【課題】 サーモスタットの設置を容易とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 温度計測が必要な流体制御機器6と支持部材9との間にスペースSが形成されている。サーモスタットユニット10が、スペースS内に配されて、サーモスタット11が温度計測が必要な流体制御機器6に当接させられている。サーモスタット11は、支持部材9に取り付けられた取付け治具12に支持されている。取付け治具12は、支持部材9に固定される第１治具13と、第１治具13に固定された第２治具14と、第２治具14に移動可能に取り付けられてサーモスタット11が固定される第３治具15とからなる。第１治具13と第３治具15との間に付勢部材が介在されている。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】高い耐腐食性を呈し得ると共に、シリコンを製造する際の反応副生成物や反応用の原料を固体のシリコンとは相状態の全く異なる気体状態に維持しながら機械的に分離することができる簡便な構成の高温用バルブ装置を提供する。
【解決手段】シリコンを生成する反応器１０の下方に配置自在な高温用バルブ装置４０、１４０であって、反応器の内部空間に連通して、反応器において生成されたシリコンを導入自在な第１の管状部材と、第１の管状部材内に配置されたバルブと、反応器からバルブに至る第１の管状部材の一部及びバルブを含む加熱領域を、反応器におけるシリコンの生成に関連する関連物質の沸点以上に加熱自在な加熱器１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 サーモエレメント感温部分への冷却水の感温を鈍くし、より電気的なヒータによる任意のタイミングでのメインバルブ開閉を制御できるサーモスタット装置を得る。
【解決手段】 サーモスタット装置１は、ピストン３と、該ピストンに対し進退動作し冷却水のメイン流路を開閉するフランジ弁を有するシリンダ容器４と、その内部で温度変化に伴う体積変化でシリンダ容器をピストン上で進退動作させる熱膨張体Ｗと、ピストン内に設けられ通電により熱膨張体に熱を与える発熱素子Ｈからなるサーモエレメント組立体１０を備える。シリンダ容器の冷却水に臨む外側部分を覆うように形成した断熱カバー２０を設ける。また、断熱カバーの内側でシリンダ容器外側面との間に樹脂製断熱材２１や空気層２２を選択的に設ける。 （もっと読む）

【課題】弁本体に付設される電磁弁がコイル通電時に発生する熱を有効的に膨張弁に伝達させることで水分の凍結現象を解消する電磁弁一体型膨張弁を提供する。
【解決手段】弁室１５０、該弁室に連通するオリフィス１３４、弁室内に高圧冷媒を導入する通路１１０、オリフィスで減圧した冷媒を外部に導出する出口通路１４０を有する弁本体１０と、オリフィスを開閉する弁体１２０と、弁体を駆動するパワーエレメント２０と、通路１１０を開閉する電磁弁３０とを備えた電磁弁一体型膨張弁において、電磁弁の電磁コイル３４２で発生する熱を弁本体に伝達するプランジャチューブ３００及びホルダ５０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁体をヒーターで直接かつ効率良く加熱することができると共に、弁体及びシャフトに対するヒーターの取り付けが容易で該ヒーターの交換も簡単に行うことができる真空用バルブを提供する。
【解決手段】弁体６に連結したシャフト１０の内部のヒーター孔内にカートリッジヒーター３０を収容し、該カートリッジヒーター３０の先端の発熱部３０ａを上記シャフト１０と弁体６との連結部３２の位置に配置し、該連結部３２においては、上記弁体６とシャフト１０との相互に当接し合う面の相対する位置に上記ヒーター孔に通じる受熱溝と加圧部とを形成し、上記受熱溝には上記カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａの半径と等しい半径を有する円弧状の溝部分を形成し、上記発熱部３０ａを上記受熱溝と加圧部との間に配置した状態で相互に固定することにより、該発熱部３０ａが上記加圧部４に加圧されて上記受熱溝の円弧状の溝部分の内周に面接触で密着させる。 （もっと読む）

