【課題】大型ガラス基板等の薄型・多段積層可能な搬送トレイである枠内部にフィルム状部材を配置した基板搬送用トレイに適応した基板移載装置、並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法を提供する。
【解決手段】基板より一回り大きい矩形状の枠部と、枠部内側の全面に面積が枠部内側の面積よりも大きいフィルム状部材からなる基板保持部材とからなる基板搬送トレイから、基板を取り出す、または、基板搬送トレイに基板を収納する基板移載装置であって、少なくとも、基板搬送トレイを枠部で担持するトレイ設置台と、トレイ設置台内側の基板よりも一回り小さい面内に立設された昇降可能な複数の支持ピンと、トレイ設置台に枠部を加えた高さより上部で枠部の外側に設置され基板端部より内側に前進して基板端部を保持する支持部材とを有し、且つ、支持ピンが少なくとも２つ以上の区画を別々に昇降できる駆動機構を有している。 （もっと読む）

【課題】薄い大型の平板状基板を表面へのダメージ無く収納し搬送することができる、薄型、軽量の基板収納用トレイを提供するにより、一度に輸送できる基板の枚数を多くでき、輸送コストを低減する。
【解決手段】平板状で同一形状の複数の基板を一枚ずつ収納し、該基板を囲む枠部で水平に多段に積み重ねて搬送するための基板収納用トレイにおいて、枠部と連結して枠部の内側に基板を担持する基板支持部を有し、基板支持部の基板と接する部分に自己粘着性を有する基板固定部材を設けた。 （もっと読む）

【課題】 感光体ドラムを搬送又は保管する際などに、ドラム表面が傷付かないようにすると共に、感光体ドラムを配列する収納トレイ自体をコンパクトにした感光体ドラムの収納トレイを提供することにある。
【解決手段】 感光体ドラム７が配列される収納部８と、この収納部８の両側に設けられる左右の側板部６と、この側板部６の内側に沿って設けられる補強板部９と、この補強板部９と前記側板部６との間に配置されて側板部６と補強板部９とによって支持され、前記収納部８に配列された感光体ドラム７の端部を支承する発泡樹脂材１３とを備える感光体ドラムの収納トレイ。 （もっと読む）

【解決課題】収容される物品の保持性等に優れるとともに、簡易な構造であって、安価に製造することのできるロンドレーション容器およびロンドレーション容器の製造方法を提供する。
【解決手段】ロンドレーション容器１０は、ベースシート１１と、山部１４と谷部１５とが交互に連続して成形されるとともに、間隔Ｓを存する複数列をなしてベースシート１１上に固着され、収容される物品２５の複数部位を非隣接状態にて抱持する成形シート１２、１２と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】容器本体の側壁の撓み変形や歪みを抑制でき、ガラス基板等の板状体の撓みを防ぎ、溝外れ及び干渉による破損を防止でき、板状体の薄肉化にも対応できる、板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】相対向する側壁１２ｂの内面に板状体の側端部を支持する支持用溝１３を設けた容器本体１と、蓋体３と、中蓋５とを備え、中蓋５を、四周各辺部５１ａ，５１ｂを側壁上端部の内側に嵌合することにより容器本体１の側壁１２ａ，１２ｂの変形を抑制できる板体よりなるものとし、少なくとも一方の相対向辺部５１ｂの側端面に突設した突縁５ａ，５２ｂを、容器本体１の側壁上端部の内側に形成された切欠段部２２ａ、２２ｂに嵌合して所定位置に位置決めするように設ける。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 正面に開口部を有する容器本体と、容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部材とを備える。各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成される。一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。規制板は、平面的に観た場合、収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される簡易な構成の位置規制手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を二重に挿入防止することでガラス基板の外周端部にキズや欠けなどの欠陥を生じさせないガラス基板装填治具及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板装填治具１０は、収納容器本体２０の上端に装着され、二重挿入防止機構３０を有する。二重挿入防止機構３０は、ガラス基板が挿入部より一の収納部４０に挿入される過程でガラス基板の外周縁部に接触すると共に、当該挿入部５０の一部を塞ぐ位置に変位する複数の変位部材９０を有する。変位部材９０は、下端側の第１の端部９２が第２のガイド溝７２より中心側に突出し、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２の外側に退避した待機位置にある。また、ガラス基板Ｗが挿入部５０を通過する過程で下端側の第１の端部９２がガラス基板Ｗの外周縁部に押圧されて回動することで、上端側の第２の端部９４が第２のガイド溝７２より中心側に突出する挿入防止位置に変位する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置１は、被処理物であるウエーハ１０、ウエーハ１０を収納する密閉型容器のＦＯＵＰ２０、半導体処理装置であるエッチング装置３０及びＦＯＵＰ２０とエッチング装置３０との間を密閉状態でウエーハ１０の搬送を行うＥＦＥＭ４０を有する。ＦＯＵＰ２０は、前面扉２０ａ、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部２１及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置２５を有する。受信装置３１は、送信装置２５からの情報を受信し、その情報をパージ部４３に供給する。パージ部４３は、ＦＯＵＰ２０内の温度などが予め定めた基準値を満足するまでパージを行う。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、高圧蒸気滅菌後のシール性の低下および容器体の変形等が生じる可能性が極めて少ない高圧蒸気滅菌可能もしくは高圧蒸気滅菌されたプレフィルドシリンジ用外筒包装体を提供する。
【解決手段】複数のプレフィルドシリンジ用外筒を収納した高圧蒸気滅菌可能もしくは高圧蒸気滅菌されたプレフィルドシリンジ用外筒包装体１は、容器体２と、容器体内に収納された複数のプレフィルドシリンジ用外筒６を保持した外筒保持部材４と、容器体の上面開口を封止する剥離可能なシート状蓋部材３とを備える。容器体は、底部に設けられた開口部２２と、開口部を封止する通気性封止部材５を備える。通気性封止部材は、菌不透過性かつ水蒸気流通性を有し、容器体内は、通気性封止部材を介して外部と連通している。 （もっと読む）

