【課題】ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】閉止バルブ２０の弁体４０の移動方向と垂直なシリンダ３０の流路端面に入側開口３３を形成するとともに、その移動方向と平行なシリンダ３０の側面に出側開口３６を形成する。閉止バルブ２０の閉止時には出側開口３６が形成された流路端面に弁体４０が接触するとともに、閉止時以外ではシリンダ３０の流路端面および側面のいずれとも弁体４０が非接触である。塗布ノズルからの塗布液の吐出を停止すべく弁体４０がシリンダ３０内にて前進すると、弁体４０が流路端面に当接して入側開口３３を閉塞するに至る過程で出側開口３６に負圧が作用する。これにより、シリンダ３０の出側開口３６から塗布ノズルに至るまでの流路に存在している塗布液がシリンダ３０に向けて吸引される。 （もっと読む）

第１の距離「Ｘ」に沿って移動するように取り付けられている動力作動部材２２を有するアクチュエーター１２を含む力増幅駆動システム。被駆動部材４６が、第１の距離「Ｘ」よりも短い第２の距離すなわち作動距離「Ｙ」に沿って移動するように取り付けられている。動力作動部材２４は、被駆動部材４６と機械的に連結される前に間隙「Ｚ」を通って移動可能であり、続いて第２の距離「Ｙ」に沿って被駆動部材４６とともに移動する。エネルギーは、動力作動部材２４から被駆動部材４６へ第２の距離すなわち作動距離「Ｙ」に沿って伝達される。力増幅駆動システムは、流体噴射ディスペンサー１４を作動させるために用いることができる。
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【課題】
弁室内に塗料がよどみ難く、洗浄時には流入口から洗浄流体を流入させることにより短時間で弁室内をきれいに洗浄できるようにして洗浄性を向上させ、ひいては、ブツの発生などの塗装不良を未然に防止する。
【解決手段】
弁室（２）のボトム側に弁座（３）を備えた流出口（４out）が形成され、弁室（２）のトップ側に装着されたシーリングダイアフラム（Ｄ）がこれを貫通するトップガイド形の弁体（５）に固定されると共に、当該弁体（５）を弁座（３）に対して進退させることにより弁室（２）に形成された流入口（４in）から弁室（２）内を通り流出口（４out）に至る流路を開閉するバルブ装置において、弁室（２）を、トップ側からボトム側に向かって縮径する截頭円錐状に形成し、前記流入口（４in）を、截頭円錐状の内周面（２ａ）に対してその接線方向に開口形成した。 （もっと読む）

【課題】弁体および弁座などの耐摩耗性、耐食性および耐久性の向上した弁を提供する。
【解決手段】２つの開口部（１５ａ，１５ｂ）および流路（１２）を有する弁本体（１４）と、この弁本体に貫通する弁ステム（２６）と、流路内の流体の流れを制御するトリム装置（３０）とを備え、トリム装置は、弁本体の流路内に設けられた弁座（２２）と、弁ステムに取り付けられた弁体（２８）とを具え、弁体および／または弁座の一部または全部が、タングステンカーバイド含有量９５％超の超硬材料よりなることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】液体等の内容物を充填する際に、液ダレを防止する液止め用Ｏリングの損傷を高額な装置や煩雑な機構や構造を用いることなく、容易に液止め用Ｏリングの損傷等を検知することができる充填バルブを提供することを目的とする。
【解決手段】
内側に空洞部が施されたバルブボディとその空洞部に空洞部が施されたプランジャとプランジャの空洞部に不活性ガスを噴射するディフレクターパフシャフトを少なくとも有し、バルブボディの内側からプランジャの作動により充填物を容器に充填する充填バルブであって、前記バルブボディの出口方向内側に設けられているプランジャの液止め用Ｏリングの溝の底部近傍にプランジャの内側空洞部に貫通する貫通穴が設けられていることを特徴とする充填バルブである。 （もっと読む）