【課題】 リセットスイッチを潤滑剤による影響を受けることなく、適正に動作させることができ、しかも、手動操作を行う場合でも、少ないトルクで容易に操作することのできる電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】 回転バルブに装着される基台２の内部に配置され電動モータ５を支持する支持板４と、支持板４の下側に配置され電動モータ５の回転力を前記回転バルブの回転軸に連結される出力軸１１に伝達させる歯車伝達機構と、歯車伝達機構の中途部に配置され軸方向に移動して電動モータ５の回転力の伝達を解除するクラッチギア８と、支持板４の上側に配置された制御基板１３の下面に取付けられ支持板４を貫通して支持板４の下面側に延在しクラッチギア８により押動動作される動作ピン１５を備えたリセットスイッチ１４と、クラッチギア８を軸方向に移動させるリセットボタン２５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすること、ならびに、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすること、を同時に達成できるゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、該コイルスプリングを介して加熱手段と電気的に接続されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱によりバルブ内への生成物の付着を防ぎ、バルブのボデーを分解することなく弁体部分等のメンテナンスを実施できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】流路を有するボデー８１とこの流路を弁軸８９により開閉可能な弁体８３とを有し、真空チェンバと真空ポンプとの間に接続されるバタフライ式圧力制御バルブである。弁軸８９に弁体８３を着脱自在に取付けると共にこの弁軸８９にヒータを取付け、このヒータに接続した配線９２を介して外部より電流を流すことでヒータを発熱させ、この熱を弁軸８９から８３弁体に伝導した。 （もっと読む）

【課題】流体流路に介在する弁部を有し、前記流路を開閉するように前記弁部を制御する流体制御弁において、簡単な構造により弁部の開閉を推定して、弁部を制御する流体制御弁を提供すること。
【解決手段】ヒータ回路に介在する弁体４０を有し、ヒータ回路を開閉するように弁体４０を制御する流体制御弁であって、弁体４０より上流側に第一温度センサ９１が備えられると共に、弁体４０より下流側に第二温度センサ９２が備えられ、第一温度センサ９１が検出した第一温度と第二温度センサ９２が検出した第二温度とを比較し、弁体４０の開閉を推定する推定手段Ｄを備えて弁体４０を制御する流体制御弁１００とした。 （もっと読む）

【課題】温度分布や昇温条件を任意に設定可能で、均一な発熱も高精度に実現でき、故障時のリスクを低減でき、修復作業が容易なゲートバルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート２０中に、複数の発熱体モジュール３０を設置してバルブプレート２０を加熱する。発熱体モジュール３０は、各々が発熱体を収容部材中に封止した部材であって、これを単位に温度制御が可能であるとともに、故障した場合にはこの発熱体モジュール３０のみを交換すればよい。また、１つが故障をしても全体に対する影響は少なくリスクも低減できる。 （もっと読む）

【課題】半導体処理チャンバからの排気ガスの固化を防止することにより、メンテナンスの手間と費用を低減することが可能なスロットルバルブを提供する。
【解決手段】内部に空間を有するバルブ本体部２０と、バルブ本体部の側壁に形成され、外部の真空チャンバ１１１と連結される連結部と、バルブ本体部内部の空間であって連結部の下端部より上方にある上方空間と、バルブ本体部内部の空間であって連結部の下端部より下方にあり、真空ポンプと連結される下方空間の間の開口度を昇降により調節するプランジャー５１と、バルブ本体部の上壁２２の上部に配置される固定台３０，４０と、固定台及びバルブ本体部の内部に設けられ、プランジャーを昇降させるプランジャー昇降機構６０と、バルブ本体部の上壁の外側及び固定台の側壁部に設けられるヒーター９０，９２を備え、ヒーターはバルブ本体内部の上壁とプランジャーとの間の空間を加熱する。 （もっと読む）

【課題】複数の開閉弁が設けられたブロックの幅を縮小することができるとともに製造が容易であるガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１の流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、上面２０ａに複数の開閉弁５０が直列に搭載されている。各開閉弁５０の各弁室２４が流路ブロック２０の上面２０ａに設けられている。プロセスガス流路２２は、弁室２４の略中央に連通されるとともに流路ブロック２０の上面２０ａから離間する方向へ延びて下面に開口している。キャリングガス流路２１は、隣り合う開閉弁５０の弁室２４を接続しており、流路ブロック２０の両側面２０ｃの一方の側面２０ｃと他方の側面２０ｃとに、流路ブロック２０の長手方向に沿って交互に設けられた側面流路２５を含んでいる。側面流路２５は、流路ブロック２０の長手方向に沿って延びる溝部と溝部の溝開口を覆う蓋部材とにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】キャリングガス（パージガス）を円滑に流通させるとともに、複数の開閉弁が設けられたブロックの幅を縮小することのできるガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】ガス供給ユニットにおいて、弁室２４は、流路ブロック２０の長手方向に沿って所定間隔で流路ブロック２０の上面２０ａに設けられ、接続流路２６は、弁室２４の略中央に接続されるとともに上面２０ａから離間する方向へ延びている。キャリングガス流路２１は、接続流路２６よりも太く形成されて流路ブロック２０の長手方向に沿って直線状に延びるとともに、流路ブロック２０を幅方向で二等分する仮想平面Ｆから偏った部分に配置されている。プロセスガス流路２２は、上面２０ａとは反対側の下面２０ｂに開口するとともに、流路ブロック２０において仮想平面Ｆからキャリングガス流路２１とは反対側に偏った部分を通過して弁室２４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】流路を流通するガスを加熱するヒータを備えるガス供給装置において、その小型化や高集積化を可能とする。
【解決手段】ガス供給装置１０において、各流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、開閉弁５０が複数搭載された上面２０ａを有している。開閉弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。複数の流路ブロック２０は、上面２０ａを幅方向から挟む両側面２０ｃ同士が隣り合うように並列に配列されている。複数の流路ブロック２０の隣り合う側面２０ｃにヒータ３１が挟み込まれた状態で、複数の流路ブロック２０が一体化されている。ヒータ３１はフィルム状に形成され、その両面が流路ブロック２０の側面２０ｃに対向して流路ブロック２０の長手方向に沿って延びている。 （もっと読む）

