５により回転したカップ型ブラシ４を押し付けてワークＷを研磨するブラシ装置１において、上下動用モータ８及びボールネジ９によりカップ型ブラシ４を支持したブラシ支持部材６を移動させてカップ型ブラシ４をワークＷに対して押し付け、ブラシ回転用モータ５の電流値から演算したトルクが所定範囲内になるように上下動用モータ８を駆動制御するコントロールユニット１０を備える。 （もっと読む）

切断ホイールを具備する砥石切断機は、物体を切断するために使用される。切断機は、ベース部と、ベース部に作動的に取付けられた切断装置と、制御装置とを含む。切断装置は、旋回シャフトと、旋回シャフトに取付けられた駆動シャフトと、駆動装置と、駆動ホイールとを含む。柔軟な駆動要素が駆動シャフトと駆動ホイールを連結している。駆動ホイールの回転軸と駆動シャフトの回転軸の間の距離は、柔軟な駆動要素の張力を増減するために可変である。送りテーブルが、ベース部に作動的に取付けられており、かつ、切断ホイールの回転方向へ前後に移動可能である。切断ホイールは、切断位置に固定可能であり、かつ、送りテーブルは、制御装置により、切断ホイールに向かって自身に固定された物体と共に移動し、物体を切断する。エンクロージャーが、切断装置を取り囲んでおり、かつ、静止した側部と、開放可能な前面パネルおよび上部パネルと、を具備し、開放可能な前面パネルおよび上部パネルは、切断装置へのアクセスのために一体的な組立体として開くように、相互に、かつ、側部パネルのうちの１つのものの一部分に、ヒンジで取付けられている。
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【課題】センサの出力信号がパターンの密度や構造の異なるエリアから受ける影響、あるいは、成膜工程で生じる周方向の膜厚のばらつきから受ける影響を軽減して、精度のよい研磨終点検知および膜厚均一性を実現することができる研磨方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の研磨方法は、被研磨物をトップリング１１４で保持しつつ回転させ、回転する研磨テーブル１１２上の研磨面に被研磨物Ｗを押圧して該被研磨物Ｗを研磨し、研磨テーブル１１２に設置されたセンサ１５０で研磨中の被研磨物Ｗの表面状態をモニタリングする工程を含み、所定の測定時間内にセンサ１５０が被研磨物Ｗの表面に描く軌跡が被研磨物Ｗの表面の全周にわたって略均等に分布するようにトップリング１１４と研磨テーブル１１２の回転速度を設定する。 （もっと読む）

【課題】 剛性を欠く薄肉の平板部材であっても迅速に平面度を向上させる平面度修正ジグを提供する。
【解決手段】 本発明の平面度修正ジグ６０は、ラップ盤上に配置して研磨される平板部材１０の上に載置される円盤６１を有する。この円盤６１の平板部材１０に対向する面に樹脂製フィルム６２が貼り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 研削部（砥石）が軸方向に複数設けられる場合でも、各研削部の拡径量が等しくなる内径研削方法を提供する。
【解決手段】 スラストモータ１３を駆動してドローバー１２を引張して研削部８を拡径せしめる場合、ドローバー１２の基端側の伸びは少なく先端側で大きくなる。そして、伸びが大きくなると、先端側の研削部８の拡径量が少なくなる。そこで、ドローバー１２を引張すると同時にシリンダ２６を駆動してツールホルダ７をドローバー１２と反対方向に引張する。ツールホルダ７の基端側は主軸５に固着されているので、ツールホルダ７を引張すると先端側が伸びる。この伸び量と前記ドローバー１２の先端側の伸び量が等しくなるようにシリンダ２６による引張力を調整することで、各研削部８の拡径量が等しくなる。 （もっと読む）

【課題】 研削部（砥石）のホルダを軸方向に連設した場合であっても、正確な内径研削が行える工具を提供する。
【解決手段】 複数の分割ツールホルダ３ａが直列に連結されたツールホルダ３内にドローバー２を挿通した状態で、分割ツールホルダ３ａの内周面、ドローバー２及びオーリング２０，２０にて囲まれる隙間が形成される。この隙間に充填剤１５を注入して分割ツールホルダ３ａとサポートブッシュ１４とを固定する。 そして、分割ツールホルダ３ａの周方向に離間して保持されているアーム６の調整ビス１３を廻し、ピン１０とアーム６との距離を調整することで、個々の砥石７の径方向の突出量を調整する。調整量は複数の砥石７が同一の回転軌跡に沿って回転し、且つ当該回転軌跡の中心とドローバーの軸心とが一致するように調整する。 （もっと読む）