【課題】 飛行機搬送用のアウターケースによる梱包形態のサイズを従来の梱包形態よりも小さくできるアウターケースの梱包形態を提供する。特に、Ｇ７．５（第７．５世代）、Ｇ８（第８世代）の大型のフォトマスクの場合において、飛行機搬送の旅客便でも、搬送できるサイズのアウターケースによる梱包形態を提供する。
【解決手段】 底面内側に、搭載部と搬送用のフォークリフトのフォーク差し込み口部とを兼ね、且つ、取り外しができるパレットを備え、インナーケ−スを持ち上げるためのジャッキを備え、インナーケースを出し入れする側面扉を備え、上面側に、上部の側面全周を覆うようにして上面側全体を塞ぎ、上下に移動でき、且つ、上下移動により面扉の開閉可否を制御する上蓋部を備えている。 （もっと読む）

【課題】 低コストで簡単に組み立てることができる物品宙吊用枠体を提供すること。
【解決手段】 物品収納凹部を有する合成樹脂薄フィルムの四辺の縁部に沿って４つの板状片を貼着し、各板状片の内側に形成される方形開口部を上記合成樹脂薄フィルムにて閉鎖する物品宙吊用枠体であって、上記方形開口部の各コーナー部にはコーナー連結部を形成し、上記板状片は上記コーナー連結部によってのみ相互に連結されており、上記各板状片を上記合成樹脂薄フィルムの表面に対して直角に同一方向に折り曲げた状態において、上記各コーナー連結部は上記方形開口部の各コーナー部に上記合成樹脂薄フィルムの表面と平行に位置するように構成した。 （もっと読む）