【課題】常に確実に機能し、あらゆる動作状態で高い切替ダイナミクスを有する電磁弁を提供すること。
【解決手段】本発明は、油圧システムを制御するための電磁弁に関するものであり、この電磁弁は、電気導体によって形成されたコイルと、少なくとも部分的にコイル内に配置された電機子と、作動油が充填された弁室とを有し、電機子が、電磁弁の通過開口部を開放および閉鎖するための弁部材と接続しており、弁室内に電機子が配置され、油圧システムと流体接続している。電機子が油圧システムの作動油中で可動に支承されており、コイルが、作動油の粘度を低下させるために、電流によって生じるコイルの熱上昇が前記弁室内の作動油の加熱を引き起こすように配置されている。 （もっと読む）

【課題】バルブボディの外壁面に半導体ヒータを密着させることで、接触面積を大きくする真空用開閉弁を提供する。
【解決手段】第１流路７と第２流路８とを連通する弁孔を有するバルブボディ４と、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段３と、バルブボディ４の外壁面に設けられたヒータ４０と、ヒータ４０をバルブボディ４の外壁面に押圧する取付板４２と、ヒータ４０と取付板４２の間に断熱材４１を有する真空用開閉弁１において、ヒータ４０は、薄板状で、柔軟性のある半導体ヒータとする。 （もっと読む）

【課題】半径方向温度分布の均一性を高めるように発熱体から流体通路内の液体への熱伝達を改善する。
【解決手段】流体通路を介して供給される液体媒体を吐出する弁装置２０であって、前記弁装置は、流体流路の壁を加熱する発熱体２８を備え、少なくとも１つの混合要素２９は、流体通路に挿入され、且つ、液体媒体が流体通路を流れているときに液体媒体に半径方向流れ成分を導入するように構成されている弁装置。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁体を連動、連結させた弁機構を収容するボディに、減圧室の圧力が所定圧以上となるのに応じて開弁して減圧室の圧力を外部に解放するリリーフ弁が配設されるガス用減圧弁において、ガスの排出位置を任意に設定することを可能としつつ部品点数および組付工数の増大を回避した安価な構成で、リリーフ弁をボディに配設する。
【解決手段】リリーフ弁２１が、摺動孔７５を有してボディ１６に一体に設けられる円筒状の継手部７４と、摺動孔７５に摺動可能に嵌合されるリリーフ弁体７６と、摺動孔７５の外端部に嵌合、固定されるキャップ７７と、リリーフ弁体７６およびキャップ７７間に設けられるコイルばね７８とを備え、リリーフ弁体７６を着座させることを可能とした環状のリリーフ弁座８１が、減圧室に通じるリリーフ弁孔８０を中央部に開口させて前記摺動孔７５の内端に形成される。 （もっと読む）

【課題】開口部を開閉するための弁体にヒーターを取り付け、且つこのヒーターに容易に電力を供給することができるようにする。
【解決手段】ゲートバルブ装置１０は、隣接する２つの空間を仕切る壁に設けられた開口部１１２を開閉するための弁体１２と、弁体１２を移動させる弁体移動装置２０と、弁体１２を加熱するためのヒーター１３と、ヒーター１３に電気的に接続されていると共に、ヒーター１３に供給される電力を出力する電力出力部に対して電気的且つ物理的に接続可能なコネクタとを備えている。弁体１２、ヒーター１３およびコネクタは一体化されている。コネクタは、弁体１２が開口部１１２を閉塞した状態では電力出力部に対して電気的且つ物理的に接続され、弁体１２が開口部１１２を開放した状態では電力出力部から電気的且つ物理的に乖離するように、弁体１２と連動する。 （もっと読む）