【課題】振動体と検出電極との位置ずれを抑えることで静電容量変化の検出精度をより高くすることのできるＭＥＭＳ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】支持構造部１１と前記支持構造部１１に対して変位可能に支持された振動体１２ｂとからなる振動体部１Ａと、基板２１と前記基板２１上に形成された検出電極２２ａとからなる検出電極部２Ａとを備えるとともに、振動体１２ｂと検出電極２２ａとが間隔を空けて対向するようにして前記振動体部１Ａと前記検出電極部２Ａとが接合され、振動体１２ｂと検出電極２２ａとの間の静電容量の変化を検出するように構成されたＭＥＭＳ構造体において、振動体部１Ａにおける検出電極部２Ａとの対向面に、検出電極部２Ａの外周形状に嵌合する内周形状を持つ振動体部側の凹部１５が形成されていることにより、振動体部１Ａと検出電極部２Ａとの接合時に生じる振動体１２ｂと検出電極２２ａとの位置ずれを抑えることができるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 圧電駆動型ＭＥＭＳ素子の、バリキャップのＱ値の増加、又はスイッチの通過損失の低減を目的とする。
【解決手段】 圧電駆動型ＭＥＭＳ素子は基板と前記基板上に梁の一方の端部を固定して、梁の少なくとも一部を中空状に保持する固定部と、下部電極膜と，前記下部電極膜上に形成された下部圧電膜と，前記下部圧電膜上に形成された中間電極膜と，前記中間電極膜上に形成された上部圧電膜と，前記上部圧電膜上に形成された上部電極膜とを有する梁と，前記梁の下部電極膜及び上部電極膜と，中間電極膜との間に電圧を印加する電源部と，前記梁の固定部とは反対側の端部と電気回路を構成する基板上に配置された固定電極とを備え，前記下部電極膜，前記中間電極膜，前記上部電極膜のうちいずれか１つ又は２つの電極膜が他の前記電極膜より厚いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳアクチュエータにおいて、駆動電圧の上昇を伴うことなく、長い安定移動範囲を提供する。
【解決手段】
ＭＥＭＳデバイス用の静電櫛形駆動アクチュエータは、曲げスプリングアセンブリと、曲げスプリングアセンブリの相対向する側にそれぞれ連結された第１の櫛形駆動アセンブリ及び第２の櫛形駆動アセンブリとを含む。第１及び第２の各櫛形アセンブリは、固定櫛形駆動フィンガと、曲げスプリングアセンブリに連結された、固定櫛形駆動フィンガに向けて延びる可動櫛形駆動フィンガとを含む。櫛形駆動フィンガは、第１の櫛形駆動アセンブリと第２の櫛形駆動アセンブリとの間で均等に分割され、曲げスプリングアセンブリの対称軸の周りに対称に配置されている。電気的に励起されと、第１及び第２の櫛形駆動アセンブリの可動櫛形駆動フィンガは、第１及び第２の櫛形駆動アセンブリの固定櫛形駆動フィンガに向けて同時に移動する。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造工程によりクラックなどの形状不良が生じない微小デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】一表面側に凹所２２が形成された半導体基板１と、この半導体基板１の一表面側に固着され前記凹所２２を閉塞するベース３とを備え、半導体基板１の凹所２２の底面と一表面側と反対側の他表面側との間の部位は薄肉部２３であり、薄肉部２３は梁部形成予定領域２４と、エッチング予定領域２５と、を備え、エッチング予定領域２５にエッチングを施し、梁部形成予定領域２４に梁部１４が形成される微小デバイスの製造方法であって、エッチング予定領域２５内に全体に亘って薄肉部２３を貫通させてなる貫通孔２７を複数形成することにより、網目状部２６を薄肉部２３に形成する工程と、前記工程の後、エッチング予定領域２５にエッチングを施し、網目状部２６を除去し、梁部１４を形成する工程と、を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数特性が得られ、歩留まりが向上する電子装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板６と、機能素子７と、機能素子７を配置する空洞部５を素子周囲構造体８とを有し、機能素子７が、固定電極７１と、可動板７２２および連結部７２３からなる振動系７２４を備える