【課題】手動にて、ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハキャリアから取り出す場合において、ウェハ同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止する。
【解決手段】ウェハキャリア用の治具であって、ウェハキャリア１１が備える複数のスロット１２の数に対応し、スロット１２の並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されたウェハ保護プレート群２０からなり、各ウェハ保護プレート２１は、スロット１２内に収納されるウェハ１０の直径以下の幅を有しスロット１２に差し込まれる挿入部２２と、挿入部２２の幅方向に延びてスロット１２の開口面１５に接する一対のストッパー部２３とを有し、挿入部２２が隣り合うウェハ１０同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止することを特徴とするウェハキャリア用治具１。 （もっと読む）

【課題】包装用トレイを簡単な構造で工数を増やすことなく、第１及び第２収納凹部の壁部を起立させた状態で安定させて収納物の出し入れを容易なものにする。
【解決手段】板状部材を折り畳んで上面部１０ａに第１及び第２開口部１１，１２が形成されたトレイ本体１０を設ける。別の板状部材を折り曲げて第１及び第２開口部１１，１２に挿入される第１及び第２収納凹部２，３を形成する。第１及び第２開口部１１，１２は、その形状に合わせてトレイ本体１０の上面部１０ａを折り曲げて形成した第１〜第７外側縦壁部１１ａ〜１１ｄ及び１２ａ〜１２ｃに周縁を囲まれ、第１及び第２収納凹部２，３は、第１〜第７外側縦壁部に内側から接する第１〜第７内側縦壁部２ｂ〜２ｅ及び３ｂ〜３ｄを有する。第１及び第２開口部１１，１２に第１及び第２収納凹部２，３を挿入した状態で第１〜第７外側縦壁部が第１〜第７内側縦壁部によって内側から押圧される。 （もっと読む）

【課題】コンタクトレンズを収容して市場に提供する流通用パッケージ等として好適に用いられ得る、新規なコンタクトレンズパッケージを提供すること。
【解決手段】保持シート３４の表面に平置状態でコンタクトレンズ１８を載置し、該保持シート３４を筒状に巻いてコンタクトレンズ１８を巻き込むことで保持せしめた状態で、かかる保持シート３４を、パッケージ１４の収容領域内で保存液１６内に浸漬させて収容した。 （もっと読む）

【課題】内部空間の雰囲気を仕切ることによって、相互汚染が生じるのを抑制することができる基板収容器を提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１に仕切り板ＤＰ１を装着すると、収容器本体３の内部空間５を複数の雰囲気（第１の空間ＳＰ１，第２の空間ＳＰ２）に仕切ることができる。したがって、内部空間５の仕切られた各雰囲気を使い分けることにより、基板の相互汚染を抑制することができる。また、特殊なＦＯＵＰ１ではなく、規格化された標準的なＦＯＵＰ１を用いることができるので、コストの上昇を仕切り板ＤＰ１に相当する分だけですませることができる。したがって、ＦＯＵＰ１内における内部空間５の雰囲気を容易に低コストで分離することができる。 （もっと読む）

【課題】長期に亘って、サポート治具の着脱を容易に行えると共に、サポート治具を取付けた場合、そのサポート治具を高い位置精度をもって保持できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】サポート治具３０を、上下動については、支持部材２５を第１、第２係合片部３３、３４で上下に挟持することにより、後方動については、サポート治具３０と進入規制部１０、２８ｂ、３６との当接関係により、前方動については、支持部材２５の段差面２９と第２係合片部３４ｂとの当接関係により、規制することで高い位置精度をもって保持する。支持部材２５への取付けは、撓み性を利用して第２係合片部３４ｂを、段部２７を乗り越えて支承部２６の一方の板面に当接させ、支持部材２５からの取り外しは、把持し易い一対の係合支持板部３１を互いに近づくようサポート治具３０を縮径させて、第２係合片部３４ｂと段差面２９との当接関係を解除することで、着脱を容易に行える。 （もっと読む）