【課題】構造が単純であり、回転式切削工具により切削加工されたシール面に螺旋状に形成された切削痕を、確実に平滑化することができるシール面の仕上げ加工用工具を提供する。
【解決手段】シール面の仕上げ加工用工具１は、本体１０、本体の先端側に形成されシール面に接触する円環状の平坦な加工面１１、加工面１１を取り囲むようにその外側に形成され本体の縦断面において加工面に対して２０乃至３０°の角度で本体の基端側に向けて傾斜する肩部１２、加工面１１に囲まれた領域に凹形状に形成された逃がし部１３、及び本体の基部を先端側に向けて押圧する押圧部材を有する。本体の縦断面において加工面の内縁で凹形状に接線を引いたときの接線の延長線と加工面とのなす角度は２０乃至３０°であり、回転式切削工具により切削加工されたシール面に、加工面１１を適宜の押圧力で接触させ、加工面に平行に本体を移動させることによりシール面を仕上げ加工する。 （もっと読む）

【課題】 個々の砥石（刃具）の径方向の突出量を簡単に調整することができる内径加工工具を提供する。
【解決手段】 アーム２１の形状はツールホルダ７の周方向の一部を抱持する形状をなし、基端側に設けた取付穴２２にボルト２３を挿通してツールホルダ７に結合され、先端側に刃具としての砥石２４を交換可能に取付けるためのネジ穴２５が形成されている。アーム２１の基端寄りの部分には幅方向に溝部２６が形成されている。この溝部２６はアーム２１をツールホルダ７に取付けた状態で、ツールホルダ７の軸と平行になっており、外部から力が作用することでアーム２１は弾性ヒンジとして作用し、砥石２４をツールの軸との平行度を保ちながら拡径または縮径する。 （もっと読む）

【課題】 研削部（砥石）が軸方向に複数設けられる場合でも、研削部の拡径機構の動作が確実で構造が簡単な内径研削工具を提供する。
【解決手段】 電磁バルブ１４を閉じた状態としてピストン１７とドローバー４との接触圧を小さくしてドローバー４が軸方向に移動し、この状態でスラストモータ８を駆動してドローバー４を軸方向に移動せしめ、砥石１２（研削部３）を拡径させる。また、上記のドローバー４を軸方向の移動とともに電磁バルブ１４を開とし、油圧ポンプ１５からの油を油圧管１３内に送り込み油圧管１３内の圧力を高める。すると、ピストン１７が径方向外側に移動し、ドローバー４を内側から支える。このドローバー４を内側から支えることで、砥石１２（研削部３）の径方向内側への移動は阻止され、ロック状態となる。 （もっと読む）

【課題】 円筒孔の一部をテーパ孔に研削するに当たり、研削工具を円筒孔と同心にする心出しを容易にする。
【解決手段】 回転可能で軸心方向に前後動可能な主軸１１に、外周りの砥石３４の研削径を増減可能なホーン工具１４を、原動軸１６と従動軸１７が平行のまま偏心自在な継手１３を介して装着し、ホーン工具の前進方向に工作物１を固定し、工作物の円筒孔２をホーン工具と平行に配置する。ホーン工具は、前進して円筒孔に挿入し、径を拡大して砥石を円筒孔の内面に当て、心出しし、次に、円筒孔内で回転しつつ後進し、後進しつつ研削径を漸増して、円筒孔の開口側部分をテーパ孔３に研削する。また、ホーン工具は、後進研削工程の後、研削径を次の前進研削工程の取り代分増加し、回転しつつ前進し、前進しつつ研削径を漸減して、テーパ孔を更にテーパ状に研削する。ホーン工具の後進研削工程と前進研削工程を交互に繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 径拡張機構の構造が簡単で複数個連設することが可能な内径研削工具を提供する。
【解決手段】 内径研削工具は、スピンドルによって回転せしめられる保持体１と、この保持体と一体的に回転するとともに径方向に拡縮可能な円環状研削体２と、軸方向に移動することで前記円環状研削体を径方向に拡縮する拡張体３とからなり、前記円環状研削体２と保持体１が係合することで抜け止めされ、前記円環状研削体２と拡張体３とは円環状研削体に形成したスリット８の部分を介して拡張体に結合されるネジ１４などの回り止め部材によって固定されている。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、各加工ユニット３の工具軸中心部にコアシャフトモータ１６の駆動により進退動自在なコアシャフト７を配設し、このコアシャフト７の所定箇所にオネジ部材８を複数配設し、このオネジ部材８の外側にメネジ部９ｍを有する筒状のスライドスロープ部材９を配設してネジ部同士を噛合させる。スライドスロープ部材９に進退動によって各刃具５が拡縮するようにし、また、それぞれのオネジ部材８のフェースギヤ８ｆに個別駆動機構１８のピニオンギヤ２１を噛合可能にする。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、工具１の軸中心のコアシャフト７に沿って軸方向に進退動自在となり且つ軸中心に対して対称位置に一対配置されるラジアルバー８の先端部に傾斜したスライドラインｓを有するスライドスロープ部材１０を取り付け、スライドスロープ部材１０の進退動によって加工ユニット３の刃具５が別個に拡縮するようにする。また、各加工ユニット３に対応するラジアルバー８を円周方向に沿って位相をずらして配置する。 （もっと読む）