可動電極７２とを有する電子装置１の製造方法であって、素子周囲構造体８が、空洞部５に連通する複数の細孔３３２を有する被覆層３３１を有する調整前電子装置を用意する工程と、振動系７２４の固有振動数を測定する固有振動数測定工程と、細孔３３２を介して連結部７２３に錘材料９を堆積することにより、振動系７２４の固有振動数を調整する固有振動数調整工程と、細孔３３２を封止する封止工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡易で製造がしやすく、コンパクトな構成にでき、かつ情報信号や電流のオン、オフがノイズに影響されにくく、確実にオン、オフ切り替えを行えるＲＦ−ＭＥＭＳスイッチとする。
【解決手段】カンチレバー部２を取り付ける下部基板３と固定側ＲＦ入、出力信号伝送路４、５があるカバー側の上部基板を組み立ててなるスイッチである。下部基板３が備えるカンチレバー部２は圧電アクチュエータを構成し、一端を下部基板３に固定し、コンタクト部６を上面に備えた他端が上下方向に揺動可能である。カンチレバー部２が上方へ曲がるとコンタクト部６も上方へ移動し、上部基板にあるＲＦ入力信号伝送路４と出力信号伝送路５の双方へ当接し、両伝送路４、５を導通させる。またカンチレバー部２の揺動部分の下側には下部基板３が存在せず、空間となる構造とする。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数特性が得られ、歩留まりが向上する電子装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】電子装置１の製造方法は、基板６と、機能素子７と、機能素子７を配置する空洞部を画性素子周囲構造体とを有し、機能素子７が、固定電極７１と、可動板７２２を備える可動電極７２とを有し、素子周囲構造体８が、空洞部５に連通する複数の細孔３３２を有する被覆層３３１を有する調整前電子装置を用意する工程と、可動板７２２の固有振動数を測定する固有振動数測定工程と、細孔３３２を介して可動板７２２上に錘材料９を堆積することにより、可動板７２２の固有振動数を調整する固有振動数調整工程と、細孔３３２を封止する封止工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板とガラス基板との間の接合強度を高める。
【解決手段】 加速度センサ１を、ガラス基板３が表面に取付けられたシリコン基板２を用いて形成する。シリコン基板２には、固定部４、可動部５および支持梁６を形成すると共に、可動部５等を取囲んで第１，第２の封止枠１１，１３を形成する。そして、第１の封止枠１１とガラス基板３との間には、陽極接合によって接合された陽極接合部１２を形成する。一方、第２の封止枠１３とガラス基板３との間には、陽極接合時の静電力を用いて接合膜１５，１６が加圧接合された加圧接合部１７を形成する。 （もっと読む）

本発明は、ＭＥＭＳセンサーおよび３つの互いに直交する空間軸ｘ，ｙおよびｚの少なくとも１、好ましくは２に沿った加速度および回転速度をＭＥＭＳセンサー（１）によって測定する方法に関し、少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）および少なくとも１のセンサーマス（５）が基板（２）上に移動可能なように配置され、前記少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）は、駆動振動数において前記少なくとも１のセンサーマス（５）に対して移動可能であり、前記センサーの外側の加速が起きたとき、駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、駆動振動数において傾けられ、前記センサー（１）の外側の回転速度が起きたとき、回転速度振動数において傾けられ、前記加速度振動数と回転速度振動数は異なる。前記ＭＥＭＳセンサーにおいて、前記駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、前記基板（２）上に配置され、前記少なくとも１のアンカー（３）により静止状態において、バランスされる。この少なくとも１のアンカー（３）における周期的な振動の時、駆動モードでは、前記駆動マス（６；６．１，６．２）は前記駆動マス（６；６．１，６．２）と前記センサーマス（５）のこの少なくとも１のアンカー（３）に対する不釣合いが生じ、前記センサー要素は、加速度振動数および／または回転速度振動数による、生じたトルクおよびコリオリ力による前記駆動およびセンサーマスの偏向を検出する。