【課題】 ハニカム部材を梱包し、梱包体を多段に積み重ねても、輸送する際に衝撃や振動でハニカム部材が破損し難く、さらに、梱包体を多段に積み重ねても輸送時に梱包体がずれて倒壊し難く、効率良く輸送することができるハニカム部材の梱包体を提供する
【解決手段】 外箱と前記外箱内に配置されたハニカム部材と前記ハニカム部材を保持する保持部材からなるハニカム部材の梱包体であって、前記保持部材は、その外周における外形形状が、前記外箱の内側形状と略一致し、前記ハニカム部材端部の外形形状と略一致する形状を有する窪み部を有し、前記ハニカム部材の両端部に前記保持部材の窪み部をそれぞれ嵌合させて前記外箱内に配置し、配置された前記保持部材と前記ハニカム部材との高さが前記外箱の深さと略一致し、前記外箱の上部に前記外箱の内側形状よりも大きい蓋体を有することを特徴とするハニカム部材の梱包体。 （もっと読む）

【課題】設備費を抑えつつ、様々なサイズの複数枚のパネルを収容することが可能なパネル収容ケースを提供する。
【解決手段】複数枚のパネルＰを互いに間隔をあけて保持した状態に収容するパネル収容ケース１０であって、上部が開口部とされ、内部がパネルＰの収容空間とされた有底のケース本体２０と、ケース本体２０の上部に被せられてケース本体２０の開口部を塞ぐ蓋体と、パネルＰの側縁部を係合可能な上下方向に沿う複数の保持溝６１が間隔をあけて形成された一対の溝ユニット５３と、一対の溝ユニット５３をケース本体２０内における対向位置に保持することにより保持溝６１同士を対向させてパネルＰの両側縁部を係合可能とする保持ユニット８１とを備え、一対の溝ユニット５３は、保持ユニット８１によって、互いの間隔が調整可能とされている。 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールの多段積載及び梱包の自動化を可能とする。
【解決手段】保持部材１を上下方向に所定数嵌合して長尺状の保持体１Ａを作製する第１工程と、作製した２つの保持体１Ａを太陽電池モジュールの幅方向の幅に合わせて立設配置する第２工程と、立設配置された２つの保持体１Ａの横方向に対向する２つの保持部１２に、太陽電池モジュール８０の長手方向の一方の両コーナー部８１をそれぞれ嵌め合わせて太陽電池モジュール８０を水平状態で仮保持する第３工程と、前記第３工程を、立設配置された２つの保持体１Ａの横方向に対向する２つの保持部１２の最下段から最上段まで所定回数繰り返す第４工程と、第４工程終了後、水平状態で仮保持された所定数の太陽電池モジュール８０の長手方向の他方の両コーナー部８１に、別に作製した２つの保持体の対向す保持部をそれぞれ嵌め合わせて立設配置する第５工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池モジュールの多段積載及び梱包の自動化を可能とする。
【解決手段】太陽電池モジュールを多段に積み重ねるときに用いられる多段積載具１Ａであって、矩形状の基板１１と、基板１１の各角部１２に配置される太陽電池モジュールの各角部をそれぞれ保持する保持部材２１とからなり、保持部材２１は、基板角部１２に立設配置される長尺状の外側ガイド板２２及び外側ガイド板２２に対向配置される長尺状の内側ガイド板２３と、これらガイド板２２，２３間に上方から挿通されるスライド板２４ａと、スライド板２４ｃと一体に形成されて太陽電池モジュールの角部を下側から保持する保持板２４ｂを有する保持体２４とからなる。 （もっと読む）