【課題】ポリシリコンカットロッド同士の接触、擦れによる破損防止、それと包装袋との擦れによる汚染の回避、及び包装されたポリシリコンカットロッドの梱包、開梱を迅速簡便化した、輸送ケース及び輸送方法の提供。
【解決手段】そのロッド輸送ケースは、ポリシリコンのカットロッドを収容可能な枠体１と、膨張することによって枠体内に収容された前記カットロッド３を緊締する膨張部材２とを具備したことを特徴とするものであり、前記膨張部材は、枠体内を膨張可能な仕切構造体１２により複数に区分し、前記区分内にポリシリコンのカットロッドを遊嵌して収容した後、前記仕切構造体を膨張せしめてカットロッドを緊締する機構を具備することが好ましく、また、前記仕切構造体は空洞体であり、その空洞体に気体の給排可能な弁を具備することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を、板状スペーサを介して重ねた状態で収納でき、その保護を良好になすことができる板状体の搬送用容器を提供する。
【解決手段】平面矩形の板状体Ｂを板状スペーサ１０を介在させて複数枚を重ねて平置き状態で容器本体１内に収納して搬送するもので、板状スペーサ１０を、容器本体１の収納部５に対応した板状とし、一方の相対向辺部に、容器本体１の相対向側壁３，３の内面に形成された嵌合凹部６，６に嵌合できる突出縁部１２，１２を形成し、突出縁部１２，１２の厚みをスペーサ本体部１１の厚みより大きく、突出縁部１２，１２を嵌合凹部６，６に嵌合して各板状スペーサ１０を、各スペーサ間に板状体Ｂを挟んで積み重ねた状態において、積み重ね荷重を突出縁部１２で受支するように設ける。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の積込作業および取出作業の作業性を向上するために、ガラス板をガラス板積層体の状態のまま、箱体の内部空間に出し入れ可能なガラス板梱包体を提供する。
【解決手段】箱体６の底壁部６ａに、ガラス板積層体１の底面の略全面を支持する支持板７を設ける。積込作業時および取出作業時にガラス板積層体１全体を持ち上げ支持する支持手段をガラス板積層体１の底面の下に挿脱するために、支持板７の外周縁に沿う一部領域に切欠凹部７ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】板状物を撓んだ状態で保持するトレイで、板状物の機能を有する部分を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管が簡単に、効率的にでき、振動よる板状物の品質面の問題を解消できるトレイを提供する。
【解決手段】全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部２０と、枠部に支持され、枠部の枠内側領域において、板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部３０とを備え、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているもので、板状物保持部の板状物を載せない側の面である裏面の少なくとも一部に、板状物を載せたトレイを複数重ねた状態において、板状物と接触して振動を抑制する、振動抑制部材４０が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 蓋体を取り除くときの抵抗が大きくなってしまうことを避ける基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口を有し、基板を収納可能な容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、蓋体に備えられるシール用のガスケットとを有する基板収納容器であって、容器本体に蓋体を取り付けて固定し、初期状態の蓋体の取り外し力をＦ０とし、７２時間経過後の蓋体の取り外し力をＦ１とするときに、Ｆ０が２０Ｎより小さく、かつ、（Ｆ１−Ｆ０）／Ｆ０の値が２．０以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】衝撃・振動に対して安定した高い緩衝性能を得ることができる緩衝部材を提供する。
【解決手段】梱包箱（２０）に被梱包物（１０）とともに収容され、一対で両側から被梱包物(１０)を保持する緩衝部材であって、一対の緩衝部材のうち少なくとも一方の緩衝部材は、梱包箱(２０)の内壁面(２１)に当接する緩衝部(３００)と、緩衝部(３００)の一端部に設けられ、被梱包物(１０)の一端部が嵌合する嵌合穴(４０１)を有する保持部(４００)とを備え、被梱包物(１０)が嵌合穴(４０１)に嵌合されたとき、被梱包物(１０)の一端部によって嵌合穴(４０１)が外側に押し広げられるようにした。 （もっと読む）

【課題】メロン等の果実の包装に使用する場合に、取り扱いが容易で、外装箱内にセットし易く、果実の収納包装作業が容易で、収納した果実を安定性及び緩衝性よく保持でき、果実の保護を良好になし得る果実用包装材を提供する。
【解決手段】合成樹脂発泡シートから成形され、果実を両側から保持する保持用凹部を有する２つの半部体１，２がヒンジ部３を介して連設され、両半部体１，２は、起立時に互いの対向面となる内側板部１２，２２と上面になる外側板部１３，２３とが折曲部１４，２４を中間にして連設され、両半部体１，２の起立時に果実の少なくとも下部の両側半部を対向して保持できる保持用凹部１１，２１が内側板部１２，２２及び外側板部１３，２３の周縁部１２ａ，２２ａ及び１３ａ，２３ａを残余させて形成され、該保持用凹部１１，２１の一部に起立時に支持用脚部となる外方への突出部１５，２５が形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ収納および取り出し性能を損なうことなく、輸送中のウェハ把持能力を上げることで、輸送中の振動から発生する異物によるウェハの汚染を抑制をできるウェハボックスを提供する。
【解決手段】複数の半導体ウェハ１２を間隔を隔てて保持するスリット溝１７が両側面に複数形成されたウェハカセット１３と、半導体ウェハ１２を保持したウェハカセット１３を収納するケース１４とからなるウェハボックス１１において、両側面の間隔を半導体ウェハ１２の外径より狭く形成して、スリット溝１７から半導体ウェハ１２の径方向両端１８を突出させて保持するウェハカセット１３と、両側面とケース１４との間に挿入されると共に、エアＧが注入されて膨張し半導体ウェハ１２の径方向両端１８をウェハカセット１３と共に把持する一対のエアバッグ１９とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】柔軟な合成樹脂フィルムを硬質なトレーに着脱可能とし、トレーの再利用を可能とした果実等の物品の収納トレーを提供する。
【解決手段】吊下用合成樹脂フィルム５の対向２辺に沿う各端縁に係合片８，８を接合すると共に、両係合片に対応する上面開口有底容器（トレー）３の上面開口縁に下向係合溝９，９を設け、上記各係合片の内側端縁に延長片部８ｂ，８ｂを形成し、上記吊下用合成樹脂フィルム５を上記上面開口２に宛がい上記両係合片８，８を互いに対向する方向に回動させて上記延長片部８ｂ，８ｂを対応する下向係合溝９，９に挿入し、上記フィルム５の戻りテンションによって各延長片部８ｂ，８ｂが対応する上記下向係合溝内９，９に係合した状態となるように構成し、上記各延長片部８ｂ，８ｂと上記下向係合溝９，９との係合により上記吊下用合成樹脂フィルム５を上記上面開口２に張設可能に構成した。 （もっと読む）