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【課題】密封状態とすることによって電気部品の信頼性を確保するとともに、密封状態となる完成前に検査を行うことを可能とすること。
【解決手段】肉薄部２１と、肉薄部を画定する肉厚部２２と、を含む固定部１２０と、肉薄部に形成されたスリット１４１により画定される可動部１１０と、肉厚部上に設けられる配線電極１３２ｂと、肉薄部上に設けられる接点電極１３２ａと、可動部の上方に延在する第１駆動電極１３１と、を含む金属電極と、肉厚部上に設けられ、可動部および金属電極を包囲する側壁２３と、側壁上に固定され、可動部および金属電極を封止する平板部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが容易で小型化可能、かつ、高い信頼性を有する中空封止構造を備えたＭＥＭＳデバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１上に、この基板１と空隙９を介して形成され、穴１６が設けられた可動部１２と、基板１上に形成され、穴１６の内側を可動部１２に非接触に貫通する支柱１３と、支柱１３によって支持され、可動部１２上に可動部１２と空隙９を介して形成されたキャップ部７、８を有することを特徴とするＭＥＭＳデバイスおよびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】機能素子の寸法を精度よく求めることができ、精度よく機能素子の周波数特性を推定することのできる機能素子の寸法の測定方法を提供すること。
【解決手段】 機能素子の寸法の測定方法は、基板２と、基板２上に設けられた固定電極３１および可動電極３２を有する機能素子３とを有する機能素子付き基板１に対し、機能素子３の寸法を測定する方法であって、固定電極３１の形成と同時に、固定電極３１と同様の方法で第１の検査用膜４１を形成する工程と、可動電極３２の形成と同時に、可動電極３２の形成と同様の方法で第２の検査用膜４２を形成する工程と、第１の検査用膜４１と第２の検査用膜４２とからなる検査体４の所定の部位の寸法を測定する工程と、測定の結果から、機能素子３の所定の部位の寸法を求める工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのビーム型エレメント（２１０）を有するマイクロメカニカルシステム（２００）に関しており、このビーム型エレメントは、自由端部（２１１）を有しており、またその他方の端部（２１２）がマイクロメカニカルシステム（２００）の別のエレメントに連結されている。本発明ではマイクロメカニカルシステム（２００）の機械的な特性を最適化するため、ビーム型エレメント（２１０）に凹部（２１３）を設けて、このビーム型エレメント（２１０）の質量を自由端部（２１１）に向かって減少させる。さらに本発明には、少なくとも１つのビーム型エレメント（２１０）を有するマイクロメカニカルシステム（２００）を作製する方法が含まれている。
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【課題】 電気信号により抵抗値を連続的に変化させることが可能な小型の可変抵抗を提供する。
【解決手段】 電極Ｂは電極Ｃと間隙を挟んで対向するように一端が固定されている。電極Ｃにおける電極Ｂとの対向面には複数の突起状の抵抗体ｒが面状に配列されている。電極Ｄは、電極Ｃとの間に絶縁層２０４を挟んで電極Ｃに固定されている。電極Ａは、電極Ｂとの間に絶縁層２０９を挟み、電極Ｄと対向している。電極ＡおよびＤ間には、制御電圧が与えられる。制御電圧を大きくすると、電極ＡおよびＤ間の吸引力が大きくなって電極Ｂが電極Ｃに向かって撓み、電極Ｂと電極Ｃの抵抗体ｒとの接触面積が増加し、電極ＢおよびＣ間の抵抗値が低下する。 （もっと読む）

【課題】備える機能素子を直接測定することなく、機能素子の寸法を精度よく測定することにより、機能素子の状態が把握されることができる電子装置を提供すること。