【課題】収納された光学部品をピックアップすることが容易であり、保管中や輸送中のキズや異物の付着から光学部品を保護できる光学部品収納トレイを提供することを目的としている。
【解決手段】レンズとレンズを保持する鏡筒と鏡筒の一方の端面に配置された鍔部とを有する光学部品を収納する光学部品収納トレイであって、鍔部を保持する天面と、天面に開口をもち鏡筒を収納する凹部と、凹部を閉塞する側壁及び底面と、を有し、底面は前記レンズと空隙を介して対向するように設けられているとともに、側壁は底面の面積より開口の面積のほうが大きい順テーパー形状に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルフレームの変形や歪みを低減することができるペリクル製造用キットを提供する。
【解決手段】 本発明のペリクル製造用ジグは、ジグピンの先端頭部分を、ジグ穴の奥部に設けられたテーパー部のテーパー面に当接させて、該テーパー面を押圧することにより、ペリクルフレームを固定する。 （もっと読む）

【課題】ウエハー又はレチクルと協働して拡散バリアを与える最小の接触を含む支持構造及び環境制御手段を与える容器において、ウエハー又はレチクルの面上に置かれる微粒子を軽減する。
【解決手段】容器は、突起物を伴う平坦で研磨された表面を有するベースを含み、ウエハー或いはレチクルはこの突起物上に設置される。突起物は、ウエハー又はレチクルと最小の接触を与えるとともにウエハー又はレチクルをベースに浮かせる球としての配置を有し、それらの間にギャップを与える。このギャップは、ウエハー又はレチクルをベースの平坦で研磨された表面から分離するとともに微粒子のギャップへの移動を防止し、それによってウエハー又はレチクルの高感度面の汚染を防止する。拡散フィルタは、ろ材なしで圧力均一化を与える。トップカバー上の移動可能なレチクルのピンはレチクルを規定する。二重ポッドの実施態様によってさらなる分離及び保護が得られる。 （もっと読む）

【課題】従来のものに比べ包装補助部材を減らし包装作業を軽減できる照明器具の包装装置を提供する。
【解決手段】照明器具の包装装置は、中央部に係止孔を有する板状の底板５０と、先端部に開口部を形成した照明器具本体２０を支持するための凸状の支持部および支持部の周囲に形成された周辺部を有し、支持部が底板の係止孔を貫通し、周辺部が係止孔の周りに係止される本体取り付け台６０とを備え、取付けアダプタ１０が出入り可能な二段の爪１１をその側面対向部にそれぞれ有し、照明器具本体の取付け孔の周縁部に形成されたフランジ部２２と本体取り付け台の支持部の開口部の周縁部に形成されたフランジ部６４とが合わせられ、取付け孔に配置された取付けアダプタの二段の爪１１で両フランジ部２２，６４をその間に挟むものである。 （もっと読む）

【課題】複数の矩形薄板パネルを互いに非接触の形態で積み重ねて搬送する際、搬送中における矩形薄板パネルの傷付きあるいは破損を確実に防止可能な搬送ユニットを提供する。
【解決手段】それぞれ、矩形薄板パネルの各隅部を下方から支持する支持面を有する４つのコーナーモジュール１００の組が複数設けられ、各隅部において該コーナーモジュールを上下方向に柱状に積み重ねる際、上下方向に隣接する前記コーナーモジュールの前記支持面同士の間隔以下の厚みを備え、積み重ねた複数の矩形薄板パネルを搬送することにより引き起こされる矩形薄板パネルの振動の上下方向の振幅を所定範囲内に制限するように、各矩形薄板パネルの平面部に対向する形態で該矩形薄板パネルの上面および下面それぞれに配置され、該矩形薄板パネルの平面部に対する当たりを備える定形の矩形薄板パネルの振動抑制体３００を有する、ことを特徴とする矩形薄板パネルの搬送ユニット。 （もっと読む）