【課題】弁本体の閉塞や動作不良の発生を抑制することができ、しかも弁プラグの摩滅を防止することができる偏心形回転弁を提供する。
【解決手段】流体搬送用の流路３を形成した弁本体２と、流路３の中途部に形成された弁室４と、流路３と直交する軸線Ｐ２を備えた弁軸５と、弁室４内で回転可能となるように弁軸５に設けられ且つ流路３を開閉する弁プラグ６とを備え、弁軸５の軸線Ｐ２が流路３の軸線Ｐ１から偏心していると共に、弁プラグ６は流路３を全閉しているときと全開しているときとで９０°の範囲で弁室４内にて回転すると共に流路３を全開しているときには流路３の弁プラグ６によって開閉される開口部分が遮らない。 （もっと読む）

【課題】特に半導体製造等に使用される流量調節弁に関し、ダイヤフラムの膜部の応力を小さくしてヒステリシスエラーを低減させることにより、弁部の開閉時における作動の再現性を実現し、制御の応答性や安定性を向上させることができる空圧式流量調節弁を提供する。
【解決手段】弁座２５をシールする弁部３５と第１開口側２１に配された第１ダイヤフラム４０と第２開口側２２に配された第２ダイヤフラム５０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１，第２ダイヤフラム４０，５０を加圧手段６０，７０によって弁室２０方向に加圧して流量を制御するようにした弁において、第１，第２ダイヤフラム４０，５０の外周をサポートリング４５，５５によって挟持して、第１，第２ダイヤフラム４０，５０のダイヤフラム部の膜部最大径Ｌ１，Ｌ２と膜部最小径Ｓ１，Ｓ２を２分した位置での中間直径距離Ｍ１，Ｍ２をオリフィス径Ｏの約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

回転制御バルブ用の制御要素（５４）が、少なくとも１つの耳（７６）によって回転シャフト（５６）に取り付けられている。制御要素（５４）には少なくとも２つの表面が含まれており、その第１表面（６０）は流れリング（６４）に対してほぼ密閉可能である。第２表面（６２）は、第１表面を越えてバルブを通る流体の流れを促進してその表面におけるスケーリングすなわち異物堆積を阻止するために、第１表面から概ね退避している。
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【課題】 頻繁な弁操作により、未反応モノマーや触媒が残存するプロセス流体や固体粒子を含むプロセス流体の流量制御を長期かつ安定的に制御を行うことが可能な流量制御弁を提供する。
【解決手段】 弁のステムが弁座に対し直角方向に移動し、ステムと弁座との間隙によりプロセス流体の流量制御を行う弁であって、当該ステムを支持するステム摺動部分に開口部を有し、かつ開口部からリンス液を注入可能にしたパージリングを備え、リンス液がステム摺動部を通過する際の流速が、ステムの移動速度以上になる様にし、ステム摺動部にプロセス流体が入らない様にした流量制御弁。前記ステムの先端部が、直径ｄｍｍ以下の粒子が通過可能なように偏心させた切欠き部分を形成してなるステムで、切欠き部分を弁入口の反対側を向けて設置したものが好ましい。 （もっと読む）

【課題】弁体が弁座部に着座した際、流体通路と弁体との間における塗料の液だまり及び液漏れを防止する。
【解決手段】メインボディ１２の内部にパイロットエアによって変位するピストン６２が設けられ、前記ピストン６２に連結されたシャフト６４の端部には樹脂製材料からなる弁体６６が連結されている。そして、メインボディ１２の一端部には、塗料が供給される供給ポート１６を備えるサブボディ１８が連結され、該サブボディ１８に形成される弁座部５２に弁体６６が着座することにより、前記塗料の流体通路３０への流通が遮断される。この弁体６６は、弁座部５２に着座する着座部９８が略球面状に形成されると共に、前記弁座部９８の表面は前記着座部９８に対応して略球面状に窪んで形成されている。 （もっと読む）

【課題】 砥粒を混入したスラリーであっても確実に、その流入、流出を開閉制御することができるバルブを提供する。
【解決手段】 スラリーの流通路２１が形成されているバルブ本体２と、バルブ本体と協働してスラリーの流通路を開閉する弁体４と、この弁体を作動させる駆動部６とを備えているバルブ１であって、駆動部で弁体を下降させて、流通路内に挿入することによって、流通路の入口内面と弁体の外周面とでシール面を形成し、流通路を閉じてスラリーの流れを止めるようにしている。また、バルブ本体の流通路の入口には、リング状の弾性体７が嵌着されている。 （もっと読む）