【解決手段】電子装置１は、基板２と、基板２上に配置され、固定電極３１および固定電極３１と空隙を隔てて対向配置された可動板３２２を備える可動電極３２を有する機能素子３と、基板２上に設けられ、機能素子３が配置された空洞部６を画成する素子周囲構造体５と、基板２上の空洞部６の外部に設けられ、固定電極３１に対応する第１の検査用膜４１と、可動電極３２に対応する第２の検査用膜４２とを有する検査体４とを有し、検査体４は、所定の部位の寸法が測定されることにより、機能素子３の所定の部位の寸法を求めるために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】破壊や特性の劣化を抑制しつつ、所望の変位を実現することが可能なアクチュエータ、該アクチュエータを用いた駆動装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】移動対象物を移動させるアクチュエータであって、所定の部分が変位する可動部と、該可動部が固設される基準部とを備える。また、該アクチュエータでは、可動部が、第１層と、加熱に応じて第１層とは異なる膨張または収縮を行う第２層と、発熱する第３層とを含む複数層が積層されて構成されるとともに、放熱性が高い領域ほど、該可動部のうちの所定領域当たりにおける第３層の発熱量が増加するように構成される。そして、可動部では、第３層の発熱に応じて可動部が曲がることで所定の部分が変位する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ構造体と半導体基板との間の寄生容量を低減させるＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】半導体基板１０上に絶縁層を介して形成された固定電極２０と可動電極２６とを有するＭＥＭＳ構造体３０が備えられたＭＥＭＳデバイス１であって、固定電極２０の下方の半導体基板１０にウェル１３が形成されており、固定電極２０に正の電圧が印加されウェル１３がｐ型ウェルである。そして、ウェル１３が空乏状態となるようにウェル１３には電圧が印加されている。この電圧はウェル１３が空乏状態を維持する電圧となっている。 （もっと読む）

【課題】多数の生物個体に取り付けて、健康や環境のモニタリングを行うことに適するセンサを実現するための技術を提供する。
【解決手段】本発明によるバイモルフ素子は、ＭＥＭＳテクノロジによって製造されるＭＥＭＳデバイスであり、互いに向かい合うように、且つ、変位方向が相手に接近する方向となるように配される、２枚のバイモルフ板を有することを特徴とする。実施形態によっては、これら２枚のバイモルフ板は、いずれも、その板面が、前記バイモルフ板を支持する基体の底面及び／又は頂面に対して垂直になるように配されてもよい。実施形態によっては、バイモルフ板の上側部は前記基体の高さを超えず、その下側部は前記基体の底面の高さより低くはならないように配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】有機樹脂からなる犠牲層を用いて構造体を形成する場合に発生する残渣を、より容易に除去できるようにする。
【解決手段】犠牲層１０５を除去した後、下部電極１４１および上部電極構造体１７１が形成されている基板１０１を、フッ化水素ガス中に所定の時間配置する。例えば、密閉可能な所定の容器内に基板１０１を配置し、この容器にフッ化水素ガスを導入すれば、基板１０１の上に形成された下部電極１４１および上部電極構造体１７１などに付着している残渣１１１を、フッ化水素ガスに晒すことができる。これにより、フッ化水素を残渣１１１に作用させ、残渣１１１をエッチング除去する。 （もっと読む）

【課題】固定電極に対する可動電極（可動部）の形成位置に関わらず、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータおよび電子装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、基板２と、基板２上に設けられた固定電極３と、可動電極４とを有している。可動電極４は、可動部４２と、可動部４２を支持する支持部４１と、可動部４２と支持部４１とを連結する連結部４３を有している。また、可動部４２は、連結部４３を介して支持部４１に片持ち支持されるとともに、固定電極３と空隙を隔てて対向配置されている。このような可動電極４には、可動電極４から固定電極３の連結部４３側の縁部の少なくとも一部が露出するように、開口５が形成されている。 （もっと読む）