【課題】チャンバー内の雰囲気の変動を抑えつつワークを搬送可能であって構成が簡素な搬送ボックスおよび搬送システムを提供すること。
【解決手段】ワークＷに対して処理を行う複数の処理システム２００における第１処理システム２２０から第２処理システム２３０へワークＷを搬送するために使用される搬送ボックス１であって、ワークＷを内部に収容する収容室４と、収容室４の容積を変化させる容積調整機構と、収容室４を開閉可能且つ気密に封止する封止手段１１と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ又は基板を支持するための新規な装置を提供する。
【解決手段】基板容器は、基板を包囲するハウジングを備え、ハウジングはハウジングの包囲体の中にアクセスするための容器ドアを有する。ハウジングの中に配置された支持構造体は前記包囲体の中に延びる複数のタインを有する。タインは外縁を有する。複数のタインは水平方向に配置される。基板の張り出し部分はタインの外縁を越えて延び、基板に係合するアクセス領域を形成する。タインは基板を支持するための支持パッドを含む。タインのうちの１つの支持パッドのうちの１つは前記アクセス領域のうちの一方の側に配置され、タインのうちの１つの支持パッドのうちの他の１つは前記アクセス領域のうちの他方の側に配置される。 （もっと読む）

【課題】複数の薄板パネルを上下方向に安定して積み重ねることが可能な薄板パネルの積重ねに用いるモジュールを提供する。
【解決手段】薄板パネルを下方から支持するための支持部と、該支持部の外側で該支持部と連結され、該支持部により支持された薄板パネルの重さを上下方向に伝達する荷重伝達部と、薄板パネルの水平方向の位置決めをする位置決め部とを有する、薄板パネルの積重ねに用いるモジュール１０であって、前記荷重伝達部は該モジュール１０の上部に設けられた荷重受け面７４と、該モジュール１０の下部に設けられた荷重解放面７２とを有し、上のモジュール１０の前記荷重解放面７２を下のモジュール１０の前記荷重受け面７４に載置する形態で上のモジュール１０を下のモジュール１０に積み重ねるようにしてある。 （もっと読む）

【課題】被運搬板状物品の搬送用トレイに関し、ソーラーモジュール、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等の大型ガラス板、その製造中間製品、アルミニウム板等の面積が大きく自重による撓みが大きな金属薄板よりなる被運搬板状物品の大型化に対応して搬送用トレイの全体的な厚さを薄くして被運搬板状物品の製品輸送効率の向上をはかる。
【解決手段】支持部材５Ａ,５Ｂが、幅方向Ｘに膨出部５ａの外側下端にフレーム枠１の支持片６に取付可能に設けられた水平な取付板部５ｂと、膨出部の内側には被運搬板状物品４の外縁部４ａが当接して移動が規制可能に設けられた立壁部５ｃと、立壁部の内側に可撓可能に連設される弾性凹部５ｄと、水平板部５ｅを介して被運搬板状物品４を載置する載置突部５ｆと、で構成されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の積み込みや積み下ろしの作業性を向上した、梱包容器および梱包体を提供する。
【解決手段】ガラス板を横置きに複数枚積層保持する梱包容器である。ガラス板を支持する載置部４を有した容器本体６には、一端側が回動軸１１に連結して固定端となり、他端側が回動端となる支持アーム１２が設けられている。支持アーム１２の回動端には係止めバー１３が設けられている。係止めバー１３は支持アーム１２の回動動作に伴い、ガラス板の上面に当接する状態と、ガラス板の上面から容器本体６側に退避した状態との間で変位可能になっている。回動軸１１には係止めバー１３がガラス板の上面に当接する状態から容器本体６側に退避するときに付勢し、容器本体６側に退避した状態からガラス板の上面に当接するときに抵抗を与える主ダンパー機構２０が付設されている。 （もっと読む）

【課題】外箱を必要とせず、使用する材料が少なく、梱包開梱の作業負荷が少なく、また、使用しないときは折り畳んで、少ないスペースで保管でき、耐衝撃性と断熱性に優れた基板収納ケースを提供する。
【解決手段】底面部と正面部と背面部と対向する２つの側面部と開放された開口部を有するケース本体と、ケース本体の開口部を塞ぐケース蓋からなる基板収納ケースであって、ケース本体が、周縁部を接着された、折り曲げ可能な２枚のシートからなり、シートに取り付けられた気体注排口より気体を２枚のシートの間に、注入することによって、直方体形状が保持され、気体注排口より気体を排出することによって、折り畳み可能にする。 （もっと読む）