【課題】トレードオフの関係にある装置の大型化と加工品質の高精度化（厚み精度、平坦度）に加え、研磨工程自動化も併せて実現する３−ウェイの遊星歯車方式の両面研磨装置および加工方法を提供する。
【解決手段】本発明の両面研磨装置は、上定盤９に取り付けられたリング８および吊り板１０に複数個のプーリー７，９を配設し、上定盤９の垂直方向荷重を支持するようにプーリー７，９間にエンドレス状のワイヤロープ１２を張架するとともに張力センサ１７からの出力に基づいて上定盤９を上下させて最適な荷重でワーク５に接するようにし、ワーク５に対する上定盤９の追随性を向上して装置の大型化と加工品質の高精度化を実現する。また、張力センサ１７からの出力に基づいてワーク５に上定盤を着盤できるようにして研磨工程自動化も実現する。また、このような両面研磨装置による加工方法とする。 （もっと読む）

【課題】 加工時に穴入口でのビビリを防止できるリーマ加工刃具を提供する。
【解決手段】 砥石３を構成する金属製チップ５の軸方向の先部５ａの刃面７は先端に向かって小径となる雄テーパ面とされ、この先部５ａには先端方向に開放されたスリット８が軸方向に形成されている。スリット８が形成された結果、先部の刃先剛性は小さくなり外側からの力が作用することで径方向内側に変形しやすくなっている。その結果、加工刃具の回転中心Ｃ１と穴の中心Ｃ２とがずれている場合であっても、加工刃具が前進して砥石３の先端が穴の入口に当たると、先部５ａが径方向内側に変形し、砥石３が高速で回転していても、ビビリが発生することなく加工刃具を穴に進入させることができる。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、各加工ユニット３の工具軸中心部に進退動自在なコントロールシャフト１５を配設し、このコントロールシャフト１５の所定箇所に駒状スプライン１６を複数配設するとともに、各加工ユニット３ごと、スライドスロープ部材７とオネジ部材１０から構成されるネジ状減速機構９を配置する。またこのネジ状減速機構９に係合する拡縮機構１３を設け、コントロールシャフト１５のスライド位置によって、駒状スプライン１６とネジ状減速機構９の係合態様を変化させ、係合した箇所では、刃具の係合部６や、スライドスロープ部材７のスロープ溝８などから構成される拡縮機構１３によって刃具５が拡縮するようにする。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、各加工ユニット３の工具軸中心部に進退動自在なスライドスロープ部材７を配設し、このスライドスロープ部材７の上下対称位置に一対のアリ溝型のスロープ溝７ｍを形成し、このスロープ溝７ｍ内に刃具５の係合部６を嵌め込んで係合させ、スライドスロープ部材７を軸方向に沿って進退動させると、スロープ溝７ｍの傾斜によって、一対の刃具５が半径方向に拡縮するようにする。 （もっと読む）

【課題】研磨圧力を検出するための研磨圧力検出センサーが正常に機能するとともに研磨圧力検出センサーによって検出された研磨圧力信号が制御手段に正常に送られているか否かを確認する機能を備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】検出信号確認手段１２は研磨パッド４５２が作用するパッド受け板１２３と、パッド受け板１２３の上面より所定距離上方において研磨パッド４５２が作用した時点を検出するタッチセンサー１２４とを具備し、制御手段は検出信号確認手段１２を研磨パッド４５２の下方に位置付けて研磨圧力検出センサー５３ａ、５３ｂによる検出信号を確認する際に、研磨手段の研磨パッド４５２がタッチセンサー１２４に接触した時点から所定距離研磨送りした状態で研磨圧力検出センサー５３ａ、５３ｂからの圧力信号が所定値以上の場合には正常と判定し、研磨圧力検出センサー５３ａ、５３ｂからの圧力信号が所定値未満の場合には異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】転圧加工装置において、シリンダボアの内面を所望の非真円の形状に転圧加工する。
【解決手段】シリンダボア３の中心に、断面形状が非真円のマンドレル４を挿入して固定する。マンドレル４に沿ってツールヘッド５をシリンダボア３に挿入し、回転させながら軸方向に送る。ツールヘッド５の回転により、転圧ローラ６及びガイドローラ７が自転及び公転し、転圧ローラ６がシリンダボア３の内面上で転動して、シリンダボア３の内面を転圧加工する。このとき、転圧ローラ６及びガイドローラ７がマンドレル４の非真円の断面形状に倣ってシリンダボア３の径方向に移動することにより、シリンダボア３の内面が非真円の仕上げ形状に転圧加工される。 （もっと読む）